JPH04142424A - 移動体の位置検出装置 - Google Patents
移動体の位置検出装置Info
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- JPH04142424A JPH04142424A JP2265937A JP26593790A JPH04142424A JP H04142424 A JPH04142424 A JP H04142424A JP 2265937 A JP2265937 A JP 2265937A JP 26593790 A JP26593790 A JP 26593790A JP H04142424 A JPH04142424 A JP H04142424A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 47
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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-
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は移動体の位置検出装置に関し、特に投光手段と
受光手段とを有する検出部本体に対して相対的に移動す
る移動体に関して設けられたスリット手段の相対的位置
情報を装置全体の小型化を図りつつ高精度に検出するよ
うにした移動体の位置検出装置に関するものである。
受光手段とを有する検出部本体に対して相対的に移動す
る移動体に関して設けられたスリット手段の相対的位置
情報を装置全体の小型化を図りつつ高精度に検出するよ
うにした移動体の位置検出装置に関するものである。
（従来の技術）
従来より移動体に関して設けられた所定のバターンを投
光手段と受光手段を用いて光電的に読み取ることにより
、該移動体の移動量等の位置情報を検出するようにした
検出装置として所謂フォトリフレクタやフォトインタラ
プタ等が知られている。
光手段と受光手段を用いて光電的に読み取ることにより
、該移動体の移動量等の位置情報を検出するようにした
検出装置として所謂フォトリフレクタやフォトインタラ
プタ等が知られている。
又レーザ光の干渉を利用し、サブミクロン以下の計測を
可能とした計測器が例えば特開昭５９−１８７２０３号
公報、特開昭６０−９３３１１号公報、特開昭６０−９
３３１２号公報等で提案されている。このうちレーザを
利用した計測器は装置全体が比較的大型である為、大型
の装置に用いられている。
可能とした計測器が例えば特開昭５９−１８７２０３号
公報、特開昭６０−９３３１１号公報、特開昭６０−９
３３１２号公報等で提案されている。このうちレーザを
利用した計測器は装置全体が比較的大型である為、大型
の装置に用いられている。
一方、フォトリフレクタやフォトインタラプタ等の検出
装置は比較的小型である為、例えばレンズ鏡筒等の小さ
な空間内に組み込まれて使用されている。
装置は比較的小型である為、例えばレンズ鏡筒等の小さ
な空間内に組み込まれて使用されている。
又、この検出装置はいずれも移動体に関して設けられた
所定ピッチのパターンの移動に基づく明信号と暗信号の
縁り返し信号を投光手段と受光手段とを用いて検出する
ことにより、移動体の移動量を検出している。例えばＰ
ＳＤ （Ｐｏｓ ｉ ｔ ｉｏｎ ５ｅｎｓｉｔｉｖ
ｅ Ｄｅｖｉｃｅ）等の位置検出センサを用いてその
検出面上に形成されたスリットの移動量を測定すること
により移動体の位置情報を検出するようにしている。
所定ピッチのパターンの移動に基づく明信号と暗信号の
縁り返し信号を投光手段と受光手段とを用いて検出する
ことにより、移動体の移動量を検出している。例えばＰ
ＳＤ （Ｐｏｓ ｉ ｔ ｉｏｎ ５ｅｎｓｉｔｉｖ
ｅ Ｄｅｖｉｃｅ）等の位置検出センサを用いてその
検出面上に形成されたスリットの移動量を測定すること
により移動体の位置情報を検出するようにしている。
第４図はこの種の従来の位置検出装置の要部概略図であ
る。
る。
同図において１１は投光素子で例えば１ＲＥＤ（赤外発
光ダイオード）等から成っている。１２はＰＳＤ等の受
光素子て所定の長さの受光面１２ａを有している。１３
は移動体であり、その面上にはスリット１３ａが設けら
れている。
光ダイオード）等から成っている。１２はＰＳＤ等の受
