JP2001264186A - 磁歪検出型力センサ - Google Patents
磁歪検出型力センサInfo
- Publication number
- JP2001264186A JP2001264186A JP2000075140A JP2000075140A JP2001264186A JP 2001264186 A JP2001264186 A JP 2001264186A JP 2000075140 A JP2000075140 A JP 2000075140A JP 2000075140 A JP2000075140 A JP 2000075140A JP 2001264186 A JP2001264186 A JP 2001264186A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetostrictive
- force sensor
- magnetostrictive element
- type force
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁歪素子とボビンとの径方向における相対
位置に応じた測定値のバラツキをなくし、信頼性の高い
測定を行うことができる磁歪検出型力センサを提供する
ことを目的とする。 【解決手段】 筒状に巻線が施された検出用コイル５
と、該検出用コイル５の内側に同軸配置される柱状の磁
歪素子６と、該磁歪素子６を前記検出用コイル５の径方
向において略中央に位置決めする突起４１ａ、４１ｂと
を備えるものである。
位置に応じた測定値のバラツキをなくし、信頼性の高い
測定を行うことができる磁歪検出型力センサを提供する
ことを目的とする。 【解決手段】 筒状に巻線が施された検出用コイル５
と、該検出用コイル５の内側に同軸配置される柱状の磁
歪素子６と、該磁歪素子６を前記検出用コイル５の径方
向において略中央に位置決めする突起４１ａ、４１ｂと
を備えるものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁歪素子の透磁率
の変化を検出用コイルで検出することにより、磁歪素子
に作用する外部応力を測定する磁歪検出型力センサに関
する。
の変化を検出用コイルで検出することにより、磁歪素子
に作用する外部応力を測定する磁歪検出型力センサに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁歪検出型センサ１０は、例え
ば、図５に示すように、有底円筒形状のケース２０に、
ボビン４０に巻回された検出用コイル５０を挿入配置す
るとともに、ボビン内側に円柱状の磁歪素子６０を収納
し、更に、この磁歪素子６０の上側端面に当接する蓋体
３０が取り付けられている。
ば、図５に示すように、有底円筒形状のケース２０に、
ボビン４０に巻回された検出用コイル５０を挿入配置す
るとともに、ボビン内側に円柱状の磁歪素子６０を収納
し、更に、この磁歪素子６０の上側端面に当接する蓋体
３０が取り付けられている。
【０００３】そして、この磁歪検出型力センサ１０に圧
縮応力Ｆが加わると、その圧縮応力は蓋体３０を介して
磁歪素子６０に伝達され、磁歪素子６０の透磁率が変化
する。この透磁率の変化が、検出用コイル５０にて検出
される。
縮応力Ｆが加わると、その圧縮応力は蓋体３０を介して
磁歪素子６０に伝達され、磁歪素子６０の透磁率が変化
する。この透磁率の変化が、検出用コイル５０にて検出
される。
【０００４】このとき、磁歪素子６０に圧縮応力が作用
すると、磁歪素子６０がその径方向Ｗに僅かに変形（膨
張）するため、通常、磁歪素子６０の外径よりもボビン
４０の内径が大きくなるように構成されている。
すると、磁歪素子６０がその径方向Ｗに僅かに変形（膨
張）するため、通常、磁歪素子６０の外径よりもボビン
４０の内径が大きくなるように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の磁歪検出型力センサ１０においては、磁歪素
子６０とボビン４０との間の隙間に対して、何ら位置合
わせが行われておらず、このため、磁歪素子６０がボビ
ン４０に接触して配置されているような場合（例えば、
図５中破線で示すように磁歪素子６０が中心から黒矢印
方向にずれた位置に配置されているような場合）には、
その変形がボビン４０によって妨げられることになり、
そうでない場合と比較して透磁率の変化が小さくなって
しまう。これにより、磁歪素子６０とボビン４０との相
対位置に応じた測定値のバラツキが生じ、センサとして
の歩留まりや信頼性が低下してしまうという問題があ
る。
うな従来の磁歪検出型力センサ１０においては、磁歪素
子６０とボビン４０との間の隙間に対して、何ら位置合
