JPH04143629A - 差圧センサ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は差圧センサ及びその製造方法に関し、特に例え
ば土木・建設用機械の駆動用油圧システムにおける各部
の油圧状態の検出に利用され、外力に対抗して発生する
歪みを検知して当該外力を検出するように構成された差
圧センサ及びその製造方法に関するものである。

〔従来の技術〕

第９図に基づいて従来の差圧センサの構造を説明する。

第９図において、１０１は圧力に感応する受圧部を備え
たダイヤフラム基体であり、１０２はダイヤフラム基体
１０１を取付は且つ支持する金属製の支持部材である。

ダイヤフラム基体１０１の受圧部には例えばポリシリコ
ン等からなる歪みゲージ１０３が成膜され、且つ受圧部
の表裏の面か受圧面となるように使用されている。この
２つの受圧面に加わる圧力の差が歪みゲージ１０３で検
出され、圧力信号として出力される。このダイヤフラム
基体１０１は例えば金属で形成される。支持部材１０２
はそれぞれ異なる圧力を受ける面を有し、これらの面は
シールダイヤフラム１０４Ａと１０４Ｂで形成されてい
る。各シールダイヤフラム裏側の支持部材１０２の箇所
には凹部１０５Ａと１０５Ｂが形成され、それぞれの凹
部には液状のシリコン１０６が充填され、これはシール
ダイヤプラムで封止されている。各凹部１０５Ａ、１０
５Ｂによるスペースはダイヤフラム基体１０１で分離さ
れており、その結果各凹部１０５Ａ、１０５Ｂの液状シ
リコン１０６による液圧はそれぞれダイヤフラム基体１
０１の表裏の面に印加される。かかる構造により、シー
ルダイヤフラム１０４Ａ、１０４Ｂのそれぞれに加わる
外部からの圧力は液状シリコン１０６を介してダイヤフ
ラム基体１０１に加えられ、それらの差圧が歪みゲージ
で検出される。

ダイヤフラム基体１０１の表面に形成された歪みゲージ
１０３は、加わった圧力に応じて受圧部に歪みが生じた
とき、この歪みに比例して抵抗値が変化する機能を有す
る。歪みゲージ１０３に発生した検出電圧によって、圧
力値を得ることができる。歪みゲージ１０３で検出され
た圧力信号は、ダイヤフラム基体１０１の歪みゲージが
形成された面にボンディングされたリード線１０７によ
って端子基板１０８、及び支持部材１０２に形成された
孔１０９を経由して外部に引き出される。支持部材１０
２に形成されたリード線１０７を引き出すための孔１０
９は絶縁機能を有するハーメチックシール１１０で封止
されている 〔発明が解決しようとする課題〕 上記の構成を有する従来の差圧センサによれば、ダイヤ
フラム基体１０１は支持部材１０２の取付は面に接着剤
等により固着されているので、シールダイヤフラム１０
４Ｂの側から高圧が加わり、且つシールダイヤフラム１
０４Ａ側の圧力との差が大きい場合には、ダイヤフラム
基体１０１が支持部材１０２から外れるおそれが生じる
。

また、ダイヤフラム基体１０１の表面から引き出された
リード線１０７は圧力媒体である液状シリコン１０６の
中を通すように配線されているので、液状シリコン１０
６により直接に圧力を受けることになる。このような構
造によれば、リード線１０７が断線するおそれがあり、
信頼性の点で問題である。

更に、中間の圧力伝達手段として、シールダイヤフラム
１０４Ａ、１０４Ｂや液状シリコン１０６を使用してお
り、そのため更にハーメチックシール１１０によるガラ
ス封止を行う構造が必要となり、全体的に構造が複雑と
なり、製造工程も多段階となり、製造が面倒であるとい
う不具合を有する。

加えてハーメチックシール１１０に直接に圧力が加わる
構造となっているため、圧力媒体である液状シリコン１
０６に非常に高い圧力が発生するときには、ハーメチッ
クシール１１０の耐久性に問題が生じる場合もある。

本発明の第１の目的は、受圧部を有するダイヤフラムの
表面に形成される歪み検出部や、引出し配線等の電気配
線部が圧力媒体に直接に接触しないよう圧力媒体から完
全に分離し、歪み検出部や電気配線部の破損を防止し、
これらの保護を企図した差圧センサを提供することにあ
る。