光素子て所定の長さの受光面１２ａを有している。１３
は移動体であり、その面上にはスリット１３ａが設けら
れている。
投光素子１１からの光束によりＰＳＤ１２の受光面１２
ａ上にスリット１３ａの像が投影される。このとき移動
体１３が図中矢印１４方向に移動するに伴い受光面１２
ａ上に投影されるスリット１３ａの像も移動する。ＰＳ
Ｄ１２はその面上に投影されるスリット像の位置に応じ
て電極Ａ及び電極Ｂからの出力比が変化するので、この
ときの変化量を測定することにより移動体１３の移動量
等の位置情報を検出している。
ａ上にスリット１３ａの像が投影される。このとき移動
体１３が図中矢印１４方向に移動するに伴い受光面１２
ａ上に投影されるスリット１３ａの像も移動する。ＰＳ
Ｄ１２はその面上に投影されるスリット像の位置に応じ
て電極Ａ及び電極Ｂからの出力比が変化するので、この
ときの変化量を測定することにより移動体１３の移動量
等の位置情報を検出している。
第４図に示す位置検出装置では移動体１３に複数のスリ
ットを適切に設ければ受光面１２ａの検出方向の長さ以
上の移動量を検出することができる。
ットを適切に設ければ受光面１２ａの検出方向の長さ以
上の移動量を検出することができる。
〈発明が解決しようとする問題点）
第４図に示す位置検出装置における移動体１３の位置情
報の検出精度は受光素子１２の検出精度に依存している
。即ち受光素子１２の受光面１２ａ上に投影されるスリ
ット像の位置情報をどの程度細かく分解して検出するこ
とができるかの検出分解能に依存してくる。
報の検出精度は受光素子１２の検出精度に依存している
。即ち受光素子１２の受光面１２ａ上に投影されるスリ
ット像の位置情報をどの程度細かく分解して検出するこ
とができるかの検出分解能に依存してくる。
般に第４図に示す位置検出装置に用いるＰＳＤはその受
光面をある一定以上の大きさを有するように構成する必
要があるが受光面が大きくなってくると多くの場合検出
分解能が低下してくる。
光面をある一定以上の大きさを有するように構成する必
要があるが受光面が大きくなってくると多くの場合検出
分解能が低下してくる。
この為所定の大きさのＰＳＤ等の受光素子を用いて第４
図で示す装置により移動体の位置情報の検出を行う場合
には受光素子の検出分解能以上の精度で位置情報検出す
ることはできないという問題点があった。
図で示す装置により移動体の位置情報の検出を行う場合
には受光素子の検出分解能以上の精度で位置情報検出す
ることはできないという問題点があった。
本発明は複数のスリットを所定の周期で設けたマスク部
材とスリット部材との２つの部材を利用することにより
装置全体の小型化を図りつつ、移動体の位置情報を受光
素子の検出分解能以上の精度で検出することができる移
動体の位置検出装置の提供を目的とする。
材とスリット部材との２つの部材を利用することにより
装置全体の小型化を図りつつ、移動体の位置情報を受光
素子の検出分解能以上の精度で検出することができる移
動体の位置検出装置の提供を目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明の移動体の位置検出装置は投光手段と該投光手段
に対し、所定距離を隔てて対向配置した受光手段とを有
する検出部本体と、該投光手段と該受光手段との間に双
方の対向方向と直交方向に周期的に複数のスリット開口
部を設けたマスク部材とスリット部材をそれらのスリッ
ト配列方向か互いに同一・方向となるように挾入し、こ
のとき該マスク部材を該受光手段の受光面上に装着する
と共に該スリット部材を該検出部本体に対して相対的に
移動可能となるように配置し、該投光手段からの光束の
うち該スリット部材と該マスク部材の双方のスリット開
口部を通過した光束を該受光手段で検出し、該受光手段
からの出力信号を利用して該検出部本体と該スリット部
材との相対的位置情報を検出するようにしたことを特徴
としている。
に対し、所定距離を隔てて対向配置した受光手段とを有
する検出部本体と、該投光手段と該受光手段との間に双
方の対向方向と直交方向に周期的に複数のスリット開口
部を設けたマスク部材とスリット部材をそれらのスリッ
ト配列方向か互いに同一・方向となるように挾入し、こ
のとき該マスク部材を該受光手段の受光面上に装着する
と共に該スリット部材を該検出部本体に対して相対的に
