JPH02278119A

JPH02278119A - 電磁誘導式変位センサ

Info

Publication number: JPH02278119A
Application number: JP9981989A
Authority: JP
Inventors: Naohisa Inoue; 直久井上; Takashi Niwa; 孝志丹羽; Keisuke Konishi; 圭介小西; Tomiyoshi Yoshida; 吉田　富省
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1989-04-19
Filing date: 1989-04-19
Publication date: 1990-11-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（発明の分野）この発明は、電磁誘導方式により変位を検出する電磁誘
導式変位センサに関する。

（発明の概要）この発明は、電磁誘導式変位センサが内蔵する一対のス
ケールコイルとスライダコイルをフレキシブル基板で形
成し、小型化、性能の向上を実現したものである。

（従来技術とその問題点）被測定対象物体の変位を高精度で検出、測定することの
できる電磁誘導式変位センサは、互いに対向して配置さ
れたスケールコイルとスライダコイルを備え、スライダ
コイルが検出する変位量に応じてスケールコイル上を移
動する構造をしている。

第５．６図に示すように、このスケールコイル５１およ
びスライダコイル５２は、銅箔からなるパターン５７．
５８を形成した基板５５．５６がアルミ等の金属板５３
．５４上に積層され、スケールコイル５１のパターン５
７に正弦波電流を通電して、スライダコイル５２のパタ
ーン５８に発生する誘導電圧の位相から変位量を検出し
ている。

通常、センサの精度を向上しようとすると、上記パター
ン５７．５８の有効長を大きく、つまりコイル５１．５
２の面積を大きくすればよいが、そのため、センサ自体
が大型になり外観形状が制限されてしまう問題がある。

また、パターン５７．５８には、本来の変位検出に有効
な検出方向と直交する方向の線分！と、この線分！間を
接続する線分Ｗがある。線分Ｗは変位検出のための電磁
誘導について無効であるばかりか、有害成分を発生して
検出精度に悪影響を与える障害にもなっている。

（発明の目的）この発明は上記の問題を解消するためになされたもので
、その目的とするところは、外観形状に自由性を増し、
小型化可能にした高精度の電磁誘導式変位センサを提供
することにある。

（発明の構成と効果）この発明は、に記目的を達成するために、互いに対向し
て配置されるとともに、検出する変位量に応じて相対移
動するスケールコイルとスライダコイルを備えた電磁誘
導式変位センサにおいて、」−記スケールコイルおよび
スライダコイルをフレキシブル基板により形成したこと
を特徴とする。

この発明はこのように、任意形状に変形可能なフレキシ
ブル基板でスケールコイルとスライダコイルを形成した
ことにより、外観形状が自由で小型化可能になると同時
に、パターン両脇に形成される有害な線分を互いに遠ざ
けて検出精度を正確にすることができる。

（実施例の説明）次にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、第１実施例の電磁誘導式変位センサを示す断
面図である。

図に示すように、センサ本体に形成された筒形のスケー
ルコイル取付は部１３に、パターン１７を形成したフレ
キシブル基板１５が接着固定されてスケール１０が構成
される。

さらに、取付は部１３と同軸」二に円柱状のスライダコ
イル取付は部１４が、紙面垂直方向に進退自在に装着さ
れ、その外表面にパターン１８を形成したフレキシブル
基板１６が接着固定されてスライダ１つか構成される。

ここでフレキシブル基板１５と１６は所定のギャップで
対向し、通常の電磁誘導式変位センサと同様にスライダ
コイル取付は部１４が検出する変位量に応じて移動する
と、その移動量を表す信号が出力される。

なお、フレキシブル基板１５．１６としては、写真製版
等で作成されるポリイミド系のフレキシブル基板を用い
ることができ、接着固定は接着剤または両面テープによ
り行われる。

この実施例は、スケール１０およびスライダ１９をほぼ
円筒、円柱状に配置したため、通常の平板状に配置した
場合に比べ、幅寸法が３分の１に小さくなり、その分セ
ンサ本体の外形を小さくすることができる。