本発明の第２の目的は、歪み検出部や電気配線部などの
センサのデリケートな部分に関し直接的な接液による圧
力印加状態を避ける構造を採用することにより、構造を
簡素にすることができる差圧センサを提供することにあ
る。

本発明の第３の目的は、表裏の両面で圧力を受ける受圧
部を有したダイヤフラムの支持構造を強固なものとし、
２方向からの高圧に耐えることができる差圧センサを提
供することにある。

本発明の第４の目的は、構造の簡素化を達成することに
より、製造工程を簡素化し、容易に且つ安価に製造する
ことのできる差圧センサの製造方法を提供することにあ
る。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る第１の差圧センサは、薄板状であって一方
の面に歪み検出部が形成され且つ表裏両面が受圧面とな
るダイヤフラムと、圧力媒体をダイヤフラムの一方の受
圧面に導入する導入孔を有した第１の支持部材と、圧力
媒体をダイヤフラムの他方の受圧面に導入する導入孔を
有した第２の支持部材とから成り、第１の支持部材と第
２の支持部材はそれぞれ突き合わせ面を備え、これらの
突き合わせ面を突き合わせる構造にて第１と第２の支持
部材がダイヤフラムを両側から支持し固定すると共に、
歪み検出部が形成されるダイヤフラム面側に位置する支
持部材に導入孔を塞ぐシート部材を設けたことを特徴点
として有する。

本発明に係る第２の差圧センサは、前記第１の構成にお
いて、シート部材が、高温の拡散接合により支持部材に
取付けられる金属シートであることを特徴点として有す
る。

本発明に係る第３の差圧センサは、前記第２の構成にお
いて、金属シートはたわみを有する状態で取付けられて
いることを特徴点として有する。

本発明に係る第４の差圧センサは、前記第１〜第３のい
ずれか］つの構成において、第１と第２の支持部材の突
き合わせ構造によって圧力媒体が存在する空間とは分離
された空間を形成し、この空間に歪み検出部から出力さ
れる差圧信号を取出すための信号引出し・接続部を配設
したことを特徴点として有する。

本発明に係る差圧センサの製造方法は、受圧部を有する
薄板状のダイヤフラムの一方の面に歪み検出部を形成し
、それぞれ圧力媒体を導入する孔を有し且つそれぞれ突
き合わせ面を備えることにより突き合わせ構造によって
結合一体化される第１及び第２の支持部材を形成し、第
１の支持部材にダイヤフラムをその他方の面を用いて取
付け、第２の支持部材の突き合わせ面に孔を覆うシート
部材を取付け、第２の支持部材を、シート部材がダイヤ
フラムの一方の面に形成された歪み検出部を覆うように
、第１の支持部材に突き合せて結合するようにしたこと
を特徴点として有する。

〔作用〕

本発明による差圧センサでは、薄板状の金属性ダイヤフ
ラムの一方の面に歪みゲージ等からなる歪み検出部を形
成し、このダイヤフラムを２つの支持部材を両側から突
き合わせることにより支持するように構成し、且つ２つ
の支持部材のそれぞれにダイヤフラムの２つの受圧面の
それぞれに対して圧力媒体を導くための孔を形成し、更
に、歪み検出部が形成されている側に位置する支持部材
の孔の開口部に孔を覆う所要の強度を有するシート部材
をたわみを持たせた状態で取付けるため、歪み検出部や
電気配線膜を完全に接液状態から解放させることができ
る。また圧力媒体が存在する空間と電気配線等の信号引
出し・接続部を配設する空間を完全に分離して形成する
ことにより保護を完全に行うことができる。ダイヤフラ
ムは２つの支持部材で両側から支持されるため、両側か
らの高圧に対して高い耐久性を有する。

また本発明による差圧センサの製造方法によれば、差圧
センサの保護膜の構造及び電気配線膜の配設箇所の簡素
化に伴い、製造工程が簡素化され、特に保護膜であるシ
ート部材を一方の支持部材に取付け、ダイヤフラムを取
付けた他方の支持部材に一方の支持部材を突き合わせて
組み付けるだけで、歪み検出部に保護膜を形成すること
ができる。

