JPS5818130A - 変換器で用いられるたわみ構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、加速度計のような力感知変換器の技術分野に
楓し、　ｌ！ＩＩＫ、力感知要素を取付は基部に蝶番的
に枢着もしくは並進運動ＧＩＴ能に取付けるためのたわ
み構造に関する。

Ｊａｏｏｂｓ　（）米国特許第３．りＯＪ、０　？　、
７号明細書および錆層−１０，？　！　７号明細書に記
述されている従来の加速度計のような類の変換器におい
ては、力感知要素は、骸カ感知要素が小さいカに応答し
て基部に対し相対的に運動することができるように％た
わみ部によって取付は基部もしくは取付はリングに固定
されている。このような加速度計においては、たわみ部
は、一対の薄肉の扁平部材からなるバイファイラ（ｂｉ
ｆｉｌａｒ）構造（二本支持構造）を取ることができる
。

力感知要素上に配設されている素子への電気接続を行な
う友めに、基部と感知ｇｊ！素との間にたわみ性のリー
ドを用いたり、あるいはまたたわみ部に直接、導電性材
料から形成された薄膜を付着したり、あるいはまたたわ
み部自体が導電性である場合には該たわみ部に設けられ
友邦導電性の被覆上に導電性材料の薄膜を付着すること
ができる。このような材料がたわみ部上に付着されると
、たゎ”み部と導電性材料との異った温度係数に起因し
、または付着工程自体によりたわみ部ＫＺ力が生ずる。

このような応力の結果として、力感知要素を中性位置か
ら偏向する作用をなす力が生ずる。力感知要素を中性位
置に維持するために復帰力を加えるサーボループ型変換
器においては、このような応力の結果として偏倚誤差が
発生する。力感知要素の振れの矢ｉさを測定する開ルー
プ変換器においても、偏−一差は発生する。

ｆｆ１ｍ畦−覆を用いる上記のような変換器においては
、たわみ部分の上面および下面両者に同等の膜を付着す
ることによって膜の応力を相殺するという試みがなされ
ている。この構造によれば誤差は成る程度軽減されるが
、たわみ部の両側で、膜厚が等しくなるように、付着工
程自体確に平衡をとることが要求される。さらにとのｉ
うな平衡は１時間に関する膜の応力安定性に依存するし
、また周囲温度、材料の純度および表面汚染のような他
の因子によって４左右される。

一般に従来の変換器においては、適正な動作のｔめの強
度および弾性要件を備えた可能な限り薄肉のたわみ部を
用い偏倚誤差を惹起するような応力作用を最小限にする
ことが望ましいとされていた。しかしながら、角運動に
しろあるいは線形運動にしろ、たわみ部のばね力（ａｐ
ｒｉｎｇｒａｔ・）は該九わみ部の厚さく１）の３乗に
比例し、他方、導電性ス）　ＩＪツブの付着によって惹
起される応力に起因するたわみ部の曲はモーメントはｔ
にしか比例しないことが判った。例えば。

たわみ部の角度ばね力を一〇１１／ラジアンからり１１
／ラジアンに変更するように、たわみ部の厚さを３０９
６減少しても、導電性複機の応力作用による誤差モーメ
ントは僅かムダ−のファクタ（係数）だけしか減少しな
い。従って明らかなように、慣用のたわみ部の許容し得
るばね力の範囲の下限は、誤差モーメントが無意味な程
に小さい値まで減少する前に達せられてしまう。

したがって、このような型式のたわみ部においては、所
望のばね力およびたわみ強度を得る仁とと誤差を惹起す
る応力作用を最小にするとととの間に妥協を計らねばな
らない。

本発明によれば、九わみ構造は、実質的に１、該たわみ
構造の中性曲げ平面上もしくは該平面内に在る表面に電
気導体被覆を有する。　２導電性材料が、たわみ構造の
中性曲げ平面内に実質的に位置する表面上に設けられる
ことにより、導電性フィルふとたわみ構造部との間の界
面（生ずる応力が偏倚誤差を惹起することは回避される
。これは、このような応力によって生ぜしめられる曲げ
モーメントが、中性曲げ平面から界面までの距離に比例
するという事実に由る。この距離は実質的に零であるの
で１曲げ篭−メントは最小限度に抑えられ、そして偏倚
誤差は、完全ではないにしろ著しく減少する。

