JPH07286813A - 標識方向検出装置 - Google Patents

標識方向検出装置

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JPH07286813A
JPH07286813A JP10486194A JP10486194A JPH07286813A JP H07286813 A JPH07286813 A JP H07286813A JP 10486194 A JP10486194 A JP 10486194A JP 10486194 A JP10486194 A JP 10486194A JP H07286813 A JPH07286813 A JP H07286813A
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Masanori Idesawa
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Abstract

(57)【要約】 【目的】装置全体の小型化を図り、空間的に装備部分が
狭く制限されるような対象物への適用を可能とする。ま
た、装置全体を小型化した際においてもS/N比が低下
することを防止して、安定的な計測を可能とする。 【構成】複数の像位置検出素子IS1、IS2、IS3
・・ISnを面状に規則的に配置し、複数の像位置検出
素子IS1、IS2、IS3・・・ISnのそれぞれに対応
した複数の結像レンズL1、L2、L3・・・Lnを、複数
の像位置検出素子IS1、IS2・・・ISnにほぼ密着
状態でそれぞれ配置し、ほぼ平行な入射光線が、複数の
像位置検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISnの検出
面上における入射光の入射方向に対応する位置に、それ
ぞれ集束するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、標識方向検出装置に関
し、さらに詳細には、像位置検出素子により標点や輝点
などの光の発射体あるいは反射体などの標識が存在する
方向を検知する標識方向検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】対象物の形状、位置、方向、運動などを
計測する方式としては、接触型のものや非接触型のもの
などが種々提案されている。
【0003】ところで接触型の方式は、自動車運転中や
リハビリ中の目の動きを正確に測るなどのように生体を
対象物として計測する場合や、接触により変形したり破
壊されてしまうような物体を計測する場合などには適用
できないため、このような場合には、光学的な非接触型
の方式が多用されている。
【0004】こうした光学的な非接触型の方式の計測法
においては、対象物の表面に光線を投射して輝点(光
像)を生成して標識とし、その輝点を異なる位置で観測
して輝点方向を検出し、3角測量の原理に基づいて標識
の3次元位置を確定する方式の装置が多数知られてい
る。
【0005】これらの方式の3次元位置計測装置におけ
る計測では、標識方向検出装置が重要な役割を果たして
いる。
【0006】従来の光学的な標識方向検出装置の基本原
理としては、図14に示すように、例えば、標識たるL
ED(発光ダイオード)などの光源101や光源102
(光源101と光源102とは時分割的に発光し、光っ
た方の光源からの光の来る方向、即ち、光源の存在する
方向が、標識の方向として検出されることになる。)に
よる輝点の存在方向を検出するために、結像レンズ10
3と像位置検出素子104とを組み合わせ、像位置検出
素子104の検出面上の輝点像105a(光源102が
光った場合)あるいは輝点像105b(光源101が発
光した場合)を出力電極106、107の電流値として
検出して演算することにより、標識たる輝点(光源10
1あるいは光源102)の存在方向を求めるものであ
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の光学的な標識方向検出装置にあっては、いずれ
も通常の単一の結像レンズおよび単一の像位置検出素子
を用いているので、標識方向の検出に利用する所望の光
量を確保するためには、結像レンズ開口を大きく保つ必
要があるので装置全体を小型化することは困難であり、
空間的に装備部分が狭く制限されるような対象物への適
用が困難であるという問題点があった。
【0008】また、結像レンズおよび像位置検出素子を
微小化して小型化を図ることは提案されているが、その
ためには結像レンズの開口部も小さくなってしまう。こ
のため、標識方向の検出に利用される光量が著しく減少
して像位置検出素子からの出力信号(検出信号)のレベ
