JPH04147019A - 光学センサ - Google Patents

光学センサ

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JPH04147019A
JPH04147019A JP27043790A JP27043790A JPH04147019A JP H04147019 A JPH04147019 A JP H04147019A JP 27043790 A JP27043790 A JP 27043790A JP 27043790 A JP27043790 A JP 27043790A JP H04147019 A JPH04147019 A JP H04147019A
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JP
Japan
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light
optical member
optical
linear fresnel
fresnel lens
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JP27043790A
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English (en)
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Hirobumi Ito
博文 伊藤
Jiro Mukai
向井 二郎
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NIPPON AREFU KK
Original Assignee
NIPPON AREFU KK
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は物体等の検出を行う光学センサに係り、特に集
光用光学系の構造を改良した光学センサに関するもので
ある。
〔従来の技術〕
従来、このような光学センサとしては第11図乃至第1
3図に示されているような構成のものが知られている。
まず、第11図に示されている光学センサ1は、受光部
については、板状透過部材2と、この板状透過部材2の
後方に配設された検知領域に応して傾いた光軸と、異な
った曲率半径の凹面鏡に分割された分割ミラー3と、上
記板状透過部材2と分割ミラー3との間にて当該分割ミ
ラー3に対向するように光軸上に配設された受光素子4
とから構成されている。
この光学センサ1にあっては、検知領域からの光束は板
状透過部材2をそのまま通過し、分割ミラー3の曲率半
径の異なる各凹面鏡で検知領域毎に反射されて受光素子
4に集光されている。
また、第12図に示されている光学センサIIは、受光
部については、集光用光学系12の前面側に形成された
偏向複プリズム12aと、この偏向複プリズム12aの
後方に配設された放物面ミラー13と、上記集光用光学
系12と放物面ミラー13との間にて当該放物面ミラー
13に対向するように光軸上に配設された受光素子14
とから構成されている。
この光学センサ11にあっては、検知領域からの光束は
上記集光用光学系12の偏向複プリズム12aにて光軸
に平行な光束に偏向され、上記放物面ミラー13によっ
て反射されて受光素子14に集光されている。
さらに、第13図に示されている光学センサ21は受光
部については、偏向複プリズム22aとフレネルレンズ
22bとからなる集光用光学系22と、該集光用光学系
22の後方の光軸上に上記フレネルレンズ22bに対向
するように配設された受光素子24とから構成されてい
る。
この光学センサ21にあっては、検知領域からの光束は
上記集光用光学系22の前面に形成された偏向複プリズ
ム22aにて光軸に平行な光束に偏向され、該集光用光
学系22の後面に形成されたフレネルレンズ22bによ
って受光素子24に集光されている。
(発明が解決しようとする課題〕 ところで、このように構成された光学センサ1゜11.
21にあっては、次のような問題があった。
第11図に示した光学センサ1にあっては、分割ミラー
3を検知領域に応して異なる曲率半径の凹面鏡を光軸を
傾けて構成しているため、設計・製造が困難で精度が出
し難く、また収差の補正も充分に行えないという問題が
あった。