−たわみ、構造は、１つまたは一つ以上の部分から構成
することがで！、各たわみ部分は、それぞれ、友わみ構
造の中性曲げ平面上に実質的に存在する凹部表面を有す
る１つまたは一つ以上の溝を備えている。

導電性の膜は、必ず中性湾曲平面１屯しくはその近傍に
位置するので、導電性の膜によって導入される誤差の大
きさは、本質的にまたわみ部の厚さおよび全長ならびに
幅によって左右されることはない、その結果として、た
わみ部は、膜の応力に起因する顕著な偏倚誤差な生ぜし
めることなく、加速度計にとって充分な強度と所望のば
ね力を有するように実現することかで色“、る。

以下、添付図面を参照し本発明の実施例に関し説明する
。

第１図を参照するに、この図には本発明によるたわみ構
造部ｌコを備えたサーボ加速度計ｌＯの形ｌｌにある力
変換器が示されている。この加速度計１０は、　ＪｉＯ
Ｏｂ−の米国特許第Ｊ、りＯコ、０り３号明細書に開示
されている臘のものである。しかしながら本発明は力感
知要素の角度または線形運動を利用した他の力感知変換
器にも適用し得ることは言うまでもない。

加速度計ｌＯは、一対の円゛筒状の本体部材ｌ亭ａ、／
＄ｂ　　ならびにこれら本体部材間に固定された保証質
量組立体１４から構牢されている。

本体部材／参ａ、／＊ｂ　は本質的に同じ構造であるの
で、ここでは本体部材７４１＆だけに関して説明する６
本体部材ｌダミは磁極片を構成する内向！に延びるリブ
／ｌを備えた円筒状の壁ｌりと基底部）！とを有してい
る。ａ極片／ｆは、凹部ココを一定する円筒状の内壁コ
０を有している。凹部ココ内で板ｌデーには、円筒状の
永久磁石・コダが固定されており、この永久磁石コ６工
円筒状内壁Ｊ０から離間した外周面を有しており、内壁
コＯとの間に環状のギャップコロを画定している・ 保証質量組立体１４は、ｔわみ構造部によって、取付は
基部もしくはリング３ａに蝶番的に枢着された力感知部
材もしくはＩ（ドル３０を有している。

図面に示した加速度針においては、たわみ構造部によっ
て、力感知部材もしく警１）くドルＳＯが取り付はリン
グ３コに対して正確に運動することができる。しかしな
がら１本発明のたわみ構造部には、変換＠　１０の軸線
に沿う感知要素の線形運動を利用した変換５にも使用し
得るものと理解されたい。　　　　　　　　　　＼７′
、パドルの上面４ＩＯおよび下面参ｌには、一対の復％
コイルもしくはトルクｅコイル参コ、＊Ｊがそれぞれ固
定されている。これらトルク−コイルｌＩ；５．＃Ｊは
、加速度計１０のいろいろな部品を組立てる際に、本体
部材／４＋＆、／Ｉｌｂ　　の各々に形成されている環
状ギャップコロ内に嵌着されるボビンに巻回されている
。

パドル３０の上面ダ０には、導電性材料４（ｊからなる
層が付着されている。類似の導電性材料層がパドルＪ０
の下面参ｌにも付着されている。これら導電性の層は、
後述する仕方で、磁極片／１の面コ／および本体部材／
Ｉｂの磁極の対応の園と相互作用する一対のコンデンヤ
・プレートを形成する。

取付けりング３Ｊの上表１ｉｉＪ４には、３つの取付は
パッドＪヂ（そのうちの１つ各家図面にラミ示されてい
ないンが配置されて−る。さらに、取付はパッドＪ参と
軸方向Ｋ　５１ａｊ置して、リングＪ１０下ＩＩ表面Ｊ
ｌに３つの追加の取付はノミラドが設叶られて−る。