ルも低くなり、信号対雑音比(S/N比)が著しく低下
して、標識方向の検出の安定性が悪化するという問題点
があった。
【0009】本発明は、従来の技術の有するこのような
種々の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的と
するところは、装置全体の小型化を図り、空間的に装備
部分が狭く制限されるような対象物への適用を可能とし
た標識方向検出装置を提供しようとするものである。
【0010】また、本発明の目的は、装置全体を小型化
した際においてもS/N比が低下することを防止して、
安定的な計測を可能とした標識方向検出装置を提供しよ
うとするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による標識方向検出装置は、複数の像位置検
出素子を面状に規則的に配置し、上記複数の像位置検出
素子のそれぞれに対応した複数の結像レンズを、上記複
数の像位置検出素子に略密着状態でそれぞれ配置し、略
平行な入射光が、上記複数の像位置検出素子の各検出面
上における上記入射光の入射方向に対応する位置に、そ
れぞれ集束するようにしたものである。
【0012】また、本発明による標識方向検出装置は、
複数の像位置検出素子を面状に規則的に配置し、上記複
数の像位置検出素子のそれぞれに対応した開口部を備え
た遮蔽部材を、上記複数の像位置検出素子に密着状態で
それぞれ配置し、略平行な入射光が、上記複数の像位置
検出素子の各検出面上における上記入射光の入射方向に
対応する位置に、それぞれ投射されるようにしたもので
ある。
【0013】さらに、本発明による標識方向検出装置
は、上記複数の像位置検出素子の出力端子を並列的に接
続し、並列的に接続された上記複数の像位置検出素子の
出力信号を加算出力するようにしたものである。
【0014】
【作用】個々の像位置検出素子を微小化して平面上に規
則的に並べて配置し、各像位置検出素子に対応して微小
化した複数の結像レンズをほぼ密着状態でそれぞれ配置
することにより、光軸方向の大きさを著しく微小化する
ことができるので、空間的に装備部分が狭く制限される
ような対象物への適用が容易となる。
【0015】また、複数の像位置検出素子が全体として
検出に使用する光量は、個々の像位置検出素子が検出に
使用する光量の総和となるため、従来の像位置検出装置
をそのまま小型化したもののように、検出に利用する総
光量が著しく低下することはない。そして、複数の像位
置検出素子の出力端子を並列接続することにより、各像
位置検出素子からの出力信号を加算出力できるようにな
るために、従来の像位置検出装置をそのまま小型化した
ものに比べて、S/N比の低下を生じることがない。
【0016】
【実施例】以下、図面に基づいて、本発明による標識方
向検出装置の実施例を詳細に説明するものとする。
【0017】図1は、本発明の第1の実施例による標識
方向検出装置10の概略断面説明図である。
【0018】面状に配置された複数の像位置検出素子I
1、IS2、IS3・・・ISn(この第1の実施例にお
いては、後述する半導体像位置検出素子(PSD)を用
いた。)と、それらに対応して配置された複数の結像レ
ンズL1、L2、L3・・・Lnとを組み合わせて構成され
ている。
【0019】この際に、ほぼ平行な入射光線が複数の像
位置検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISnの検出面
上で集束するように、複数の結像レンズL1、L2、L3
・・・Lnはそれぞれ、対応する複数の像位置検出素子
IS1、IS2、IS3・・・ISnの検出面上から、ほぼ
結像レンズの焦点距離fだけ離れた位置に配置されてい
る。
【0020】即ち、微小化した複数の像位置検出素子I
1、IS2、IS3・・・ISnを平面上に規則的に配置
し、これら複数の像位置検出素子IS1、IS2、IS3
・・・ISnとほぼ密着状態で、ほぼ平行な入射光線が
複数の像位置検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISn
の検出面上で集束するように、個々の像位置検出素子I
1、IS2、IS3・・・ISnに対応させて微小化した
複数の結像レンズL1、L2、L3・・・Lnを、ほぼ焦点
距離fだけ離して配置している。
【0021】ここにおいて、平行な入射光線とは、レー
ザー光や太陽光のように十分に遠方にある光源からの光
線のことであり、「ほぼ平行な入射光線」というのは、
標識方向検出装置10の大きさに比べて十分に離れた位
置にある光源からの光線を意味している。
【0022】その存在する方向を検出すべき標識たる光
源Saあるいは光源Sb(光源Saと光源Sbとは時分割で
発光し、光った方の光源から発射される光の来る方向、
