JPH049267B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は、加速度計のような力感知変換器の技
術分野に属し、特に、力感知要素、すなわち、力
感知部材が取付け基部に、たわみ部材を介してヒ
ンジ状に、又は、並進運動可能に取付けられた力
変換器に関するものである。ヤコブ（Jacobs）
による米国特許第3702073号明細書、ハンソン
（Hanson）による米国特許第4182187号及び同第
4250757号明細書に記載されている従来の加速度
計のような力変換器においては、力感知要素が小
さい力に対応してその基部に対し相対的な運動と
することが出来るように、力感知要素は、たわみ
部材によつて取付け基部、又は、取付けリングに
固定されている。このような加速度計におけるた
わみ部材は、１対の薄肉の扁平部分から成り立つ
ているバイフアイラ構造（bifilar construction）
（二本支持構造）を取ることが出来る。 力感知要素の上に配置された部品に対する電気
的な接続を行うために、基部と力感知要素との間
でたわみ性の導電体が用いられたり、導電性材料
から成る薄膜が、たわみ部材の上に直接的に付着
させたり、又は、若しも、たわみ部材それ自体
が、導電性のものであるならば、たわみ部材の上
の非導電性の被覆の上に、付着されたりすること
が出来る。このような材料が、たわみ部材の上に
付着される時は、たわみ部材の中には、たわみ部
材と導電性材料との異なる温度係数により、又
は、その付着工程自体によつて、応力が発生す
る。このような応力発生の結果として、力感知要
素を中立位置から、偏らせようとする力が生ず
る。力感知要素をその中立位置に維持するための
復元力が加わるサーボループ型の力変換器におい
ては、このような応力発生の結果として、バイア
ス誤差が発生する。力感知要素の偏りの大きさが
測定される開ループ型の力変換器においても、バ
イアス誤差が発生する。 導電性材料製の被覆が用いられる上記のような
力変換器にいては、たわみ部分の上面及び下面の
両方に、同等に被覆が行われることにより、被覆
の応力を相殺しようとする努力が、なされてい
る。この構造によれば、ある程度の誤差の軽減は
なされるが、たわみ部分の両側における被覆の厚
さが等しくなるように、その付着工程中に正確な
平衝を取ることが、要求される。更に、このよう
な平衝は、時間の経過による被覆の応力の安定性
に依存しており、また、その周囲温度、材料の純
度及び表面汚染のような他の因子にも、依存して
いる。 一般的に、従来の力変換器においては、バイア
ス誤差をもたらす応力作用が最小限になるよう
に、その適正な動作のための強度及び弾性要件を
備えている。可能な限り薄肉のたわみ部材を用い
ることが、望ましいものとされていた。しかしな
がら、角運動、又は、直線運動のいずれにして
も、たわみ部材につて生成されるばね力（spring
rate）は、たわみ部材の厚さ（ｔ）の３乗に比例
しており、これに対して、導電ストリツプの付着
によつて引き起こされる応力に起因するたわみ部
材の曲げモーメントは、単に、厚さ（ｔ）に比例
するだけである。例えば、若しも、たわみ部材の
厚さが、これによつて生成される曲げばね力が、
20ｇ／ラジアンから７ｇ／ラジアンに変えられる
ように、たわみ部材の厚さが30％減少されるなら
ば、導電性材料製の被覆の応力作用による誤差モ
ーメントの減少は、わずかに1.42倍だけである。
従つて、通常のたわみ部材において許容されるば
ね力の範囲の下限に到達しても、その時の誤差モ
ーメントの減少が不十分であることは、明らかな
ところである。このために、上記されたような型
式のたわみ部材においては、所望のばね力及びた
わみ強度を得ることと、誤差を生ずる応力作用を
最小とすることとの間で、何らかの妥協を図らね
ばならない。 本発明は、所望のばね力及びたわみ強度を得る
ことと、誤差を生ずる応力作用を最小にすること
とが両立することが可能とされたたわみ部材を備
えた新規な力変換器を得ることを、その目的とす
るものである。 本発明によると、この目的は、たわみ部材が、
その表面上に導電性材料の被覆が備えられてお
