JPS5814024A - 力変換器用屈曲部 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 変換器の分野に属するものであり、一層詳細には、力検
出要素を取付は台にヒンジ状に又は並進状に連結するた
めの屈曲部に関するものである。

米国特許第３，’１０．２，０７３；名／ｇシ／１７　
　及び４１、２！０４９１７号に開示されている加速度
計のような力変換器の型式においては、力検出要素が、
取付は台又は取付はリングに、力検出要素が台に相対的
な小さな力に応答することができるようにする屈曲部に
よって固着されている。このような加速度計においては
、屈曲部は、／対の薄い板部材から成立っている二本ず
り構造物を有することができる。

検出要素の上に置かれている部材に電気的接続を与える
ために、台と検出要素との間にたわみ可能な導体が使用
されることができ、又は、導電材料の薄いフィルムが、
屈曲部の上に直接的に、あるいは、屈曲部それ自体が電
気的に伝導性であるならば、屈曲部の上の非電導性被膜
の上に沈殿されることができる。このような材料が屈曲
部の上に沈殿される時は、応力が屈曲部の中に、屈曲部
と電導性材料と温度係数の相（　３　） 違のため、又は、沈殿過程それ自身によって引き起こさ
れる。これらの応力それら自体は、検出要素を中立位置
から、たわませようとする力を生じさせる。検出要素を
中立位置に維持させるために回復力を加えるサーボ・ル
ープ変換器においては、バイアス誤差が、これらの応力
の結果として発現される。検出要素のたわみ量が測定さ
れるオーブン・ループ変換器においては、バイアス誤差
が生成されもする。

導電性被覆を利用している変換器においては、屈曲部部
分の上面及び下面の上に等しくフィルムを沈殿すること
によって、フィルム応力を消去させる努力がなされてい
る。この構造は、誤差をある程度まで減少させるが、沈
殿過程の間に、フイルム厚さが、屈曲部分の両側上にお
いて等しいように、正確なつり合わせを必要とする。そ
の上、このつり合わせは、時間に関するフィルム応力の
安定性に関係し、また、周囲温度，材料の純度及び表面
汚染のような他の要因にも関係する。

（４Ｉ） 一般に、従来技術の変換器においては、適正な作動のた
めの力及び弾性の要求と調和するできる限り最も薄い屈
曲部を使用し、これによって、バイアス誤差に導く応力
の効果が最少にされるようにすることが望ましいことが
発見されている。しかしながら、屈曲部によって与えら
れる回転状か，直線状かであるはね剛性は、その厚さｔ
の３乗に比例し、一方、導電性ストリップの沈殿によっ
て起こされる応力による屈曲部の曲げモーメントは、只
ｔに比例するだけである。例えば、若しも、屈曲部の厚
さが、３０チだけ、それによって与えられる回転状のば
ね剛性が、；１０１／ラジアンから９１７ラジアンまで
変化されるように減少されるならば、導電性被覆の中の
応力効果による誤差モーメントは、ほんの／．ｌＩ；１
の因子だけ減少される。それ故、従来の屈曲部によって
与えられる許容可能なばね剛性の下限が、誤差モーメン
トが取るに足らない値にまで減少される十分以前に到達
されることの見られることができる。従って、これらの
型式の変換器に対しては、希望されるはね剛性を得るこ
とと、誤差に導く応力効果を最少にすることとの間に、
かね合いがなされなければならない、。

本発明によると、屈曲部が、その中立屈曲平面の中に横
たわっている、又は、はぼ横たわっている表面の上に導
電体被覆を有している。

導電性材料は、屈曲部の中立屈曲面の中にほぼ横たわっ
ている表面の上に置かれるので、導電性フィルムと、屈
曲部との間の界面の中の応力は、バイアス誤差には導か
ない。このことは゛、このような応力によって起こされ
る屈曲モーメントは、中立屈曲面からの界面の距離に比
例するという事実によるものである。この距離は、実質
的にゼロであるので、屈曲モーメントは最小にされ、バ
イアス誤差は、たとえ、完全でないとしても、著しく減
少される。