〔実施例〕

以下に、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。

第１図は例えば油圧機器に組み付けた本発明に係る差圧
センサの一実施例を示す断面図である。

１は油圧機器の壁部の一部を示し、本発明による差圧セ
ンサのセンサユニット２を取付は且つ支持する支持部を
形成している。支持部１には、差圧センサ２Ａを有する
センサユニット２を取付けるための円形の孔３と、この
孔３に通じ且つそれぞれ圧油を導き入れる孔４，５とが
形成される。孔４と孔５に導入される圧油は一般的に異
なる液圧を有している。孔３は第１図中下部に開口部３
ａを有し、比較的に大径に形成され、この開口部３ａを
通して差圧センサ２Ａを備えたセンサユニット２が装着
される。孔４，５は相対的に小径の孔であり、差圧セン
サのセンサユニット２を孔３に装着した状態において、
後述するように、孔４に導入された圧油は差圧センサ２
Ａに形成された一方の受圧面に導かれ、孔５に導入され
た圧油は差圧センサ２Ａに形成された他方の受圧面に導
かれる。孔４と孔５の第１図中の左端は、例えばそれぞ
れ異なる油流路に開口されている。

差圧センサ２Ａを備えたセンサユニット２は、その外観
を形成するハウジング部分が金属で作られ且つ外観形状
が概略的に円柱形の形状に有し、孔３の奥の部分に位置
するセンサユニット２の先部には本発明に係る差圧セン
サ２Ａが形成され、中間部の外面には雄ねじ部２Ｂが形
成され、支持部１の外部に露出した基部には外径拡大部
２Ｃが形成されている。センサユニット２における外径
拡大部２Ｃ及び中間部の内部には底までの距離が比較的
に長い穴２Ｄが形成されている。この穴２Ｄによって形
成されるスペースは、増幅器等を含む電気回路部６を取
付けると共に信号を取出す電気配線７を電気回路部６か
ら外部に引き出すためのスペースとして使用される。電
気回路部６は、回路部分が例えばモノリシックＩＣで形
成され、このＩＣを樹脂等でモールドして保護するよう
にしている。信号を取出すための複数本の電気配線端子
７は、その一端を電気回路部６の所定の面に形成された
ターミナル部に接続され、取付は支持部材８を挿通させ
て外部に引き出される。なお、センサユニット２の中間
部の外面に形成された雄ねじ部２Ｂに係合する雌ねじ部
３ｂが開口部３ａの周辺内面部に形成され、これらのね
じ部の係合関係によってセンサユニット２は支持部１に
装着される。

差圧センサ２Ａの部分は、はぼ中央部周辺に受圧部を有
し且つ一方の面に歪み検出部１２が設けられた薄板状の
金属製ダイヤフラム９と、このダイヤフラム９を挟み込
み且つ支持する２つの金属製の支持部材１０．１１とか
ら構成される。支持部材１０．１１はそれぞれ突き合わ
せ面を有し、この突き合わせ面による突き合わせ構造に
よってダイヤフラム９を支持し固定する。支持部材１０
は第１図中上側の支持部材であり、支持部材１１は下側
の支持部材である。支持部材１０は、その軸線部に孔１
０ａが形成され、全体がほぼ円柱形状に形成されている
。支持部材１１は径方向の孔部と軸方向の孔部からなる
孔１１ａが形成されている。第１図に示された状態では
、支持部材１０゜１１は結合され、一体化されている。

また支持部材１１については、図示される如くダイヤフ
ラム９を支持する部分から、更に前記中間部及び前記穴
２Ｄを形成するハウジング部分に延設され、体的に形成
されている。支持部材１０の孔１０ａは孔４に通じてお
り、支持部材１１の孔１１ａは孔５に通じている。

支持部材１０と１１が一体化され、ダイヤフラム９を挟
み込むように組み付けられた状態において、ダイヤフラ
ム９の中央部付近の受圧部は、同軸関係に位置する孔１
０ａと１１ａの軸線上に当該軸線に直角となるように配
置される。ダイヤフラム９のほぼ中央部付近に存在する
受圧部の両側の各面が受圧面となり、それぞれの受圧面
には孔４．１０ａと孔５．ｌｌａによって導入されたそ
れぞれ異なる圧油が印加される。

ダイヤフラム９の周辺には支持部材１０．１１の突き合
わせ面の形状に基づいて形成される空間１３が存在する
。この空間１３はリング状の形状を有し、ダイヤフラム
９の周囲を囲むように形成され、且つ支持部材１０．１
１の組み付は状態において孔１０ａ、ｌｌａに対し完全
に区画され、相互に分離されている。空間１３は密閉状
態にある。空間１３にはターミナル部１４が形成され、
このターミナル部１４の電極部には前記歪み検出部１２
から引き出された信号引出し線１５が接続される。更に
、このターミナル部１４から前記電気回路部６まで、支
持部材１１に形成された孔を通して信号引出し部１６が
形成され、信号引出し部１６によってターミナル部１４
と電気回路部６の所定のターミナル部は電気的に接続さ
れている。

