JPH07270448A - 加速度計 - Google Patents
加速度計Info
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- JPH07270448A JPH07270448A JP6085787A JP8578794A JPH07270448A JP H07270448 A JPH07270448 A JP H07270448A JP 6085787 A JP6085787 A JP 6085787A JP 8578794 A JP8578794 A JP 8578794A JP H07270448 A JPH07270448 A JP H07270448A
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- Japan
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- weight
- frame
- accelerometer
- flexible portion
- flexible
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 枠型に形成されたフレーム１内に平板状の錘
４が設けられている。この錘４の重心Ｇから右方向に偏
った右端部に支点部５が設けられ、この支点部を中心と
して錘４がフレームに揺動自在に支持されている。上記
錘４の右方向における端部に可撓性を有する可撓部６が
連設され、この可撓部６は錘４をフレーム１と平行な水
平状態に維持している。そして検出手段１１は、上記可
撓部６の変位から錘４に作用した加速度を検出すること
ができるようになっている。 【効果】 錘４に加速度が加わった際には、支点部５と
可撓部６との距離Ｌ1 と、支点部５と錘４の重心Ｇとの
距離Ｌ2 との比に基づくてこの原理により可撓部６に大
きな力を作用させることができるので、加速度計の感度
を向上させることができる。
４が設けられている。この錘４の重心Ｇから右方向に偏
った右端部に支点部５が設けられ、この支点部を中心と
して錘４がフレームに揺動自在に支持されている。上記
錘４の右方向における端部に可撓性を有する可撓部６が
連設され、この可撓部６は錘４をフレーム１と平行な水
平状態に維持している。そして検出手段１１は、上記可
撓部６の変位から錘４に作用した加速度を検出すること
ができるようになっている。 【効果】 錘４に加速度が加わった際には、支点部５と
可撓部６との距離Ｌ1 と、支点部５と錘４の重心Ｇとの
距離Ｌ2 との比に基づくてこの原理により可撓部６に大
きな力を作用させることができるので、加速度計の感度
を向上させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は加速度を検出する加速度
計に関し、より詳しくは、錘を支える可撓部の変位を利
用して加速度を検出する加速度計に関する。
計に関し、より詳しくは、錘を支える可撓部の変位を利
用して加速度を検出する加速度計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、マイクロマシニング技術を利用し
た加速度計として、四角形の錘を枠状のフレーム内に配
置するとともに、錘の各辺とフレームとをそれぞれ可撓
性を有する可撓部で連結して錘を吊下し、さらに上記可
撓部の変位から上記錘に作用した加速度を検出する検出
手段を設けたものが知られている（特開平５−２６４５
７５号公報）。
た加速度計として、四角形の錘を枠状のフレーム内に配
置するとともに、錘の各辺とフレームとをそれぞれ可撓
性を有する可撓部で連結して錘を吊下し、さらに上記可
撓部の変位から上記錘に作用した加速度を検出する検出
手段を設けたものが知られている（特開平５−２６４５
７５号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の加速度計に
おいては、上記可撓部の変位（振動を含む）によって錘
に加わった加速度を検出しているが、マイクロマシニン
グ技術を利用した加速度計においては上記錘が極めて軽
いため可撓部を充分に変位させることができず、加速度
計の感度が悪かった。そして上記感度をあげるため、可
撓部を細く、或いは薄く製造すると、耐衝撃性、耐振動
性が低下する結果となっていた。本発明はそのような事