わせが行われておらず、このため、磁歪素子６０がボビ
ン４０に接触して配置されているような場合（例えば、
図５中破線で示すように磁歪素子６０が中心から黒矢印
方向にずれた位置に配置されているような場合）には、
その変形がボビン４０によって妨げられることになり、
そうでない場合と比較して透磁率の変化が小さくなって
しまう。これにより、磁歪素子６０とボビン４０との相
対位置に応じた測定値のバラツキが生じ、センサとして
の歩留まりや信頼性が低下してしまうという問題があ
る。
【０００６】そこで、本発明は、磁歪素子とボビンとの
相対位置に応じた測定値のバラツキをなくし、信頼性の
高い測定を行うことができる磁歪検出型力センサを提供
することを目的とする。
相対位置に応じた測定値のバラツキをなくし、信頼性の
高い測定を行うことができる磁歪検出型力センサを提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁歪検出型力セ
ンサは、筒状に巻線が施された検出用コイルと、該検出
用コイルの内側に同軸配置される柱状の磁歪素子と、該
磁歪素子を前記検出用コイルの径方向において略中央に
位置決めする位置決め部材とを備えるものである。これ
により、磁歪素子が検出用コイルの径方向において略中
央に位置決めされる。
ンサは、筒状に巻線が施された検出用コイルと、該検出
用コイルの内側に同軸配置される柱状の磁歪素子と、該
磁歪素子を前記検出用コイルの径方向において略中央に
位置決めする位置決め部材とを備えるものである。これ
により、磁歪素子が検出用コイルの径方向において略中
央に位置決めされる。
【０００８】具体的には、前記位置決め部材は、前記コ
イルが巻回されたボビンの内周面から前記磁歪素子に向
けて突設された少なくとも３個の突起を含むものであ
る。
イルが巻回されたボビンの内周面から前記磁歪素子に向
けて突設された少なくとも３個の突起を含むものであ
る。
【０００９】また、前記突起は、前記検出用コイルの巻
き幅方向に長手方向を有する柱体状のものである。
き幅方向に長手方向を有する柱体状のものである。
【００１０】また、前記突起は、前記磁歪素子に向けて
先細りする錐体状のものである。
先細りする錐体状のものである。
【００１１】また、前記位置決め部材は、前記コイルが
巻回されたボビンの内周面の上端付近または下端付近に
おいて前記磁歪素子に向けて突設されたリング状の突起
である。
巻回されたボビンの内周面の上端付近または下端付近に
おいて前記磁歪素子に向けて突設されたリング状の突起
である。
【００１２】また、前記突起は、弾性体からなるもので
ある。これにより、磁歪素子の変形時には弾性体が変形
するため、突起による磁歪素子への影響が低減される。
ある。これにより、磁歪素子の変形時には弾性体が変形
するため、突起による磁歪素子への影響が低減される。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施の形態
について説明する。
について説明する。
【００１４】図１及び図２は本実施の形態における磁歪
検出型力センサの概略構成を示している。
検出型力センサの概略構成を示している。
【００１５】同図に示すように、本実施の形態における
磁歪検出型力センサ１は、外部応力により透磁率が変化
する直径φ１の円柱状の磁歪素子６と、その磁歪素子６
が同軸状に挿入された検出用コイル５と、これらを収容
するフェライトや鉄等の強磁性体で構成された有底円筒
形状のケース２と、このケース２の開口部を覆うように
配置される蓋体３とを含む。
磁歪検出型力センサ１は、外部応力により透磁率が変化
する直径φ１の円柱状の磁歪素子６と、その磁歪素子６
が同軸状に挿入された検出用コイル５と、これらを収容
するフェライトや鉄等の強磁性体で構成された有底円筒
形状のケース２と、このケース２の開口部を覆うように
配置される蓋体３とを含む。
【００１６】そして、磁歪素子６は、一端がケース２の
底面とテフロン（登録商標）シート６１を介して当接す
るとともに、他端が蓋体３の下面とテフロンシート６２
を介して当接するように配置される。
底面とテフロン（登録商標）シート６１を介して当接す
るとともに、他端が蓋体３の下面とテフロンシート６２
を介して当接するように配置される。
【００１７】磁歪素子６は、希土類金属元素および鉄を
含有する磁歪材料、すなわち、磁界印加により変位が生
じる材料、また、変位を与えることにより磁界が発生す
るという逆磁歪（ビラリ効果）を有する材料で、たとえ
ばＮｉ−Ｆｅ系磁歪材料、ＲＦｅ系磁歪材料等で構成さ
れる。特に、磁歪量が極めて大きく超磁歪材料と呼ばれ
るＲＦｅ系磁歪材料で構成することが望ましい。この場
合は、極めて大きな磁気抵抗の変化、大きな出力電圧、
安定した温度特性等を有するセンサが得られる。