屈曲部は、７個又はそれ以上の部分から成立っており、
それぞれは、１個又は多数の溝を有しており、また、谷
溝は、屈曲部の中立屈曲面の上に実質的に横たわってい
るくぼみ面を有している。

導電性フィルムは、常に、中立屈曲面の上又はその近く
に１かれるので、導電性フィルムによって導入される誤
差の大きさは、屈曲部の厚さ、全長及び幅には、本質的
に無関係である。

それ故、屈曲部は、フィルム応力による重大なバイアス
誤差を起こすことなしに、加速度計に対して適当な強度
及び希望されるはね剛性を与えるような輪郭とされるこ
とができる。

以下１本発明をその実施例を示す添附図面に基づいて説
明する。

まず、第１及びコ図を参照するが、図には、本発明によ
る屈曲部７．２を含んでいるサーボ機構で制御される加
速度計７０の形式の力変換器が示されている。加速度計
ｌＯは、米国特許第４９０４０’／３号に開示されてい
る型式のものであるが、本発明は、力に鋭敏な要素の角
運動又は直線運動を利用している他の力検出変換器に使
用されることもできるものである。

（ワ　） この加速度計１０は、／対の円筒状本体部材／４１ａ、
／４（ｂ及びそれらの間に固着された保証質量組立体／
Ａとから成立っている。

本体部材／４１ａ　、　／Ｑｂは、実質的に同一であり
、それ故、本体部材／Ｆａだけを説明する。本体部材／
４１ａは、円筒形の本体壁１７を含んでいるが、これは
、磁極片を構成し且つ台／デを形成するための底部の回
りに延びている内方に延びているリブ／ｇを含んでいる
。

極片／ｌは、くぼみ−一を境界している円筒形内壁λＯ
を有している。くぼみココの内部において板／ｑに固着
されて円筒形の永久磁石２４！があるが、これは、円筒
形の内壁−〇から間隔を置かれた外方円周表面を有して
おり、それらの間にすきまコロを境界している。

保証質量組立体１６は、力屹鋭敏な部材又は水かき３０
を含んでおり、これは、屈曲部タコによって取付は台又
はリング３コに旋回可能に取付けられている。

図示されている加速度計ｌζおいては、屈曲部（ｇ　） タコは、パドル３０が取付はリング３．２に対して弧状
に動くことを許している。しかしながら、屈曲部タコは
、変換器／θの軸に沿って検出要素の直線運動を利用し
ている変換器において使用されることもできることを、
理解すべきである。

パドル３０の上面４！ｏ及び下面ＩＩ／に固着されて、
それぞれ、ｌ対のカ回復コイル又はトルクコイル４１．
２　、　ｌＩ３がある。トルクコイルタコ。

４／１３は、ボビンの上に巻かれているが、これらのボ
ビンは、加速度計７０の種々の部分が組立てられた時に
、本体部材７４！’ａ＋／＊ｂのそれぞれの中に形成さ
れた環状すきまコロの内部にかん合する。

パドル３０の上面グθの上に沈殿されて導電性材料ダ５
の層がある。ＮＩｌ、を性材料の同様の層が、パドル３
０の下面！／の上に沈殿されている。これらの電導性の
層は、ｌ対のコンデンサー板を形成するが、これらは、
極片／ｇの面Ｊ／及び本体部材／Ｆ？）の極片の対応す
る面と相互作用を、以下に説明されるように行なう。

３個の取付は詰物３ダ（それらの内の１個は、図には見
られない）が、取付はリング３コの上面３６の上に排列
されている。３個の追加の取付は詰物が、リング３コの
下面３ｇの上に取付は詰物Ｊ４１に軸方向に対向して置
かれている。