移動可能となるように配置し、該投光手段からの光束の
うち該スリット部材と該マスク部材の双方のスリット開
口部を通過した光束を該受光手段で検出し、該受光手段
からの出力信号を利用して該検出部本体と該スリット部
材との相対的位置情報を検出するようにしたことを特徴
としている。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例の要部斜視図、第２図は第１
図の主要部の概略図、第３図は本発明の移動体の位置検
出装置の検出原理の説明図、第５図は本発明の一実施例
の要部構成図である。
図の主要部の概略図、第３図は本発明の移動体の位置検
出装置の検出原理の説明図、第５図は本発明の一実施例
の要部構成図である。
図中１は受光手段であり、矢印１０２て示す方向に移動
する移動体（不図示）の位置情報の検出を行う為の所定
の大きさの受光面１ａを有している。受光手段１は例え
ばＰＳＤ等より成っており、光束の入射位置に広した位
置信号を出力している。２は投光手段であり、受光手段
１と所定の間隔を隔てて対向配置されている。投光手段
２は発光タイオードや半導体レーザ等から成り、所定の
大きさの光束を投光系２ａを介して受光手段１方向に投
光している。受光手段１と投光手段２は検出部本体１０
１の一要素を構成し、保持部材６により対向するように
して一体的に構成されている。
する移動体（不図示）の位置情報の検出を行う為の所定
の大きさの受光面１ａを有している。受光手段１は例え
ばＰＳＤ等より成っており、光束の入射位置に広した位
置信号を出力している。２は投光手段であり、受光手段
１と所定の間隔を隔てて対向配置されている。投光手段
２は発光タイオードや半導体レーザ等から成り、所定の
大きさの光束を投光系２ａを介して受光手段１方向に投
光している。受光手段１と投光手段２は検出部本体１０
１の一要素を構成し、保持部材６により対向するように
して一体的に構成されている。
３はスリット部材であり、移動体（不図示）に関して設
けられており、その面上には例えば第６図に示すような
複数のスリット開口部３ａか周期的に設けられている。
けられており、その面上には例えば第６図に示すような
複数のスリット開口部３ａか周期的に設けられている。
４はマスク部材であり、その面上には第６図に示すよう
な複数のスリット開口部４ａか周期的に設けられている
。
な複数のスリット開口部４ａか周期的に設けられている
。
スリット部材３とマスク部材４に設けられたスリット開
口部３ａ、４ａの周期は互いに異っている。スリット部
材３とマスク部材４はそのスリット開口部３ａ、４ａの
並び方向が受光手段１と投光手段２との対向方向と直交
する方向となるように配置され、しかも双方のスリット
開口部３ａ。
口部３ａ、４ａの周期は互いに異っている。スリット部
材３とマスク部材４はそのスリット開口部３ａ、４ａの
並び方向が受光手段１と投光手段２との対向方向と直交
する方向となるように配置され、しかも双方のスリット
開口部３ａ。
４ａのスリット配列方向が同一となるようにして受光手
段１と投光手段２との間に挾入されている。
段１と投光手段２との間に挾入されている。
このうちマスク部材２は受光手段１の受光面１ａ上に装
着され固定されている。又スリット部材３は受光手段１
と投光手段２との間で矢印１０２て示す位置検出方向に
関して検出部本体１０１と相対的に移動可能となってい
る。
着され固定されている。又スリット部材３は受光手段１
と投光手段２との間で矢印１０２て示す位置検出方向に
関して検出部本体１０１と相対的に移動可能となってい
る。
７は初期位置検出手段であり、スリット部材３に直接又
はスリット部材３に対して一定の位置関係で設けられて
おり、例えば板バネのスイッチ等から成っている。その
初期位置検出手段７はスリット部材３の初期位置をＯＮ
又はＯＦＦとなる位置より求め、例えばスリット部材３
の絶対位置情報を検出する際に用いている。尚初期位置
検出手段７はスリット部材３の絶対位置情報を検出しな
い場合は省略される。
はスリット部材３に対して一定の位置関係で設けられて
おり、例えば板バネのスイッチ等から成っている。その
初期位置検出手段７はスリット部材３の初期位置をＯＮ
又はＯＦＦとなる位置より求め、例えばスリット部材３
の絶対位置情報を検出する際に用いている。尚初期位置
検出手段７はスリット部材３の絶対位置情報を検出しな
い場合は省略される。