り、また、この導電性材料製の被覆は、実質的
に、たわみ部材の中立たわみ平面の上、又は、中
立たわみ平面面の中に横たわつているようにする
ことにより、解決されるものである。 たわみ部材の中立たわみ平面内に実質的にある
表面上に導電性材料製の被覆が設けられているの
で、導電性材料製の被覆と、たわみ部材との間の
界面に生ずる応力によるバイアス誤差の発生は、
回避される。このことは、上記のような応力に起
因する曲げモーメントが、中立たわみ平面から、
界面までの距離に比例していると言う事実に基づ
くものである。この距離は、実質的にはゼロであ
るので、曲げモーメントは最小限とされ、また、
完全では無いにしても、そのバイアス誤差は著し
く減少する。 たわみ部材は、１個、又は、２個以上のたわみ
部分から構成することが出来る。そして、これら
のたわみ部分は、それぞれに、たわみ部材の中立
たわみ平面の上に実質的に存在する凹部表面を有
する１個、又は、２個以上の溝を備えている。 導電性材料製の被覆は、常に、中立たわみ平面
の上、又は、その近傍に位置しているので、導電
性材料製の被覆によつて導入される誤差の大きさ
は、本質的には、たわみ部材の厚さ、全長及び幅
によつて、左右されることは無い。そのために、
被覆の応力に起因する顕著なバイアス誤差を生じ
させること無く、加速度計にとつて、充分な強度
と所望のばね力とを生成させるようなたわみ部材
を実現することが出来る。 以下、添付図面を参照しながら本発明の実施例
について説明する。 第１図には、本発明によるたわみ部材１２を備
えている、サーボ加速度計１０の形態の力変換器
が、示されている。この加速度計１０は、ヤコブ
（Jacobs）による米国特許第3702073号明細書に
開示された型のものであるが、力感知要素の角運
動、又は、線形運動を利用した他の力感知変換器
にも、本発明を適用することの出来ることは、言
うまでもないところである。加速度計１０は、１
対の円筒状の本体部材１４ａ，１４ｂと、これら
の本体部材の間に固定された標準質量組立体１６
とか構成されている。 本体部材１４ａ，１４ｂは、本質的に同じ構造
のものであるので、ここでは、本体部材１４ａだ
けについて説明する。本体部材１４ａに含まれて
いる円筒状の壁１７は、磁極片を構成するように
内向きに延伸するリブ１８を備えていると共にそ
の底部で延伸して基底部１９を形成している。 磁極片１８は、凹部２２を形成している円筒状
の内壁２０を有している。円筒状の永久磁石２４
が、凹部２２内の基底部１９に固定されている
が、この永久磁石２４は、円筒状の内壁２０から
間隔を置かれている円周表面を有していて、内壁
２０との間に環状のギヤツプ２６を形成してい
る。 標準質量組立体１６に含まれている力感知部材
３０は、たわみ部材１２によつて、取付け基部、
又は、取り付けリング３２に対してヒンジ状に枢
着されている。 図面に示されている加速度計においては、力感
知部材３０が取付けリング３２に対してアーチ状
に運動することが、たわみ部材１２によつて許容
されている。ただし、ここで理解されるべきこと
は、本発明のたわみ部材１２は、力変換器の軸線
に沿う感知要素の線形運動を利用した力変換器に
も、使用することが出来ると言うことである。 力感知部材３０の上面４０及び下面４１に、１
対の復元コイル、又は、トルク・コイル４２，４
３が、それぞれ、固定されている。これらのトル
ク・コイル４２，４３は、加速度計１０の種々の
部品が組立てられる時に、本体部材１４ａ，１４
ｂのそれぞれに形成された環状ギヤツプ２６の内
部に適合されているボビンに巻回される。 力感知部材３０の上面４０には導電性材料から
成る層４５が付着されている。力感知部材３０の
下面４１にも同様な導電性材料から成る層が付着
されている。これらの導電性材料から成る層は、
後述される様式で、磁極片１８の面２１が本体部
材１４ｂの磁極片に対応する面と相互作用をする
ような１対のコンデンサ・プレートを形成してい
る。 取付けリング３２の上部表面３６には、３個の
取付けパツド３４（その中の１個は、図示されて
いない）が配置されている。更に、取付けパツド
