JP2004325207A - 測長装置 - Google Patents
測長装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004325207A JP2004325207A JP2003119315A JP2003119315A JP2004325207A JP 2004325207 A JP2004325207 A JP 2004325207A JP 2003119315 A JP2003119315 A JP 2003119315A JP 2003119315 A JP2003119315 A JP 2003119315A JP 2004325207 A JP2004325207 A JP 2004325207A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear expansion
- scale
- fixing
- determining material
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】所望の線膨張係数を有する金属テープ14に、強力接着剤16でメインスケール12を強固に固着すると共に、前記金属テープ14を、両面接着テープ18により、伸縮を許した状態で枠10に弾性的に固定する。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、枠に保持されたスケールを有する測長装置や、測定対象にスケールを直接取付けるタイプの測長装置に係り、特に、リニアスケール、ノギス、測長ユニット等の直線変位測定器や、顕微鏡、画像測定機に用いるのに好適な、周囲温度や湿度の変化に対して安定性が低いプリント配線基板のような素材をスケール素材として使用するときに、これを安定化して、所望の線膨張係数を実現することが可能なスケール構造を有する測長装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
多数のコイルが印刷されたプリント配線基板をスケールとして使用する電磁誘導型ノギスのように、プリント配線基板をスケールとして使用する測長装置の場合、プリント配線基板自体が周囲温度や湿度の変化に対して不安定なため、ステンレス等の安定性の高い金属に強固に貼り付ける構造を採用している。
【0003】
又、特許文献1には、ガラス製のメインスケールと枠の熱膨張の違いを吸収するべく、メインスケールを弾性材料を介して枠に取り付けることが記載されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平5−269650号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の構造では、ステンレス等のような形状安定性の高い金属は、加工が難しく、長い測定長を得ようとすると高価になる。又、スケールを外部の異物から保護できるような複雑な形状の枠を得ようとすると、金属そのものの加工ができない。このような複雑形状を得るには、リニアスケール等の枠に使用されるアルミニウム押出材を使用することが考えられるが、そのままプリント配線基板を強固に貼り付けると、熱膨張がアルミニウムの線膨張係数(23×10−6)に支配され、測定対象である工作機械等の線膨張係数に近い鉄の線膨張係数(約11×10−6)を得ることができない等の問題点を有していた。
【0006】
又、後者の特許文献1に記載された技術では、プリント配線基板をスケールとして使用する場合のように、スケール自体の安定性を高めることはできなかった。
【0007】
更に、測定対象に直接スケールを貼り付けた場合であっても、測定対象の熱膨張の影響を受けず、温湿度の変化に対して安定したスケールや、その取付け方法もなかった。
【0008】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、温度や湿度の変化に対して不安定なスケール素材を安定化して、所望の線膨張係数を実現することを課題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、枠に保持されたスケールを有する測長装置において、所望の線膨張係数を有する線膨張決定材と、該線膨張決定材に前記スケールを強固に固着する固着手段と、前記線膨張決定材を、伸縮を許した状態で前記枠に固定する弾性固定手段とを備えることにより、前記課題を解決したものである。
【0010】
又、測定対象にスケールを直接取付けるタイプの測長装置において、所望の線膨張係数を有する線膨張決定材と、該線膨張決定材に前記スケールを強固に固着する固着手段と、前記線膨張決定材を、伸縮を許した状態で前記測定対象に直接固定する弾性固定手段とを備えることにより、同じく前記課題を解決したものである。
【0011】
又、前記線膨張決定材を、測定対象と同じ線膨張係数を有する金属テープとして、安価に構成できるようにしたものである。
【0012】
又、前記線膨張決定材を、測定対象と同じ線膨張係数を有するガラス板又はセラミックス板としたものである。
【0013】
又、前記固着手段を、接着層の薄いエポキシ系又はセメント系接着剤とし、前記弾性固定手段を、接着層の厚い両面接着テープ又はシリコン系接着剤としたものである。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0015】
本発明の第1実施形態は、図1(スケール全体の断面図)、図2(要部断面図)及び図3(図2のIII部拡大断面図)に示す如く、測定対象の一方に取付けられる枠10に保持された、例えばガラス布基材エポキシ樹脂の銅張積層板(いわゆるガラスエポキシ基板)等のプリント配線基板製のメインスケール12を有するリニアスケールにおいて、所望の線膨張係数(例えば鉄の線膨張係数)を有する金属テープ14と、該金属テープ14にメインスケール12を、薄い接着層で強固に固着する、エポキシ系又はセメント系接着剤のような強力な接着力の強力接着剤16と、前記金属テープ14を、伸縮を許した状態で前記枠10に固定する、接着層が厚く、弾性特性に富んだ両面接着テープ18とを備えたものである。
【0016】
図において、20は、例えばスライドシュー22によりメインスケール12の表面に対して所定の間隔を維持した状態で、メインスケール12の長手方向(紙面と垂直な測長方向)に移動する、例えばインデックススケールや光源、受光素子を含む検出器が搭載されたスライダ、24は、測定対象の他方に取付けられ、その動きを前記スライダ20に伝える検出帯ヘッドである。