取付はリング３コは、本体部分／４’ａ　、　／Ｑｂの
間に、円筒形の本体壁／りのくちびる及び本体部材／４
（１）の上の対応するくちびるが、取付は結物にもたれ
るように固着されており、また、トルクコイル４Ｉコ弘
３は環状すきま、２４及び本体部材７４１ｂの中の対応
する環状すきまの内部にそれぞれ受取られる。

／対の可変コンデンサー４１ｆｆ、＆？が、加速度針Ｉ
Ｏの内部番こ形成されているが、それらの内の一方は、
面λ／と下表４３１１の上の被覆とから成立ち、また、
他方は、本体部材／１１１）の極片の面コ／に対応する
面と１、パドル３０の上表面の上の被覆４４ｇとから成
立っている。

上表面ダθ及び上表面４１／の上の導電層及びトルクコ
イル４ＩＪ　、　４’Ｊは、外部回路に１個の導電スト
リップＦ７ａ−ｐ７ｄによって連結されているが、これ
らのス）　ＩＪツブは、屈曲部／コを横切ってリング３
２まで延びている。外部回路への電気接続は、本体部材
／４’ａ、　／ｌ１１）の本体壁の中に置かれているり
個の接続子ビン（図示されていない）を経てリング３．
２から作られる。

加速度計ｉｏがその軸に沿って加速度を受ける時には、
パドル３０は、リング３コ及び本体部分／４！ａ、７４
ｔ＋に相対的に動き、これによって、コンデンサー’Ｉ
ｇ、４１９の容量の変化を生じさせる。容量の変化は、
サーボループ回路（図示されていない）によって検出さ
れ、ループ回路それ自体は、容量の変化に比例する信号
をトルクコイル４Ｉコ、ｔＩＪに伝エル。トル９コイル
４１；１゜４１３によって起こされる結果として生ずる
磁界は１本体部材１ＩＩａ、／ｌＩｂの中の永久磁石に
確立される磁界と相互作用を行ない、パドル３θの変移
に反対する。パドル３０を中立位置に維持するためにト
ルクコイル４ＩＪ、４’Ｊによって必要（／ｌ　） とされる電流が、加速度計１０が受けている加速力を表
わす。

加速度計１０の更に詳細な説明は、米国特許４’ＩＯ，
２，０９３号を参照すべきであるが、その開示が、本明
細書にも組入れられている。

次ぎに、第３図を参照するが、同図には、本発明の屈曲
部／コの推奨実施例が示されている。

屈曲部は、パドル３０と、取付はリング３２との間に延
びている７対の屈曲部部分６０，６コから成立っている
１本つりの片持ちヒンジの輪郭を有している。部分６０
及び６２は、介在する開口によって分離されているが、
この開口も屈曲部ｌコと取付は台３Ｊの間を延びている
。

屈曲部部分６０及び６コは、実質的に同じ横断面を有し
ており、それ故、部分６０だけを説明する。

部分６０は、実質的に平行である上面６ダ及び下面６６
と、面６４１．４４に対してほぼ直角であるｌ対の縁６
ｇ、９０とを含んでいる。面＆　Ｌ６６は、平行でなく
、中立軸溝が依然として使（／、２） 用されても良い。

屈曲部部分６０は、それぞれ、面４４’、６６から部分
６θの中に延びているｌ対の溝？／、？、？を有してい
る。溝７／、７３は、それぞれ、くぼまされた面クコ、
クダを有しているが、これらは、実質的に同一平面内に
あり、本体部分６０の中立屈曲平面と一致している。

ここで、「中立屈曲平面」とは、屈曲部が湾曲される時
に、延伸又は圧縮を受けない平面として定議される。第
３図番こ示されるような一個の平行面ｉｌｌ、６６及び
一個の縁６１！：、７０によって形成される一様な長方
形横断面輪郭を有している屈曲部に対しては、中立屈曲
平面は、屈曲部の両面からほぼ同一距離である点から成
立っており、すなわち、屈曲部の両平行面４４１．Ａｍ
の間の中央に置かれた平面である。