情に鑑み、上記可撓部の耐久性を低下させることなく感
度を大きくすることができる加速度計を提供するもので
ある。
おいては、上記可撓部の変位（振動を含む）によって錘
に加わった加速度を検出しているが、マイクロマシニン
グ技術を利用した加速度計においては上記錘が極めて軽
いため可撓部を充分に変位させることができず、加速度
計の感度が悪かった。そして上記感度をあげるため、可
撓部を細く、或いは薄く製造すると、耐衝撃性、耐振動
性が低下する結果となっていた。本発明はそのような事
情に鑑み、上記可撓部の耐久性を低下させることなく感
度を大きくすることができる加速度計を提供するもので
ある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、平板
状に形成した錘と、この錘の重心位置から所定方向に偏
った位置で該錘をフレームに揺動自在に支持する支点部
と、上記錘の上記所定方向における端部とフレームとを
連結し、該錘をフレームと平行な状態に維持する可撓性
を有する可撓部と、上記可撓部の変位から上記錘に作用
した加速度を検出する検出手段とを備えるものである。
状に形成した錘と、この錘の重心位置から所定方向に偏
った位置で該錘をフレームに揺動自在に支持する支点部
と、上記錘の上記所定方向における端部とフレームとを
連結し、該錘をフレームと平行な状態に維持する可撓性
を有する可撓部と、上記可撓部の変位から上記錘に作用
した加速度を検出する検出手段とを備えるものである。
【０００５】
【作用】上述した構成によれば、上記錘は支点部を中心
として重心側とその反対側とで重量が異なっており、か
つ重心側とは反対側に設けた可撓部で錘をフレームと平
行な状態に維持するようにしているので、錘に加速度が
加わった際には、上記重心と支点部との距離と、支点部
と可撓部との距離との比に基づくてこの原理によって可
撓部に大きな力を作用させることができる。したがっ
て、可撓部を細くしたり薄くすることなく、加速度計の
感度を大きくすることができる。
として重心側とその反対側とで重量が異なっており、か
つ重心側とは反対側に設けた可撓部で錘をフレームと平
行な状態に維持するようにしているので、錘に加速度が
加わった際には、上記重心と支点部との距離と、支点部
と可撓部との距離との比に基づくてこの原理によって可
撓部に大きな力を作用させることができる。したがっ
て、可撓部を細くしたり薄くすることなく、加速度計の
感度を大きくすることができる。
【０００６】
【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、図１、図２において、フレーム１は長方形の枠型に
成形してあり、かつ該フレーム１を２枚の板状のガラス
基板２、３により挟持して、それらフレーム１とガラス
基板２、３とを一体に連結固定している。上記枠型のフ
レーム１の内部には、平板状で長方形に形成した錘４を
設けてあり、その長辺となる両側面の右端部に、つまり
錘４の重心位置Ｇから右方向に偏った位置に支点部５を
それぞれ設け、両支点部５を上記フレーム１の内壁に連
結することにより、該錘４を両支点部５を中心として揺
動可能にフレーム１に連結している。上記錘４はフレー
ム１の厚さと同一の厚さで製造してあるが、上記ガラス
基板２、３の内面所定位置にはそれぞれ凹部２ａ、３ａ
を形成し、それによって錘４が上下に揺動できるように
している。上記錘４の右端面の上部中央位置には右方に
向かって突出する薄肉の可撓性を有する可撓部６を一体
に連設してあり、この可撓部６の右端部に上記フレーム
１と同一の厚さを有する固定フレーム７を連設してい
る。この固定フレーム７は上記２枚のガラス基板２、３
で挟持することにより該ガラス基板２、３に一体に固定
しあり、また上記可撓部６によって通常は上記錘４を水
平状態、すなわちフレームと平行な状態に維持するよう
にしている。さらに、上記錘４の両側には複数の電極取
出し部８を設けてあり、各電極取出し部８を上記２枚の
ガラス基板２、３で挟持することにより該ガラス基板
２、３に一体に固定し、それによって加速度計としての
全体の剛性を高めている。なお、本実施例では、上記ガ
ラス基板２、３の内面の所定位置に凹部２ａ、３ａを形
成して、錘４とガラス基板２、３との間に間隙を形成す
るようにしているが、これに限定されるものではなく、
例えばガラス基板２、３の内面に加工を施さず平面とし