また、第12図に示した光学センサ11にあっては、放
物面ミラー13の光軸にほぼ平行に光束が入るので性能
が良く、また放物面ミラー13によって反射させ、その
焦点を偏向複プリズム面の近くに置けるので、該光学セ
ンサ11を小型化することができるが、上記放物面ミラ
ー13は大口径で設計金型の加工・成型が難しく、精度
上、コスト上の問題があった。
さらに、第13図に示した光学センサ21にあっては、
上記フレネルレンズ22bの光軸にほぼ平行に光束が入
るので性能が良いが大口径を必要とするので、非常にピ
ンチが細かくフレネル角の大きいフレネルレンズ22b
を必要とするため、製造が困難であるという問題があっ
た。
本発明は上記課題に鑑み、製造及び精度出しが容易で、
小型の光学センサを安価に提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は本発明の光学センサによれば、光学系を構成
する二つの集光用光学部材と、該集光用光学部材の後方
の光軸上にこれらに対向するように配設された受光素子
とを備えた光学センサにおいて、入光側の集光用光学部
材の入光側面が平面にて形成されると共に、出光側面が
複数の検知領域からの光束を光学系の光軸にほぼ平行に
偏向させる偏向複プリズムにて形成され、出光側の集光
用光学部材の人出光両面が互いに直交するリニヤフレネ
ルレンズにて形成されるようにしたことにより、達成さ
れる。
また、上記光学系が一つの集光用光学部材にて構成され
、該集光用光学部材の同し入光側面に同一方向に沿って
カッティングされた偏向複プリズムとリニヤフレネルレ
ンズとを一体的に形成すると共に、出光側面に該リニヤ
フレネルレンズと直交方向に沿ってカッティングされた
リニヤフレネルレンズを形成するようにしてもよい。
さらに、上記光学系が一つの集光用光学部材にて構成さ
れ、該集光用光学部材の同し入光側面に偏向複プリズム
とリニヤフレネルレンズとを格子状に一体的に形成する
と共に、出光側面に該偏向複プリズムと同一方向に沿っ
てカッティングされたリニヤフレフルレンズを形成する
ように構成してもよい。
そして、上記光学系が一つの集光用光学部材にて構成さ
れ、該集光用光学部材の入光側面に偏向複プリズムを形
成すると共に、出光側面に格子状にカンティングされた
リニヤフレネルレンズを形成することもできる。
またさらに、上記光学系が一つの集光用光学部材にて構
成され、該集光用光学部材の同し入光側面に偏同複プリ
ズム及び格子状にカッティングされたワニャフレぶルレ
ンズを一体的に形成すると共に、出光側面に平面を形成
してもよい。
次に、上記光学系が一つの集光用光学部材にて構成され
、該集光用光学部材の入光側面を三つの面に分割し、該
分割された集光用光学部材の長手方向両側の面を幅方向
に沿った中心軸に対して、逆に対称な形状のリニヤフレ
ネルレンズに形成すると共に、中央の面を上記中心軸に
対し対称な形状のリニヤフレネルレンズに形成し、上記
集光用光学部材の出光側面に上記分割面に形成されたリ
ニヤフレネルレンズと集光作用が直交するリニヤフレネ
ルレンズを形成するようにしてもよい。
また次に、上記光学系が曲面を存する集光用光学部材の
厚さ方向内外面に集光作用が直交するリニヤフレネルレ
ンズをそれぞれ形成し、フレぶル軸に対して曲面を持っ
た形状にしてもよい。
C作 用〕 上記構成によれば、複数の検知頭載からの光束は、入光
側の集光用光学部材の偏向複プリズムにより光学系の光
軸にほぼ平行に偏向され、出光側の集光用光学部材の入
出光両面に互いに直交するように形成されたりニセフレ
ネルレン・ズにより受光素子に集光される。上記入光側
の集光用光学部材に形成された偏向複プリズムと、上記
出光側の集光用光学部材の縮リニヤフレぶルレンズとは
、力・ンティングの方向が直線的であるので、加工が容
易であり、加工の容易な上記偏向複プリズムとリニヤフ
レネルレンズとを組み合わせることにより、光学センサ
の製作を容易にし、製作コストの低減化を図っている。
また、上記偏向複プリズムとリニヤフレネルレンズを一
体的に形成して集光用光学部材を一つにすることにより
部材数を減少させて、製作コストの低減を図っている。
さらに、上記集光用光学部材をリニヤフレネルレンズを
有する三つの面に分割しても、該リニヤフレフルレンズ
はそれぞれ一方向に沿ってカッティングされており、直
線状の加工のみを施せば良いので、従来に比し金型加工
・成形が非常に容易になり、製造コストを低減化するこ