【0017】
このようにして、不安定なメインスケール12は、接着層が薄く、接着力が強固な強力接着剤16により安定性の高い金属テープ14に拘束され、温度や湿度に対して安定な挙動を示すようになる。
【0018】
又、枠10と金属テープ14の間は、接着層が比較的厚く、弾性特性に富んだ両面接着テープ18を用いているので、熱変位に対する逃げ構造となる。従って、枠10が、アルミニウム押出材等、金属テープ14と線膨張係数の異なる材料であっても、メインスケール12、即ち、測長装置の温度に対する変位特性は、金属テープ14に支配されることになる。従って、金属テープ14を選定して、測長対象と同じ材質とすることにより、メインスケール12に、測長対象と同じ線膨張係数を持たせることができる。
【0019】
ここで、線膨張決定材(ここでは金属テープ14)の剛性は、スケール(ここではメインスケール12)の剛性よりも少なくとも10倍以上高いことが、要求される測定精度を満足するために望ましい。
【0020】
本実施形態においては、単純な形状の金属テープ14を用いているので、安価に構成できる。
【0021】
次に、測定対象にスケールを直接取付けるタイプの測長装置に適用した本発明の第2実施形態を詳細に説明する。
【0022】
本実施形態は、図4(要部の斜視図)及び図5(同じく横断面図)に示す如く、不安定なスケール基板30を、第1実施形態と同様の強力接着材16により金属テープ14に強固に固着し、該金属テープ14を両面接着テープ18により、例えばガラスやセラミックス製のステージ32に弾性的に固定したものである。
図において、34はステージベース、40は検出ヘッドである。
【0023】
このように、顕微鏡や画像測定機では、ガラスのXYステージが良く利用されており、又、セラミックス製のステージもあるので、スケールの線膨張係数を、これらと同じにしたい場合には、金属テープ14の代わりに、ステージ材質に合せてガラス板やセラミックス板を用いることも可能である。
【0024】
又、メインスケール12と金属テープ14を強固に固着する手段は、強力接着剤16に限定されず、ボルトによる固定も可能である。
【0025】
又、前記金属テープ14を伸縮を許した状態で枠10やステージ32に固定する弾性固定手段も、両面接着テープ18に限定されず、例えばシリコン系接着剤を用いることも可能である。
【0026】
又、メインスケール12やスケール基板30の材質も、ガラスエポキシ基板に限定されず、薄くて柔軟性があり、温度や湿度の影響が大きなポリイミド積層板製のフレキシブルプリント配線基板(FPC)や、ビデオテープ等に使われる、極めて安価で、ごく一般的な樹脂テープ、ビルドアップ基板に使われる、高価なBTレジン、安価な紙基材フェノール等を用いることもできる。
【0027】
電磁誘導型の測長装置のスケールは、ビルドアップ工法で多数のコイルを配列して構成可能であり、温湿度の変化に対する安定性はガラスエポキシ基板よりも優れているが、それでも要求される測定精度にはまだ不十分であるので、本発明により線膨張係数決定材を張り合わせることで、初めて要求精度を満足するスケールを構成可能である。
【0028】
又、ビデオテープ等に使われる、極めて安価で、ごく一般的な樹脂テープに印刷することにより、スケールパターン(コイル形状又はプレート形状)を備えてスケールを構成することも可能である。この場合、スケールは極めて安価に製造可能であるが、やはり要求される精度を満足させるには、線膨張決定材を張り合わせる必要がある。
【0029】
【発明の効果】
本発明によれば、スケールの安定性を向上し、且つ、所望の線膨張係数を持たせることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の全体の横断面図
【図2】同じく要部の横断面図
【図3】図2のIII部拡大断面図
【図4】本発明の第2実施形態の要部の斜視図
【図5】同じく横断面図
【符号の説明】
10…枠
12…メインスケール
14…金属テープ
16…強力接着剤
18…両面接着テープ
30…スケール基板
32…ステージ
34…ステージベース
40…検出ヘッド
Claims (6)
- 枠に保持されたスケールを有する測長装置において、
所望の線膨張係数を有する線膨張決定材と、
該線膨張決定材に前記スケールを強固に固着する固着手段と、
前記線膨張決定材を、伸縮を許した状態で前記枠に固定する弾性固定手段と、を備えたことを特徴とする測長装置。 - 測定対象にスケールを直接取付けるタイプの測長装置において、
所望の線膨張係数を有する線膨張決定材と、
該線膨張決定材に前記スケールを強固に固着する固着手段と、
前記線膨張決定材を、伸縮を許した状態で前記測定対象に直接固定する弾性固定手段と、を備えたことを特徴とする測長装置。 - 前記線膨張決定材が、測定対象と同じ線膨張係数を有する金属テープであることを特徴とする請求項1又は2に記載の測長装置。
- 前記線膨張決定材が、測定対象と同じ線膨張係数を有するガラス板であることを特徴とする請求項1又は2に記載の測長装置。
- 前記線膨張決定材が、測定対象と同じ線膨張係数を有するセラミックス板であることを特徴とする請求項1又は2に記載の測長装置。
- 前記固着手段が、接着層の薄いエボキシ系又はセメント系接着剤とされ、前記弾性固定手段が、接着層の厚い両面接着テープ又はシリコン系接着剤とされていることを特徴とする請求項1又は2に記載の測長装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003119315A JP4230810B2 (ja) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | 測長装置 |
US10/830,538 US7007397B2 (en) | 2003-04-24 | 2004-04-23 | Length measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003119315A JP4230810B2 (ja) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | 測長装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004325207A true JP2004325207A (ja) | 2004-11-18 |
JP4230810B2 JP4230810B2 (ja) | 2009-02-25 |
Family
ID=33296427
