JPH03123812A - 面ブレセンサ - Google Patents
面ブレセンサInfo
- Publication number
- JPH03123812A JPH03123812A JP26318889A JP26318889A JPH03123812A JP H03123812 A JPH03123812 A JP H03123812A JP 26318889 A JP26318889 A JP 26318889A JP 26318889 A JP26318889 A JP 26318889A JP H03123812 A JPH03123812 A JP H03123812A
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- Japan
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- light
- subject
- slit
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 18
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、被写体（光ディスク等）の面ブレ量を検出
する面ブレセンサに関するものである。
する面ブレセンサに関するものである。
第２図は、従来の面ブレセンサを示すものである。この
面ブレセンサは、回転円盤１に光を照射するＬＥＤ２と
、その反射光を受光する為に、ＬＥＤ２の側方に配置さ
れた位置検出素子３を備えて構成されている。この回転
円盤１とＬＥＤ２、及び回転円盤１と位置検出素子３と
の間には、投光レンズ４及び受光レンズ５が設けられて
いる。
面ブレセンサは、回転円盤１に光を照射するＬＥＤ２と
、その反射光を受光する為に、ＬＥＤ２の側方に配置さ
れた位置検出素子３を備えて構成されている。この回転
円盤１とＬＥＤ２、及び回転円盤１と位置検出素子３と
の間には、投光レンズ４及び受光レンズ５が設けられて
いる。
ＬＥＤ２から出射された光は、投光レンズ４で平行光線
に近付けられ、回転円盤１で反射する。この反射光の一
部は受光レンズ５で集光され、位置検出素子３の受光面
に入射する。例えば、回転円盤１とＬＥＤ２との間の距
離が変化すると、位置検出素子３の受光面における集光
位置が移動するので、この位置ズレを検出することによ
り、回転円盤１とＬＥＤ２との間の距離や面ブレ量を検
出することができる。
に近付けられ、回転円盤１で反射する。この反射光の一
部は受光レンズ５で集光され、位置検出素子３の受光面
に入射する。例えば、回転円盤１とＬＥＤ２との間の距
離が変化すると、位置検出素子３の受光面における集光
位置が移動するので、この位置ズレを検出することによ
り、回転円盤１とＬＥＤ２との間の距離や面ブレ量を検
出することができる。
また、この従来技術に係る面ブレセンサから投光レンズ
４及び受光レンズ５を除去し、光の強度あるいは偏りを
用いて被写体までの距離を測定する技術が提案されてい
る。
４及び受光レンズ５を除去し、光の強度あるいは偏りを
用いて被写体までの距離を測定する技術が提案されてい
る。
さらに、ＬＥＤのパッケージにレンズ付きのものを使用
し、これとスリットを組み合わせた技術が提案されてい
る。
し、これとスリットを組み合わせた技術が提案されてい
る。
しかしながら、従来の面ブレセンサによると、いずれも
レンズを使用しているのでセンサの超小型化が困難であ
り、光軸調整が必要であるという欠点があった。
レンズを使用しているのでセンサの超小型化が困難であ
り、光軸調整が必要であるという欠点があった。
また、ＬＥＤのように点光源でない光源を使用する場合
には、レンズを用いて完全な平行光を得ることはできな
い（第３図参照）。この場合、レンズ系６の光軸とＬＥ
Ｄチップ７との間にわずかでもズレがあると光路が大き
くずれるという問題がある。
には、レンズを用いて完全な平行光を得ることはできな
い（第３図参照）。この場合、レンズ系６の光軸とＬＥ
Ｄチップ７との間にわずかでもズレがあると光路が大き
くずれるという問題がある。
第４図は、スリットマスク（スリット間隔＝０．５ｍｍ
）からの距離に対する光強度特性を示すグラフである。
）からの距離に対する光強度特性を示すグラフである。
このグラフは光軸が約０．１ｍｍ程ずれている状態を示
しているが、距離が大きくなるにつれて光束ライン１０
０，１０１．１０２の拡がりが大きくなり、レンズで集
光されることによって生じる集光ライン１０３との差が
拡大することが分かる。
しているが、距離が大きくなるにつれて光束ライン１０
０，１０１．１０２の拡がりが大きくなり、レンズで集
光されることによって生じる集光ライン１０３との差が
拡大することが分かる。
そこで本発明は、光軸ずれのない、超小型センサを提供
することを目的とする。
することを目的とする。
上記課題を達成するため、この発明は被写体と対向する
位置に配置された光源と、この光源と被写体との間に配
置され当該光源からの光をスリット光に変える少なくと
も２以上のスリットマスクと、被写体から反射されたス