とができ、且つ精度を高めることもできる。
そして、集光作用が直交するリニヤフレネルレンズを厚
さ方向内外面にそれぞれ形成した集光用光学部材を、フ
レネル軸に対して曲面を持った形状に形成したので、そ
れぞれのリニヤフレネルレンズのピッチを大きく、且つ
フレネル角を小さくできるので、金型加工が容易になり
、製造コストを低減することができ、且つ精度の向上を
図る、ことができる。
[実施例] 以下、本発明の光学センサの実施例を添付図面に基づい
て詳細に説明する。
第1図は本発明の第1寞施例の光学センサ31を示すも
のである。
図示されているように、光学センサ31は受光側につい
ては、光学系を構成する二つの集光用光学部材32.3
3と、該集光用光学部材32.33の後方の光軸0上に
これらに対向するように配設された受光素子34とから
なっている。
上記集光用光学部材32の入光側面(a面)は平面Fに
て形成され、出光側面(b面)は三つの検知領域α、β
、Tからの光束を光学系の光軸0にほぼ平行に偏向させ
る偏向複プリズムPにて形成されている。該偏向複プリ
ズムPは、X軸方向に沿ってカンティングされており、
上記検知領域α、Tに対応して形成されている。
また、上記集光用光学部材33は、入出光両面(C面、
d面)が互いに直交するリニヤフレネルレンズLa、L
bにて形成されている。即ち、集光用光学部材33のC
面は、上記集光用光学部材32のb面と同一方向のカッ
ティングを有し、線状の焦m4こ集光する樅リニヤフレ
ネルレンズLaである。
そして、集光用光学部材33のd面は、上記入光側面の
カッティングと交差するz軸方向に沿った力、ティング
を存する横すニヤフレネルレンズLbである。
上記各検知領域α、β、Tからの光束は、上記集光用光
学部材32の偏向複プリズムPにより光学系の光軸には
ぼ平行に偏向され、上記集光用光学部材33のリニヤフ
レ2ルレンズLa、Lbにより受光素子34に集光され
る。
上記集光用光学部材32のb面に形成された偏向複プリ
ズムPと上記集光用光学部材33の縦リニヤフレネルレ
ンズLaとは、その作用の方向は同一で各集光用光学部
材32.33の長手方向になる。
第2図(A)に示されているように、上記集光用光学部
材32のb面に形成された偏向複プリズムPと上記集光
用光学部材33の縦リニヤフレネルレンズLaとは、カ
ッティングの方向が一致しているので、金型加工のとき
に上記偏向複プリズムPの偏向のための角度に縦リニヤ
フレネルレンズLaの集光のだめの角度を上乗せして角
度設定の上加工を行えば良い、その成形品は第2図(B
)の0面のように集光用光学部材の長手方向に偏向・集
光作用を持つリニヤフレ2ルレンズを作製することがで
きる。
上記偏向複プリズムPやリニヤフレフルレンズLa  
Lbは、カッティングを直線的に形成することができる
ので、金型加工が容易である。
即ち、第1実施例は加工の容易な上記偏向複プリズムP
とリニヤフレフルレンズLa、Lbとを組み合わせるこ
とにより、光学センサの製作を容易にし、製作コストの
低減を図っている。
第3図(A)は本発明の第2実施例の光学センサ41を
示すものである。
図示されているように、第2実施例の光学センサ41は
、受光側については、一つの集光用光学部材42の同じ
入光側面に第1実施例のb面(偏自復プリズムP)と0
面(縦リニヤフレフルレンズLa)とを一体的に形成す
ると共に、出光側面ニd面(til!リニヤフレネルレ
ンズLb)を形成し、上記集光用光学部材42の後方に
受光素子43を配設したものである。
第3図(B)はそのようにして形成された集光用光学部
材42のI[[B−I[IB線矢視図であり、第3図(
C)はmc−mc線矢視図である。
第2実施例にあっては、カッティングを直線的に形成す
ることができる加工の容易な上記偏向複プリズムPとリ
ニヤフレネルレンズLaとを採用して光学センサ41の
製作を容易にすると共に、これらを一体的に形成して集
光用光学部材42を一つにすることにより部材数を減少
させて、製作コストの低減を図っている。
また、第4図(A)は本発明の第3実施例の光学センサ
51を示すものである。
図示されているように、第3実施例の光学センサ51は
、受光側については、一つの集光用光学部材52の同じ
入光側面に第1実施例のb面(偏向複プリズムP)とd
面(横リニヤフレネルレンズLb)とを一体的に格子状
に形成すると共に、出光側面に0面(@1リニヤフレフ
ルレンズLa)を形成し、上記集光用光学部材52の後