なお、第１図において１７，１８．１９はシール用Ｏリ
ングである。

次に第２図〜第４図を参照して差圧センサ２Ａの詳細な
構造について説明する。第２図は第１図中のダイヤフラ
ム９の周辺の構造を拡大して示した縦断面図、第３図は
第２図を更に拡大して示した縦断面図、第４図はダイヤ
フラム９の上面の歪み検出部１２の構造を示す平面図で
ある。各図において第１図で示した同一要素には同一符
号を付している。

第２図において、１０ｂは支持部材１０の突き合わせ面
、１１ｂは支持部材１１の突き合わせ面である。支持部
材１０の突き合わせ面１０ｂには穴１０ａの周囲に同軸
的にリング形凹部１０ｃが形成され、また孔１０ａの周
囲にダイヤフラム９の上面周辺部を押える押え部として
機能する内周側のリング形突起部１０ｄが形成される。

支持部材１１の突き合わせ面１１ｂには円形凹部１１ｃ
が形成されている。凹部１１ｃの底部の中心部には前記
孔１１ａが形成され、ダイヤフラム９は凹部１１Ｃの中
央部に配設される。それぞれ上記の形状の突き合わせ面
１０ｂ、ｌｌｂを有する支持部材１０．１１を、その中
心部にダイヤフラム９を配設し、突き合わせて組み付け
ると、ダイヤフラム９が固定されると共に前記凹部１０
ｃと１１Ｃによってダイヤフラム９の周囲に前記空間１
３が形成される。第２図中、ダイヤフラム９はその下面
を支持部材１１の凹部１１ｃの底面に接着剤又は溶接等
によって固着される。またダイヤフラム９の上面は支持
部材１０の突起部１０ｄによって所要の押付は力で圧着
されるか、又は押付は力がほぼＯの状態で突起部１０ｄ
に当接される。凹部１１ｃの深さとダイヤフラム９との
厚さはほぼ等しいが、圧着か又は単なる接触かによって
それらの寸法的な関係は適宜に設計される。上記のよう
な支持部材１０と１１の突き合わせ状態において、支持
部材１０と１１の突き合わせ部の外周囲部には溶接２０
が施され、支持部材１０と１１は結合され、一体化され
る。

ダイヤフラム９の上面には前記歪み検出部１２が形成さ
れている。この歪み検出部１２は、前記孔１０ａに対応
して決まるダイヤフラムの中央部付近の受圧部領域の上
面に形成される。歪み検出部１２の構成としては種々の
ものが考えられる。

この実施例において歪み検出部１２は、例えばダイヤフ
ラム９の上面に絶縁膜を形成し、その上に４個の例えば
ポリシリコンを利用した半導体歪みゲージ２１が所定の
配置状態で形成され、且つ４個の歪みゲージ２１がホイ
ートストンブリッジ回路を形成するように電気配線膜に
よって接続される。ブリッジ回路に電圧を加えるための
電気配線及びブリッジ回路から出力を取出すための電気
配線はダイヤフラム９の縁に形成されたポンディングパ
ッドに接続される電気配線膜を用いて構成されている。

このような構造を有する歪み検出部１２は全体が絶縁性
を有したパッシベーション膜に覆われている。歪み検出
部１２を形成するための成膜技術としては、ＣＶＤ法、
真空蒸着法、スパッタ法等が使用され、電気配線膜とし
ては例えばＣｒ　／　Ａ　ｕ薄膜が使用される。かかる
構造を有した歪み検出部１２を形成されたダイヤフラム
９は、前述の通り、支持部材１１の孔１１ａを塞ぐよう
に凹部１１ｃの底部に接着剤等によって固定される。