即ち、光源の存在する方向が、標識の方向として検出さ
れることになる。)から発射される光線は、各結像レン
ズL1、L2、L3・・・Lnに入射し、それぞれに対応し
た像位置検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISnの検
出面上で集束し、光源Saの像I1a、I2a、I3a・・・
naあるいは光源Sbの像I1b、I2b、I3b・・・Inb
を生成する。各像位置検出素子IS1、IS2、IS3
・・ISnの検出面上に生成されるこれらの像の位置
は、対応する各結像レンズL1、L2、L3・・・Lnの節
点から見た光源の方向に対応している。
【0023】従って、各像位置検出素子IS1、IS2
IS3・・・ISnの検出面上に生成された光源の像の位
置を検出することにより、標識たる光源Saあるいは光
源Sbの方向を検出することができる。
【0024】図1においては、標識たる光源Saあるい
は光源Sbが、標識方向検出装置10に近接した位置に
示されているため、各結像レンズL1、L2、L3・・・
nへの光線の入射の方向、即ち、各像位置検出素子I
1、IS2、IS3・・・ISnの検出面上における結像
位置が、かなり異なるように描かれているが、標識たる
光源Saあるいは光源Sbが標識方向検出装置10から十
分に離れた位置に存在する場合、即ち、ほぼ平行な入射
光線の場合には、各像位置検出素子IS1、IS2、IS
3・・・ISnの検出面上でほぼ同一の位置に結像され、
複数の像位置検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISn
におけるそれぞれの出力端子Ta、Tbからの出力信号
(検出信号)は、各像位置検出素子IS1、IS2、IS
3・・・ISnでほぼ同一の位置に対応した信号として出
力される。
【0025】なお、図1に示したように、標識たる光源
aあるいは光源Sbが標識方向検出装置10に近接して
いる場合には、個々の像位置検出素子IS1、IS2、I
3・・・ISnでの検出方向は異なったものとなるが、
後述するように、複数の像位置検出素子IS1、IS2
IS3・・・ISnからの出力信号が加算出力されるよう
にした場合には、全体の平均的な方向を示した出力信号
が得られる。
【0026】ところで、個々の像位置検出素子IS1
IS2、IS3・・・ISnに達する光量は、対応する個
々の結像レンズL1、L2、L3・・・Lnの開口に対して
比例的に減少するが、本発明の第1の実施例による標識
方向検出装置10が受ける総光量は、各像位置検出素子
IS1、IS2、IS3・・・ISnに対応する個々の結像
レンズL1、L2、L3・・・Lnの開口で受ける光量の総
和となるために、従来の標識方向検出装置を単純に小型
化した場合のように、標識の存在方向を検出するために
利用される光量が極端に低下することはない。
【0027】図2は、本発明による第2の実施例を示す
標識方向検出装置20の概略断面説明図であり、上記第
1の実施例に示した標識方向検出装置10における個々
の像位置検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISnの出
力信号を加算して出力できるように、それぞれの像位置
検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISnに設置されて
いる出力端子Ta、Tbを並列接続して、その並列接続の
出力端子たる総合端子TA、TBにより各像位置検出素子
IS1、IS2、IS3・・・ISnの出力信号の総和を検
出できるように構成されている。
【0028】即ち、結像レンズL1、L2、L3・・・Ln
の開口の受ける総光量に対応した光電流出力信号を、標
識方向検出に使用できる。
【0029】このように、個々の像位置検出素子I
1、IS2、IS3・・・ISnの出力信号を加算して出
力することにより、標識の存在方向を検出するために利
用する出力信号のレベルを高く、即ち、S/N比を大き
くすることができるようになり検出誤差を著しく減少し
て、安定した計測を行うことができるようになる。
【0030】なお、標識位置が標識方向検出装置20に
比較的近い状態では、入射光が平行からかなり外れ、個
々の像位置検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISn
り見た標識の存在方向は、各像位置検出素子IS1、I
2、IS3・・・ISnの位置により微妙に異なったも
のとなるが、第2の実施例のように、各像位置検出素子
IS1、IS2、IS3・・・ISnに設置されている出力
端子Ta、Tbを並列接続した場合には、各像位置検出素
子IS1、IS2、IS3・・・ISnの間で平均的な標識