方に受光素子53を配設したものである。
第4図(B)はそのようにして形成された集光用光学部
材52のTVB−IVB線矢視図であり、第4図(C)
はTVC−IVC線矢視図である。
第3実施例にあっては、上記第2実施例と同様の作用効
果を示すものである。
さらに、第5図(A)は本発明の第4実施例の光学セン
サ61を示すものである。
図示されているように、第4実施例の光学センサ61は
、受光側については、一つの集光用光学部材62の入光
側面に第1実施例のb面(偏向複プリズムP)を形成す
ると共に、同し出光側面にc面(uリニヤフレネルレン
ズLa)とd面(横リニヤフレネルレンズLb)とを一
体的に格子状に形成し、上記集光用光学部材62の後方
に受光素子63を配設したものである。
第5図(B)はそのようにして形成された集光用光学部
材62のVB−VB線矢視図であり、第5図(C)はv
c−vc線矢視回である。
第4実施例にあっては、上記第2及び第3実施例と同様
の作用効果を示すものである。
またさらに、第6図は本発明の第5実施例の光学センサ
71を示すものである。
図示されているように、第5実施例の光学センサ71は
、受光側については、一つの集光用光学部材72の同し
入光側面に第1実施例のb面(偏向複プリズムP)、0
面(縦リニヤフレフルレンズL a )及びd面(横リ
ニヤフレネルレンズLb)とを一体的に形成すると共に
、出光側面に平面Fを形成し、上記集光用光学部材72
の後方に受光素子73を配設したものである。
第6図(B)はそのようにして形成された集光用光学部
材72のVIB−VIB線矢視図であり、第6図(C)
はVIC−VIC線矢視図である。
第5実施例にあっては、上記第2乃至第4実施例と同様
の作用効果を示すものである。
次に、第7図は本発明の第6実施例の光学センサ81を
示すものである。
図示されているように、第6実施例の光学センサ81は
、受光側については、集光作用力く互し1に直交するリ
ニヤフレネルレンズLを、人出先側両面にそれぞれ形成
した一つの集光用光学部材82と、該集光用光学部材8
2よりも後方の光軸0上に配設された受光素子83とか
らなってしする。
具体的には、第7図、第8図(A)及び第8図(B)に
示されているように、上記集光用光学部材82の入光側
面(g面)は、h、i、jの二つの面に分割され、各分
割面には同一方向に力・ノティングされそれぞれ異なる
三つの光軸を有するように分割されたリニヤフレネルレ
ンズLh、LiLjが形成されている。b面5 」面は
、それぞれ検知領域α、Tからの光束を偏向させ、且つ
、Z方向について集光して、受光素子83に光束を集め
る作用を持っている。
また、第7図、第8図(C)及び第8図(D)に示され
ているように、上記集光用光学部材82の出光側面(k
面)は、Z軸方向に沿ったカッティングを有する横リニ
ヤフレネルレンズLkにて形成されていて、咳横リニヤ
フレネルレンズLkは入射する光束をX軸方向について
集光する作用を有している。
即ち、前記第1乃至第5の実施例に示した集光用光学部
材32.33.42,52.62.72に形成したリニ
ヤフレネルレンズLa、Lbは一つの光軸Oを存してい
るが、本実施例にあっては上記り、i、jの三つの面が
それぞれ別の光軸Oh○i、Ojを有する各々独立した
リニヤフレネルレンズLh、Li、Ljとして形成され
ている。
上記り面、j面においては光束を受光素子83に集光さ
せるため、各リニヤフレネルレンズLhL」の光軸○h
、Ojを各面の中心から集光用光学部材82の長手方向
内方にずらして設けている。
従って、本実施例にあっては、偏向複プリズムPを設け
ることなく、前記第1実施例乃至第5、実施例と同様の
効果を得ることができる。
上記リニヤフレネルレンズLh、Li、Ljはそれぞれ
一方向に沿ってカッティングされており、直線状の加工
のみを施せば良いので、上記集光用光学部材82のg面
は、h、i、jの三つの面に分割されているものの、従
来に比し金型加工・成形が非常に容易になり、製造コス
トを低減することができ、且つ精度を高めることもでき
る。
尚、上記Lh、Li、Lj及びLkを上記集光用光学部
材82の入光側面あるいは出光側面の同一面に格子状に
形成しても上記第6の実施例と同様の作用効果を得るこ
とができる。
−Gに、フレネルレンズは焦点に対し凹面になっている
方が収差が少なく、集光性能が良いと言われており、回
転対称のフレネルレンズではこれに曲面を持たせること