取付けりングＪＪは１円筒状本体壁ｌりの盾部１Ｊおよ
び本体部材ｌ参すの対応の盾部が敵付はパッドに轟接し
、そしてトルク・コイル参−，＃Ｊが環状ギャップＪ４
および本体部材／ｌｌｂの対応の環状ギャップ内にそれ
ぞれ収容−ｇｔＬ＆！’）Ｋ、本体ｆｌＡｌｌｆ　／＊
ａ　、　ｔｕｂｌｌ１４ｖｃ固定される。

加速度計１０内には一対の可変コンデンナダＳ、参ｔが
形成されてお抄、そのうちの１つのコンデｙｖは面Ｊ／
と下＊＊ｍｓｔに設けられたＩｌａとから構成され、他
方のコンデｙｔは本体部材／参ｂｏ＠％片の面コ／に対
応する面とパドル３０の上側表面３４に設けられている
被４！ｌＩ参Ｉとから構成されている。

上１ｉｉ４ＩＯおよび下面参Ｉの導電性の層およびトル
ク・プイル亭！、ダＪは、たわみ構造部／Ｊを横切って
リング３２に延びているダつの・導電性のストリップ亭
り亀ないしダツＩＩＫよ炒外部回路に結合される。外部
回路への電気接続は、りングＪ１から、本体部材月１１
．　／Ｉｌｂ　　の本体壁内に配設されている参つのフ
ネタタ・ビ／（図示せず）を介してリングＪＪかり行な
われる。

加速度計１０がその軸に沿って加速度を受はルト、パド
ルＪ０がリングココおよび本体部材ｌ参１．ノ参ｂ　ｖ
Ｃ対して運動しそれによ抄コンデンサ４Ｉｔ、夢ｔの容
量に変化を惹起する。この容量変化は、サーボ・ループ
１路（図示せず）により検出され、そしてこの回路は、
容量変化に比例する信号をトルク會コイル４１Ｊ、参Ｊ
Ｋ供給する。トルク・コイル亭−，ダＪによって設定さ
れる磁界は、本体部材を参り、ｔｕｂ　　Ｋ１１ｌけら
れている永久磁石によって設定される磁界と相互作用し
て、パドルＪ００変位に抗する〆用をなす、中性位置に
パドルＪ０を維持するためにトルクφプイル参コ、亭Ｊ
Ｋよって要求ｆれる電流が、加速度計に加わる加速力を
表わす。

加速度計／）Ｋｌｌｌ、てのさらに詳しい説明につ−て
は、本明細書に媛用したｙｌｅｏｂ−の米国特許第Ｊ、
？　ＯＪ、０り３号明細書を参照されたい。

次に第３図を参照するに、この図には本発明のたわみ構
造部ｌＪの好ましい実施例が示されて−る。

たわみ構造部は、パドル３０と取付けりフグ３コとの間
に延びる一対のたわみ部分４０によび６Ｊからなるバイ
ファイラ（二本支持）片持ばりヒンジ形態にある。たわ
み部分４０によび４Ｊは、中はりたわみ構造ｌコと取付
は基部、？Ｊとの間に延びる介在開口によって分−され
ている。

たわみ部分番Ｏおよび番コは、実質的に同じ横断、、１
Ｉｌｉを有し′ｃｓＰす、ζこではたわみ部分６０だけ
に関して説明する。

たわみ部分４０は、上面４参および下面４６を有してお
ｌこれら上面および下面は互いに実質的に平行である。

さらに、九わみ部分６０は１面４’ｌ、４４に対してほ
ぼ垂直である一対の縁４ｔおよびり０を有している０面
４参および４４は普た平行”でなくてもよく、その場合
でも中性軸溝が使用可能である。

たわみ部分６０は、面４亭および４４から鋏たわみ部分
６０内に延びている一対のチャンネルもしくは溝り１．
りＪを有している。溝りｌ。

りＪは各々凹部表面り一およびクダを有しており、これ
ら表面クコお工びり参は実質的ｖｃ同面関係にあって本
体部分４０の中性曲は平面と一致する。

ζむで「中性曲げ平面」とは、たわみ構造部を湾曲した
場合に張力や圧縮力を受けない面と定義される。たわみ
構造部が菖Ｊ図に示したようＫＪつの平行な面および１
つの縁によって形成される正規な矩形横断面片形状を有
する場合には、上記中性曲は平面は、実質的にたわみ構
造部の面から等間隔にある点、すなわちたわみ構造部６
面間の中心に位置する面からなる。