の方向が検出されることになる。
【0031】図3は、本発明による第3の実施例を示す
標識方向検出装置30の概略断面説明図であり、上記第
1の実施例に示した標識方向検出装置30における各像
位置検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISnを所定の
グループに分割し、分割された各グループ毎に各像位置
検出素子に設置されている出力端子Ta、Tbを並列接続
し、各グループ毎の総合端子TA1、TB1・・・TAn、T
Bnにより各グループ毎の各像位置検出素子の出力信号の
総和を検出できるように構成されている。
【0032】この第3の実施例による標識方向検出装置
30によれば、各グループ毎の平均的な標識の方向が検
出されることになる。
【0033】従って、標識方向検出装置30における各
像位置検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISnを所定
のグループ毎に分割する際に、各像位置検出素子I
1、IS2、IS3・・・ISnが構成する面の領域毎に
分割することにより、各領域毎での平均的な標識の方向
を検出することができるので、各グループ毎の出力信号
を演算処理することにより、標識の方向のみではなく標
識までの距離などのような、さらに高度な情報の獲得が
可能となる。
【0034】即ち、図3に示す第3の実施例のように、
各像位置検出素子IS1、IS2、IS3・・・ISnを上
側と下側の二つのグループに分割したものでは、それぞ
れのグループからの出力信号は平均的な標識の方向に対
応する値となり、それらの値の差をとれば標識までの距
離にほぼ反比例した値が得られる。従って、各像位置検
出素子IS1、IS2、IS3・・・ISnを上側と下側の
二つのグループに分割することにより、上側グループと
下側グループとによる3角測量とほぼ同様な測定効果を
得ることができる。
【0035】ここにおいて、上記した第1乃至第3の実
施例において用いられた像位置検出素子としては、光電
膜層に抵抗層を重ね、光電膜層に投射された光により生
成される光電流が抵抗層を伝わり、その両端の出力電極
より出力される出力電流を検出し、これらを演算するこ
とで、光電膜層上の光の位置を算出するようにした半導
体像位置検出素子(Position Sensiti
ve Device:以下、「PSD」と称す。)や分
割型半導体像位置検出素子(分割型光電センサー)など
が広く使用されている。
【0036】図4は、1次元PSDの概略構造を示す断
面図であり、高抵抗半導体の絶縁層Iの両面に均一な抵
抗層によるP型抵抗層PとN型抵抗層Nとを重ね、P型
抵抗層Pの両端に出力信号(出力電流)を取り出す一対
の電極Ta、Tbを設けるとともに、N型抵抗層Nに共通
電極Cを設けて光電効果を得るものである。
【0037】上記1次元PSDにおいては、P型抵抗層
の上面に光源Snから光線が投射されると、投射された
光線で生成される光電流が抵抗層Pを伝わり、光入射位
置と電極Ta、Tbとの間の抵抗層Pの抵抗比に応じて分
割された電流値ia、ibを検出するとともに、電極
a、Tbから出力される出力電流Ia、Ibの差を検出
し、これらを演算することにより、光強度およびその変
化に無関係に抵抗層P上の光像の位置などを検出するこ
とができるようになっている。
【0038】また、図5には、2分割型光電センサーが
示されており、電極Ta、Tbが設けられている。
【0039】さらにまた、図6には、4分割型光電セン
サーが示されており、電極Ta、Tb、Tc、Tdが設けら
れている。
【0040】なお、こうしたPSDや分割型光電センサ
ーを本発明の像位置検出素子として面状に規則的に配置
して、本発明の標識方向検出装置を製造する場合には、
個々に製作したPSDや分割型光電センサーを面状に規
則的に配置するのではなく、集積回路技術によって同一
の半導体基板上に複数個のPSDや分割型光電センサー
を規則的に配置して、標識方向検出装置を製造すること
ができるものである。
【0041】そして、PSDや分割型光電センサーを像
位置検出素子として採用して、複数の像位置検出素子の
出力端子からの出力信号を加算出力するように構成する
場合には、図7および図8に示すように、単に対応する
各像位置検出素子の出力端子を導体により並列接続する
のみでよい。
【0042】即ち、同一の半導体基板上に複数個のPS
Dあるいは分割型光電センサーを所定の間隙を保持して
配置し、当該間隙部に導体パターンを生成して、各PS
Dや分割型光電センサーの対応する正・負の出力電極t
x、tyを導体パターンに並列に接続することにより構成
することができる。
【0043】なお、図7は1次元PSDを採用した標識
の検出方向が1次元の標識方向検出装置の場合を示し、