が設計上可能であるが、金型加工が事実上困難である。
しかし、リニヤフレネルレンズにあっては、カッティン
グが一方向であるので、フレフル軸に対して曲面を持っ
た形状に加工することが可能で金型加工も容易である。
第9図(A)(B)はその例として曲面を有する集光用
光学部材92a。
92bの厚さ方向内外面にリニヤフレネルレンズLを形
成したものである。
第9[ffl (A)にあっては、厚さ方向内外面に曲
面を有する集光用光学部材92aの内曲面にその長手方
向に沿った横リニヤフレネルレンズL1を形成しており
、外曲面にその幅方向に沿った継リニヤフレネルレンズ
Lmを形成したものである。
また、第9図(B)にあっては、厚さ方向外面に曲面を
有し内面に平面を有する集光用光学部材92bの内曲面
にその長手方向に沿った横リニヤフレネルレンズLnを
形成しており、外曲面にその幅方向に沿った縦リニヤフ
レネルレンズLoを形成したものである。特に、第9図
(B)に示されているように構成した場合には、ベース
の曲面も屈折作用を持つので、それぞれのリニヤフレネ
ルレンズのピッチを大きく、且つフレネル角を小さくで
きるので、加工が容易になり、製造コストを低減するこ
とができ、且つ精度の向上を図ることができる。
尚、前記第1図乃至第8圀に示した集光用光学部材32
.33.42.52,62,72.82をフレ2ル軸に
対して曲面を持った形状に形成しても上記第9図に示し
た集光用光学部材92a92bと同様の作用効果を得る
ことができる。
第10図は本発明の第7実施例の光学センサ101示す
ものである。
図示されているように、第7実施例の光学センサ101
は、受光側については、上記第2乃至第6実施例におい
て説明した光学センサを小型化するため集光用光学部材
102と受光素子103との間に反射鏡104を配置し
、該受光素子103を逆転させて配置したものであり、
該反射鏡104は平面鏡でも凹面鏡でも良い。特に、凹
面鏡を配置した場合には、リニヤフレネルレンズLの効
率が小さくなるのでピッチを大きく、フレネル角を小さ
くできるのは前述した通りで、効果も同様である。
尚、以上の第1乃至第7実施例にあっては受光側につい
て説明したが、上記受光素子の代わりに発光素子を構成
しても良い。
[発明の効果] 以上述べた通り、本発明による光学センサによれば、製
造及び精度出しを容易に行うことができ小型化及び低コ
スト化を達成することができるという、優れた効果を発
揮する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例の光学センサを示す平面図
、 第2図は第1図の要部を示し、(A)はリニヤフレネル
レンズの角度設定状況を示す概略図であり、(B)は(
A)の加工により作成したリニヤフレネルレンズの概略
図、 第3図は本発明の第2実施例の光学センサを示し、(A
)はその平面図、(B)は集光用光学部材のI[IB−
IIIB線矢視図テアリ、(C)ハI[[CmC線矢視
図、 第4図は本発明の第3吏施例の光学センサを示し、(A
)はその平面図、(B)は集光用光学部材のIVB−r
VB線矢視図であり、(C)はIVCIVC線矢視図、 第5図は本発明の第4実施例の光学センサを示し、(A
)はその平面図、(B)は集光用光学部材のVB−VB
線矢視図であり、(C)はVC−VC線矢視図、 第6図は本発明の第5実施例の光学センサを示し、(A
)はその平面図、(B)は集光用光学部材のVTB−V
IB線矢視図であり、(C)はVIC−VIC線矢視図
、 第7図は本発明の第6実施例の光学センサを示す平面図
、 第8図は第7図を具体的に示し、(A)は集光用光学部
材の出光側面の裏面図、(B)は集光用光学部材の側面
図、(C)は集光用光学部材の入光側面の正面図、(D
)は集光用光学部材の概略平面図、 第9図は厚さ方向内外面にリニヤフレフルレンズを形成
した曲面を有する集光用光学部材を示しくA)は厚さ方
向内外面に曲面を有する集光用光学部材の平面図、(B
)は厚さ方向外面に曲面を有し内面に平面を有する集光
用光学部材の平面図、第10図は本発明の第7実施例の
光学センサを示す平面図である。 第11図は従来の光学センサの第1従来例を示す概略平
面図、 第12図は従来の光学センサの第2従来例を示す概略平
面図、 第13図は従来の光学センサの第3従来例を示す概略平
面図である。 31.41.51,61,71.81,101・・・光
学センサ;  32,33,42,52,62゜72.