第２図は第２実施例の電磁誘導式変位センサを示す断面
図である。

図に示すように、センサ本体に形成され、半円形状をし
た筒形のスケールコイル取付は部２３に、パターン２７
を形成したフレキシブル基板２５が接着固定されてスケ
ール２０が構成される。

さらに、取付は部２３と同軸上に半円柱状のスライダコ
イル取付は部２４が、紙面垂直方向に進退自在に装着さ
れ、その外表面にパターン２８を形成したフレキシブル
基板２６が接着固定されてスライダ２９が構成される。

ここでフレキシブル基板２５と２６は所定のギャップで
対向し、通常の電磁誘導式変位センサと同様にスライダ
コイル取付は部２４が検出する変位量に応じて移動する
と、その移動量をあられす信号が出力される。

この実施例は、スケール２０およびスライダ２９をほぼ
半円筒、半円柱状に配置したため、通常の平板状に配置
した場合に比べ、幅寸法が小さくなると同時に第１実施
例よりもセンサ本体の外形を薄型にすることができる。

第３図は、第３実施例の電磁誘導式変位センサを示す断
面図であり、第４図は同じく第３実施例のコイル要部を
示す斜視図である。

両図に示すように、センサ本体側に設けられた断面矩形
状のスケールコイル取付は部３３の表面および両側面に
、パターン３７を形成したフレキシブル基板３５が接着
固定されてスケール３０が構成される。

さらに、フレキシブル基板３５に対向して取付は部３３
と平行に断面矩形状のスライダコイル取付は部３４が、
第３図の紙面垂直方向に進退自在に装着され、その表面
および両側面にパターン３８を形成したフレキシブル基
板３６が接着固定されてスライダ３つが構成される。こ
こでフレキブル基板３５．３６は所定のギャップで対向
し、通常の電磁誘導式変位センサと同様にスライダコイ
ル取付は部３４が変位量に応じて移動し、その移動量を
表す信号が出力される。

この実施例は、スケール３０およびスライダ３９それぞ
れの両側端が折り曲げられたことで、変位量の検出上有
害な線分Ｗが互いに遠ざけられ、従来に比べて検出信号
のＳＮ比が改善され検出精度が大幅に向上する。

なお、第２実施例において、スライダコイル取付は部２
４に接着固定されるフレキシブル基板２６の両側を折り
曲げると、第３実施例と同様に検出信号のＳＮ比を改善
することができる。

以上のように、折り曲げ自在のフレキシブル基板を用い
て電磁誘導式変位センサのスケールコイルおよびスライ
ダコイルを構成したことによりスケールおよびスライダ
の形状が自由に形成可能となり、従来は偏平形状であっ
たセンサの外観形状を任意の形状にすることができる。

また、コイル両側の縦方向に形成される有害な線分を互
いに遠ざけて配置することでスライダコイルから出力さ
れる検出信号のＳＮ比が改善されてより高精度な変位検
出ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る電磁誘導式変位センサの第１実
施例を示す断面図、第２図は同じく第２実施例の電磁誘
導式変位センサを示す断面図、第３図は同じく第３実施
例の電磁誘導式変位センサを示す断面図、第４図は第３
実施例のコイルの要部を示す斜視図、第５図は従来例を
示す断面図、第６図は従来例を示す斜視図である。１０、２０．３０・・・スケール１３．２３．３３・・・スケールコイル取付は部１４．
２４．３４・・・スライダコイル取付は部１５．２５．
３５・・・フレキシブル基板１６．２６．３６・・・フ
レキシブル基板１７、２７．　３７・・・パターン１８、２８．３８・・・パターン１９．２９．３９・・・スライダ

Claims

【特許請求の範囲】

１、互いに対向して配置されるとともに、検出する変位
量に応じて相対移動するスケールコイルとスライダコイ
ルを備えた電磁誘導式変位センサにおいて、上記スケー
ルコイルおよびスライダコイルをフレキシブル基板によ
り形成したことを特徴とする電磁誘導式変位センサ。