本実施例では投光手段２からの光束のうちスリット部材
３の複数のスリット開口部のうちの１つのスリット開口
部とマスク部材４の複数のスリット開口部のうちの１つ
のスリット開口部の双方のスリット開口部を通過した光
束の受光手段１の受光面ｌａ上への入射位置、即ち受光
面ｌａ上に投影されるスリット像の位置を検出すること
により、検出部本体１０１とスリット部材３（移動体）
との相対的位置情報を検出している。
３の複数のスリット開口部のうちの１つのスリット開口
部とマスク部材４の複数のスリット開口部のうちの１つ
のスリット開口部の双方のスリット開口部を通過した光
束の受光手段１の受光面ｌａ上への入射位置、即ち受光
面ｌａ上に投影されるスリット像の位置を検出すること
により、検出部本体１０１とスリット部材３（移動体）
との相対的位置情報を検出している。
次に第３図を用いて本発明の移動体（スリット部材３）
の位置情報の検出原理を説明する。尚、第３図において
投光手段２は省略しているが投光手段２からの光束はス
リット部材３の上方からマスク部材４のスリット開口部
４ａが配列されている領域に照射されている。
の位置情報の検出原理を説明する。尚、第３図において
投光手段２は省略しているが投光手段２からの光束はス
リット部材３の上方からマスク部材４のスリット開口部
４ａが配列されている領域に照射されている。
今、受光手段１とスリット部材３との位置関係、即ちマ
スク部材４とスリット部材３との位置関係が第３図（Ａ
）に示す位置にあったとする。
スク部材４とスリット部材３との位置関係が第３図（Ａ
）に示す位置にあったとする。
スリット部材３のスリット開口部３ａとマスク部材４の
スリット開口部４ａの周期は各々異っており、このとき
の周期は第３図（Ａ）においてはマスク部材４の複数の
スリット開口部４ａのうちスリット開口部４ａｌのみか
スリット部材３の複数のスリット開口部３ａのうちの１
つのスリット開口部３ａｌと一致するように設定されて
いる。
スリット開口部４ａの周期は各々異っており、このとき
の周期は第３図（Ａ）においてはマスク部材４の複数の
スリット開口部４ａのうちスリット開口部４ａｌのみか
スリット部材３の複数のスリット開口部３ａのうちの１
つのスリット開口部３ａｌと一致するように設定されて
いる。
即ち双方のスリット開口部３ａ、４ａのうちの１つのみ
が互いに一致するように設定されてぃる。
が互いに一致するように設定されてぃる。
この為、第３図（Ａ）においては投光手段（不図示）か
らの光束はスリット開口部３ａｌとスリット開口部４ａ
ｌを通過し受光手段１の受光面ｌａ上に入射し、受光面
Ｉａ上の所定位置にスリット像を形成する。
らの光束はスリット開口部３ａｌとスリット開口部４ａ
ｌを通過し受光手段１の受光面ｌａ上に入射し、受光面
Ｉａ上の所定位置にスリット像を形成する。
次にスリット部材３か例えば矢印１０２Ｂ方向に僅かに
移動したとする。そうすると今度はマスク部材４のスリ
ット開口部４ａ２のみがスリット部材３のスリット開口
部３ａ２と一致するようになる。従って受光手段ｌの受
光面１ａ上には位置検圧方向の前とは異ワた位置にスリ
ット開口部３ａ２とスリット開口部４ａ２を通過した光
束によるスリット像か形成される。このとき第３図（Ａ
）、（Ｂ）に示すようにスリット部材３ａの移動量に比
へて受光手段１の受光面ｌａ上に形成されるスリット像
の変化量の方がはるかに大きい。即ち受光手段１はスリ
ット部材３の移動量を拡大した（増幅した）状態で位置
情報を検出することができる。
移動したとする。そうすると今度はマスク部材４のスリ
ット開口部４ａ２のみがスリット部材３のスリット開口
部３ａ２と一致するようになる。従って受光手段ｌの受
光面１ａ上には位置検圧方向の前とは異ワた位置にスリ
ット開口部３ａ２とスリット開口部４ａ２を通過した光
束によるスリット像か形成される。このとき第３図（Ａ
）、（Ｂ）に示すようにスリット部材３ａの移動量に比
へて受光手段１の受光面ｌａ上に形成されるスリット像
の変化量の方がはるかに大きい。即ち受光手段１はスリ
ット部材３の移動量を拡大した（増幅した）状態で位置
情報を検出することができる。
二の為、本実施例では受光手段１の有する固有の位置検
出粒度（位置分解能）よりも高精度に移動体（スリット
部材３）の位置情報を検出することができる。
出粒度（位置分解能）よりも高精度に移動体（スリット