リット光を受ける位置検出素子とを備え、位置検出素子
の出力値から上記被写体の面ブレ量を検出することを特
徴とする。
位置に配置された光源と、この光源と被写体との間に配
置され当該光源からの光をスリット光に変える少なくと
も２以上のスリットマスクと、被写体から反射されたス
リット光を受ける位置検出素子とを備え、位置検出素子
の出力値から上記被写体の面ブレ量を検出することを特
徴とする。
この発明は、以上のように構成されているので、光源か
らの光はレンズを通過せず、少なくとも２以上のスリッ
トマスクを介して被写体に照射される。その為、光源か
ら発せられた光は、重心位置がほとんど変わることなく
、位置検出素子に入射される。したがって、光束の広狭
に拘らず、正確な被写体の面ブレ量が検出される。
らの光はレンズを通過せず、少なくとも２以上のスリッ
トマスクを介して被写体に照射される。その為、光源か
ら発せられた光は、重心位置がほとんど変わることなく
、位置検出素子に入射される。したがって、光束の広狭
に拘らず、正確な被写体の面ブレ量が検出される。
以下、この発明の一実施例に係る面ブレセンサを添付図
面に基づき説明する。なお、説明において同一要素には
同一符号を用い、重複する説明は省略する。
面に基づき説明する。なお、説明において同一要素には
同一符号を用い、重複する説明は省略する。
第１図は、この実施例に係る面ブレセンサを示す側断面
図である。センサパッケージ８に形成された溝部８ａに
は、ＬＥＤあるいはＬＤ等の光源９が被写体１０と対向
する位置に配置されている。
図である。センサパッケージ８に形成された溝部８ａに
は、ＬＥＤあるいはＬＤ等の光源９が被写体１０と対向
する位置に配置されている。
また、他方の溝部８ｂには、Ｐ Ｓ Ｄ （Ｐｏｓｉｔ
ｉｏｎ−３ｅｎｓｌｔｉｖｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒｓ）等
の位置検出素子１１が配置されている。この位置検出素
子１１の受光面は、投射されるスリット光の長手方向と
直交するように（第１図において左右方向に）配置され
ている。
ｉｏｎ−３ｅｎｓｌｔｉｖｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒｓ）等
の位置検出素子１１が配置されている。この位置検出素
子１１の受光面は、投射されるスリット光の長手方向と
直交するように（第１図において左右方向に）配置され
ている。
光源９と被写体１０との間には、２組のスリットマスク
１２．１３が装着したマスク付き透明蓋１４が配置され
ている。光源９からの光束はスリットマスク１２．１３
を通過することにより、位置検出素子１１上で測定可能
なビーム径に絞られている。この場合、光束内の光量分
布は、スリットマスクが固定されていることから重心（
光量が平均値を示す位置）変化はほとんどない。したが
って、光束の重心を測定するＰＳＤを用いれば、被写体
１０の位置が変位することにより光束が広がったり狭く
なったりしても被写体の正確な位置を検出することがで
きる。特に、２以上のスリットマスクを使用することに
より、光源として点光源を用いない場合に立対角の広が
りを抑えることができる。
１２．１３が装着したマスク付き透明蓋１４が配置され
ている。光源９からの光束はスリットマスク１２．１３
を通過することにより、位置検出素子１１上で測定可能
なビーム径に絞られている。この場合、光束内の光量分
布は、スリットマスクが固定されていることから重心（
光量が平均値を示す位置）変化はほとんどない。したが
って、光束の重心を測定するＰＳＤを用いれば、被写体
１０の位置が変位することにより光束が広がったり狭く
なったりしても被写体の正確な位置を検出することがで
きる。特に、２以上のスリットマスクを使用することに
より、光源として点光源を用いない場合に立対角の広が
りを抑えることができる。
光源から発せられた光は、レンズを通過することなく、
スリットマスク１２．１３によってスリット光に変換さ
れた後、被写体１０に照射される。
スリットマスク１２．１３によってスリット光に変換さ
れた後、被写体１０に照射される。
被写体１０で反射されたスリット光は、位置検出素子１
１へ入射される。被写体１０に面ブレが生じると、位置
検出素子１１に投光される位置が変位する。この変位量
は出力値の変化として検知されるので、この変化分を検
知することにより面ブレ量を検出することができる。
１へ入射される。被写体１０に面ブレが生じると、位置
検出素子１１に投光される位置が変位する。この変位量
は出力値の変化として検知されるので、この変化分を検
知することにより面ブレ量を検出することができる。
なお、この発明は上記実施例に限定されるものではなく
、光源、スリットマスク、被写体、位置検出素子の数、
配置、形状等は任意的なものである。
、光源、スリットマスク、被写体、位置検出素子の数、
配置、形状等は任意的なものである。
また、位置検出素子は、ＰＳＤ以外の半導体装置検出素
子（例えば、二分割式ホトダイオード）を使用すること
ができる。
子（例えば、二分割式ホトダイオード）を使用すること
ができる。
さらに、この実施例では面ブレセンサとして説明してい
