JPH0413566A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、例えば磁気ディスク用アルミニウム基板等
のワークに研磨加工を施す研磨装置に関する。

従来の技術 従来、例えば磁気ディスク用アルミニウム基板の研磨を
行う研磨装置として、第６図に示されるような装置（５
１）が用いられている。同図の研磨装置（５１）は、回
転駆動可能に保持されかつ上面にドーナツ盤状の砥石（
５２）が取着された下部定盤（５３）と、該下部定盤（
５３）の上方位置に該定盤（５３）と対向同軸状に配置
されると共に、回転駆動及び昇降作動可能に保持されか
つ下面に同じくドーナツ盤状の砥石（５４）が取着され
た上部定盤（５５）と、各砥石（５２）（５４）間にお
いて砥石の軸芯位置に配置された太陽歯車（５７）と、
該太陽歯車（５７）の径方向外方位置に同心状に配置さ
れた内歯歯車（５９）と、該内歯歯車（５９）及び太陽
歯車（５７）の両歯車に噛合され下定盤（５３）の砥石
（５２）上に載置された状態で両歯車（５７）　　（５
９）間に配置された外歯歯車状のワークキャリアー（５
６）とからなる。なお、このワークキャリアー（５６）
は、磁気ディスク用基板（Ａ）の外周形状に沿う円形の
保持孔（６０）を偏心状態に有し、該保持孔（６０）内
に磁気ディスク用基板（Ａ）が配置された状態で該基板
の上下両面がキャリア（５６）の保持孔（６０）から外
方に突出した状態となるようにその板厚が基板（Ａ）よ
りも薄く形成されている。

そして、この研磨装置（５１）では、上部定盤（５５）
が上方待機位置に位置された状態で磁気ディスク用基板
（Ａ）がワークキャリアー（５６）の保持孔（６０）内
に配置され、そして上部定盤（５５）が下降作動されて
磁気ディスク用基板（Ａ）の両面が上下の砥石（５２）
　　（５４）で挾まれる。そして、加圧状態において太
陽歯車（５７）が回転されることによりワークキャリア
ー（５６）が自転されながら太陽歯車（５７）の回りで
公転され、更に上下の定！１ｉ（５３）　　（５５）も
回転されて、磁気ディスク用基板（Ａ）の両面の研磨加
工がなされる。

ところで、従来、上記装置を用いた磁気ディスク用基板
の研磨は、作業者が、ラックから基板（Ａ）を取り出し
てこれをワークキャリアー（５６）の各保持孔（６０）
に配置し、また、研磨完了後にキャリアー（５８）の基
板（Ａ）を取り出すという作業を繰り返しながら実施さ
れていた。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記のような人手による繰返し作業は、
作業者に過大な負担を与え、また、装置のワーク処理効
率の向上に限界を生じさせていた。

そのため、研磨加工工程の自動化を図り、基板を研磨装
置（５１）内に自動的に配置すると共に、研磨完了後に
はこれを同じく自動的に取り出す、という自動化設備の
開発が要請されていた。

しかし、キャリアー（５６）を自転・公転させながらワ
ークの研磨を行うこの種の研磨装置、特に従来から用い
られている研磨装置（５１）の場合、キャリアー（５Ｂ
）を公転経路上の一定位置に停止させ、同時にその停止
位置でキャリアー　（５Ｂ）のワーク保持孔（６０）の
位置も一定位置で停止させるということが不可能であり
、このことがこの種、即ちキャリアーを自転公転させて
ワークの研磨を行う研磨装置（５１）への基板（Ａ）の
ローディング争アンローディングの自動化を阻む一つの
大きな要因となっていた。

この発明は、かかる問題点に鑑み、キャリアーを自転・
公転させながらワークの研磨を行う研磨装置において、
キャリアーの自転公転作動停止時に該キャリアーのワー
ク保持部を一定位置で停止させることができる研磨装置
を提供し、もって、研磨装置へのワークのローデング・
アンローデングの自動化に寄与することを目的とする。

課題を解決するための手段 上記目的において、発明者らは種々の研究を重ねた結果
、太陽歯車、内歯歯車及びワークキャリアー相互間の歯
数比を特定することによって太陽歯車又は／及び内歯歯
車の所定回数の回転で全ワーク保持部が回転開始時の位
置関係と同じ位置関係に復帰することをつきとめ、この
発明を完成するに至った。

即ち、この発明は、太陽歯車と、該太陽歯車の同心外方
部に配置された内歯歯車と、両歯車間に両歯車に噛合状
態に配置された外歯歯車状のワークキャリアーとが備え
られ、前記太陽歯車又は／及び内歯歯車の回転駆動によ
りワークキャリアーを自転させながら公転させ、ワーク
の研磨加工を行う研磨装置において、 前記太陽歯車、内歯歯車及びワークキャリアー相互間の
歯数比が、太陽歯車又は／及び内歯歯車の所定回数の回
転により前記キャリアーの全ワーク保持部が回転開始時
の位置関係と同じ位置関係に復帰する歯数比に設定され
ると共に、前記太陽歯車又は／及び内歯歯車が、前記所
定回数の回転により前記ワークの研磨加工を終了した時
点で一時的に停止される態様において間欠駆動制御され
るようになされていることを特徴とする研磨装置を要旨
とする。

上記構成において、太陽歯車、内歯歯車及びワークキャ
リアー相互間の歯数比は、例えば、太陽歯車の所定回数
の回転により、キャリアーが整数回公転すると共に整数
回自転する歯数比に設定される。