部材３）の位置情報を検出することができる。
更にスリット部材３を図中矢印１０２Ｂ方向へ移動させ
ると、今度はマスク部材４のスリット開口部４ａ３とス
リット部材３のスリット開口部３ａ３のみが一致するよ
うになる。
ると、今度はマスク部材４のスリット開口部４ａ３とス
リット部材３のスリット開口部３ａ３のみが一致するよ
うになる。
以下同様にしてスリット部材３を同図（Ｃ）、（Ｄ）に
示すように矢印１０２Ｂ方向へ移動させると受光手段１
の受光面ｌａ上に形成されるスリット像の位置はマスク
部材４のスリット開口部４ａを用いて示すと、順次 ４ａ３−＋４ａ４−＋４ａ５−＋４ａ６−＋４ａｌ −
＋４ａ２−＋−−−と周期的に変化していく。
示すように矢印１０２Ｂ方向へ移動させると受光手段１
の受光面ｌａ上に形成されるスリット像の位置はマスク
部材４のスリット開口部４ａを用いて示すと、順次 ４ａ３−＋４ａ４−＋４ａ５−＋４ａ６−＋４ａｌ −
＋４ａ２−＋−−−と周期的に変化していく。
本実施例ではこのときの受光面ｌａ上に形成されるスリ
ット像の位置変化の周期を第５図に示す制御手段５１で
カウントしてスリット像が形成される位置情報を検出す
る。そして受光手段１、即ち検出部本体１０１に対する
スリット部材３の相対的な移動量を求めている。
ット像の位置変化の周期を第５図に示す制御手段５１で
カウントしてスリット像が形成される位置情報を検出す
る。そして受光手段１、即ち検出部本体１０１に対する
スリット部材３の相対的な移動量を求めている。
第３図においてスリット部材３を矢印１０２Ｂと逆方向
の矢印１０２Ａ方向に移動させたときは受光手段１の受
光面ｌａ上に形成されるスリット像の位置変化は前述と
同様に、マスク部材４のスリット開口部４ａを用いて示
すと、順次４ａｌ −＋４ａ６−＋４ａ５−＋４ａ４−
＋４ａ３−＋４ａ２−＋４ａｌ ＋４ａ６ → ・・
・・・・・・ と周期的に変化していく。従って前述と同様にすれば検
出部本体１０１に対するスリット部材３の相対的な移動
を求めることができる。
の矢印１０２Ａ方向に移動させたときは受光手段１の受
光面ｌａ上に形成されるスリット像の位置変化は前述と
同様に、マスク部材４のスリット開口部４ａを用いて示
すと、順次４ａｌ −＋４ａ６−＋４ａ５−＋４ａ４−
＋４ａ３−＋４ａ２−＋４ａｌ ＋４ａ６ → ・・
・・・・・・ と周期的に変化していく。従って前述と同様にすれば検
出部本体１０１に対するスリット部材３の相対的な移動
を求めることができる。
本実施例においてスリット部材３に関して設けた初期位
置検出手段７を用いればスリット部材３の初期位置が求
められスリット部材３の絶対位置情報を検出することが
できる。
置検出手段７を用いればスリット部材３の初期位置が求
められスリット部材３の絶対位置情報を検出することが
できる。
尚、本実施例においてスリット部材３を固定させ、その
代わりに受光手段と投光手段２を有する検出部本体１０
１を矢印１０２方向に移動させても検出部本体１０１と
スリット部材３（移動体）との相対的位置情報を検出す
ることかできる。
代わりに受光手段と投光手段２を有する検出部本体１０
１を矢印１０２方向に移動させても検出部本体１０１と
スリット部材３（移動体）との相対的位置情報を検出す
ることかできる。
初期位置検出手段７としてはフォトインタラプタ−やフ
ォトリフレクタ−等の光を用いたスイッチでも静電容量
を利用した電気的なスイッチでも初期位置においてＯＮ
又はＯＦＦを検出することができるスイッチならばどの
ようなスイッチでも適用可能である。
ォトリフレクタ−等の光を用いたスイッチでも静電容量
を利用した電気的なスイッチでも初期位置においてＯＮ
又はＯＦＦを検出することができるスイッチならばどの
ようなスイッチでも適用可能である。
（発明の効果）
本発明によれば前述のように所定の周期で複数のスリッ
ト開口部を設けたマスク部材とスリット部材とを用いる
ことにより移動体の位置情報を受光手段の検出分解能以
上の精度で検出することができる移動体の位置検出装置
を達成することができる。
ト開口部を設けたマスク部材とスリット部材とを用いる
ことにより移動体の位置情報を受光手段の検出分解能以
上の精度で検出することができる移動体の位置検出装置
を達成することができる。
又、投光手段と受光手段とを保持部材で一体的に構成す
れば投光手段と受光手段の位置関係をより正確に構成す