着しも、溝？／、７．７が、第３図に示されるように、
いずれの個々の屈曲部の上においても幅が等しくないな
らば、中立屈曲軸（平面）は。

屈曲部を一等分しないが、しかしながら、その代わりに
、よりせまい溝に向かって偏っている。

このような屈曲部の横断面が第ダ図に与えられている。

このような場合には、中立軸の位置は、次式によって決
定される３、 Ｙ＝Ｙｏ［−（Δｐ／ΔｕＱ＋（（△ｐ／△ｕＪ）”　
−／：ｌ’２］　　　　ｌｔｌここで Ｙ：△ｐ／△ｕ１≧１である場合に、谷溝の底の屈曲中
心線の座標 Ｙｏ：全体の屈曲部厚さ×／／コ Δｐ：コ×（屈曲部のＩｌｌり−（溝の幅の和）Δｕｔ
：（上部溝の幅）−（下部溝の幅）実際の中立屈曲軸は
、屈曲部の面とわずかに平行ではないが、これは、個々
の屈曲部の中心線の回りに非対称のためであり、また、
この効果は通常小さいが、谷溝は、中立屈曲軸が、若し
も、角度的な回転が意味のあるよう番こなるならば、溝
の中心を通過するように１ｕかれることができる。

溝７／、り３は、また、それぞれ、側壁７／ａ。

？／１）及び９３ｆＬ　、　７．７１）をも有している
。溝り／。

７３は、第７〜３図には、面６４’、４６に対して垂直
である平面壁７／Ｅｈ、’ｉ／Ｄ及び７．７ａ　、　９
３ｂを有するものとして示されているが、これらの面は
、代わりに、斜めに切られても、又は、小さな半径を有
している湾曲輪郭のものであっても良い。更に、屈曲部
部分は、それらのパドル３０及び取付はリング３２との
連結の領域内において斜めに切られ、又は、湾曲され、
第１及び２図に示される急な移行と反対に、それらの間
に、円滑な移行を与えるようにしても良い。

推奨実施例においては、パドル３θ、取付は台３コ及び
屈曲部／２は、溶融された石英の一体の片から形成され
るが、石英は、食刻され、又は、さもなければ、希望さ
れた形状に処理される。

いったん、くぼまされた面７コ、７参が形成されると、
金のような導電性材料の薄い層が、側屈曲部部分のくぼ
まされた面の長さに沿って沈殿され、パドル３０と、取
付はリング３コとの間に延びるようにする。

（／！ｒ） 屈曲部／コは、あるいは、導電性材料から形成されるこ
ともできるが、この場合には、非導電性抜機が、導電性
ストリップＦ’７が沈殿される前に屈曲部の上番こ沈殿
される。

フィルム応力曲げモーメントは、距離に比例し、また、
導電性ストリップダ７は中立屈曲面又は中立屈曲軸の上
に置かれるので、その表面に対して平行な中立屈曲面に
おいて働くどのような力も、何らのモーメントをも生じ
させない。

なぜならば、距離は、その時には、ゼロに等しいからで
ある。それ故、７１７１曲部の中立屈曲軸の上に直接的
に沈殿された導電性スｌ−ＩＪツブは、変換器の出力に
は、導電性ストリップと、屈曲部との界面、における応
力のために、誤差は生じない。導電性ストリップは、理
想的には、ある一定の厚さを有しているので、必ずしも
ではないが、溝面ｔコ、クダは、中立軸をストリップの
厚さのｌ／コだけ過ぎて置かれ、これによって、ス）　
ＩＪツブそれ自体が、中立軸の上に中心法めされるよう
にしても良い。