含有する磁歪材料、すなわち、磁界印加により変位が生
じる材料、また、変位を与えることにより磁界が発生す
るという逆磁歪（ビラリ効果）を有する材料で、たとえ
ばＮｉ−Ｆｅ系磁歪材料、ＲＦｅ系磁歪材料等で構成さ
れる。特に、磁歪量が極めて大きく超磁歪材料と呼ばれ
るＲＦｅ系磁歪材料で構成することが望ましい。この場
合は、極めて大きな磁気抵抗の変化、大きな出力電圧、
安定した温度特性等を有するセンサが得られる。
【００１８】また、検出用コイル５は、両端にフランジ
部４１、４２を有する円筒形状のボビン４の側面４３の
外側に、通常のエナメル被覆された適宜の太さの銅線を
巻回して構成され、ボビン４の内径φ２は磁歪素子６の
直径φ１よりも長い寸法となっているいる。
部４１、４２を有する円筒形状のボビン４の側面４３の
外側に、通常のエナメル被覆された適宜の太さの銅線を
巻回して構成され、ボビン４の内径φ２は磁歪素子６の
直径φ１よりも長い寸法となっているいる。
【００１９】ボビン４は、その側面４３の内側に２個の
リング状の突起４１ａ、４２ａを備えている。リング状
の突起４１ａは、側面４３の内側から、フランジ部４１
と略同じ厚さで、（φ２−φ１）／２の高さだけ、全周
にわたって突設されたものであり、また、リング状の突
起４２ａも同様に、側面４３の内側から、フランジ４２
と略同じ厚さで、（φ２−φ１）／２の高さだけ、全周
にわたって突設されたものである。これらリング状の突
起４１ａ、４２ａを設ける位置は、できるだけ磁歪素子
６の端部に近い方が、磁歪素子６の透磁率変化に与える
影響が少なくなるため、本実施の形態においては、ボビ
ン４の側面４３を挟んでフランジ部４１、４２の反対側
に設けている。
リング状の突起４１ａ、４２ａを備えている。リング状
の突起４１ａは、側面４３の内側から、フランジ部４１
と略同じ厚さで、（φ２−φ１）／２の高さだけ、全周
にわたって突設されたものであり、また、リング状の突
起４２ａも同様に、側面４３の内側から、フランジ４２
と略同じ厚さで、（φ２−φ１）／２の高さだけ、全周
にわたって突設されたものである。これらリング状の突
起４１ａ、４２ａを設ける位置は、できるだけ磁歪素子
６の端部に近い方が、磁歪素子６の透磁率変化に与える
影響が少なくなるため、本実施の形態においては、ボビ
ン４の側面４３を挟んでフランジ部４１、４２の反対側
に設けている。
【００２０】そして、ボビン４の内側に磁歪素子６が挿
入されると、磁歪素子６の側面が突起４１ａと４２ａと
で保持され、ボビン４の側面４３と磁歪素子６の側面と
の間に隙間が生じる。
入されると、磁歪素子６の側面が突起４１ａと４２ａと
で保持され、ボビン４の側面４３と磁歪素子６の側面と
の間に隙間が生じる。
【００２１】これにより、磁歪素子６に圧縮応力が作用
しても、磁歪素子６の側面とボビン４の側面４３とが接
触することがなくなるため、磁歪素子６とボビン４との
相対位置に応じた測定値のバラツキがなくなり、信頼性
の高い測定を行うことができる。
しても、磁歪素子６の側面とボビン４の側面４３とが接
触することがなくなるため、磁歪素子６とボビン４との
相対位置に応じた測定値のバラツキがなくなり、信頼性
の高い測定を行うことができる。
【００２２】なお、第１の実施の形態においては、ボビ
ン４の側面４３にリング状の突起４１ａ、４２ａを用い
た場合について説明したが、突起の形状はそれに限定さ
れるものではない。
ン４の側面４３にリング状の突起４１ａ、４２ａを用い
た場合について説明したが、突起の形状はそれに限定さ
れるものではない。
【００２３】図３及び図４は、第２の実施の形態におけ
る磁歪検出型力センサの概略構成を示している。なお、
突起の形状を除くその他の構成については、第１の実施
の形態と同じであるため、同一の図番を付してその説明
を省略する。
る磁歪検出型力センサの概略構成を示している。なお、
突起の形状を除くその他の構成については、第１の実施
の形態と同じであるため、同一の図番を付してその説明
を省略する。
【００２４】同図に示すように、ボビン４は、その側面
４３の内側に、中心に向かって先細りする６個の円錐形
状の突起４１ｂ、４２ｂを備えている。
４３の内側に、中心に向かって先細りする６個の円錐形
状の突起４１ｂ、４２ｂを備えている。
【００２５】円錐形状の突起４１ｂは、それぞれボビン
４の側面４３の内側に、互いに等間隔に配置されてお
り、また、円錐形状の突起４１ｂも同様に、それぞれボ
ビン４の側面４３の内側に、互いに等間隔に配置されて
いる。
４の側面４３の内側に、互いに等間隔に配置されてお
り、また、円錐形状の突起４１ｂも同様に、それぞれボ
ビン４の側面４３の内側に、互いに等間隔に配置されて
いる。
【００２６】このように、突起として、円錐をはじめと
する錐体形状のものを用いた場合には、突起と磁歪素子