溝が領置のたわみ部いずれにおいてもＩＩＪ図に示すよ
うに等幅でない場合には、中性曲は軸（面）は、たわみ
部を部分せず狭幅の溝に向って偏位される。

このようなたわみ部の横断面が錆層図に示されている。

この場合、中性軸の位置は次式によって求められる。

Ｙ：Ｙ、　（−（Δｐ／Δｕ　ｔ　）＋　（（Δｐ／Δ
ｕ　ｉ　）”−ｔ　）’／＊）　（１）上式中、！は谷
溝の底部ｏｅわみ部中心−の座標であって、Δ１１／Δ
−１＞１　　である、また！、４７゜たわみ部全厚に８
　を乗じたものである。さらにΔνは「コ×（たわみ幅
）−溝幅の和）」と定義される。Δｍｌ／は、（１憫の
鱒の幅）−（下ｎｏ溝の幅）と定義される。

実ＩＩＯ中性自げ軸は１個々のたわみ部中心線を中心と
する非対称に帰因して、たわみ部の面との平行関係から
若干ずれているが、それによる影響は通常小さく、従っ
て谷溝は、＠転が顕著になりた場會ｆｃ、中性−げ軸が
酵の中心を通るように設置することができよう。

溝ツ１．γＪもまた１％々ｉｓｍフ１１および７１ｂな
らびにりＳａおよびツＪｂを有している。これら溝はｓ
　ＩＩ　ｉ図ないし第３図において、面４４＋および６
番に対して僑直に偏平の壁ツ／ａおよびツ／ｂならびに
７ＪａおよびりＪｔｌを有する４ｈＯとして示されてい
るが、別法としてこれら表面を斜切したりあるいは小さ
い半径を有する筒曲形態にすることができる。さらに、
たわみ部分を、パドル３０と取付はリング３コとの接合
領域で斜切したりあるいは湾−したりして、第１図、第
１図に示すような急峻な遷移とは反対に平滑な遷移とな
るようにすることかで龜る。

好ましい実施例においては、パドルＪＯ，取付は基部Ｊ
１およびたわみ構造部ｌＪは、所望Ｏ形状にニップフグ
その他の方法で処理された融解石英の一体片から形成さ
れている。

凹部表面ツー、り亭が形成されｔならば、金のような導
電性材料の薄い層が、パドルＳＯと取付けりングＪコと
の間に延在するように、一つのたわみ部分の凹部表面の
長さに沿って付着される。

たわみ構造部ｉｓは、別法として、導電性材料から形成
することかで−、その場合には、導電性ストリップ亭ツ
を付着する前に、電気的に非導電性の被覆をたわみ構造
部上に付着する。

幌の応力によるーげモーメントは、導電性ストリップ参
ツが中性曲げ平面または軸から離間している距離に比例
するので、該中性−け平面に対しその表ｍｃ平行に作用
°する力は１曲げモーメントを発生することはない。と
いうのは、上記の距離はこの場合零に等しくなるからで
ある。従って、たわみ構造部の中性曲げ軸に直接付着さ
れる導電性ストリップで、該導電性ストリップおよびた
わみ構造部の界面における応力に起因し、変換器の出力
に誤差が生ずることはない、４ｓ電性ストリツプは有限
な厚さを有して−るので、必ずしも不可欠的ではないが
理想的には、Ｓ表面クコおよび７参は、ストリップ自体
が中性軸上に心出しされるように、ストリップの厚さの
／／Ｓだけ中性軸を越えて位置するようにするのが好１
．い。

例として１次のような寸法が満足な結果を招来すること
が判った。

１　　　たわみ構造部／−の全幅　　　　　　　３４０
ｂ　　　各たわみ部分の幅　　　　　　　　　　１１０
ｏ　　　　ｍ４ｇと溝７／との間隔　　　　　　　　！
。

ａ　　　　ｅＢ部表面７Ｊおよびクダの幅　　　　　　
Ｊｊ・　　　たわみ部分４０．４Ｊの厚さ　　　　　　
／、Ｊｆｉｉｌｉ６４Ｉおよび６４からＯシ自診ｐ陣減
謂−０，６ｇ　　　たわみ構造部ｌコの長さ　　　　　
　　１００ｈ　　　部分６０．６−の隣接の縁間の距離
　　　　　　番０導電性ストリップ亭ｔの厚さ　　　　
２４００に以後第２図に示したたわみ構造部１１の形態
を反対称と称する。すなわち、たわみ部分は実質的に同
じ横断面を有しているが、互いに鏡像関係にはな−。

