JPS5926285Y2 - サ−ボ形加速度計 - Google Patents

サ−ボ形加速度計

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Publication number
JPS5926285Y2
JPS5926285Y2 JP7780678U JP7780678U JPS5926285Y2 JP S5926285 Y2 JPS5926285 Y2 JP S5926285Y2 JP 7780678 U JP7780678 U JP 7780678U JP 7780678 U JP7780678 U JP 7780678U JP S5926285 Y2 JPS5926285 Y2 JP S5926285Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flexure
yoke
coil
moving coil
bobbin
Prior art date
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Expired
Application number
JP7780678U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS54178573U (ja
Inventor
研一 徳永
一 桑原
泰雄 今西
Original Assignee
横河電機株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 横河電機株式会社 filed Critical 横河電機株式会社
Priority to JP7780678U priority Critical patent/JPS5926285Y2/ja
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、サーボ形加速度計に関するものであって、詳
しくは磁気回路内に変位可能に配置された可動コイルの
変位に基づいて加速度を検出するように構成されたサー
ボ形加速度計における可動コイルの懸架構造に関するも
のである。
第1図は、このような加速度計の原理説明図であって、
1は永久磁石、2は円筒形のヨーク、3は可動コイルで
ある。
可動コイル3は、X軸方向には柔でy軸方向には剛な状
態でヨーク2の開口部に変位可能に配置されている。
なお、可動コイル3の変位量は、たとえば静電容量の変
位として電気的に検出されるが、検出手段は図示しない
また、可動コイル3には、検出手段の出力信号に応じて
可動コイル3を元の位置に戻すための励磁電流が加えら
れるが、励磁電流源も省略している。
このような構成において、可動コイル3に加速度αが加
わると、変位δ(δ=mα/に、に:ばね定数、m:質
量)が生じる。
ここで、可動コイル3には、変位δを打ち消すように電
流が加えられているので、加速度αによる力mαと可動
コイル3に生じる力Fとは常に平衡することになる。
したがって、可動コイル3に流れる電流の値から加速度
を検出することができる。
ところで、このような装置において、可動コイル3を配
置するのにあたっては、前述のように、X軸方向には柔
でy軸方向には剛な状態で配置しなければならない。
第2図は、従来の可動コイルの懸架構造の一例を示す構
成説明図であって、第1図と同等部分には同一符号を付
している。
第2図において、4はたとえばセラミックよりなる絶縁
スタッド、5は金属チップ、6は導電材よりなるフレク
シャである。
絶縁スタッド4は、互いに平行になるようにして1本は
ヨーク2に貫通固着され、1本は可動コイル3の外周に
固着されている。
なお、絶縁スタッド4の両端にはそれぞれ金属チップ5
が設けられている。
そして、ヨーク側の絶縁スタッドの金属チップと可動コ
イル側の絶縁スタッドの金属チップとの間にそれぞれフ
レクシャ6を配置して両端を半田付けにより固着する。
これにより、可動コイル3は、ヨーク側の絶縁スタッド
4に対して平行にかつ摩擦なく変位することができ、絶
縁スタッド4と直交する方向に対しては極めて剛な状態
で支持されることになる。
第3図は、第2図の懸架構造を有する加速度計の一例を
示す構成説明図であって、平面図を示している。
すなわち、従来の加速度計では、第2図に示すようなフ
レクシャ対を3組用いて、3次元空間で可動コイル3の
自由度をX方向のみに規制している。
なお、フレクシャ6はそれぞれ電気的に絶縁されている
ので、可動コイル3を外部に接続するための信号線とし
ても用いている。
しかし、このような従来の構成によれば、比較的部品点
数が多く、また、組立作業に多大の工数を要する等の欠
点がある。
本考案は、これらの欠点を解決するものであって、以下
、図面を用いて詳細に説明する。
第4図は、本考案に用いるフレクシャ7の一例を示す拡
大構成説明図である。
このフレクシャ7は、ばね性を有する導電材で形成され
たものであって、同心的に形成された外輪71.内輪7
2、外輪71の内周と内輪72の外周とを等間隔に内輪
72の接線方向に沿って連結する3個のフレクシャ辺7
3、外輪71の内周に等間隔に形成された直径方向に沿
った3個の突起体74、内輪72の外周に等間隔に形成
された直径方向に沿った3個の突起体75が、たとえば
エツチング加工により一体成形されたものである。
第5図は、このようなフレクシャ7を用いた本考案の一
実施例を示す要部の構成説明図であって、第1図と同等
部分には同一符号を付している。
第5図において、7a、7bは第4図に示したフレクシ
ャ、8はボビン、9,15は電極、10〜14は保持体
である。
ボビン8は、可動コイル3が巻回されるものであって、
セラミックで構成されたものであり、その両端にはフレ
クシャ7の内輪を取り付けるための段付部が形成されて
いる。
電極9は、一方のフレクシャ7aの内輪72をボビン8
の一端の段付部に固着するための保持体としての機能と
可動コイル3の変位を静電容量の変化として電気的に検
出するための可動電極の機能とを有するものであって、
ボビン8の段付部に嵌合する段付部を有し、全表面に絶
縁膜が形成された円板状の導電体よりなるものを用いる
保持体10は、他方のフレクシャ7bの内輪72をボビ
ン8の他端の段付部に固着するものであって、ボビン8
の段付部に嵌合する段付部を有する環状のものを用いる
保持体11は、フレクシャ7の外輪71を保持するとと
もにヨーク2の一部を形成するものであって、軟磁性体
で環状に構成されたものであり、その両面には段付部が
形成されている。
保持体12は、フレクシャ7bの外輪71を保持体11
とで挾持するとともに、保持体11と同様にヨーク2の
一部を形成するものであって、軟磁性体で環状に構成さ