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003119315A Expired - Fee Related JP4230810B2 (ja) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | 測長装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7007397B2 (ja) |
JP (1) | JP4230810B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007187648A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-07-26 | Jtekt Corp | 着磁パルサリング |
JP2011085517A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Seiko Precision Inc | 磁気センサ装置 |
JP2013007718A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Mitsutoyo Corp | ガラススケール保持構造、及びガラススケールの保持方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20080056003A (ko) * | 2005-11-09 | 2008-06-19 | 지에스아이 그룹 코포레이션 | 접착식 마커, 스케일 어셈블리, 광학 위치 인코더 및스케일 어셈블리 구성 방법 |
US7191541B1 (en) * | 2005-12-06 | 2007-03-20 | Hexagon Metrology Ab | Temperature compensation system for a coordinate measuring machine |
DE102007044128A1 (de) * | 2007-09-15 | 2009-03-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Längenmesseinrichtung |
JP2009180525A (ja) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Mitsutoyo Corp | 測定装置 |
US8739424B2 (en) * | 2011-06-24 | 2014-06-03 | Mitutoyo Corporation | Structure for protecting scale graduations |
DE102011078956A1 (de) | 2011-07-11 | 2013-01-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Teilungsträger für eine Positionsmesseinrichtung und Verfahren zur Herstellung des Teilungsträgers |
JP2014224705A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | キヤノン株式会社 | スケール保持装置、およびエンコーダ |
DE102014218483B4 (de) * | 2014-09-15 | 2016-10-13 | Deckel Maho Pfronten Gmbh | Positionsmesseinrichtung zum Einsatz an einer Werkzeugmaschine |
CN108759746A (zh) * | 2018-07-03 | 2018-11-06 | 无锡吉兴汽车声学部件科技有限公司 | 一种汽车声学部件顶衬产品检具的切换机构 |
GB202211615D0 (en) | 2022-08-09 | 2022-09-21 | Renishaw Plc | Scale |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5726004U (ja) * | 1980-07-21 | 1982-02-10 | ||
DE3637628C1 (de) * | 1986-11-05 | 1988-02-11 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Herstellung einer Massverkoerperung |
DE58900833D1 (de) * | 1988-06-29 | 1992-03-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung. |
DE3918490C1 (ja) * | 1989-06-07 | 1990-09-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De | |
DE3929629A1 (de) * | 1989-09-06 | 1991-03-07 | Zeiss Carl Fa | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
JP3077123B2 (ja) | 1992-03-23 | 2000-08-14 | オークマ株式会社 | 位置検出器 |
DE19526518C1 (de) * | 1995-07-20 | 1996-12-12 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur formschlüssigen Aufnahme eines Maßstabs |
DE19648539C2 (de) * | 1996-11-25 | 2000-04-13 | Mannesmann Vdo Ag | Passiver magnetischer Positionssensor |
DE19912310B4 (de) * | 1999-03-19 | 2007-11-29 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmeßeinrichtung |
DE19914311A1 (de) * | 1999-03-29 | 2000-10-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren und Vorrichtung zum Anbringen eines Maßstabes |
DE19922363A1 (de) * | 1999-05-14 | 2000-11-23 | Rexroth Star Gmbh | Einrichtung zur Ermittlung der Relativposition zweier relativ zueinander beweglicher Körper und Verfahren zur Herstellung einer solchen Einrichtung |
JP2002318137A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Mitsutoyo Corp | 変位測定装置のスケール |
JP4024600B2 (ja) * | 2002-06-25 | 2007-12-19 | 株式会社ミツトヨ | 枠多点固定タイプのユニット型直線変位測定装置、及び、その固定方法 |
DE10229888B4 (de) * | 2002-07-03 | 2010-09-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Anbringen eines Maßstabs oder Maßstabträgers oder einer Maßstabführung sowie Maßstab, Maßstabträger oder Maßstabführung oder Schutzband dafür |
DE10229885B4 (de) * | 2002-07-03 | 2010-06-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Anbringen eines Maßstabs oder Maßstabträgers oder einer Maßstabführung |
-
2003
- 2003-04-24 JP JP2003119315A patent/JP4230810B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-04-23 US US10/830,538 patent/US7007397B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007187648A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-07-26 | Jtekt Corp | 着磁パルサリング |
JP2011085517A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Seiko Precision Inc | 磁気センサ装置 |
JP2013007718A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Mitsutoyo Corp | ガラススケール保持構造、及びガラススケールの保持方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040211078A1 (en) | 2004-10-28 |
US7007397B2 (en) | 2006-03-07 |
JP4230810B2 (ja) | 2009-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004325207A (ja) | 測長装置 | |
US5828142A (en) | Platen for use with lithographic stages and method of making same | |
JPS607726A (ja) | 電磁アラインメント装置 | |
US7934324B2 (en) | Linear scale | |
US5081756A (en) | Methods for assembling and adjusting a magnetic encoder device | |
JP2929572B2 (ja) | 位置測定装置 | |
KR101570003B1 (ko) | 전자 부품 제조용 절단 장치 및 절단 방법 | |
JPH08178694A (ja) | 変位センサ用のスケール | |
US3522568A (en) | Tape scale for position measuring transformer | |
CN100440565C (zh) | 磁阻元件 | |
CN107014407A (zh) | 线性编码器 | |
JP5728308B2 (ja) | ガラススケール保持構造、及びガラススケールの保持方法 | |
JP3128628U (ja) | リニアエンコーダ用スケール | |
JP2979666B2 (ja) | スケール装置 | |
JP2502912Y2 (ja) | 位置検出機構 | |
JP4202800B2 (ja) | 誘導型トランスデューサ用スケール | |
JP3856019B2 (ja) | カメラのレンズ鏡筒用センサアセンブリ及びカメラのレンズ鏡筒 | |
JP2011094987A (ja) | 回路モジュールおよび回路モジュールの製造方法 | |
JP2002202152A (ja) | 磁気式エンコーダー | |
JP2007066927A (ja) | フレキシブルプリント回路板 | |
CN110081915B (zh) | 磁式线性编码器 | |
JP2003329484A (ja) | エンコーダのスケール | |
JP2001159504A (ja) | 基板平面度測定器 | |
JP2005300316A (ja) | 変位測定装置 | |
JP2006084410A (ja) | 磁気センサ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060322 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4230810 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141212 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |