JP3097094B2 - 非接触式変位検出装置 - Google Patents
非接触式変位検出装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、軸振動測定器や磁気軸受などの振動制御等
に用いる非接触式の変位検出装置に関するものである。
に用いる非接触式の変位検出装置に関するものである。
（従来の技術） 従来の非接触式変位検出装置は、例えば、渦電流を利
用して被検出体の変位検出を行っているが、変位検出器
及び被検出体の温度変化による出力変動があった。この
変動を相殺するために被検出体の２つの面に夫々対向し
て２個の変位検出器を配置させ、該２個の検出器から取
り出された２つの検出信号を演算回路で１つの検出信号
に変換するようにしていた。
用して被検出体の変位検出を行っているが、変位検出器
及び被検出体の温度変化による出力変動があった。この
変動を相殺するために被検出体の２つの面に夫々対向し
て２個の変位検出器を配置させ、該２個の検出器から取
り出された２つの検出信号を演算回路で１つの検出信号
に変換するようにしていた。
（発明が解決しようとする課題） 従来の非接触式変位検出装置は前記のような構造であ
るため、該２個の変位検出器から取り出された２つの検
出信号を演算回路で１つの検出信号に変換する必要があ
り、このため、回路構成が複雑であり且つ各検出器と演
算回路間を結線するための配線数も多く、コストが高い
という問題点があった。
るため、該２個の変位検出器から取り出された２つの検
出信号を演算回路で１つの検出信号に変換する必要があ
り、このため、回路構成が複雑であり且つ各検出器と演
算回路間を結線するための配線数も多く、コストが高い
という問題点があった。
又、真空、活性ガス雰囲気中等の特殊環境中で変位検
出装置を使用する場合には軸受のグリス等からのガスの
発生や腐食を防ぐために被検出体または検出器をステン
レス箔のような導体で囲む対策が講じられる。この場
合、従来の渦電流を利用した非接触式変位検出装置で
は、被検出体の変位を検出することは不可能であった。
出装置を使用する場合には軸受のグリス等からのガスの
発生や腐食を防ぐために被検出体または検出器をステン
レス箔のような導体で囲む対策が講じられる。この場
合、従来の渦電流を利用した非接触式変位検出装置で
は、被検出体の変位を検出することは不可能であった。
そこで、本発明は上述した課題を解決するために、２
つの検出器を使用し温度による変動を相殺する構造にす
ると共に、検出信号を単一検出信号出力にし、且つ被検
出体または検出器を導体箔で囲んだ場合にも被検出体の
変位を検出できるようにすることを目的とする。
つの検出器を使用し温度による変動を相殺する構造にす
ると共に、検出信号を単一検出信号出力にし、且つ被検
出体または検出器を導体箔で囲んだ場合にも被検出体の
変位を検出できるようにすることを目的とする。
（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため、本発明の請求項１記載の非
接触式変位検出装置は、被検出体の変位を検出する非接
触式変位検出装置において、各々巻線を有する２個の検
出器の一方を磁性体からなる被検出体の一の面に対向配
置し、他方を前記被検出体の中心に関し前記一の面と反
対側の他の面に対向配置し、前記２個の検出器の巻線同
士を直列に接続し、各巻線の両端にグランドに対して逆
位相の励磁用交流電圧を印加して、前記２個の検出器の
巻線の接続点よりグランドに対する出力を取り出し、検
出信号とすることを特徴とする。
接触式変位検出装置は、被検出体の変位を検出する非接
触式変位検出装置において、各々巻線を有する２個の検
出器の一方を磁性体からなる被検出体の一の面に対向配
置し、他方を前記被検出体の中心に関し前記一の面と反
対側の他の面に対向配置し、前記２個の検出器の巻線同
士を直列に接続し、各巻線の両端にグランドに対して逆
位相の励磁用交流電圧を印加して、前記２個の検出器の
巻線の接続点よりグランドに対する出力を取り出し、検
出信号とすることを特徴とする。
また、上記目的を達成するため、本発明の請求項２記
載の非接触式変位検出装置は、請求項１記載の非接触式
変位検出装置において、各々の被検出体と検出器との間
に非磁性導体を挟んだことを特徴とする。
載の非接触式変位検出装置は、請求項１記載の非接触式
変位検出装置において、各々の被検出体と検出器との間
に非磁性導体を挟んだことを特徴とする。
更に、上記目的を達成するため、本発明の請求項３記
載の非接触式変位検出装置は、請求項１または２記載の
非接触式変位検出装置において、励磁用交流電圧を共通
とした多軸構成としたことを特徴とする。
載の非接触式変位検出装置は、請求項１または２記載の
非接触式変位検出装置において、励磁用交流電圧を共通
とした多軸構成としたことを特徴とする。
（作用） 磁性体からなる被検出体のその中心に関し互いに反対
側の２つの面に対向配置された２個の検出器の直列に接
続された巻線の各々の両端に逆位相の励磁用交流電圧を
印加する。２つの巻線のインダクタンスによる各巻線に
おける電圧降下の差分が両巻線の接続点から単一の検出
信号として取り出される。
側の２つの面に対向配置された２個の検出器の直列に接
続された巻線の各々の両端に逆位相の励磁用交流電圧を
印加する。２つの巻線のインダクタンスによる各巻線に
おける電圧降下の差分が両巻線の接続点から単一の検出
信号として取り出される。
（実施例） 先ず、本発明の非接触式変位検出装置の基本構成を第
４図乃至第６図を参照して説明する。
４図乃至第６図を参照して説明する。
第４図に示すように、本発明の変位検出装置は、基本
的には、夫々第１、第２の検出器を成し直列に接続され
た２個の巻線M1,M2と、該巻線M1,M2に夫々励磁用交流電
圧V1,V2を互いに逆位相で印加するように該巻線M1,M2に
接続された発振器AC1,AC2とにより構成され、前記第
１、第２の検出器は磁性体から成る図示しない被検出体
の２つの面に、夫々対向して配置される。
的には、夫々第１、第２の検出器を成し直列に接続され
た２個の巻線M1,M2と、該巻線M1,M2に夫々励磁用交流電
圧V1,V2を互いに逆位相で印加するように該巻線M1,M2に
接続された発振器AC1,AC2とにより構成され、前記第
１、第２の検出器は磁性体から成る図示しない被検出体
の２つの面に、夫々対向して配置される。
上記巻線M1,M2は磁極面積及び透磁率が相等しいよう
に設計される。
に設計される。
第１、第２検出器の巻線M1,M2の両端に印加される電
圧をＶとすると Ｖ＝V1−V2＝２・V1 で表わされる。
圧をＶとすると Ｖ＝V1−V2＝２・V1 で表わされる。
交流電圧の角周波数をωとすると、巻線M1,M2のイン
ピーダンスZ1,Z2は、Z1＝ωL1、Z2＝ωL2となる。ここ
で、L1,L2は巻線M1,M2のインダクタンスである。従っ
て、巻線M1,M2における電圧降下をVL1,VL2とすれば、 となり、巻線M1,M2の接続点の出力（以下「センサ出
力」という）V0は、 で表される。
ピーダンスZ1,Z2は、Z1＝ωL1、Z2＝ωL2となる。ここ
で、L1,L2は巻線M1,M2のインダクタンスである。従っ
て、巻線M1,M2における電圧降下をVL1,VL2とすれば、 となり、巻線M1,M2の接続点の出力（以下「センサ出
力」という）V0は、 で表される。
次に、検出器の巻線の磁極と被検出体１との位置関係
がセンサ出力V0に与える影響について述べる。
がセンサ出力V0に与える影響について述べる。
第５図において各巻線M1,M2の磁極と被検出体１との
距離をg1,g2とする。被検出体１が磁極間の中心に位置
する場合（第５図に示す位置）、即ちg1＝g2＝h0の時、
磁極の面積をＳ、透磁率をμ０とすれば、 と表わされるので、L1＝L2となり、 この時のセンサ出力V0は、 となる。
距離をg1,g2とする。被検出体１が磁極間の中心に位置
する場合（第５図に示す位置）、即ちg1＝g2＝h0の時、
磁極の面積をＳ、透磁率をμ０とすれば、 と表わされるので、L1＝L2となり、 この時のセンサ出力V0は、 となる。
次に、被検出体１が第５図の位置からM2側にｘだけ移
動した場合、即ちg1＞g2の時は、 と表わされ、 この時のセンサ出力V0は、 となる。
動した場合、即ちg1＞g2の時は、 と表わされ、 この時のセンサ出力V0は、 となる。
一方、被検出体１が第５図の位置からM1側にｘだけ移
動した場合、即ち、g1＜g2の時は、 と表わされ、 この時のセンサ出力V0は、 となる。
動した場合、即ち、g1＜g2の時は、 と表わされ、 この時のセンサ出力V0は、 となる。
このように、センサ出力V0は、磁極を２個組み合わせ
ることにより、巻線M1,M2の両端に印加される電圧Ｖが
一定であるので被検出体の移動量ｘと比例した値を執る
ことがわかる。
ることにより、巻線M1,M2の両端に印加される電圧Ｖが
一定であるので被検出体の移動量ｘと比例した値を執る
ことがわかる。
又、磁極と被検出体１間にステンレス箔のような非磁
性体の導体が介在した場合にも、上述の如く、センサ出
力V0は、L1,L2の変化には関係しないため、センサ出力V
0は被検出体１の移動量ｘに比例した値を執ることにな
る。
性体の導体が介在した場合にも、上述の如く、センサ出
力V0は、L1,L2の変化には関係しないため、センサ出力V
0は被検出体１の移動量ｘに比例した値を執ることにな
る。
次に被検出体、検出器が温度変化により変形した場合
の、センサ出力V0に与える影響について述べる。
の、センサ出力V0に与える影響について述べる。
第６図において、例えば、被検出体１の変形量をｙと
した場合について考えると、被検出体が磁極間の中心に
位置する時、即ちg1＝g2＝h0の時の巻線のインダクタン
スL1,L2は、 と表わされる。
した場合について考えると、被検出体が磁極間の中心に
位置する時、即ちg1＝g2＝h0の時の巻線のインダクタン
スL1,L2は、 と表わされる。
従って、L1＝L2となり、センサ出力V0は となる。
このことから、温度変化により被検出体１が変形して
も巻線M1,M2のインダクタンスの変化は相殺されること
になりセンサ出力V0は何等影響されない。
も巻線M1,M2のインダクタンスの変化は相殺されること
になりセンサ出力V0は何等影響されない。
次に、本発明の実施例について詳細に説明する。
第２図は、本発明の一実施例に係る非接触式変位検出
装置の全体構成のブロック図である。同図に示すよう
に、円形断面を有する被検出体１の２つの面1a,1bに夫
々対向して２つの検出器2,3の巻線2a,3aが配置され、該
巻線2a,3aは互いに直列に接続され、それらの両端は発
振器４に接続され、該発振器から夫々互いに逆位相の励
磁用交流電圧（以下「励磁電圧」と云う）V1,V2が印加
される。発振器４は、変換器５の同期整流器６にも接続
され、後者に前記励磁電圧と同一の周波数の同期整流用
基準信号Refを供給する。該同期整流器６のセンサ出力
入力端には前記巻線2a,3aの接続点Ａが接続され、セン
サ出力V0を供給する。同期整流器６の出力側は変換器５
のローパスフィルタ７に接続される。
装置の全体構成のブロック図である。同図に示すよう
に、円形断面を有する被検出体１の２つの面1a,1bに夫
々対向して２つの検出器2,3の巻線2a,3aが配置され、該
巻線2a,3aは互いに直列に接続され、それらの両端は発
振器４に接続され、該発振器から夫々互いに逆位相の励
磁用交流電圧（以下「励磁電圧」と云う）V1,V2が印加
される。発振器４は、変換器５の同期整流器６にも接続
され、後者に前記励磁電圧と同一の周波数の同期整流用
基準信号Refを供給する。該同期整流器６のセンサ出力
入力端には前記巻線2a,3aの接続点Ａが接続され、セン
サ出力V0を供給する。同期整流器６の出力側は変換器５
のローパスフィルタ７に接続される。
上記構成の非接触式変位検出装置の作動を第３図を参
照して説明すると、発振器４は第３図（ａ）に示す励磁
電圧V1,V2を巻線2a,3aに夫々供給する。被検出体１が変
位する（第３図（ｂ））と、その変位量に応じて巻線2,
3のインダクタンスが変化し、従ってそれらのインピー
ダンスが変化する。巻線2a,3aの接続点からセンサ出力V
0が巻線2a,3aの両端に加えられた励磁電圧V1,V2を巻線2
a,3aのインピーダンス比で分圧した出力として取り出さ
れ（第３図（ｃ））、変換器５の同期整流器６に供給さ
れる。同期整流器６は発振器４からの同期整流用基準信
号Refを基準として前記入力されたセンサ出力V0を同期
整流し、同期整流出力VRとして出力する（第３図
（ｄ））。ローパスフィルタ７は入力された同期整流出
力VRのキャリア周波数分をカットし、出力を変位検出装
置出力Vcとして出力する（第３図（ｅ））。
照して説明すると、発振器４は第３図（ａ）に示す励磁
電圧V1,V2を巻線2a,3aに夫々供給する。被検出体１が変
位する（第３図（ｂ））と、その変位量に応じて巻線2,
3のインダクタンスが変化し、従ってそれらのインピー
ダンスが変化する。巻線2a,3aの接続点からセンサ出力V
0が巻線2a,3aの両端に加えられた励磁電圧V1,V2を巻線2
a,3aのインピーダンス比で分圧した出力として取り出さ
れ（第３図（ｃ））、変換器５の同期整流器６に供給さ
れる。同期整流器６は発振器４からの同期整流用基準信
号Refを基準として前記入力されたセンサ出力V0を同期
整流し、同期整流出力VRとして出力する（第３図
（ｄ））。ローパスフィルタ７は入力された同期整流出
力VRのキャリア周波数分をカットし、出力を変位検出装
置出力Vcとして出力する（第３図（ｅ））。
第１図は第２図の被検出体１と検出器2,3の配置を詳
細に示した図である。被検出体としての軸体１の外周上
の直径方向反対側の面1a,1bには検出器2,3のコア2b,3b
が夫々対向して配され、該コアに巻線2a,3aがその軸線
を各対向する面1a,1bに直角にして巻装される。
細に示した図である。被検出体としての軸体１の外周上
の直径方向反対側の面1a,1bには検出器2,3のコア2b,3b
が夫々対向して配され、該コアに巻線2a,3aがその軸線
を各対向する面1a,1bに直角にして巻装される。
発振器４からの励磁電圧V1,V2により巻線2a,3aが励磁
されるとコア2b,3bと軸体１とを通る磁束φ1,φ２が形
成され、軸体１の変位量に応じた電圧のセンサ出力V0が
巻線2a,3aの接続点Ａから出力される。
されるとコア2b,3bと軸体１とを通る磁束φ1,φ２が形
成され、軸体１の変位量に応じた電圧のセンサ出力V0が
巻線2a,3aの接続点Ａから出力される。
第７図は上述した第１図の実施例の変形例を示し、こ
の変形例は、第１図の実施例に対し、巻線2a,3aをそれ
らの軸線が軸体１の対向面1a,1bに対して平行になるよ
うにコア2b,3bに巻装した点が異なる。
の変形例は、第１図の実施例に対し、巻線2a,3aをそれ
らの軸線が軸体１の対向面1a,1bに対して平行になるよ
うにコア2b,3bに巻装した点が異なる。
第８図は本発明の別の実施例による被検出体１と検出
器2,3の配置を示す図である。この実施例は、第１図、
第７図の実施例において被検出体１の外側に検出器2,3
を配置したのに対し、被検出体１の内側に検出器2,3を
配したものである。
器2,3の配置を示す図である。この実施例は、第１図、
第７図の実施例において被検出体１の外側に検出器2,3
を配置したのに対し、被検出体１の内側に検出器2,3を
配したものである。
第８図に示すように、被検出体１は中空円筒体から成
り、コア2b,3bは共通の単一部材により一体に形成さ
れ、被検出体１の内周の直径方向反対側の２つの面1a,1
bに夫々対向して配される。巻線2a,3aはそれらの軸線が
夫々対向する面1a,1bに対し直角になるようにコア2b,3b
に巻装される。
り、コア2b,3bは共通の単一部材により一体に形成さ
れ、被検出体１の内周の直径方向反対側の２つの面1a,1
bに夫々対向して配される。巻線2a,3aはそれらの軸線が
夫々対向する面1a,1bに対し直角になるようにコア2b,3b
に巻装される。
第９図は上述した第８図の実施例の変形例を示す図で
あり、この変形例は、第８図の構成に対し、コア2b,3b
の形状が異なり、各コア2b,3bは２つの巻装部2b1,2b2;3
b1,3b2を有し、これらの巻装部2b1,2b2;3b1,3b2に巻線2
a,3aが夫々巻装されている点が異なる。
あり、この変形例は、第８図の構成に対し、コア2b,3b
の形状が異なり、各コア2b,3bは２つの巻装部2b1,2b2;3
b1,3b2を有し、これらの巻装部2b1,2b2;3b1,3b2に巻線2
a,3aが夫々巻装されている点が異なる。
第10図は被検出体１を導体箔９で囲んだ実施例を示
す。この実施例は前述した第１図の実施例と同様の構成
において例えばステンレス等の非磁性体から成り、厚さ
0.1〜0.2mmの導体箔９を被検出体の軸体１と検出器2,3
との間に介在するように軸体１の外周を覆って配したも
のである。
す。この実施例は前述した第１図の実施例と同様の構成
において例えばステンレス等の非磁性体から成り、厚さ
0.1〜0.2mmの導体箔９を被検出体の軸体１と検出器2,3
との間に介在するように軸体１の外周を覆って配したも
のである。
この構成において、発振器４からの励磁電圧V1,V2に
より、巻線2a,3aが励磁されると、コア2b,3bに発生した
磁束φ1,φ２が導体箔９を通り抜けて被検出体１を通る
第１図と同様の磁路が形成される。これにより、被検出
体（軸体）１の変位量に応じた電圧のセンサ出力V0が巻
線2a,3aの接続点Ａから出力される。このように、本発
明は渦電流を利用するものではないから、導体箔の介在
に何等影響されることなく被検出体１の変位量を検出す
ることができる。
より、巻線2a,3aが励磁されると、コア2b,3bに発生した
磁束φ1,φ２が導体箔９を通り抜けて被検出体１を通る
第１図と同様の磁路が形成される。これにより、被検出
体（軸体）１の変位量に応じた電圧のセンサ出力V0が巻
線2a,3aの接続点Ａから出力される。このように、本発
明は渦電流を利用するものではないから、導体箔の介在
に何等影響されることなく被検出体１の変位量を検出す
ることができる。
第11図は第７図の実施例と同様の構成において被検出
体１を導体箔９で囲んだ構成である。
体１を導体箔９で囲んだ構成である。
この構成に依っても上述の第７図と同様の磁路が形成
され、導体箔９の介在にもかかわらず被検出体１の変位
量を検出できる。
され、導体箔９の介在にもかかわらず被検出体１の変位
量を検出できる。
第12図は第８図の実施例と同様の構成において検出器
2,3を導体箔で囲んだ構成、又、第13図は第９図の実施
例と同様の構成において検出器2,3を導体箔で囲んだ構
成を夫々示すもので、これらの構成においても第８図、
第９図と同様の磁路が形成され、導体箔の介在にもかか
わらず、被検出体１の変位量を検出できる。
2,3を導体箔で囲んだ構成、又、第13図は第９図の実施
例と同様の構成において検出器2,3を導体箔で囲んだ構
成を夫々示すもので、これらの構成においても第８図、
第９図と同様の磁路が形成され、導体箔の介在にもかか
わらず、被検出体１の変位量を検出できる。
第14図は更に別の実施例を示し、この実施例は、上述
した各実施例が被検出体として１個の軸体の変位を検出
する一軸検出構成のものであるのに対して、複数の軸体
の変位を検出する多軸検出構成のものである。
した各実施例が被検出体として１個の軸体の変位を検出
する一軸検出構成のものであるのに対して、複数の軸体
の変位を検出する多軸検出構成のものである。
第14図において、図示しない被検出体としての第１乃
至第Ｎの軸体の各々には、前述した各実施例と同様の直
列接続された検出器巻線2a,3aが対向して配される。第
１乃至第Ｎの軸体の検出器巻線2a,3aは互いに並列接続
される。並列接続された第１乃至第Ｎの軸体の検出器巻
線2a,3aには、発振器４が接続され励磁電圧を検出器巻
線に印加する。各対の検出器巻線2a,3aの接続点は夫々
の変換器５に接続され、該接続点出力V0を供給する。変
換器５は前述した一軸検出構成のものと同様に構成する
ことができ、変位検出装置の出力Vcを出力する。
至第Ｎの軸体の各々には、前述した各実施例と同様の直
列接続された検出器巻線2a,3aが対向して配される。第
１乃至第Ｎの軸体の検出器巻線2a,3aは互いに並列接続
される。並列接続された第１乃至第Ｎの軸体の検出器巻
線2a,3aには、発振器４が接続され励磁電圧を検出器巻
線に印加する。各対の検出器巻線2a,3aの接続点は夫々
の変換器５に接続され、該接続点出力V0を供給する。変
換器５は前述した一軸検出構成のものと同様に構成する
ことができ、変位検出装置の出力Vcを出力する。
このように、本発明の非接触式変位検出装置を多軸検
出構成とした場合は各対の検出器巻線は単一の発振器を
共有できるので、配線数が更に少なくなり一層の低コス
ト化を図ることができる。
出構成とした場合は各対の検出器巻線は単一の発振器を
共有できるので、配線数が更に少なくなり一層の低コス
ト化を図ることができる。
（発明の効果） 以上説明したように、本発明の請求項１記載の非接触
式変位検出装置によれば、被検出体の変位を検出する非
接触式変位検出装置において、各々巻線を有する２個の
検出器の一方を磁性体からなる被検出体の一の面に対向
配置し、他方を前記被検出体の中心に関し前記一の面と
反対側の他の面に対向配置し、前記２個の検出器の巻線
同士を直列に接続し、各巻線の両端にグランドに対して
逆位相の励磁用交流電圧を印加して、前記２個の検出器
の巻線の接続点よりグランドに対する出力を取り出し、
検出信号とするようにしたので、温度による出力変動が
ないことはもとより、演算回路が不要であり、構成が簡
単で且つ配線数が減少でき低コスト化を図ることができ