（／Ａ　） 例として、次表の寸法が、満足な結果を与えることが分
かった。

表 第３図における屈曲部／Ｊの輪郭は、以後非対称と呼ば
れる、すなわち、屈曲部部分は実質的に同じ横断面を有
しているが、しかしながら、相互に鏡対称ではない。

屈曲部部分の厚さ、長さ及び幅は、重大なバイアス誤差
を増加すること無しに、加速度計７０の適当な作動及び
希望されるはね剛性を与えるように選択される。それ故
、従来の変換器と相違し、導電性ス）　ＩＪツブ１７に
よって導入される誤差の大きさは、屈曲部分の寸法には
本質的に無関係である。任意の溝が、７個以上の隔離さ
れた導体を有するように設計されることのできることに
、注意されたい。

次ぎに第５図を参照する。図には、屈曲部／コに対する
変形実施例が示されているが、この実施例は、若しも、
特定の力変換器の輪郭が、荷重抵抗を増加することを保
証するならば、使用されることができるもので・ある。

この実施例は、第３図に示されるものとは、二つの点曇
こおいて相違している。第一は、屈曲部部分ｇｏの中の
溝ｇ３のくぼまされた面ｇコが、上面ｔ６の介入部分無
しに緩表面Ｉｔ４１に隣接していることである。第二に
、部分ｇｔが部分ｇｏの鏡対称であること、すなわち、
それらは、二つの部分ｇｏ　、　ｔｉ；の間の空間に交
差し且つ上面ｔ６及び下面デθに対して直角な平面の回
りに対称的であることである。

溝は、第Ｓ図においては、斜めに切られた側壁ｇ３ｆＬ
及びｇ！；ａ、　ｔ！ｒｂを有するものとして示されて
いる。しかしながら、これらの壁は、前に説明されたよ
うに、平らな平面状の表面又は湾曲表面であっても良い
。

くぼまされた表面ｔコ及びくぼまされた表面ｆｆ？は、
この場合にも、実質的に、部分ｇｏ。

１ｇの中立屈曲面又は中立屈曲軸の上に置かれる。また
、導電性ストリップダクｂが、くぼまされた面ｔコｔ　
ｇ　？の上に沈殿され、それ故、屈曲部と導電性材料と
の間の界面内において始まるどのような応力も、屈曲部
の中に対応する曲げモーメントを生じさせない。

（ｌ？　） 次ぎに、第６図を参照する。図には、第３及び１図に示
された選択された％徴を組合わせている第三実施例が示
されている。この輪郭は、より少ない荷重抵抗が要求さ
れるが、しかしながら、対称が模様の形状のために依然
として希望される場合に望ましいものである。

第り図に見られることができるように、７対の部分１０
０．／θコは対称であり、すなわち、第５図に示される
実施例と同様に鏡対称であるが、しかしながら、第３図
に示される部分の一般的輪郭を有している。部分／　ｏ
　Ｏ＃　／　０コが、第３図に示される部分と実質的に
同一の寸法を有していることに注意すべきである。

第７図は１本発明の第５図の実施例に類似の他の実施例
を示すが、しかしながら、屈曲部部分の間には、分離開
口がない。この輪郭は、ダ個以上の電気導体が必要とさ
れ、溝が７個以上の導体を格納することのできない一本
ずり輪郭に招いて使用されることができるものである。

あるいは、例えば、より広い面積／１０が、コ（コＱ） 個の隔離された導体を支持することのできる一本すり輪
郭に対して不十分な空間がある只／個の要素の輪郭にお
いて使用されることができる。

只１個の部分屈曲部１０４１が、溝１０４，１０１及び
ｌ／θを有して示されているが、これらの溝は、それぞ
れ、くぼまされた面ｉｏり、１０’／、／／／を有して
いる。溝の内のコ個１０４．／θｔは、部分１０４１の
一つの面／／ＩＩの中に配置されており、一方、残りの
＠／１０は他の而／／６の中に、面／／／が面／θｔ、
１０９と同一平面内に且つそれらの間にあるように配置
されている。表面１０’／Ｔ１０９．／／／は、それぞ
れ、屈曲部の中立屈曲面の上に実質的に置かれており、
また、導電性ス）　ＩＪツプダ７が、表面の上に置かれ
ている。若しも、溝１０９と、溝１０９との合計幅が、
溝／１０の幅に等しいならば、中立屈曲軸は、屈曲部１
ｏｔｉを三等分する平面内にある。