82.92a、92b、102・=集光用光学部材; 
 34.43,63.73,83.1○3・・・受光素
子; 1o4・・・反射鏡; α、β、γ・・・検知つ
I域;0・・・光軸; P・・・偏向複プリズム;LL
aLb、Lh、Li、Lj、Lk、Ll、Lm、Ln。 Lo・・・リニヤフレネルレンズ 特許出願人:株式会社日本アレフ 代 理 人:弁理士 平 山 −幸 同  :弁理士 岡 崎 信太部 同  :弁理士 海 津 保 三 第1 図 (B) 第2図 (A) 第3図 (A> 第4図 (A) 第5図 (A) 第6図 第7図 (A) (B) (C) (D) 第8図 第9図 り 第10図

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光学系を構成する二つの集光用光学部材と、該集
    光用光学部材の後方の光軸上にこれらに対向するように
    配設された受光素子とを備えた光学センサにおいて、入
    光側の集光用光学部材の入光側面が平面にて形成される
    と共に、出先側面が複数の検知領域からの光束を光学系
    の光軸にほぼ平行に偏向させる偏向複プリズムにて形成
    され、出光側の集光用光学部材の入出光両面が互いに直
    交するリニヤフレネルレンズにて形成されていることを
    特徴とする、光学センサ。
  2. (2)前記光学系が一つの集光用光学部材にて構成され
    、該集光用光学部材の同じ入光側面に同一方向に沿って
    カッティングされた偏向複プリズムとリニヤフレネルレ
    ンズとを一体的に形成すると共に、出先側面に該リニヤ
    フレネルレンズと直交方向に沿ってカッティングされた
    リニヤフレネルレンズを形成したことを特徴とする、請
    求項1に記載の光学センサ。
  3. (3)前記光学系が一つの集光用光学部材にて構成され
    、該集光用光学部材の同じ入光側面に偏向複プリズムと
    リニヤフレネルレンズとを格子状に一体的に形成すると
    共に、出先側面に該偏向複プリズムと同一方向に沿って
    カッティングされたリニヤフレネルレンズを形成したこ
    とを特徴とする、請求項1に記載の光学センサ。
  4. (4)前記光学系が一つの集光用光学部材にて構成され
    、該集光用光学部材の入光側面に偏向複プリズムを形成
    すると共に、出先側面に格子状にカッティングされたリ
    ニヤフレネルレンズ形成したことを特徴とする、請求項
    1に記載の光学センサ。
  5. (5)前記光学系が一つの集光用光学部材にて構成され
    、該集光用光学部材の同じ入光側面に偏向複プリズム及
    び格子状にカッティングされたリニヤフレネルレンズを
    一体的に形成すると共に、出先側面に平面を形成したこ
    とを特徴とする、請求項1に記載の光学センサ。
  6. (6)前記光学系が一つの集光用光学部材にて構成され
    、該集光用光学部材の入光側面に同一方向にカッティン
    グされ異なる複数の光軸を有するように分割されたリニ
    ヤフレネルレンズを形成し、上記集光用光学部材の出先
    側面に上記分割面に形成されたリニヤフレネルレンズと
    集光作用が直交するリニヤフレネルレンズを形成したこ
    とを特徴とする、請求項1に記載の光学センサ。
  7. (7)前記光学系が一つの集光用光学部材にて構成され
    、該集光用光学部材の入出光側面の一面に同一方向にカ
    ッティングされ異なる複数の光軸を有するように分割さ
    れたリニヤフレネルレンズを形成すると共に、該分割し
    たリニヤフレネルレンズと集光作用が直交するリニヤフ
    レネルレンズを格子状に形成したことを特徴とする、請
    求項1に記載の光学センサ。
  8. (8)前記光学系がフレネル軸に対して曲面を持った形
    状の集光用光学部材にて形成されたことを特徴とする、
    請求項1乃至7のいずれかに記載の光学センサ。
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