たわみ部分の厚さ、長さおよび幅は、パイアス誤差を顕
著に増大することなく、加速度計１０の適正な動作に対
して充分な強度および所望のばね力（ｓｐｒｉｎｇ　ｒ
ａｔ・）を与えるように選択することができる。従って
、従来の変換器の場合とは反対に、導電性ストリップ亭
？によって導入される誤差の大きさは本質的にたわみ部
分の寸法によ炒左右されることはない、冑、どの溝も、
１つ以上の絶縁された導体を使用するように設計するこ
とができる点に注意されたい。

次に第３図を参照するに、この図には、特定の力変換器
構造の性質からして、負荷抵抗の増大に対処する必要が
ある場合に使用することがで会るたわみ構造ｌコの別の
実施例が示されている。この実施例は第３図に示したも
のと一つの点で異っている１１第１に％たわみ部分３０
Ｋ。

形成されている＄１３を覆う表面ｔコが、上面１４の介
在部分を伴わずに縁表面ｌ参に隣接しでいる点である。

第一の点は１部分ｉｔが部分Ｉ０の鏡像となっている点
である。すなわち。

これら部分１０および１ｇは、それらの間の空間と交差
し且つ上°面ｔ４および下面ｆ０に対して垂直である面
を中心に対称である。

第３図には溝は斜切した１ＩＩｌｆＪ＆、＃ｊａ。

ｔｊｂ　を有するものとして示されている。しかしなが
らこれら壁は既に述べたように、偏平な表面であっても
、あるいは湾曲した表面であってもよい。

凹部表面Ｉコおよび凹部表面Ｓ７はこの実施。

例の場合にも、実質的に、部分ｔｏおよびｉｔの中性曲
は平面もしくは軸上に位置している。

また、導電性ストリップダクｂが凹部表面ｌコおよび１
３上に付着されており、従ってたわみ構造と導電性材料
との間の界面に生ずる応力で、たわみ部に対応の曲はモ
ーメントが生ずることはない。

次に第６図を参照するに、この図にはｆｓＪ図および錆
層図に示した実施例の選ばれた特徴が組み合わされてい
る第３の実施例が示さ゛れている。この構造形態は、所
要の負荷抵抗が小さく。

しかも設計上の観点から対称性が望まれる事例に適して
いる。

第６図に見られるように、一対の部分／　０　（Ｙおよ
び１０コは対称である。すなわち第３図に示した実施例
の場合と同様に、鏡像関係にあるが、しかしながらこれ
ら一対の部分は全体的に第３図に示した対応の部分の形
態を有している。

伺、Ｓ分１００およびＩＯ古第３図に示した部分と実質
的に同じ寸法である点に注意されたい。

第７図は、第１図に示した実施例に類似の本発明の別の
実施例を示す、この実施例においては、たわみ部分間に
分離開口が設けられていない、この構造形態は、参つ以
上のリード線が必要とされる場合であって、しかも溝が
１つ以上の導体を使用で色ないようなバイファイラ構造
に用いることができるし、また、例えば）（イファイラ
構造に対し充分な空間しかなく、領域／１０で２つの絶
縁堪れた導体を担持する単一素子の構造形態に用いるこ
とかで−る。単一のたわみ部分１０９には、それぞれ凹
状表面１０り。