図8は2次元PSDを採用した標識の検出方向が2次元
の標識方向検出装置の場合を示している。
【0044】一方、ほぼ平行な入射光線が、像位置検出
素子の検出面上で集束するように、像位置検出素子にほ
ぼ密着状態で配置されている結像レンズを構成するに
は、以下のようにすればよい。
【0045】例えば、図9および図10は標識の検出方
向が1次元の標識方向検出装置の例を示しており、像位
置検出素子としての1次元PSDの上面に、円筒状レン
ズとして所定の長さに切断された均一な円筒状のグラス
ファイバロッド40、あるいはグラスファイバなどによ
りかまぼこ型に成形されたレンズを規則的に一層に並べ
て配置し、その周囲を樹脂などにより接着固定すればよ
い。
【0046】図11は標識の検出方向が2次元の標識方
向検出装置の例を示しており、2次元PSDの上面に、
所定の長さに切断された均一な円筒状のグラスファイバ
ロッド40を上下2層に直交させて配置し、その周囲を
樹脂などにより接着固定すればよい。
【0047】図12も標識の検出方向が2次元の標識方
向検出装置の例を示しており、2次元PSDの上面に、
2次元PSDの配置に対応して球面レンズ群を規則的に
並べて配置し、樹脂などで貼り合わせたものである。
【0048】また、本発明による結像レンズとしては、
上記したものに限られず、平面状のガラス材に、部分的
に屈折率が変化するように別の材料を拡散させたり、あ
るいは注入したりして製作されるグラディエント・イン
デックス(屈折率勾配)型の微小レンズも使用すること
ができる。
【0049】なお、結像レンズとしては、上記した円筒
状レンズとして所定の長さに切断された均一な円筒状の
グラスファイバロッド40、かまぼこ型に成形されたレ
ンズあるいは球面レンズ群、グラディエント・インデッ
クス(屈折率勾配)型の微小レンズあるいは上記以外の
構成のものから、標識方向検出装置の設計に応じて適宜
のものを選択してよい。
【0050】さらに、標識の検出方向が1次元の標識方
向検出装置も、標識の検出方向が2次元の標識方向検出
装置も、像位置検出素子に対応した結像レンズを集積回
路製作技術により、像位置検出素子に重ね合せて一体的
に製作することが可能である。例えば、集積回路パター
ンの転写に広く用いられているフォトレジスト(PMM
Aなど)によって、結像レンズとしての微小レンズを構
成することができる。
【0051】即ち、図13に示すように、シリコンなど
の基板上に所定のPSDを規則的に配置して製造した後
に、PMMA膜を塗布し、結像レンズ群に対応したマス
クパターンを焼き付け、表面が球面状あるいは円筒状と
なるように現像することにより、PMMA膜自体を結像
レンズとして使用すればよい。
【0052】なお、各像位置検出素子に対応して、アパ
ーチャ(開口部)を備えた遮蔽部材を配置する構成も可
能である。しかしながら、結像レンズに比べて、像位置
検出素子の受光量が低下するなどの問題点があるので、
この構成は光源からの光量が十分に得られる場合には有
効である。
【0053】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0054】個々の像位置検出素子を微小化して面状に
規則的に並べて配置し、各像位置検出素子に対応して微
小化した複数の結像レンズを密着状態でそれぞれ配置す
るようにしたため、光軸方向の大きさを著しく微小化す
ることができるので、空間的に装備部分が狭く制限され
るような対象物への適用が容易となる。
【0055】また、個々の像位置検出素子が全体して検
出に使用する光量は、個々の像位置検出素子が検出に使
用する光量の総和となるので、従来の像位置検出装置を
そのまま小型化する場合のように、検出に使用する光量
が著しく低下することを防止することができる。
【0056】さらに、各像位置検出素子の出力端子を並
列接続することにより、各像位置検出素子からの出力信
号が加算出力されるようになるために、従来の像位置検
出装置をそのまま小型化したものに比べて、S/N比の
低下を生じることがなく、誤差の少ない安定した計測を
行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例による標識方向検出装置
の概略断面説明図である。
【図2】本発明の第2の実施例による標識方向検出装置
の概略断面説明図である。
【図3】本発明の第3の実施例による標識方向検出装置
の概略断面説明図である。
【図4】1次元PSDの概略構成を示す断面説明図であ
る。
【図5】2分割型光電センサーを示す説明図である。
【図6】4分割型光電センサーを示す説明図である。
【図7】像位置検出素子として1次元PSDを採用した
場合における、標識の検出方向が1次元である本発明に
よる標識方向検出装置の結線状態説明図である。