たままで、錘４を固定する固定フレーム７、フレーム１
および電極取出し部８の厚さ方向の厚さを該錘４の厚さ
よりも厚く設定してもよい。そしてこの場合には、上記
可撓部６をガラス基板２の内面と接触しない位置に形成
する必要がある。上記フレーム１、錘４、支点部５、可
撓部６および固定フレーム７は、マイクロマシニングに
よりシリコン基板をエッチングすることにより一体物と
して成形してあり、また上記電極取出し部８はそれらか
ら分離されているが、やはりシリコン基板をエッチング
する際に同時に製造されている。上記枠型のフレーム１
の大きさは、一例として、長辺が２０ｍｍ、短辺が５ｍ
ｍ、厚さが３００μｍであり、また各ガラス基板２、３
の厚さが２００μｍなので、加速度計としての全体の厚
さは７００μｍであった。上記錘４の長辺は１３．４ｍ
ｍ、短辺は３．４ｍｍ、厚さは３００μｍであり、その
重量は３．２ｍｍｇであった。上記支点部５の断面形状
は概略円形となるように成形してあり、その直径は５０
〜８０μｍであった。上記可撓部６の長さは２ｍｍ、幅
は６００μｍ、厚さは５〜８μｍであり、その機械的共
振周波数は９．６ＫＨｚであった。さらに、上記凹部２
ａ、３ａの深さ、したがって錘４とガラス基板２、３と
のギャップは１０μｍであった。次に、上記可撓部６の
変位（振動）から上記錘４に作用した加速度を検出する
共振型の検出手段１１について説明すると、上記可撓部
６と対向するガラス基板２の凹部２ａの内面所定位置に
溝によって区画した２つの取付け部２ｂ、２ｃを形成し
てあり、右側の取付け部２ｂに励振用電極１２を、また
左側の取付け部２ｃに検出用電極１３を設けている。励
振用電極１２はガラス基板２に設けた端子１４に、また
検出用電極１３はガラス基板２に設けた端子１５にそれ
ぞれ電気的に接続してあり、また各端子１４、１５には
それぞれリード線１６、１７を接続している。他方、上
記可撓部６は接地してある。上記共振型の検出手段１１
は、例えば特開平５−２６４５７５号公報に開示されて
いるように従来既に公知であり、上記検出用電極１３で
可撓部６の振動による電圧変化を検出しながら励振用電
極１２に所定の直流電圧を印加すると上記可撓部６を一
定の機械的共振周波数で振動させることができ、この状
態で錘４に加速度αが加わると上記共振周波数が変動す
るので、その変動値より加速度を検出することができ
る。なお、本発明においては検出手段１１は上述した共
振型に限定されるものではなく、可撓部６の変位に伴う
ピエゾ抵抗の変化を利用して加速度を検出するものや、
静電容量の変化を利用して加速度を検出するものであっ
てもよい。さらに、上記ガラス基板２、３の各凹部２
ａ、３ａの内面には、上記錘４の表面に向合わせてそれ
ぞれ自己診断用電極１８を設けてあり、各電極１８に電
圧を印加することにより錘４に意図的に疑似加速度を作
用させることができるようにしている。以上の構成にお
いて、錘４に加速度αが作用すると、該錘４は図２にお
ける支点部５を支点として反時計方向に揺動されるよう
になり、それによって可撓部６は上方に弧を描くように
撓められることになる。この際、上記可撓部６には、支
点部５と可撓部６との距離Ｌ1 と、支点部５と錘４の重
心Ｇとの距離Ｌ2 との比によるてこの原理が作用するた
め、可撓部６には大きな力が加わるようになり、それに
よって可撓部６の振動数変化率を大きくすることができ
る。換言すれば、可撓部６の感度を大きくすることがで
きるので、該可撓部６の厚さを厚くすることができ、そ
れにより耐衝撃性、耐振動性を良くすることができる。
さらに上記フレーム１、錘４、支点部５、可撓部６およ
び固定フレーム７をシリコン基板から一体物として成形
することができるので、それらを別体に製造して組立て
るものに比較して製造が容易となる。また、上記枠型の
フレーム１を２枚のガラス基板２、３によって挟持する
ことにより、該フレーム１およびガラス基板２、３内に
錘４や可撓部６を収容しているので、それらが外部の物
体に接触して損傷されると言ったことも防止することが
できる。
と、図１、図２において、フレーム１は長方形の枠型に
成形してあり、かつ該フレーム１を２枚の板状のガラス
基板２、３により挟持して、それらフレーム１とガラス
基板２、３とを一体に連結固定している。上記枠型のフ
レーム１の内部には、平板状で長方形に形成した錘４を
設けてあり、その長辺となる両側面の右端部に、つまり