３４と軸方向において対向するように、３個の追
加の取付けパツドが、取付けリング３２の下部表
面３８に設けられている。 取付けリング３２は、本体部材１４ａと，１４
ｂとの間に、円筒状の本体壁１７の唇部と、本体
部材１４ｂの対応する唇部とが、取付けパツドを
押圧するように固定され、トルク・コイル４２，
４３が、それぞれ、本体部材１４ａの環状ギヤツ
プ２６と、本体部材１４ｂの対応する環状ギヤツ
プとの内部に収容されるようにする。 加速度計１０の中には、１対の可変コンデンサ
４８，４９が形成されているが、その内の一方の
コンデンサは、面２１と下部表面４１の上の被覆
とから構成されており、他方のコンデンサは、本
体部材１４ｂの磁極片の面２１に対応する面と、
力感知部材３０の上部表面４０の上の被覆４５と
から構成されている。 上部表面４０、下部表面４１における導電性材
料から成る層及びトルク・コイル４２，４３は、
たわみ部材１２を横切つて取付けリング３２に延
伸している４個の導電ストリツプ４７ａ〜４７ｂ
によつて、外部回路に結合されている。この外部
回路に対する電気的な接続は、本体部材１４ａ，
１４ｂの本体壁内に配設されている４個のコネク
タ・ピン（図示されない）を介して、取付けリン
グ３２から行われる。 加速度計１０が、その軸に沿つて加速度を受け
ると、力感知部材３０が、取付けリング３２及び
本体部材１４ａ，１４ｂに対して運動し、それに
よりコンデンサ４８，４９の容量が変化する。こ
の容量変化は、サーボ・ループ回路（図示されな
い）によつて検出される。そして、この容量変化
に比例する信号が、この回路からトルク・コイル
４２，４３に供給される。その結果として、トル
ク・コイル４２，４３によつて設定された磁は、
本体部材１４ａ，１４ｂに設けられている永久磁
石によつて設定された磁界と相互作用を行い、力
感知部材３０の変位に対抗した作用をする。力感
知部材３０を中立位置に維持するために、トル
ク・コイル４２，４３によつて必要とされる電流
は、加速度計に加えられる加速力を現している。 加速度計１０に関する更に詳細な説明について
は、本明細書で採用したヤコブ（Jacobs）によ
る米国特許第3702073号明細書を参照されたい。 ここで、本発明の好適な実施例であるたわみ部
材１２が示されている第３図を参照する。 このたわみ部材１２は、バイフアイラ（二本支
持）片持ちばりヒンジ形態のものであつて、力感
知部材３０と取付けリング３２との間に延伸する
１対のたわみ部分６０，６２から構成されてい
る。たわみ部分６０及び６２は、たわみ部材１２
と取付けリング３２との間を同様に延伸している
介在開口部によつて分離されている。 たわみ部分６０及び６２は、実質的に同じ横断
面を有しているので、ここでは、たわみ部分６０
だけに関して説明をする。 たわみ部分６０は、上面６４及び下面６６を有
しており、これらの上面及び下面は、互いに実質
的に平行である。 更に、このたわみ部分６０は、面６４，６６に
対してほぼ垂直である１対の縁部６８，７０を有
している。また、面６４，及び６６は、平行で無
くても良く、この場合でも、中立軸の溝は、使用
可能である。 たわみ部分６０は、面６４及び６６から、たわ
み部分６０の中に延伸している１対の溝７１，７
３を有している。これらの溝７１，７３は、それ
ぞれに凹部表面７２，７４を有しており、これら
の凹部表面７２，７４は、実質的に同一面の関係
にあつて、たわみ部分６０の中立たわみ平面と合
致している。 ここで、「中立たわみ平面」とは、たわみ部材
１２をたわませた時に、張力や圧縮力を受けない
面として定義される。第３図に示されているよう
に、たわみ部材１２が、２個の平行な面及び２個
の縁部によつて形成された、一様な長方形状横断
面の輪郭を有している時には、上記の中立たわみ
平面は、たわみ部材１２の上下の面６４，６６か
ら、実質的に等間隔にある点、すなわち、たわみ
部材１２の面間の中心に位置する面である。 第３図に示されているように、個別のたわみ部
材のいずれにおいても、溝の幅が等しく無い時に
は、中立たわみ平面は、たわみ部材を二等分する
こと無く、幅の狭い溝の方に偏位される。 このようなたわみ部材の横断面が、第４図に示