更ニパッシベーション膜の上は金属シート２２か配設さ
れ、パッシベーション膜を覆っている。

この金属シート２２は、例えば５ＵＳ６３１系統の金属
で作られた厚みが例えば１０〜１００μｍのシートであ
り、孔１０ａの下側開口部を完全に塞ぐような状態で、
リング形突起部１０ｄの頂部に高温を利用した拡散接合
で固定されている。金属シート２２は５００Ｋｇｆ／ｃ
ｍ２以上の高圧に絶えることのできる箔状の薄膜であり
、ある程度たわみを有して突起部１０ｄの頂部に接合さ
れている。この金属シート２２の取付は構造によれば、
支持部材１１に取付けられたダイヤフラム９に対して金
属シート２２を取付けた支持部材１０の突起部１０ｄを
当接させるだけで、金属シート２２は歪み検出部１２を
覆うことができる。また金属シート２２はある程度たわ
みを有しているので、金属シート２２がダイヤフラム９
の受圧部の感圧特性に影響を与えることはない。

第４図において、１１は支持部材てあり、１１Ｃは凹部
である。凹部１１　ｃの中央部にダイヤフラム９が配設
される。破線で示されたｌｌａは支持部材に１１に形成
された孔である。ダイヤフラム９の上面には、４個の歪
みゲージ２１とこれらの歪みゲージ２１を接続しホイー
トストンブリッジ回路を作る電気配線膜２４と信号を取
出すための電気配線膜２５が形成されている。電気配線
膜２５はそれぞれ対応するホンディングパッド２６に接
続される。凹部１１ｃには所定の２か所の位置に前記の
ターミナル部１４が形成されており、前記の各ポンディ
ングパッド２６は前記信号引出し線１５によって対応す
るターミナル部１４の電極部に接続されている。

再び第２図に戻って、第２図では便宜上１箇所のターミ
ナル部１４の構造のみを示している。このことは第１図
及び第３図でも同様である。ダイヤフラム９の上面縁部
に形成されたポンディングパッドとターミナル部１４と
は信号引出し線１５で接続される。この場合に、前述し
た通り、ポンディングパッドとターミナル部１４と信号
引出し線１５は空間１３内に位置する。これは第３図で
ても明らかである。拡大した第３図に示されるように、
ターミナル部４の下部の支持部材１１の箇所には孔１１
ｂが形成され、この孔１１ｂを押通させてターミナル部
１４に接続された信号配線２７が配線される。孔１１ｂ
には樹脂又はガラスによるハーメチックシール２８が施
される。こうして、支持部材１１に前記の信号引出し部
１６か形成される。

第５図はダイヤフラム９の上面で且つホンディングパッ
ドが形成される部分の周辺構造を示す縦断面図、第６図
は第５図中のＶｌ−ＶＩ線断面図である。第５図及び第
６図において、１０は上側支持部材、１０ｄは突起部、
１１は下側支持部材、９はダイヤフラム、１０ａ及びｌ
ｌａは孔、１４はターミナル部、１６は信号引出し部で
ある。ダイヤフラム９の上面には全面にわたり絶縁膜が
形成されている。ダイヤフラム９のポンディングパッド
２６の近傍の電気配線膜２５が形成される箇所てあって
、前記支持部材１０の突起部１０ｄが当接する箇所には
凹部３１に形成されている。この凹部３１は電気配線膜
２５か形成される箇所であるが、この凹部３１の中にも
絶縁膜３０が形成される。２１は絶縁膜３０の上面に形
成された４個の歪みゲージの中の１つの歪みゲージ２１
であり、２６はホンディングパッドである。歪みゲージ
２１とホンディングパッド２６との間には前記凹部３１
を利用して電気配線膜２５が配線される。そして、その
上にパッシベーション膜３２が成膜されている。支持部
材１０の突起部１０ｄの頂部には前述の如く金属シート
２２が拡散接合により設けられ、かかる状態の突起部１
０ｄをパッシベーション膜３２に押付は力Ｏ又はそれ以
上の値で当接させている。ターミナル部１４は、絶縁性
を有するセラミック板１４ａと導電性を有する電極部１
４ｂから構成される。ポンディングパッド２６とターミ
ナル部１４の電極部１４ｂとの間には前記の信号引出し
線１５が配線される。信号引出し線１５は例えば径が３
０μｍ程度のＡｕ線である。