錘４の重心位置Ｇから右方向に偏った位置に支点部５を
それぞれ設け、両支点部５を上記フレーム１の内壁に連
結することにより、該錘４を両支点部５を中心として揺
動可能にフレーム１に連結している。上記錘４はフレー
ム１の厚さと同一の厚さで製造してあるが、上記ガラス
基板２、３の内面所定位置にはそれぞれ凹部２ａ、３ａ
を形成し、それによって錘４が上下に揺動できるように
している。上記錘４の右端面の上部中央位置には右方に
向かって突出する薄肉の可撓性を有する可撓部６を一体
に連設してあり、この可撓部６の右端部に上記フレーム
１と同一の厚さを有する固定フレーム７を連設してい
る。この固定フレーム７は上記２枚のガラス基板２、３
で挟持することにより該ガラス基板２、３に一体に固定
しあり、また上記可撓部６によって通常は上記錘４を水
平状態、すなわちフレームと平行な状態に維持するよう
にしている。さらに、上記錘４の両側には複数の電極取
出し部８を設けてあり、各電極取出し部８を上記２枚の
ガラス基板２、３で挟持することにより該ガラス基板
２、３に一体に固定し、それによって加速度計としての
全体の剛性を高めている。なお、本実施例では、上記ガ
ラス基板２、３の内面の所定位置に凹部２ａ、３ａを形
成して、錘４とガラス基板２、３との間に間隙を形成す
るようにしているが、これに限定されるものではなく、
例えばガラス基板２、３の内面に加工を施さず平面とし
たままで、錘４を固定する固定フレーム７、フレーム１
および電極取出し部８の厚さ方向の厚さを該錘４の厚さ
よりも厚く設定してもよい。そしてこの場合には、上記
可撓部６をガラス基板２の内面と接触しない位置に形成
する必要がある。上記フレーム１、錘４、支点部５、可
撓部６および固定フレーム７は、マイクロマシニングに
よりシリコン基板をエッチングすることにより一体物と
して成形してあり、また上記電極取出し部８はそれらか
ら分離されているが、やはりシリコン基板をエッチング
する際に同時に製造されている。上記枠型のフレーム１
の大きさは、一例として、長辺が２０ｍｍ、短辺が５ｍ
ｍ、厚さが３００μｍであり、また各ガラス基板２、３
の厚さが２００μｍなので、加速度計としての全体の厚
さは７００μｍであった。上記錘４の長辺は１３．４ｍ
ｍ、短辺は３．４ｍｍ、厚さは３００μｍであり、その
重量は３．２ｍｍｇであった。上記支点部５の断面形状
は概略円形となるように成形してあり、その直径は５０
〜８０μｍであった。上記可撓部６の長さは２ｍｍ、幅
は６００μｍ、厚さは５〜８μｍであり、その機械的共
振周波数は９．６ＫＨｚであった。さらに、上記凹部２
ａ、３ａの深さ、したがって錘４とガラス基板２、３と
のギャップは１０μｍであった。次に、上記可撓部６の
変位（振動）から上記錘４に作用した加速度を検出する
共振型の検出手段１１について説明すると、上記可撓部
６と対向するガラス基板２の凹部２ａの内面所定位置に
溝によって区画した２つの取付け部２ｂ、２ｃを形成し
てあり、右側の取付け部２ｂに励振用電極１２を、また
左側の取付け部２ｃに検出用電極１３を設けている。励
振用電極１２はガラス基板２に設けた端子１４に、また
検出用電極１３はガラス基板２に設けた端子１５にそれ
ぞれ電気的に接続してあり、また各端子１４、１５には
それぞれリード線１６、１７を接続している。他方、上
記可撓部６は接地してある。上記共振型の検出手段１１
は、例えば特開平５−２６４５７５号公報に開示されて
いるように従来既に公知であり、上記検出用電極１３で
可撓部６の振動による電圧変化を検出しながら励振用電
極１２に所定の直流電圧を印加すると上記可撓部６を一
定の機械的共振周波数で振動させることができ、この状
態で錘４に加速度αが加わると上記共振周波数が変動す
るので、その変動値より加速度を検出することができ
る。なお、本発明においては検出手段１１は上述した共
振型に限定されるものではなく、可撓部６の変位に伴う
ピエゾ抵抗の変化を利用して加速度を検出するものや、
静電容量の変化を利用して加速度を検出するものであっ
てもよい。さらに、上記ガラス基板２、３の各凹部２
ａ、３ａの内面には、上記錘４の表面に向合わせてそれ
ぞれ自己診断用電極１８を設けてあり、各電極１８に電
圧を印加することにより錘４に意図的に疑似加速度を作
用させることができるようにしている。以上の構成にお
いて、錘４に加速度αが作用すると、該錘４は図２にお