されている。この場合、中立たわみ軸の位置は、
次式によつて求められる。 Ｙ＝Y₀〔−（Δp／Δul） ＋｛（Δp／Δul）²−１｝^1/2〕 (1) 上式中、Ｙは各溝の底部のたわみ部材の中心線の
座標であつて、Δp／Δul１である。また、Y₀
は、たわみ部材の全厚さに１／２を乗じたもので
ある。更に、Δpは、２×（たわみ幅）−（溝幅の
和）と定義される。Δulは、（上側の溝の幅）−
（下側の幅の幅）と定義される。 実際の中立たわみ軸は、個別のたわみ部材の中
心線を中心とする非対称性のために、たわみ部材
の面との平行関係から、わずかにずれているが、
それによる影響は通常は小さいので、その曲げ回
転が顕著になつた時には、中立たわみ軸が、溝の
中心を通るように各溝を設置することが出来る。 溝７１，７３は、また、それぞれに側壁７１
ａ，７１ｂ及び７３ａ，７３ｂを有している。こ
れらの溝７１，７３は、第１図ないし第３図にお
いて、面６４，６６に対して垂直な平らなの壁７
１ａ，７１ｂ及び７３ａ，７３ｂを有するものと
して示されているが、この代わりに、これらの表
面を傾斜させたり、又は、小さい半径を持つて湾
曲された輪郭にしたりすることも出来る。更に、
たわみ部分を、力感知部材３０と取付けリング３
２との接合領域において、たわみ部分を傾斜させ
たり、又は、湾曲させたりすることにより、第１
図及び第２図に示されているような急峻な移行と
は対照的に、その間の移行を平滑とすることも出
来る。 その好適な実施例において、力感知部材３０、
取付けリング３２及びたわみ部材１２は、エツチ
ングその他の方法により、所望の形状に処理され
た溶融石英の一体片から形成される。 いつたん、凹部表面７２，７４が形成された時
には、金のような導電性材料による薄い層が、力
感知部材３０と取付けリング３２との間で延伸す
るように、２個のたわみ部分の凹部表面の長さ方
向に沿つて付着される。 あるいは、たわみ部材１２を導電性材料から形
成することが出来る。そして、この場合には、導
電ストリツプ４７が付着されるのに先立つて、非
導電性の被覆が、たわみ部材の上に行われる。 導電ストリツプ４７の応力による曲げモーメン
トは、導電ストリツプ４７が中立たわみ平面、又
は、中立たわみ軸から間隔を置かれる距離に比例
し、また、この距離は、この場合には、ゼロに等
しくなるので、中立たわみ平面に対して、その表
面と平行に作用する力による曲げモーメントの発
生は無い。従つて、たわみ部材の中立たわみ軸に
直接付着されている導電ストリツプ４７において
は、導電ストリツプ４７と、たわみ部材との界面
における応力に基づいて、力変換器の出力に誤差
が生ずることは無い。導電ストリツプの厚さは無
限であるので、不可欠なことでは無いが、理想的
には、ストリツプ自体が中立たわみ軸の上に心出
しをされるように、凹凸部表面７２及び７４が、
導電ストリツプの厚さの１／２だけ中立たわみ軸
を越えて位置するようにされることが好ましい。 例示的には、次のような寸法により、満足な結
果が得られることが判明している。

【表】

【表】 さ
第３図に示されているたわみ部材１２の形態に
ついて、以後は反対称と呼ぶことにする。すなわ
ち、たわみ部分は実質的に同じ横断面を有してい
るが、互いに鏡像関係には無い。 たわみ部分の厚さ、長さ及び幅の選択は、バイ
アス誤差を著しく増大させること無く、加速度計
１０の適正な動作に対して十分な強度及び所望の
ばね力を与えることができる。従つて、従来の力
変換器の場合とは対称的に、導電ストリツプ４７
によつて導入される誤差の大きさは、本質的に
は、たわみ部分の寸法に左右されることは無い。
なお、いずれの溝にしても、１本より多くの絶縁
された導体を支持するように設計することが出来
る点に注意されたい。 次に、第５図を参照するが、同図には、特定の
力変換器構造の性質により負荷抵抗の増大が是認
される時に、これに応じて使用することが出来る
たわみ部材１２の代替的な実施例が図示されてい
る。この実施例のものは、第３図に示されている
ものとは、次の２点で異なつている。第一点は、
たわみ部分８０に形成された溝８３における凹部