６との接触面積を最小限に抑えることができるため、突
起が磁歪素子６の透磁率の変化に与える影響を、更に小
さくすることができる。
する錐体形状のものを用いた場合には、突起と磁歪素子
６との接触面積を最小限に抑えることができるため、突
起が磁歪素子６の透磁率の変化に与える影響を、更に小
さくすることができる。
【００２７】なお、上述した第１及び第２の実施の形態
においては、磁歪素子６の両端面付近に突起を設ける場
合について説明したが、少なくとも一方の端面付近に突
起を設ければよい。
においては、磁歪素子６の両端面付近に突起を設ける場
合について説明したが、少なくとも一方の端面付近に突
起を設ければよい。
【００２８】また、図５及び図６は、第３の実施の形態
における磁歪検出型力センサの概略構成を示している。
なお、突起の形状を除くその他の構成については、第２
の実施の形態と同じであるため、同一の図番を付してそ
の説明を省略する。
における磁歪検出型力センサの概略構成を示している。
なお、突起の形状を除くその他の構成については、第２
の実施の形態と同じであるため、同一の図番を付してそ
の説明を省略する。
【００２９】同図に示すように、ボビン４は、その側面
４３の内側に、コイル５の巻幅方向に長手方向を有する
３個の三角柱形状の突起４１ｃを備えている。
４３の内側に、コイル５の巻幅方向に長手方向を有する
３個の三角柱形状の突起４１ｃを備えている。
【００３０】三角柱状の突起４１ｃは、ボビン４の側面
４３の内側に、互いに等間隔に並設されており、各突起
４１ｃは中心に向かって先細りする向きに設けられてい
る。
４３の内側に、互いに等間隔に並設されており、各突起
４１ｃは中心に向かって先細りする向きに設けられてい
る。
【００３１】このように、突起として、コイル５の巻幅
方向に長手方向を有する三角柱をはじめとする柱体形状
のものを用いた場合には、磁歪素子６をより強固に保持
することができる。
方向に長手方向を有する三角柱をはじめとする柱体形状
のものを用いた場合には、磁歪素子６をより強固に保持
することができる。
【００３２】なお、上述した各実施の形態においては、
突起の材質について説明していないが、ボビン４と同一
の材質を用いて一体成形した場合には、容易に量産する
ことができ、また、ゴム等の弾性部材を用いた場合に
は、磁歪素子６の変形に応じて突起が変形するため、突
起が磁歪素子６の透磁率の変化に与える影響を、更に小
さくすることができる。
突起の材質について説明していないが、ボビン４と同一
の材質を用いて一体成形した場合には、容易に量産する
ことができ、また、ゴム等の弾性部材を用いた場合に
は、磁歪素子６の変形に応じて突起が変形するため、突
起が磁歪素子６の透磁率の変化に与える影響を、更に小
さくすることができる。
【００３３】また、この発明による磁歪検出型力センサ
１の用途例としては、たとえば電動モータおよびその電
源となるバッテリを搭載した電動補助自転車（アシスト
電動自転車）において、踏力トルクセンサとして使用さ
れる。この場合、センサは自転車のペダル部に取り付け
られて踏力トルクを検出し、必要に応じて電動モータよ
り補助動力を付加して坂道等の走行を容易とする。ま
た、他の用途例としては、マイコンを用いた全自動洗濯
機において、洗濯物の重量を検出する重量センサとして
使用される。そして、この場合にはセンサにより検出さ
れた洗濯物の重量に応じて洗濯時間等が自動的に設定さ
れることになる。
１の用途例としては、たとえば電動モータおよびその電
源となるバッテリを搭載した電動補助自転車（アシスト
電動自転車）において、踏力トルクセンサとして使用さ
れる。この場合、センサは自転車のペダル部に取り付け
られて踏力トルクを検出し、必要に応じて電動モータよ
り補助動力を付加して坂道等の走行を容易とする。ま
た、他の用途例としては、マイコンを用いた全自動洗濯
機において、洗濯物の重量を検出する重量センサとして
使用される。そして、この場合にはセンサにより検出さ
れた洗濯物の重量に応じて洗濯時間等が自動的に設定さ
れることになる。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、検出用コイルの径方向
における磁歪素子の位置を、位置きめ部材により検出用
コイルの中央付近に位置決めしているため、磁歪素子と
検出用コイルまたはそれが巻回されたボビンとが接触す
ることがなくなる。これにより、磁歪素子と検出用コイ
ルまたはボビンとの相対位置に応じた測定値のバラツキ
がなくなり、信頼性の高い測定を行うことが可能とな
る。
における磁歪素子の位置を、位置きめ部材により検出用
コイルの中央付近に位置決めしているため、磁歪素子と
検出用コイルまたはそれが巻回されたボビンとが接触す
ることがなくなる。これにより、磁歪素子と検出用コイ