さもなければ、中立屈曲軸は、式＋１１に与えられる１
個の溝の形式に類似の形式によって置かれる。この輪郭
も、屈曲部の平面に対して、中立軸の何らの回転をも示
さない。

次ぎに、第３図を参照する。図には、非対称を最少にし
た只／個の屈曲部の他の実施例が示されている。７個以
上のこのような屈曲部が用いられることもできる。部分
／コＯは、それぞれ、整列されたくぼまされた面／ココ
、／２４１及び／コ４．／；ｉｇを有している一対の溝
を含んでいる。

−個のウェブ部分／３０．／Ｊコが形成されているが、
７個は、表面／ココ、／λすの間に、また、他は、表面
／コロ、７１ｇの間に形成されている。

くぼまされた表面／、２Ｊ、／λｇは、実質的に屈曲部
ｌコθの中立面の上に配置されているが、くぼ才された
表面／；ＩＱ、／コロは、中立面かられずか暑こ偏され
ている。従って、くぼまされた表面／ココ、／コＦ、／
−６及び７１ｇの上への導電材料の沈殿は、ゲ個の溝の
内のほんの２個の中に起こる応力を生じさせるだけであ
り、すなわち。

応力は、単に、くぼまされた表面／１４１．／コロの中
の導電性材料番こよって形成されるだけである。

あるいは、導電性材料は、単に、中心軸表面１２コ、７
２ｇの上にだけ沈殿されることができる。

これらの表面の位置は、式（１）の２個の溝の公式と同
様の公式を介して決定されることができる。

いずれの場合においても、屈曲部の適正なばね剛性及び
強さが、比較約１こ厚いリブ／ＩＩＩ　、　／ｌＩλ。

／ｉＭ’によって実質的に与えられるが、これらのリブ
は、ウェブ部分／３０．／３コの両側上書こ置かれてい
る。

上述のよう番こ、第３図の屈曲部構造は、輪郭が対称的
であるか、非対称的であるかである一本すり輪郭におい
て使用されることができる。

非対称的輪郭においては、第を図に示された減成のコ個
の同一の屈曲部が、両方の屈曲部の中立軸面／−一及び
７２ざの上にだけ沈殿されて使用されることができる。

他の配置においては、第３図の屈曲部は、屈曲部の一側
上の／コｑ及び／コｔのような両方のくぼまされた表面
が、屈曲部の中立面の上に沈殿される。その上、この形
式の屈曲部は、平行表面を有する必要はないが、しかし
ながら、（コ３） 例えば、一定力の屈曲部を生ずるように、力検出要素の
方にテーパされることもできる。

また、屈曲要素の上の被覆の応力効果を減少させるため
に上に述べられたアプローチは、必ずしも力検出要素の
主支持体ではない屈曲部構造物と共に使用されることも
できることにも、注意されたい。このような力検出要素
を取付は台へ連結する構造物は、最少のパイアスカ又は
バイアスモーメントを生じさせながら、依然として、あ
る構造上の強さを要求する。その上、第１〜１図に示さ
れた屈曲部構造は、たとえ、より厚いリブ５ｇ及び６０
と一つの片として形成された屈曲部の薄い部分Ｓ６を示
しているものとして、本発明のある応用に対しては、薄
い部分５６が、支持体リブ！ｇ又は６０に物理的に連結
された導電性ストリップ４Ｉ７を支持する必要のないこ
とを理解すべきである。

上に説明された本発明の種々の実施例は、屈曲部の中立
屈曲軸と整列された楕々の溝が、力に鋭敏な部材３Ｑの
取付は台３コに関する主文（２ダ） 持を与える屈曲部の上に置かれることを意図しているも
のである。しかしながら、屈曲部の中立屈曲軸に沿って
導電性ストリップダクのような電気的に伝導性材料を沈
殿するという概念は、荷重を負担しない屈曲部又屈曲可
能な部材にも、同様に適用されるものである。

