JPS613436U - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS613436U JPS613436U JP8708384U JP8708384U JPS613436U JP S613436 U JPS613436 U JP S613436U JP 8708384 U JP8708384 U JP 8708384U JP 8708384 U JP8708384 U JP 8708384U JP S613436 U JPS613436 U JP S613436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- pressure
- diaphragm
- sensitive part
- pressure sensitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
“第１図及び第２図は従来の圧カセンサの断面図、第−
３図は本考案に係る圧カセンサの断面図である。 １・・・ケース、２・・・シリコンディスク、３・・・
シリコンペレット、４，９，１１・・・ダイヤフラム、
５・・・ストレンゲージ、８・・・シリコーンゴム。
３図は本考案に係る圧カセンサの断面図である。 １・・・ケース、２・・・シリコンディスク、３・・・
シリコンペレット、４，９，１１・・・ダイヤフラム、
５・・・ストレンゲージ、８・・・シリコーンゴム。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 圧力変化をインピーダンス変化に変換する圧カセン
サにおいて、ケース内に設けられ圧力を感知する感圧部
表面には耐食性に優れ且つガス透過率の低い柔軟性材料
からなるダイヤフラム、を密着させたことを特徴とする
圧カセンサ。 ２ 前記感圧部表面に液体を塗布し、その上に前記ダイ
ヤフラムを密着させ、感圧部表面とダイヤフムとの間に
形成される微細空間には液体が封入きれていることを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の圧カセン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8708384U JPS613436U (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8708384U JPS613436U (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS613436U true JPS613436U (ja) | 1986-01-10 |
Family
ID=30638976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8708384U Pending JPS613436U (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS613436U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991015743A1 (en) * | 1990-04-03 | 1991-10-17 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Differential pressure sensor and method of manufacturing the same |
| JP2014077722A (ja) * | 2012-10-11 | 2014-05-01 | Denso Corp | 圧力センサ装置およびその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5862534A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-14 | Hitachi Ltd | 半導体測定ダイアフラム |
-
1984
- 1984-06-12 JP JP8708384U patent/JPS613436U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5862534A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-14 | Hitachi Ltd | 半導体測定ダイアフラム |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1991015743A1 (en) * | 1990-04-03 | 1991-10-17 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Differential pressure sensor and method of manufacturing the same |
| JP2014077722A (ja) * | 2012-10-11 | 2014-05-01 | Denso Corp | 圧力センサ装置およびその製造方法 |
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