JPH04158540A - ウェハープローバ - Google Patents
ウェハープローバInfo
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- JPH04158540A JPH04158540A JP28395590A JP28395590A JPH04158540A JP H04158540 A JPH04158540 A JP H04158540A JP 28395590 A JP28395590 A JP 28395590A JP 28395590 A JP28395590 A JP 28395590A JP H04158540 A JPH04158540 A JP H04158540A
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- JP
- Japan
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- error
- stage
- movement
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- self
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000004092 self-diagnosis Methods 0.000 abstract description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 abstract description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 abstract 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 2
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェハーブローバに関し、特にステージの駆動
機構に関する。
機構に関する。
従来のウェハープローバのステージ駆動は、第２図に示
すように、ウェハーステージ８（以下単にステージとい
う）を期待する位置へ移動させる際、単に、ＣＰＵ３か
らその移動量に応じたパルス数で移動制御信号が出力さ
れ、駆動回路６にてステッピングモータ７の駆動信号を
作り出すものであった。
すように、ウェハーステージ８（以下単にステージとい
う）を期待する位置へ移動させる際、単に、ＣＰＵ３か
らその移動量に応じたパルス数で移動制御信号が出力さ
れ、駆動回路６にてステッピングモータ７の駆動信号を
作り出すものであった。
この従来のウェハープローバにおけるステージの駆動方
法は、移動制御信号でのＣＰＵからの信号による一方向
の制御方式であり、ステージの最終的移動量と期待移動
量との差は初期の組込み精度又は歯車やベルト等の経時
的安定性に左右され、ウェハーのブロービング精度にば
らつきを生ずるという問題があった。
法は、移動制御信号でのＣＰＵからの信号による一方向
の制御方式であり、ステージの最終的移動量と期待移動
量との差は初期の組込み精度又は歯車やベルト等の経時
的安定性に左右され、ウェハーのブロービング精度にば
らつきを生ずるという問題があった。
本発明のウェハーブローバは、基準マークが付けられた
ステージと、この基準マークをモニタする検出系と、こ
の検出系から出力されるステージの移動誤差データを記
憶するメモリと、ステージの移動制御信号を送出するＣ
ＰＵと、前記メモリからの誤差データと前記ＣＰＬＩか
らの移動制御信号と入力し？ｉｖ記スデステージ動量を
補正する移動データ補正回路と、この移動データ補正回
路からの信号によりステージ駆動用のモータを制御する
駆動回路とを含んで構成される。
ステージと、この基準マークをモニタする検出系と、こ
の検出系から出力されるステージの移動誤差データを記
憶するメモリと、ステージの移動制御信号を送出するＣ
ＰＵと、前記メモリからの誤差データと前記ＣＰＬＩか
らの移動制御信号と入力し？ｉｖ記スデステージ動量を
補正する移動データ補正回路と、この移動データ補正回
路からの信号によりステージ駆動用のモータを制御する
駆動回路とを含んで構成される。
次に本発明につき、図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例のブロック図である。
第１図においてウェハー１０−バは、基準マーク９が付
けられたステージ８と、この基準マーク９をモニタする
ＣＣＤカメラ１と、このＣＣＤカメラ１からの信号によ
りステージ８の移動誤差を検出する誤差検出回路２と、
検出された移動誤差を記憶する誤差メモリ４と、ステー
ジ８の移動制御信号を送出するＣＰＵ３と、誤差メモリ
４からの誤差データとＣＰＵがらの移動制御信号を入力
しステージ８の移動量を補正する移動データ補正回路５
と、この移動データ補正口Ｂ５がらの信号によりステー
ジ駆動用のステッピングモータ７を制御する駆動回路６
とを備えている。以下動作について説明する。
けられたステージ８と、この基準マーク９をモニタする
ＣＣＤカメラ１と、このＣＣＤカメラ１からの信号によ
りステージ８の移動誤差を検出する誤差検出回路２と、
検出された移動誤差を記憶する誤差メモリ４と、ステー
ジ８の移動制御信号を送出するＣＰＵ３と、誤差メモリ
４からの誤差データとＣＰＵがらの移動制御信号を入力
しステージ８の移動量を補正する移動データ補正回路５
と、この移動データ補正口Ｂ５がらの信号によりステー
ジ駆動用のステッピングモータ７を制御する駆動回路６
とを備えている。以下動作について説明する。
ＣＰＵ３から出力されるステージ８の移動制御値に対し
、ＣＣＤカメラ１にてモニタされる基準マーク９の最終
的移動量との差が誤差検出口′＃Ｉ２で検出され、かつ
ＣＰＵ３を介し誤差メモリ４へ記憶される。又、これら
の制御機能を基に、実際のウェハブロービングを行う前
に自己診断動作として、ステージ８の全移動スパンにわ
たりスキャニングすることにより、駆動系の累積誤差及
び各基準マーク９で収集した非線型誤差を予め駆動制御
の際の補正データとして、誤差メモリ４へ格納する。
、ＣＣＤカメラ１にてモニタされる基準マーク９の最終
的移動量との差が誤差検出口′＃Ｉ２で検出され、かつ
ＣＰＵ３を介し誤差メモリ４へ記憶される。又、これら
の制御機能を基に、実際のウェハブロービングを行う前
に自己診断動作として、ステージ８の全移動スパンにわ
たりスキャニングすることにより、駆動系の累積誤差及
び各基準マーク９で収集した非線型誤差を予め駆動制御
の際の補正データとして、誤差メモリ４へ格納する。
以上の自己診断動作により実際のウェハーブロービング
等のステージ８の移動時は、ＣＰＵ３の制御値と誤差メ
モリ４がらのリアルタイムに出力される補正データを基