たとえ、本発明の種々の実施例は、力に鋭敏な要素３０
から取付は台３λまで延びている溝を示しているとして
も、本発明は、導電性材料４！７を、屈曲部の中立屈曲
軸の一部分にだけ、好適には、屈曲部の最小の力が、導
電性ストリップ４１１？によって誘起される応力を最少
にするために必要とされる部分の上にだけ置くことも含
むものであることに注目すべきである。

【図面の簡単な説明】

第７図は、本発明による屈曲部を組込んでいる加速度計
の一部切断分解斜視図、第一図は、第１図の屈曲部の拡
大部分図、第３図は、第１図の、ｙ−３１ｇによる部分
斜視図、第ゲ図は、不均等な幅の溝を有している屈曲部
の横断面図、ａＳ及び６図は、−１本すり屈曲部の１個
の他の実施例を示す第３図と同様の部分斜視図、第７及
び３図は、単一の部分屈曲部の一個の実施例を示す第３
図と同様の部分斜視図である。 １２・・屈曲部；ｌり・・導電性ストリップ；６０．６
コ、ｇｏ　・苧屈曲部部分：　７／、９３．ｇ３゜１０
６．１０１．／１０・・溝；７コ、７ゲ、ｇλ、ざ７゜
１０り、１０９．／／／、／、Ｚ２．／２グ、ｌコロ、
／ａＳ・・くぼまされた面。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ　力測定変換器において 取付は台と 電気要素を含んでいる力に敏感な部材と一端部を前記取
   付は台に固着されると共に他端部を前記力に敏感な部材
   に固着されているたわみ可能な部材と 前記たわみ可能な部材の上に排列されると共に前記電気
   要素と前記取トｊけ台との間に延びている電気的に伝導
   性の材料と から成立っており、前記電気的に伝導性の材料の少なく
   とも一部分が、前記たわみ可能な部材の中立屈曲軸と実
   質的に整列していることを特徴とする力測定変換器。 ユ　取付は台と、’Ｎｔ気要素を有している力に敏感な
   部材とを有している力変換器において、力に敏感な部材
   を取付は台に固着するための屈曲部が 前記力に敏感な部と前記取付は台との間に　　−延びて
   いるｌ対の面を有している少なくとも一つの屈曲部部分
   と 前記面の一つから前記屈曲部部分の中に延びている、前
   記屈曲部部分の中立屈曲軸と実質的に整列されているく
   ぼまされた表面を有している少なくとも７個の溝と 前記くほまされた表面の上に前記先番こ敏感な部材と前
   記取付は台との間を延びて排列されている電気的に伝導
   性材料と から成立っていることを特徴とする屈曲部。 ３　取付は台と、第一の回復コイルを支持しているパド
   ルとを有している加速度計におけるパドルを取付は台に
   固着するための屈曲部において 介在開口によって分離され、前記パドルと前記取付は台
   との間を延びており、第−及び第二の縁部分に終ってい
   る上面及び下面を有している第−及び第二の屈曲部部分
   と 前記第−の屈曲部部分から前記上面の中に延びており、
   前記第二の縁表面よりも前記第一の縁表面により近く排
   列されている第一のくぼまされた表面を有している第一
   の溝と前記第一の下面から前記第一の屈曲部部分の中に
   延びており、前記第一の縁表面よりも前記第二の縁表面
   により近く排列されている第二のくぼまされた表面を有
   している第二の溝と 前記取付は台と前記パドルとの間を延びているくぼまさ
   れた表面の上の電気的に伝導性の被覆と から成立っており、前記第−及び第二のくぼまされた表
   面が、実質的に同一平面内にあり且つ屈曲部部分の中立
   屈曲面と一致していることを特徴とする屈曲部。