以上の構成を有する差圧センサによれば、歪み検出部１
２が設けられたダイヤフラム９の領域を受圧部として使
用し、且つ受圧部の両面を受圧面として用いることがで
きる。例えば第１図において、上側の受圧面には孔４．
１０ａを通して導入された圧油が印加され、下側の受圧
面には孔５゜１１ａを通して導入された圧油が印加され
る。差圧センサでは、ダイヤフラム９の歪み検出部１２
が２つの受圧面に加わる圧力の差を電圧信号として出力
する。この信号は、電気配線膜２５、信号引出し線１５
、ターミナル部１４、信号引出し線２７を経由して電気
回路部６に入力され、ここで、増幅等の信号処理が行わ
れる。

上記構成を有する差圧センサ２Ａによれば、歪み検出部
１２の保護膜として、強度の高い金属シート２２を用い
たため、保護を高めることができ、特に金属シート２２
は圧油を導入する孔１０ａの開口部を覆っているため、
歪み検出部１２の歪みゲージ２１等への圧油の侵入を完
全に防止し、歪み検出部１２や電気配線膜等が直接に油
に接触する接液状態を防ぎ、長期にわたり歪み検出部１
２の検出動作の信頼性を高いものに維持する。特に金属
シート２２は高温の拡散接合によって支持部材１０の突
起部１０ｄの頂部に固着されるため、高い圧力の圧油に
対してもシール性を発揮する。

また金属シート２２は薄膜状であり、且つたわみを有し
て歪み検出部１２を覆うように取り付けたので、金属シ
ート２２がダイヤフラム９の受圧部の感圧特性を低減さ
せることはない。また、４個の歪みゲージ２１が形成す
るホイートストンブリッジ回路から信号を取出す場合に
おいて、信号の引出し箇所を、圧力媒体と接触しない空
間１３の内部に形成するようにしたため、信号引出し線
の断線も発生しないという利点を有する。更に、ダイヤ
フラム９を金属製の支持部材１０．１１で挟み込んで堅
牢に固定するため、２つの方向からの圧力に対して高い
耐久力を有している。

第７図により本発明による差圧センサ２Ａの製造方法に
ついて説明する。先ずに最初に、ダイヤフラム９の一方
の面に成膜技術を利用して前述した歪み検出部１２を形
成する。図示例では２個の歪みゲージ２１のみを示して
いる。前記支持部材ｌＯと１１を形成し、支持部材１１
の所定の箇所にダイヤフラム９を固定する。次にダイヤ
フラム９の周縁部に形成されたポンディングパッド２６
とターミナル部１４を信号引出し線１５で接続する。タ
ーミナル部１４には既に信号引出し線２７が接続され、
支持部材１１には信号引出し部１６が形成されている。

一方、支持部材１０には、前述した方法によりリング形
の突起部１０ｄの頂部に孔１０ａを塞ぐように金属シー
ト２２を取付ける。このように形成された支持部材１０
を、上記のように形成され支持部材１１に対して、各々
の突き合わせ面１０ｂ、ｌｌｂが一致するように矢印の
ように突き合わせ、結合一体化する。こうして差圧セン
サ２への部分が作製される。

上記の差圧センサ製造方法によれば、支持部材１０と１
１を組み付けると同時に、ダイヤフラム９の上面を金属
シート２２が覆うので、保護膜の作製を容易に行うこと
ができる。また信号引出し線１５やターミナル部１４が
形成される空間１３も、突き合わせによる組み合わせと
同時に自動的に形成されるという利点があり、非常に製
作が容易となる。

第８図は本発明に係る差圧センサの他の実施例を示し、
第２図と同様な図である。第８図中において第２図に示
した要素と同一要素には同一の符号を付している。この
実施例による差圧センサでは、支持部材１０の孔１０ａ
の周囲の突起部１０ｄの頂部に円形の凹部を形成し、シ
ール用Ｏリング４０を配設すると共に、支持部材１１の
孔１１ａの周囲に円形の凹部を形成し、シール用Ｏリン
グ４１を配設するように構成した。これにより、シール
性ヲ更に高めている。

本発明に関しては構成を次のように変更することもでき
る。金属シート２２を、支持部材１１の孔１１ａを塞ぐ
ように取り付けることができる。

これによれば、ダイヤフラム９の下側の液密性を高める
ことができる。また金属シートの代わりにＰＴＦＥ　（
テフロン）等の材料を使用したシートを用いることもで
きる。