るが、原理的にはスリット光の移動距離を測定するもの
である為、距離センサとしても利用できる。
るが、原理的にはスリット光の移動距離を測定するもの
である為、距離センサとしても利用できる。
この発明は、以上説明したように構成されているので、
超小型センサを提供することができる。
超小型センサを提供することができる。
また、レンズ系を持たない構造となっているので光軸ず
れがなく、光軸調整が不要になる。
れがなく、光軸調整が不要になる。
スリットマスクからの距離に対する光強度特性を示すグ
ラフである。
ラフである。
１・・・回転円盤、２・・・ＬＥＤ、３．１１・・・位
置検出素子、４・・・投光レンズ、５・・・受光レンズ
、６・・・レンズ系、７・・・ＬＥＤチップ、８・・・
センサパッケージ、９・・・光源、１０・・・被写体、
１２．１３・・・スリットマスク、１４・・・透明蓋。
置検出素子、４・・・投光レンズ、５・・・受光レンズ
、６・・・レンズ系、７・・・ＬＥＤチップ、８・・・
センサパッケージ、９・・・光源、１０・・・被写体、
１２．１３・・・スリットマスク、１４・・・透明蓋。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被写体と対向する位置に配置された光源と、この光源
と前記被写体との間に配置され当該光源からの光をスリ
ット光に変える少なくとも２以上のスリットマスクと、
前記被写体から反射されたスリット光を受ける位置検出
素子とを備え、 前記位置検出素子の出力値から前記被写体の面ブレ量を
検出することを特徴とする面ブレセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26318889A JPH03123812A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 面ブレセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26318889A JPH03123812A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 面ブレセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03123812A true JPH03123812A (ja) | 1991-05-27 |
Family
ID=17385995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26318889A Pending JPH03123812A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 面ブレセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03123812A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0642914A (ja) * | 1992-07-24 | 1994-02-18 | Canon Inc | 変位測定装置 |
| JP2006349606A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Yaskawa Electric Corp | 反射型光ギャップセンサ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS535659A (en) * | 1976-07-05 | 1978-01-19 | Shinto Eng | Method of and apparatus for detecting discountinuous surface |
-
1989
- 1989-10-09 JP JP26318889A patent/JPH03123812A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS535659A (en) * | 1976-07-05 | 1978-01-19 | Shinto Eng | Method of and apparatus for detecting discountinuous surface |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0642914A (ja) * | 1992-07-24 | 1994-02-18 | Canon Inc | 変位測定装置 |
| JP2006349606A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Yaskawa Electric Corp | 反射型光ギャップセンサ |
| JP4595697B2 (ja) * | 2005-06-20 | 2010-12-08 | 株式会社安川電機 | 反射型光ギャップセンサ |
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