ると云う優れた効果を奏することができる。更に渦電流
の利用ではなく、磁束の変化を検出する構成であるた
め、被検出体と検出器間に導体箔が介在した場合でも、
被検出体の変位量を正確に検出できるものである。
式変位検出装置によれば、被検出体の変位を検出する非
接触式変位検出装置において、各々巻線を有する２個の
検出器の一方を磁性体からなる被検出体の一の面に対向
配置し、他方を前記被検出体の中心に関し前記一の面と
反対側の他の面に対向配置し、前記２個の検出器の巻線
同士を直列に接続し、各巻線の両端にグランドに対して
逆位相の励磁用交流電圧を印加して、前記２個の検出器
の巻線の接続点よりグランドに対する出力を取り出し、
検出信号とするようにしたので、温度による出力変動が
ないことはもとより、演算回路が不要であり、構成が簡
単で且つ配線数が減少でき低コスト化を図ることができ
ると云う優れた効果を奏することができる。更に渦電流
の利用ではなく、磁束の変化を検出する構成であるた
め、被検出体と検出器間に導体箔が介在した場合でも、
被検出体の変位量を正確に検出できるものである。
また、本発明の請求項２記載の非接触式変位検出装置
によれば、請求項１記載の非接触式変位検出装置におい
て、各々の被検出体と検出器との間に非磁性導体を挟ん
だから、渦電流の影響を対向する２つの検出器により相
殺し変位検出することができる。
によれば、請求項１記載の非接触式変位検出装置におい
て、各々の被検出体と検出器との間に非磁性導体を挟ん
だから、渦電流の影響を対向する２つの検出器により相
殺し変位検出することができる。
更に、本発明の請求項３記載の非接触式変位検出装置
によれば、請求項１または２記載の非接触式変位検出装
置において、励磁用交流電圧を共通とした多軸構成とし
たから、励磁用交流電源の配線数が少なくて済み、コス
トを低減できる。
によれば、請求項１または２記載の非接触式変位検出装
置において、励磁用交流電圧を共通とした多軸構成とし
たから、励磁用交流電源の配線数が少なくて済み、コス
トを低減できる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例に係る一軸検出構成を示す配
置図、第２図は本発明の一実施例を示すブロック図、第
３図は第２図の各部の信号の波形図、第４図は本発明の
非接触式変位検出装置の基本構成図、第５図は被検出体
が磁極間の中心にある状態を示す図、第６図は被検出体
が温度変化により変位した状態を示す図、第７図乃至第
13図は本発明に係る一軸検出構成の他の実施例を示す配
置図であり、第７図は被検出体の外側に検出器を配置し
た実施例、第８図、第９図は被検出体の内側に検出器を
配置した実施例、第10図〜第13図は検出器と被検出体の
間に導体箔を介在させた実施例を夫々示す図、第14図は
本発明に係る多軸検出構成の実施例を示す配置図であ
る。 １……被検出体、2,3……検出器、2a,3a……検出器巻
線、４……発振器、５……変換器、６……同期整流器。
置図、第２図は本発明の一実施例を示すブロック図、第
３図は第２図の各部の信号の波形図、第４図は本発明の
非接触式変位検出装置の基本構成図、第５図は被検出体
が磁極間の中心にある状態を示す図、第６図は被検出体
が温度変化により変位した状態を示す図、第７図乃至第
13図は本発明に係る一軸検出構成の他の実施例を示す配
置図であり、第７図は被検出体の外側に検出器を配置し
た実施例、第８図、第９図は被検出体の内側に検出器を
配置した実施例、第10図〜第13図は検出器と被検出体の
間に導体箔を介在させた実施例を夫々示す図、第14図は
本発明に係る多軸検出構成の実施例を示す配置図であ
る。 １……被検出体、2,3……検出器、2a,3a……検出器巻
線、４……発振器、５……変換器、６……同期整流器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01H 11/02 G01B 7/14
Claims (3)
- 【請求項１】被検出体の変位を検出する非接触式変位検
出装置において、各々巻線を有する２個の検出器の一方
を磁性体からなる被検出体の一の面に対向配置し、他方
を前記被検出体の中心に関し前記一の面と反対側の他の
面に対向配置し、前記２個の検出器の巻線同士を直列に
接続し、各巻線の両端にグランドに対して逆位相の励磁
用交流電圧を印加して、前記２個の検出器の巻線の接続