表面８２が、上面８６の介在部分を伴うこと無
く、縁部８４に隣接していることである。第二点
は、たわみ部分８８がたわみ部分８０の鏡像とな
つていることである。すなわち、これらのたわみ
部分８０，８８は、それらの間の空間と交差し且
つ上面８６及び下面９０に対して垂直である面に
関して、対称的となつている。 第５図に示されている溝８３は、傾斜した側壁
８３ａ，８５ａ，８５ｂを備えているものであ
る。しかしながら、これらの壁は、既に述べたよ
うに、平らな表面であつても良く、又は、湾曲し
た表面であつても良い。 凹部表面８２，８７は、この実施例の場合に
も、実質的には、たわみ部分８０，８８の中立た
わみ平面、又は、中立たわみ軸の上に位置してい
る。また、導電ストリツプ４７は、凹部表面８
２，８７の上に付着されており、これにより、た
わみ部材と導電ストリツプとの間の界面に生ずる
応力によつて、対応する曲げモーメントが、たわ
み部材に生ずることは無い。 次に第６図を参照するが、同図には、第３図及
び第４図に示されている実施例から選択された特
徴が組み合わされた、第三の実施例が示されてい
る。この構造形態のものは、所要の負荷抵抗が小
さく、また、設計上の観点から対称性が望まれる
事例に適しているものである。 この第６図において認められるように、１対の
たわみ部分１００，１０２は、対称的である。す
なわち、第５図に示されている実施例の場合と同
様に鏡像関係にあるが、これら１対の部分は、全
体的には、第３図に示された対応する部分の形態
を有している。なお、これらの部分については、
第３図に示された部分と実質的に同じ寸法のもの
である点に、注意されたい。 第７図には、第５図に示された実施例と類似
の、本発明による別異の実施例が示されている。
この別異の実施例においては、たわみ部分の間に
は、分離する介在開口部が設けられていない。こ
の構造形態のものは、４本以上の導電線が必要と
される場合であつて、しかも、溝が２本以上の導
体を使用することが出来ないようなバイフアイラ
構造に用いることが、出来る。また、例えば、バ
イフアイラ構造に対する充分な空間が無く、より
広い領域１１０で２本の絶縁された導体を支持す
る単一素子の構造に用いることが出来る。単一の
たわみ部分１０４には、それぞれに、凹部表面１
０７，１０９，１１１を有する溝１０６，１０
８，１１０が、図示のように形成されている。２
個の溝１０６，１０８は、部分１０４の一方の面
１１４の上に設けられ、残りの溝１１０は、他方
の面１１６に設けられていて、凹部表面１１１
が、凹部表面１０７，１０９と同一面の関係にあ
る共に凹部表面１０７と１０９との間に位置する
ようにされている。凹部表面１０７，１０９，１
１１のそれぞれは、実質的には、たわみ部材の中
立たわみ平面の上に設けられており、また、導電
ストリツプ４７は、これらの凹部表面の上に設け
られている。溝１０６の幅に溝１０８の幅を加え
たものが、溝１１０の幅に等しい場合には、その
中立たわみ軸は、たわみ部分１０４を二分する平
面内にある。上記の条件が満たされない場合に
は、式(1)で与えられるような、２個の溝の場合の
類似の式によつて、中立たわみ軸の位置が求めら
れる。 次に、第８図を参照するが、同図には、単一部
分から成り、その非対称性を最小限にしたたわみ
部材の、更に別異の実施例が示されている。たわ
み部分１２０には、それぞれに整列された凹部表
面１２２，１２４及び１２６，１２８を有する２
対の溝が備えられている。２個のウエブ部分１３
０，１３２が形成されているが、その一方のウエ
ブ部分は、凹部表面１２２と１２４との間に位置
しており、他方のウエブ部分は、凹部表面１２６
と、１２８との間に位置している。 凹部表面１２２，１２８は、実質的にはたわみ
部材１２の中立たわみ平面の上に位置しており、
これに対して、凹部表面１２４１２６は、中立た
わみ平面から若干偏位している。その結果とし
て、凹部表面１２２，１２４，１２６及び１２８
に、導電性材料が付着された時には、４個の溝の
中の２個の溝にだけ応力が生ずる。すなわち、凹
部表面１２４，１２６の中の導電性材料に基づく
応力だけが生ずることとなる。あるいは、導電性