に、移動データ補正回路５にて誤差補正量を加味するこ
とにより、駆動回路６へは適正な移動データを出力する
ことが可能となり、より高精度の位１決定を実現するこ
とができる５ 尚、上記実施例においては、検出系にＣＣＤカメラを用
いた場合について説明したが、レーザ変位計等を用いて
もよい。
等のステージ８の移動時は、ＣＰＵ３の制御値と誤差メ
モリ４がらのリアルタイムに出力される補正データを基
に、移動データ補正回路５にて誤差補正量を加味するこ
とにより、駆動回路６へは適正な移動データを出力する
ことが可能となり、より高精度の位１決定を実現するこ
とができる５ 尚、上記実施例においては、検出系にＣＣＤカメラを用
いた場合について説明したが、レーザ変位計等を用いて
もよい。
以上説明したように本発明によれば、駆動出力の最終結
果としてステージ上の基準マークの移動量を自己診断し
、キャリブレーションすることにより、累積誤差等、経
年的機械精度の劣化をソフト的対応で相殺することがで
きるため、ウェハーのブロービング精度のばらつきをな
くすことができるとい効果がある。
果としてステージ上の基準マークの移動量を自己診断し
、キャリブレーションすることにより、累積誤差等、経
年的機械精度の劣化をソフト的対応で相殺することがで
きるため、ウェハーのブロービング精度のばらつきをな
くすことができるとい効果がある。
第１図は本発明の実施例のブロック図、第２図は従来の
ウェハー１０−バのブロック図である。 １・・・ＣＣＤカメラ、２・・・誤差検出回路、３・・
・ＣＰＵ、４・・・誤差メモリ、５・・・移動データ補
正回路、６・・・駆動回路、７・・・ステッピングモー
タ、８・・・ステージ、９・・・基準マーク。
ウェハー１０−バのブロック図である。 １・・・ＣＣＤカメラ、２・・・誤差検出回路、３・・
・ＣＰＵ、４・・・誤差メモリ、５・・・移動データ補
正回路、６・・・駆動回路、７・・・ステッピングモー
タ、８・・・ステージ、９・・・基準マーク。
Claims (1)
- 基準マークが付けられたステージと、この基準マークを
モニタする検出系と、この検出系から出力されるステー
ジの移動誤差データを記憶するメモリと、ステージの移
動制御信号を送出するＣＰＵと、前記メモリからの誤差
データと前記ＣＰＵからの移動制御信号を入力し前記ス
テージの移動量を補正する移動データ補正回路と、この
移動データ補正回路からの信号によりステージ駆動用の
モータを制御する駆動回路とを含むことを特徴とするウ
ェハープローバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28395590A JPH04158540A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | ウェハープローバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28395590A JPH04158540A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | ウェハープローバ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04158540A true JPH04158540A (ja) | 1992-06-01 |
Family
ID=17672391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28395590A Pending JPH04158540A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | ウェハープローバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04158540A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5550634A (en) * | 1993-04-30 | 1996-08-27 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Semiconductor manufacturing system with self-diagnosing function and self-diagnosing method thereof |
| WO2003050514A3 (en) * | 2001-12-12 | 2004-01-29 | Therma Wave Inc | Position-dependent optical metrology calibration |
-
1990
- 1990-10-22 JP JP28395590A patent/JPH04158540A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5550634A (en) * | 1993-04-30 | 1996-08-27 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Semiconductor manufacturing system with self-diagnosing function and self-diagnosing method thereof |
| WO2003050514A3 (en) * | 2001-12-12 | 2004-01-29 | Therma Wave Inc | Position-dependent optical metrology calibration |
| US7095496B2 (en) | 2001-12-12 | 2006-08-22 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for position-dependent optical metrology calibration |
| US7215419B2 (en) | 2001-12-12 | 2007-05-08 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for position-dependent optical metrology calibration |
| US7224450B2 (en) | 2001-12-12 | 2007-05-29 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for position-dependent optical metrology calibration |
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