１０デ、／／／　　を有する溝ｉｏｂ、　ｌｏｔ　　お
よび／１０が図示のように形成されている。２つの溝ｔ
ｏ４．ｔｏｔ　は部分１０参の１つの面ｌ／参に設けら
れており、他の＄／１０は１表面／ｌｌが表面／ａｔお
よび１０９と同面関係で表面１０りおよび１０９間に位
置するようにして他の面／／４に形成されている０表面
１０り、１０！および／／Ｉは、それぞれ実質的に、た
わみ部の中性曲げ平面上に設けられており、そして導電
性ストリップ亭りがこれら表面上に設けられている。溝
ＩＯ’ｉの幅に溝１０９の幅を加えたものが婢ｔｉｏの
幅に等しい場合には、中性曲は軸は、たわみ部ＩＯ参を
部分する平面内にある。上の条件が満たされない場合に
は、中性曲げ軸は式（１）から求められる１つの溝の場
合の類似の弐によって位置が求められる。この形態はま
た、たわみ部の平面に対し中性軸１転を示さない。

次に第１図を参照するに、この図には、非対称性を最小
限度にした単一部分からなるたわみ構造の別の実施例が
示されている。部分ｌコ。

は、それぞれ整列された凹部表面ｌココ、　／Ｊｕｌお
よび／Ｊ４．／Ｊｆ　　を有するコ対の溝を備えている
。１つのウェブ部分ｉａｏおよび／、７Ｊが形成されて
おって、７つのウェブは表面／ココと／Ｊ参との間に位
置し、他のウェブ部分は表ＷＪｌコ４とｌコｌとの間に
位置する。

凹部表＠／ＪＪおよび／Ｊｔは実質的にたわみ部／Ｊの
中性平面上に位置するが、他方凹部表面ｌコ４Ｉシよび
ｌＪ６は該中性平面から若干偏位している。その結果と
して、凹部表面／ＪＪ。

ｌａ亭、ｌコ４　および１２ｇに導電性材料を付着すれ
ば、参つの溝のうちの一つの＃ｌＫのみδカが生ずる。

すなわち凹部表面ｌコダおよび１８内の導電性材料に帰
因するＬカだけが生ずる。

別法として、導電性材料を中性軸表面／コλおよび／２
にだけに付着することができる。これら表面の位置は％
ａつの溝である場合の式（１）に類似の式によって求め
ることかで自る。いずれにせよ、ウェブ部分／ＪＯおよ
び／Ｊ−の両貴に設けられている比較的厚肉のリブ／４
１゜、　／ＩＪおよび／参事によって、たわみ構造に対
し適切なばね力および強度が与えられる。

既に述べたように、第を図のたわみ構造はバイファイラ
形態（二本支持構造）で使用すること一可能であり、そ
の場合に、構造形態は対称であっても反対称であっても
よい。反対称形態の場合には、第を図に示した型式の２
つの同じたわみ部を、該２つのたわみ部の中性軸表面ｌ
−一およびｌコを上にのみ付着された導電性材料ととも
に使用することがで色る。

別の構造として、第を図のたわみ構造を、その／＠にあ
る凹部表面がたわみ構造の中性曲は平面上に位置するよ
うな形態にすることができる。さらに、この臘のたわみ
部は平行な表面を有する必−がなく、例えば、一定の強
度のたわみを発生するように、力感知要素に向って先細
となるようにすることかで龜る。

淘、たわみ要素上の被橿の６力作用を軽減するための上
述の構造を、必ずしも力感知要素の主たる支持とはなら
ないたわみ構造とともに使用することかで―る。このよ
うな、取付は基部に力感知要素を接続する構造は、パイ
アスカまたはモーメントを最小限度にするために、ある
程度の構造上の一体性もしくは完結性を要求する。さら
に、第１図ないし錆層図に示したたわみ構造では、その
薄肉の部分！６が厚肉のリプｊｆおよび６０と一体片と
して構成されているが、本発明のある種の用途において
は、薄肉の部分３番が、支持リブ３ｔまたは１０に物理
的に結合され電導電性のストリップ参りを担持する必要
がない場合もあり得る。

以上に述べた本発明のいろいろな実施例においては、た
わみ部の中性曲げ軸もしくは平面と整列したいろいろな
溝が、取付は基部ＪＪＫ対して力感知要素Ｊ０を主とし
て支持するたわみ部上に配設されているが、しかしなが
らたわみ部の中性曲は軸に沿い導電性ストリップ参テの
ような導電性材料を付着するという考え方は。

負荷を支持しない九わみ部または湾曲可能な部材にも適
用し得るものである。

また、図面に示した本発明のいろいろな実施例では、溝
は、力感知要素ＳＯから取付は基部ＪＪＫ延びるとして
いるが、導電性ストリップ参クによって誘起される応力
を最小限度にするために最小のたわみ部強度が要求され
る場合には、咳たわみ部の中性曲げ軸の部分の上に導電
柱材料亭りを設けることも、本発明の範囲に包摂される
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のたわみ構造を具備する加速度計を一部
断面で示す展開斜視図、第１図は第１図のたわみ構造の
拡大部分平面図、９３図は第１図Ｏ線Ｊ−３における部
分斜視図、錆層図は異った幅の溝を備えたたわみ部の横
ｖ＃ｉＩｉ図、第３図および第４図は第３図にｌｌ＊の
部分斜視図であって、バイファイラ構造のたわみ部の別
の一つの実施例を示し、そして第７図および第１図は単
一〇たわみ部分からなるたわみ構造のλつの実施例を示
す＃ＩＪ図ＫＩＩＩ偏した部分斜視図である。 １０・・加速度針、／ｌφ・本体部材、ｌ−４・・保証
質量組立体、１ｇφ・リプ、／り・拳円箇状ＯＩ！ｓ　
／　ｖ・ｅ基低部、Ｊ０φ・円筒状の内壁、コ一・・凹
部、Ｊｏ・・パドル、ＪＪ・・りング、　４１Ｊ、参Ｊ
・・トルク・＝イル。 Ｊ４＠・環状ギャップ％ｊ亭φ・取付はパッド、／Ｊ・
・たわみ構造部％１１．りＪ　ａ　拳溝、参り・・導電
性ストリップ、！ｇ、４０・・リプ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ　取付は基部と、電気的素子を有する力感知部材とを
   有する変換器における、前記力感知部材を取付は基部ｖ
   ｃｍ定するためのたわみ構造において、前記力感知部材
   および前記取付は基部間に延在する一対の縁表面および
   一対０Ｉｉｉを有する少なくとも１つのたわみ部分と、
   前記面のうちの１つから前記たわみ部分内に延びる凹部
   表面を有する少なくと−１つの溝とを備え、前記凹部表
   面の少なくとも１つは。 前記縁表面の１つに隣接し、そして前記凹部表面は前記
   たわみ部分の中性−け軸と実質的に整列されてお！１．
   −ａらに、前記力感知部材と前記取付は基部との間に延
   在する前記凹部表面上に設けられた導電性の材料を備え
   ている変換器で用いられるたわみ構造。 １　取付は基部と、電気的素子を有する力感知部材を備
   えた変換器＃Ｃおける。前記力感知部材を前記取付は基
   部に固定するためのたわみ構造において、前記力感知部
   材と前記取付は基部との間に延在する一対の縁表面およ
   び一対の面を有する少なくとも１つのたわみ部分と、前
   記面の１つから前記たわみ部分に延びる凹部表面を有す
   る少なくとも７つの溝とを備え、前記凹部表面の少なく
   と４７つは前記縁表面の１つに隣接してＴｈ９、前記凹
   部表−は実質的に前記面から勢距離で離間されており、
   そしてさらに、前記力感知部材と前記履用いられるたわ
   み構造。 Ｊ　　＠／の復帰プイルを担持するパドルおよび取付は
   基部を有する加速度針における、前記パドルを取付は基
   部に固定するためのたわみ構造において、前記パドルと
   前記取付は基部との間に延在し、介在する開口によって
   分離された第１および第一のたわみ部分であって、第１
   および第一の縁で終末する上面および下面を有する前記
   たわみ部分と、前記たわみ部分の各々に設けられて前記
   面のｌっから前記第１のたわみ部分に延びる第１の凹部
   表面を有する第１の牌とを備え、前記＃Ｉｌの凹部表面
   は前記介在開口に位置する縁表面に隣接しており、さら
   に、前記面のうちの他の面から前記第１のたわみ部分に
   延在する第一の凹部表面を有する第一の溝を有し、前記
   第７および第一の四部表面は実質的に同平面であって且
   つ前記たわみ部分の中性−は平面と一致し。 さらに前記取付は基部とパドルとの間に延在する凹部表
   面上に設けられ友導１性の複機を有している変換器で用
   いられるたわみ構造。