ルまたはボビンとの相対位置に応じた測定値のバラツキ
がなくなり、信頼性の高い測定を行うことが可能とな
る。
【図１】 本発明の第１の実施の形態における磁歪検出
型力センサの概略構成を表す位置部破断側面図である。
型力センサの概略構成を表す位置部破断側面図である。
【図２】 図１の磁歪検出型力センサの概略構成を表す
ＡＡ断面図である。
ＡＡ断面図である。
【図３】 本発明の第２の実施の形態における磁歪検出
型力センサの概略構成を表す位置部破断側面図である。
型力センサの概略構成を表す位置部破断側面図である。
【図４】 図３の磁歪検出型力センサの概略構成を表す
ＢＢ断面図である。
ＢＢ断面図である。
【図５】 本発明の第３の実施の形態における磁歪検出
型力センサの概略構成を表す位置部破断側面図である。
型力センサの概略構成を表す位置部破断側面図である。
【図６】 図５の磁歪検出型力センサの概略構成を表す
ＣＣ断面図である。
ＣＣ断面図である。
【図７】 従来の磁歪検出型力センサの概略構成を表す
一部破断側面図である。
一部破断側面図である。
１ ：磁歪検出型力センサ ２ ：ケース ３ ：蓋体 ４ ：ボビン ４１ ：フランジ部 ４１ａ：突起 ４２ ：フランジ部 ４２ａ：突起 ４３ ：側面 ５ ：検出用コイル ６ ：磁歪素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） (72)発明者 青木 英明 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 中西 稔 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三 洋電機株式会社内 (72)発明者 近藤 文剛 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三 洋電機株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 筒状に巻線が施された検出用コイルと、
該検出用コイルの内側に同軸配置される柱状の磁歪素子
と、該磁歪素子を前記検出用コイルの径方向において略
中央に位置決めする位置決め部材とを備える磁歪検出型
力センサ。 - 【請求項２】 前記位置決め部材は、前記コイルが巻回
されたボビンの内周面から前記磁歪素子に向けて突設さ
れた少なくとも３個の突起を含むものである請求項１記
載の磁歪検出型力センサ。 - 【請求項３】 前記突起は、前記検出用コイルの巻き幅
方向に長手方向を有する柱体状のものである請求項２記
載の磁歪検出型力センサ。 - 【請求項４】 前記突起は、前記磁歪素子に向けて先細
りする錐体状のものである請求項２記載の磁歪検出型力
センサ。 - 【請求項５】 前記位置決め部材は、前記コイルが巻回
されたボビンのの内周面の上端付近または下端付近にお
いて前記磁歪素子に向けて突設されたリング状の突起で
ある請求項２記載の磁歪検出型力センサ。 - 【請求項６】 前記突起は、弾性体からなることを特徴
とする請求項２ないし５のいずれかに記載の磁歪検出型
力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000075140A JP2001264186A (ja) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | 磁歪検出型力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000075140A JP2001264186A (ja) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | 磁歪検出型力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001264186A true JP2001264186A (ja) | 2001-09-26 |
Family
ID=18593077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000075140A Pending JP2001264186A (ja) | 2000-03-17 | 2000-03-17 | 磁歪検出型力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001264186A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1605239A3 (en) * | 2004-06-07 | 2007-07-18 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Load detector and transport equipment including the same |