点よりグランドに対する出力を取り出し、検出信号とす
ることを特徴とする非接触式変位検出装置。 - 【請求項２】各々の被検出体と検出器との間に非磁性導
体を挟んだことを特徴とする請求項１記載の非接触式変
位検出装置。 - 【請求項３】励磁用交流電圧を共通とした多軸構成とし
たことを特徴とする請求項１または２記載の非接触式変
位検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02106927A JP3097094B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 非接触式変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02106927A JP3097094B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 非接触式変位検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH045525A JPH045525A (ja) | 1992-01-09 |
| JP3097094B2 true JP3097094B2 (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=14446046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02106927A Expired - Fee Related JP3097094B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 非接触式変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3097094B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06299592A (ja) * | 1993-04-13 | 1994-10-25 | Maruei Concrete Kogyo Kk | 分割カルバートを用いた遊水池 |
| US11662569B2 (en) | 2020-09-29 | 2023-05-30 | Coretronic Corporation | Optical processing turntable and projection device |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI112278B (fi) * | 2000-01-20 | 2003-11-14 | High Speed Tech Ltd Oy | Menetelmä sähkökoneen roottorin sijainnin määrittämiseksi sekä sijaintianturi |
| JP5802429B2 (ja) * | 2011-05-02 | 2015-10-28 | オークマ株式会社 | ステータおよびレゾルバ |
| JP5947144B2 (ja) * | 2012-08-08 | 2016-07-06 | 東海旅客鉄道株式会社 | 電機子軸の支持構造の破損検出装置 |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP02106927A patent/JP3097094B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06299592A (ja) * | 1993-04-13 | 1994-10-25 | Maruei Concrete Kogyo Kk | 分割カルバートを用いた遊水池 |
| US11662569B2 (en) | 2020-09-29 | 2023-05-30 | Coretronic Corporation | Optical processing turntable and projection device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH045525A (ja) | 1992-01-09 |
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