【図8】像位置検出素子として2次元PSDを採用した
場合における、標識の検出方向が2次元である本発明に
よる標識方向検出装置の結線状態説明図である。
【図9】標識の検出方向が1次元である本発明による標
識方向検出装置のグラスファイバによるレンズの配置を
示す斜視図である。
【図10】標識の検出方向が1次元である本発明による
標識方向検出装置のかまぼこ型レンズの配置を示す斜視
図である。
【図11】標識の検出方向が2次元である本発明による
標識方向検出装置のグラスファイバによるレンズの配置
を示す斜視図である。
【図12】標識の検出方向が2次元である本発明による
標識方向検出装置の球面レンズを規則的に並べて配置し
た構成を示す斜視図である。
【図13】フォトレジスト自体により形成された微小レ
ンズを結像レンズとして用いた場合の断面説明図であ
る。
【図14】従来の光学的な標識方向検出装置の基本原理
を示す説明図である。
【符号の説明】
10、20、30 標識方向検出装置 IS1、IS2、IS3・・・ISn 像位置検出素
子 L1、L2、L3・・・Ln 結像レンズ Sa、Sb 光源 Ta、Tb 出力端子 TA、TB、 総合端子 TA1、TB1・・・TAn、TBn 総合端子

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の像位置検出素子を面状に規則的に
    配置し、前記複数の像位置検出素子のそれぞれに対応し
    た複数の結像レンズを、前記複数の像位置検出素子に略
    密着状態でそれぞれ配置し、略平行な入射光が、前記複
    数の像位置検出素子の各検出面上における前記入射光の
    入射方向に対応する位置に、それぞれ集束するようにし
    たことを特徴とする標識方向検出装置。
  2. 【請求項2】 前記複数の像位置検出素子は1次元像位
    置検出素子であり、前記複数の結像レンズは所定の長さ
    に切断された円筒状レンズまたはかまぼこ型に成形され
    たレンズである請求項1記載の標識方向検出装置。
  3. 【請求項3】 前記複数の像位置検出素子は2次元像位
    置検出素子であり、前記複数の結像レンズは球面状のレ
    ンズまたは上下2層に交差させた円筒面レンズである請
    求項1記載の標識方向検出装置。
  4. 【請求項4】 複数の像位置検出素子を面状に規則的に
    配置し、前記複数の像位置検出素子のそれぞれに対応し
    た開口部を備えた遮蔽部材を、前記複数の像位置検出素
    子に密着状態でそれぞれ配置し、略平行な入射光が、前
    記複数の像位置検出素子の各検出面上における前記入射
    光の入射方向に対応する位置に、それぞれ投射されるよ
    うにしたことを特徴とする標識方向検出装置。
  5. 【請求項5】 前記複数の像位置検出素子の出力端子を
    並列的に接続し、並列的に接続された前記複数の像位置
    検出素子の出力端子からの出力信号が加算出力されるよ
    うにした請求項1、2、3または4のいずれか1項に記
    載の標識方向検出装置。
  6. 【請求項6】 前記複数の像位置検出素子を複数のグル
    ープに分割し、前記複数のグループに分割された前記複
    数の像位置検出素子の出力端子を、前記グループ毎に並
    列的に接続し、並列的に接続された前記複数の像位置検
    出素子の出力端子からの出力信号が前記複数のグループ
    毎に加算出力されるようにした請求項1、2、3または
    4のいずれか1項に記載の標識方向検出装置。
  7. 【請求項7】 前記複数の像位置検出素子は半導体像位
    置検出素子である請求項1、2、3、4、5または6の
    いずれか1項に記載の標識方向検出装置。
  8. 【請求項8】 前記複数の像位置検出素子は分割型半導
    体像位置検出素子である請求項1、2、3、4、5また
    は6のいずれか1項に記載の標識方向検出装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004226407A (ja) * 2003-01-18 2004-08-12 Hentze-Lissotschenko Patentverwaltungs Gmbh & Co Kg 物体の光学的捕捉用捕捉装置、該捕捉装置の稼動方法ならびに走査装置および共焦点顕微鏡
WO2023092318A1 (zh) * 2021-11-24 2023-06-01 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 一种单片集成的高精度高速双光斑同步位置探测器结构

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