材料を、中立たわみ平面１２２，１２８の上だけ
に付着させることが出来る。これらの表面の位置
は、２個の溝である場合の式(1)に類似の式によつ
て求めることができる。いずれにしても、ウエブ
部分１３０，１３２の両側に設けられている比較
的厚肉のリブ１４０，１４２，１４４によつて、
たわみ部材に対して適切なばね力及び強度が与え
られる。 既に述べられたように、第８図のたわみ部材
は、バイフアイラ形態（二本支持構造）で使用す
ることも可能であり、この場合には、その構造形
態は、対称、又は、反対称のいずれでも良い。反
対称形態の場合には、第８図に示された型式の２
個の同等なたわみ部分を、これら両方のたわみ部
分の中立たわみ表面１２２，１２８の上にだけ付
着された導電性材料と共に使用することが出来
る。 別異の構造のものとしては、第８図におけるた
わみ部材を、その一方の側にある凹部表面１２
４，１２８の両方が、たわみ部材の中立たわみ平
面の上に位置されるような形態にすることが出来
る。更に、この型式のたわみ部分は、平行な表面
を有する必要が無く、例えば、一定の強度のたわ
みを発生するように、力感知要素に向かつて先細
にすることも出来る。 なお、たわみ部材の上の被覆の応力作用を軽減
するための上述された構造のものについて、必ず
しも、力感知要素の主たる支持とはならないたわ
み部材と共に使用することも出来る。取付けリン
グに力感知要素を接続するこのような構造は、バ
イアス誤差、又は、モーメントを最小限にしなが
ら、ある程度の構造上の一体性、あるいは、完結
性が要求される。更に、第１図ないし第４図に示
されているたわみ部材においては、その薄肉の部
分が厚肉のリブと一体片になるように構成されて
いるが、本発明のある種の用途においては、リブ
に物理的に結合された導電ストリツプを、薄肉の
部分で支持する必要が無い場合も、あり得る。 上に説明をされた本発明の種々の実施例におい
ては、たわみ部材の中立たわみ軸に整列された
種々の溝が、取付けリング３２に対して力感知要
素３０を主として支持するたわみ部材の上に配置
されている。しかしながら、たわみ部材の中立た
わみ軸に沿つて、導電ストリツプ４７のような導
電性材料を付着させると言う考えは、負荷を支持
しないたわみ部材や、湾曲可能な部材にも、同様
に適用することが出来るものである。 なお、上に例示をされた本発明の種々の実施例
においては、溝は、力感知部材３０から取付けリ
ング３２に向けて延伸するとされているが、導電
ストリツプ４７によつて誘起される応力を最小限
とするために、最小のたわみ部材の強度が要求さ
れる場合には、たわみ部材の中立たわみ軸の部分
の上に、導電ストリツプ４７を設けることも可能
であり、これも本発明の範囲に包含されるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明によるたわみ部材を具備した
加速度計を、一部断面図で示す展開斜視図、第２
図は、第１図のたわみ部材の拡大された部分的平
面図、第３図は、第１図の３−３線に沿つて見ら
れた部分的斜視図、第４図は、異なる幅の溝を備
えたたわみ部材の横断面図、第５図及び第６図
は、第３図に類似する部分的斜視図であつて、バ
イフアイラ構造のたわみ部材の別異の２個の実施
例を示す図、第７図及び第８図は、単一のたわみ
部分から成るたわみ部材の２個の実施例を示す、
第３図に類似の部分的斜視図である。 １０…加速度計、１２…たわみ部材、１４…本
体部材、１６…標準質量組立体、１７…円筒状の
壁、１８…リブ、１９…基底部、２０…円筒状の
内壁、２２…凹部、２６…環状ギヤツプ、３０…
力感知部材、３２…取付けリング、３４…取付け
パツド、４２，４３…トルク・コイル、４７…導
電ストリツプ、６０，６２…たわみ部分、６４…
上面、６６…下面、６８，７０…縁部、７１，７
３…溝、７２，７４…凹部表面、８０，８８…た
わみ部分、８２，８７…凹部表面、８３…溝、８
３ａ，８５ａ，８５ｂ…側壁、８６…上面。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ １対の円筒状の本体部材及びこれらの間に固