ることができ装置全体の小型化及び簡素化を図りつつ、
高精度な移動体の位置検出装置を達成することができる
。
れば投光手段と受光手段の位置関係をより正確に構成す
ることができ装置全体の小型化及び簡素化を図りつつ、
高精度な移動体の位置検出装置を達成することができる
。
第１図は本発明の一実施例の要部斜視図、第２図は第１
図の主要部の概略図、第３図は本発明における移動体の
検出原理の説明図、第４図は従来の位置検出装置の概略
図、第５図は本発明の要部構成図、第６図は第１図の一
部分の説明図である。 図中１は受光手段、１ａは受光面、２は投光手段、２ａ
は投光系、３はスリット部材、４はマスク部材、３ａ、
４ａはスリット開口部、６は保持部材、１０１は検出部
本体、５１は制御回路、５２は電源、である。 滲 図 添 団 第 茎
図の主要部の概略図、第３図は本発明における移動体の
検出原理の説明図、第４図は従来の位置検出装置の概略
図、第５図は本発明の要部構成図、第６図は第１図の一
部分の説明図である。 図中１は受光手段、１ａは受光面、２は投光手段、２ａ
は投光系、３はスリット部材、４はマスク部材、３ａ、
４ａはスリット開口部、６は保持部材、１０１は検出部
本体、５１は制御回路、５２は電源、である。 滲 図 添 団 第 茎
Claims (4)
- （１）投光手段と該投光手段に対し、所定距離を隔てて
対向配置した受光手段とを有する検出部本体と、該投光
手段と該受光手段との間に双方の対向方向と直交方向に
周期的に複数のスリット開口部を設けたマスク部材とス
リット部材をそれらのスリット配列方向が互いに同一方
向となるように挾入し、このとき該マスク部材を該受光
手段の受光面上に装着すると共に該スリット部材を該検
出部本体に対して相対的に移動可能となるように配置し
、該投光手段からの光束のうち該スリット部材と該マス
ク部材の双方のスリット開口部を通過した光束を該受光
手段で検出し、該受光手段からの出力信号を利用して該
検出部本体と該スリット部材との相対的位置情報を検出
するようにしたことを特徴とする移動体の位置検出装置
。 - （２）前記マスク部材とスリット部材に設けられた複数
のスリット開口部の周期は互いに異っていることを特徴
とする請求項１記載の移動体の位置検出装置。 - （３）前記投光手段と受光手段とは一体的に保持され又
は一体的に成形されていることを特徴とする請求項２記
載の移動体の位置検出装置。 - （４）前記検出部本体は前記スリット部材の初期位置を
検出する為の初期位置検出手段を有していることを特徴
とする請求項１記載の移動体の位置検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2265937A JPH04142424A (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 移動体の位置検出装置 |
| US07/770,311 US5229836A (en) | 1990-10-03 | 1991-10-03 | Position detecting apparatus for a moving body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2265937A JPH04142424A (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 移動体の位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04142424A true JPH04142424A (ja) | 1992-05-15 |
Family
ID=17424153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2265937A Pending JPH04142424A (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 移動体の位置検出装置 |
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| JP (1) | JPH04142424A (ja) |
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