ける支点部５を支点として反時計方向に揺動されるよう
になり、それによって可撓部６は上方に弧を描くように
撓められることになる。この際、上記可撓部６には、支
点部５と可撓部６との距離Ｌ1 と、支点部５と錘４の重
心Ｇとの距離Ｌ2 との比によるてこの原理が作用するた
め、可撓部６には大きな力が加わるようになり、それに
よって可撓部６の振動数変化率を大きくすることができ
る。換言すれば、可撓部６の感度を大きくすることがで
きるので、該可撓部６の厚さを厚くすることができ、そ
れにより耐衝撃性、耐振動性を良くすることができる。
さらに上記フレーム１、錘４、支点部５、可撓部６およ
び固定フレーム７をシリコン基板から一体物として成形
することができるので、それらを別体に製造して組立て
るものに比較して製造が容易となる。また、上記枠型の
フレーム１を２枚のガラス基板２、３によって挟持する
ことにより、該フレーム１およびガラス基板２、３内に
錘４や可撓部６を収容しているので、それらが外部の物
体に接触して損傷されると言ったことも防止することが
できる。
【０００７】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、従来に
比較して良好な感度を有する加速度計を製造することが
できるという効果が得られる。
比較して良好な感度を有する加速度計を製造することが
できるという効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示し、図２のガラス基板２
を省略した平面図。
を省略した平面図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図。
１…フレーム ２、３…ガラス板 ２ａ、３ａ
…凹部 ２ｂ、２ｃ…取付け部 ４…錘
５…支点部 ６…可撓部 ７…固定フレーム １１
…検出部
…凹部 ２ｂ、２ｃ…取付け部 ４…錘
５…支点部 ６…可撓部 ７…固定フレーム １１
…検出部
Claims (2)
- 【請求項１】 平板状に形成した錘と、この錘の重心位
置から所定方向に偏った位置で該錘をフレームに揺動自
在に支持する支点部と、上記錘の上記所定方向における
端部とフレームとを連結し、該錘をフレームと平行な状
態に維持する可撓性を有する可撓部と、上記可撓部の変
位から上記錘に作用した加速度を検出する検出手段とを
備えることを特徴とする加速度計。 - 【請求項２】 上記フレームが枠型に形成されるととも
に、上記錘、支点部および可撓部が枠型のフレーム内に
配置されてそれらが一体物から成形され、さらに上記フ
レームが２枚のガラス基板によって挟持されていること
を特徴とする請求項１に記載の加速度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6085787A JPH07270448A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 加速度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6085787A JPH07270448A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 加速度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270448A true JPH07270448A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13868606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6085787A Withdrawn JPH07270448A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 加速度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07270448A (ja) |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP6085787A patent/JPH07270448A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010605 |