れたものであり、その両面にはヨーク2および保持体1
1の段付部に嵌合するように段付部が形成されている。
保持体13.14は、フレクシャ7aの外輪71を挾持
するようにセラミックで環状に構成されたものであり、
対向面には互いに嵌合するように段付部が形成されてい
る。
電極15は、電極9に対応した固定電極である。
これらは次のようにして懸架構造として組み立てられる
まず、可動コイル3が巻回されたボビン8の一端の段付
部にフレクシャ7aの内輪72を重ね合わせ、この内輪
72を挟持するようにして電極9をボビン8の段付部に
嵌合固着する。
このようにしてフレクシャ7aの内輪72をボビン8に
固着した後、電極9とともにフレクシャ7aの内輪72
を第4図の破線a−cに沿うようにして部分的に切断す
る。
また、突起体75に、可動コイル3の端部および電極9
の導電部とをそれぞれ電気的に接続する。
次に、保持体13を保持体11の段付部に嵌合固着した
後、これら保持体と同心的になるようにして、治具を介
して環状内にボビン8を配置する。
これにより、フレクシャ7aの外輪71は保持体13の
段付部と重なり合う。
この外輪71を挾持するようにして保持体14を保持体
13の段付部に嵌合固着する。
続いて、ボビン8の他端の段付部にフレクシャ7bの内
輪72を重ね合わせ、この内輪72を挟持するようにし
て保持体10をボビン8の段付部に嵌合固着する。
これにより、フレクシャ7bの外輪71は保持体11の
段付部と重なり合う。
この外輪71を挟持するようにして保持体12を保持体
11の段付部に嵌合固着する。
このようにしてフレクシャ7bをボビン8および保持体
11に固着した後、保持体14.13とともにフレクシ
ャ7aの外輪71を第4図の破線d〜fに沿うようにし
て部分的に切断する。
この結果、フレクシャ7aの各フレクシャ辺73は電気
的に分離されることになる。
したがって、外輪71の内周に形成された突起体74を
外部への接続端子として、可動コイル3および電極9を
外部回路に接続することができる。
以上の工程により、可動コイル3が巻回され電極9を有
するボビン8は、フレクシャ7のフレクシャ辺73を介
して保持体11の環状内、すなわちヨーク2の開口部に
変位可能に懸架されることになる。
なお、このように構成された懸架構造の機械的な特性は
、第3図の構成の懸架構造とほぼ同等の優れたものであ
ることが確認できた。
このようにして懸架構造を組み立てた後、永久磁石1に
ボビン8を嵌装するようにしてヨーク2に取り付ける。
なお、永久磁石1の着磁は組み立て後行なう。
この結果、可動コイル3の巻回されたボビン8は加速度
により変位し、その変位は電極9,15間の静電容量と
して検出され、この容量変化に応じて可動コイル3の励
磁電流が変位を零にする力を生じるように制御される。
したがって、第1図のように、可動コイル3に流れる電
流の値から加速度の大きさを求めることができる。
なお、上記実施例では、フレクシャをエツチング加工に
より形成する例について説明したが、プレス等の打抜加
工でもよい。
また、本実施例では、静電容量の変化として加速度に対
応した変位を検出する加速度計の例について説明したが
、他の変位検出手段を用いる加速度計についても同様の
効果が得られる。
以上説明したように、本考案によれば、比較的簡単な構
成で、機械的特性に優れ、品質が均一で量産性に富むサ
ーボ形加速度計が実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係る加速度計の原理説明図、第2図は
従来の可動コイルの懸架構造の一例を示す構成説明図、
第3図は第2図の懸架構造を有する加速度計の一例を示
す構成説明図、第4図は本考案に用いるフレクシャの一
例を示す拡大構成説明図、第5図は第4図のフレクシャ
を用いた本考案の一実施例を示す要部の構成説明図であ
る。 1・・・・・・永久磁石、2・・・・・・ヨーク、3・
・・・・・可動コイル、7・・・・・・フレクシャ、8
・・・・・・ボビン、9,15・・・・・・電極、10
〜15・・・・・・保持体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 磁気回路を形成するヨークの開口部に可動コイルを変位
    可能に配置して可動コイルにその変位と平衡させるため
    の電流を流し、平衡時の電流の大きさから加速度を検出
    するように構成されたサーボ形加速度計において、前記
    可動コイルをヨークに固着するための外周辺と可動コイ
    ルに固着するための内周辺および゛これら外周辺と内周
    辺とを連結する複数のフレクシャ辺とが一体成形された
    導電材よりなる2枚のフレクシャで挾持するようにして
    ヨークの開口部に懸架するとともに、一方のフレクシャ
    の外周辺および内周辺を部分的に切断して各フレクシャ
    辺を電気的に分離し、これら分離されたフレクシャ辺を
    信号線として用いることを特徴とするサーボ形加速度計
JP7780678U 1978-06-07 1978-06-07 サ−ボ形加速度計 Expired JPS5926285Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7780678U JPS5926285Y2 (ja) 1978-06-07 1978-06-07 サ−ボ形加速度計

Applications Claiming Priority (1)

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JP7780678U JPS5926285Y2 (ja) 1978-06-07 1978-06-07 サ−ボ形加速度計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS54178573U JPS54178573U (ja) 1979-12-17
JPS5926285Y2 true JPS5926285Y2 (ja) 1984-07-31

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ID=28994324

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JP7780678U Expired JPS5926285Y2 (ja) 1978-06-07 1978-06-07 サ−ボ形加速度計

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JPS54178573U (ja) 1979-12-17

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