   着された標準質量組立体とから成り立つており、
   前記円筒状の本体部材は、それぞれ、円筒状の壁
   及び基底部から構成されており、前記標準質量組
   立体は、前記１対の円筒状の本体部材の前記円筒
   状の壁の対向する端面の間に固着されるようにさ
   れた取付リングと、これにたわみ可能に連結され
   ると共に電気要素を含んでいる力感知部材とから
   構成されている力変換器において、 前記円筒状の本体部材と、前記力感知部材との
   間のたわみ可能な連結が、たわみ部材から構成さ
   れており、、前記たわみ部材が、一端部を前記取
   付けリングに固着されると共に他端部を前記力感
   知部材に固着されているたわみ部材と、 前記たわみ部分の上に配置されると共に前記力
   感知部材の前記電気要素と、前記取付リングとの
   間を延びており、少なくとも一部分が、前記たわ
   み部分の中立たわみ平面、と実質的に同一平面の
   中に配置されている導電ストリツプと から成り立つていることを特徴とする力変換器。 ２ １対の対向する円筒状の本体部材及びこれら
   の間に固着された標準質量組立体から成り立つて
   おり、前記円筒状の本体部材は、それぞれ、円筒
   状の壁及び基底部から構成されており、前記標準
   質量組立体は、前記１対の円筒状の本体部材の前
   記円筒状の壁の対向する端部の間に固着されるよ
   うにされた取付けリングと、これにたわみ可能に
   連結されると共に電気要素を含んでいる力感知部
   材とから構成されている力変換器において、 前記円筒状の本体部材と、前記力感知部材との
   間のたわみ可能な連結が、たわみ部材から構成さ
   れており、前記たわみ部材が、前記力感知部材
   と、前記取付リングとの間を延びている１対の面
   を有している少なくとも１個のたわみ部分と、前
   記１対の面の内の一つから前記たわみ部分の中に
   延びている、前記たわみ部分の中立たわみ平面と
   一致している凹部表面を有している少なくとも１
   個の溝と、前記凹部表面の上に、前記力感知部材
   の前記電気要素と、前記取付けリングとの間を延
   びて配列されている導電性材料製のストリツプと
   から成り立つていることを特徴とする力変換器。 ３ 取付けリングと、復元コイルを含んでいる力
   感知部材とを有しており、前記取付けリングと力
   感知部材とがたわみ部材を介して固着されている
   力変換器において、 前記力感知部材を前記取付けリングに固着する
   ためのたわみ部材が、介在開口部によつて分離さ
   れ、前記力感知部材と、前記取付けリングとの間
   を延びており、第一の縁部及び第二の縁部に終わ
   つている上面及び下面を有している第一のたわみ
   部分及び第二のたわみ部分と、 前記上面から前記第一のたわみ部分の中に延び
   ており、前記第二の縁部よりも前記第一の縁部に
   より近く配列されている第一の凹部表面を有して
   いる第一の溝と、前記下面から前記第一のたわみ
   部分の中に延びており、前記第一の縁部よりも前
   記第二の縁部により近く配列されている第二の凹
   部表面を有している第二の溝と、 前記取付けリングと、前記力感知部材との間を
   延びている前記第一のたわみ部分の中の凹部表面
   の上に導電性材料製のストリツプと、 から成り立つており、前記第一の凹部表面及び第
   二の凹部表面が、実質的に同一平面の中にあり且
   つ前記たわみ部分の中立たわみ平面と一致してい
   ることを特徴とする力変換器。 ４ 前記第二のたわみ部分が、前記第一のたわみ
   部分と実質的に同一ではあるが、前記介在開口部
   を二分すると共に前記上面及び下面に対して直角
   である平面に関して、前記第一のたわみ部分と鏡
   対称とはなつていない特許請求の範囲第３項に記
   載の力変換器。 ５ 前記第二のたわみ部分が、前記第一のたわみ
   部分と同一であつて、前記介在開口部を二分する
   と共に前記上面及び下面に対して直角である平面
   に関して前記第一のたわみ部分と鏡対称となつて
   いる特許請求の範囲第３項記載の力変換器。