| JP2013217876A (ja) * | 2012-04-12 | 2013-10-24 | Seiko Epson Corp | センサーモジュール、応力検出装置及びロボット |
| JP2020162959A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 京セラ株式会社 | 手術器具 |
| JP2022017549A (ja) * | 2015-07-17 | 2022-01-25 | デカ・プロダクツ・リミテッド・パートナーシップ | ロボット手術システム、方法、および装置 |
-
2000
- 2000-03-17 JP JP2000075140A patent/JP2001264186A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1605239A3 (en) * | 2004-06-07 | 2007-07-18 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Load detector and transport equipment including the same |
| US7320251B2 (en) | 2004-06-07 | 2008-01-22 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Load detector and transport equipment including the same |
| JP2013217876A (ja) * | 2012-04-12 | 2013-10-24 | Seiko Epson Corp | センサーモジュール、応力検出装置及びロボット |
| JP2022017549A (ja) * | 2015-07-17 | 2022-01-25 | デカ・プロダクツ・リミテッド・パートナーシップ | ロボット手術システム、方法、および装置 |
| JP7434252B2 (ja) | 2015-07-17 | 2024-02-20 | デカ・プロダクツ・リミテッド・パートナーシップ | ロボット手術システム、方法、および装置 |
| JP2020162959A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 京セラ株式会社 | 手術器具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2566709B2 (ja) | トルク検出装置及びそのトルク測定方法 | |
| US7584672B2 (en) | Magnetostrictive torque sensor | |
| JP2001334948A5 (ja) | ||
| US5165286A (en) | Strain detector | |
| JP3583671B2 (ja) | トルク検出装置 | |
| JP2001264186A (ja) | 磁歪検出型力センサ | |
| JP2000114615A (ja) | 磁歪検出型力センサ | |
| JP2001264187A (ja) | 磁歪検出型力センサ | |
| JP2588034B2 (ja) | インダクタンス形変位センサ | |
| JP3886423B2 (ja) | 磁界検出器 | |
| JPH04191630A (ja) | 磁歪式トルクセンサ | |
| JP2005274160A (ja) | トルクセンサ | |
| JP2000114616A (ja) | 磁歪検出型力センサ | |
| JP2582531Y2 (ja) | インダクタンス式変位センサ | |
| JPH1038714A (ja) | トルク測定装置および該トルク測定装置を用いた紙幣繰り出し機構 | |
| JPH03269330A (ja) | トルクセンサ | |
| JP2641741B2 (ja) | 力学量センサ | |
| JP2002062203A (ja) | トルクセンサ | |
| JP2007086017A (ja) | 磁歪式トルクセンサ | |
| JP3406501B2 (ja) | 変位センサー | |
| JP3024905B2 (ja) | センサ | |
| JPH0446184Y2 (ja) | ||
| JPH05118938A (ja) | トルクトランスデユーサ | |
| JPS63292029A (ja) | トルクセンサ | |
| JP3001028B2 (ja) | 磁歪式トルクセンサ |