上記実施例では、検出対象として圧油を例にあげて説明
したが、その他の液体、或いは気体であっても本発明に
よる差圧センサを適用することができるのは勿論である
。

〔発明の効果〕

以上の説明で明らかなように、本発明によれば、金属シ
ート等の保護膜によってダイヤフラムの表面に形成され
た歪み検出部や電気配線膜が圧力媒体との接液状態から
完全に免れるようになったため、破損が少なくなり、急
激な圧力変動に対する耐久性が向上し、動作信頼性が高
くなる。また両面が受圧面となる受圧部を有するダイヤ
フラムを両側から２つの支持部材で支持する構造をした
ため、両側からの高圧に対して耐久性を有している。

また。歪み検出部で検出された圧力信号を増幅器等の電
気回路部に供給する電気配線部や電気接続部を、圧力媒
体の存在する空間とは分離された空間に配設するように
したため、電気配線部や電気接続部の保護を高めること
ができる。

また本発明にる差圧センサの製造方法では、構造の簡素
化に伴い、歪み検出部の保護する膜の取付は工程が簡単
となり、全体として製造工程数が少なくなるという利点
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る差圧センサが組み付けられた装置
構成を示す縦断面図、第２図は差圧センサの部分を拡大
して示した縦断面図、第３図は第２図中の要部を更に拡
大して示した縦断面図、第４図は歪み検出部の構成を示
す要部平面図、第５図はダイヤフラムの周縁要部及び電
気接続部を示す部分縦断面図、第６図は第５図中のＶＩ
−ＶＩ線断面図、第７図は差圧センサの製造工程の一部
を示す図、第８図は本発明に係る差圧センサの他の実施
例を示す第２図と同様な図、第９図は従来の差圧センサ
の構造例を示す縦断面図である。 〔符号の説明〕 １・・・・・・支持部（油圧機械の壁部）２・鳴・・・
・センサユニット ２Ａ・・・・・差圧センサ ３・・・・・・センサユニット取付は孔４．５・・・・
圧油導入孔 ６・・・・・・電気回路部 ９・・・・・・ダイヤフラム １０．１１・・支持部材 １０ａ、ｌｌａ ・・・・圧油導入孔 １２・・・・・歪み検出部 １３・・・・・空間 １４・・・・・ターミナル部 １５・・・・・信号引出し線 ２２・・・・・金属シート

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）薄板状であって一方の面に歪み検出部が形成され
   且つ表裏両面が受圧面となるダイヤフラムと、圧力媒体
   を前記ダイヤフラムの一方の前記受圧面に導入する導入
   孔を有した第１の支持部材と、圧力媒体を前記ダイヤフ
   ラムの他方の前記受圧面に導入する導入孔を有した第２
   の支持部材とから成り、前記第１の支持部材と前記第２
   の支持部材はそれぞれ突き合わせ面を備え、これらの突
   き合わせ面を突き合わせる構造にて前記第１と第２の支
   持部材が前記ダイヤフラムを両側から支持し固定すると
   共に、前記歪み検出部が形成されるダイヤフラム面側に
   位置する前記支持部材に前記導入孔を塞ぐシート部材を
   設けたことを特徴とする差圧センサ。
2. （２）請求項１記載の差圧センサにおいて、前記シート
   部材は、高温の拡散接合により前記支持部材に取付けら
   れる金属シートであることを特徴とする差圧センサ。
3. （３）請求項２記載の差圧センサにおいて、前記金属シ
   ートはたわみを有する状態で取付けられていることを特
   徴とする差圧センサ。
4. （４）請求項１〜３のいずれか１項に記載の差圧センサ
   において、前記第１と第２の支持部材の突き合わせ構造
   によって圧力媒体が存在する空間とは分離された空間を
   形成し、この空間に前記歪み検出部から出力される差圧
   信号を取出すための信号引出し・接続部を配設したこと
   を特徴とする差圧センサ。
5. （５）受圧部を有する薄板状のダイヤフラムの一方の面
   に歪み検出部を形成し、それぞれ圧力媒体を導入する孔
   を有し且つそれぞれ突き合わせ面を備えることにより突
   き合わせ構造によって結合一体化される第１及び第２の
   支持部材を形成し、前記第１の支持部材に前記ダイヤフ
   ラムをその他方の面を用いて取付け、前記第２の支持部
   材の突き合わせ面に前記孔を覆うシート部材を取付け、
   前記第２の支持部材を、前記シート部材が前記ダイヤフ
   ラムの前記一方の面に形成された前記歪み検出部を覆う
   ように、前記第１の支持部材に突き合せて結合するよう
   にしたことを特徴とする差圧センサの製造方法。