具体的には、第１図に示されるように、太陽歯車（４）
の歯数をａ１ワークキャリアー（６）の歯数をｂ１内歯
歯車（５）の歯数をｃ　（ｃｍａ＋２ｂ）とすると、太
陽歯車（４）を（１＋（ａ＋２ｂ）／ａ）ｎ回（但しｎ
は整数）回転させると、キャリアーが（１−（ａ＋２ｂ
）／ｂ）ｎ回自転されかつｎ回公転される関係が導かれ
る。そこで、キャリアーの自転回数及び公転回数が整数
回数となるような太陽歯車（４）の歯数８１キヤリアー
（６）の歯数すを定めれば太陽歯車（４）の（１＋（ａ
＋２ｂ）／ａ）ｎ回の回転により、キャリアー（６）及
びそのワーク保持部（ｌＯ）が回転開始時の位置関係に
復帰することになる。

例えば、ａ：ｃ：ｂ−１：３：１に設定した場合、太陽
歯車（４）の４回転により、キャリアー（６）は回転開
始時の位置に位置し、かつワーク保持部（１０）も回転
開始時の位置に復帰する。また、ａ：ｃ：ｂ−１：５：
２に設定し、太陽歯車（４）を１２２回転せた場合も、
同様の結果となる。

また、上記構成における［全ワーク保持部が回転開始時
の位置関係と同じ位置関係に復帰する」とは、同大円形
のワーク保持部（１０）が１つのキャリアー（６）・に
複数個軸対称的に設けられている場合、及び／又は太陽
歯車（４）の回りに複数個のワークキャリアー（６）が
等間隔的に配置されている場合には、太陽歯車（４）又
は／及び内歯歯車（５）の所定回転で、該回転開始時の
あるワーク保持部の位置に他のワーク保持部が位置する
ことによって全ワーク保持部が回転開始時の位置関係と
同じ位置関係になる場合をも含む概念において用いられ
ている。

例えば、同図のように、同大円形状の２個のワーク保持
部（ｌＯ）を軸対称状に有する１個のワークキャリアー
（６）が使用されているような場合には、歯数比をａ：
ｃ：ｂ−１：５：２に設定し、太陽歯車（４）を６回転
させれば、全ワーク保持部が回転開始時の位置関係と同
じ位置関係になる。

上記のように、太陽歯車又は／及び内歯歯車の所定回数
の回転により全ワーク保持部が回転開始時の位置関係と
同じ位置関係になる太陽歯車、内歯歯車及びワークキャ
リアー相互間の歯数比は種々存在するが、もう一つの発
明では、これが１：３：１に設定され、内歯歯車が固定
された状態で太陽歯車が、４の整数倍数回の回転により
ワークの研磨加工を終了した時点で一時的に停止される
態様において間欠駆動制御されるようになされている。

作用 上記構成の研磨装置では、太陽歯車、内歯歯車及びワー
クキャリアー相互間の歯数比が、太陽歯車又は／及び内
歯歯車の所定回数の回転により前記キャリアーの全ワー
ク保持部が回転開始時の位置関係と同じ位置関係に復帰
する歯数比に設定されると共に、前記太陽歯車又は／及
び内歯歯車が、前記所定回数の回転により前記ワークの
研磨加工を終了した時点で一時的に停止される態様にお
いて間欠駆動制御されるようになされていることにより
、太陽歯車又は／及び内歯歯車の回転停止時に、全ワー
ク保持部は、太陽歯車又は／及び内歯歯車の回転開始時
の位置関係と同じ位置関係に復帰される。

実施例 以下、この発明の研磨装置を磁気ディスク用アルミニウ
ム基板の研磨加工を行う装置に適用した実施例を、図面
に基づいて説明する。

第２図及び第３図に示される研磨装置（１）において、
（２）は下部定盤、（３）は上部定盤、（４）は太陽歯
車、（５）は内歯歯車、（６）はワークキャリアー　（
７）は目立て部材である。

下部定盤（２）は、その上部に所定厚さのドーナツ盤状
の砥石（８）が取着されたもので、図示しない回転駆動
装置により自軸回りでの回転を行い、かつ昇降駆動装置
により上下方向に移動されるものとなされている。

上部定盤（３）は、下部定盤（２）の上方位置に同軸状
に対向配置され、その下部に同じくドーナツ盤状の砥石
（９）が前記砥石（８）に対向するように取着されたも
のである。そして、この上部定盤（３）も、回転駆動装
置により自軸回りでの回転を行い、昇降駆動装置により
上下方向に移動されるものとなされている。

そして、太陽歯車（４）は、上下両定盤（２）（３）間
において砥石（８）（９）の軸芯位置に配置されており
、回転駆動装置により自軸回りでの回転を行いうるちの
となされている。この回転駆動装置は設定回転回数に応
じた回数たけ太陽歯車（４）を回転させることができる
ものとなされている。

なお、上記各駆動装置として、例えばＡＣサーボモータ
等が使用される。

また、内歯歯車（５）は、太陽歯車（４）の径方向外方
位置に、太陽歯車（４）との間にドーナツ状のスペース
をおいて同心状に固定状態で配置されている。

更に、ワークキャリアー（６）は、薄板状外歯歯車によ
るもので、上記太陽歯車（４）と内歯歯車（５）との間
のドーナツ状のスペース内に１個ないし複数個配置され
、太陽、内歯の両歯車（４）（５）に噛合されている。

なお、ワークキャリアー（５）には、その中心位置から
偏心した位置に、磁気ディスク用基板（Ａ）の外周形状
に沿う円形の保持孔（１０）が１個ないし複数個設けら
れている。また、このワークキャリアー（６）の厚さは
、磁気ディスク用基板（Ａ）の厚さよりも薄く形成され
、前記保持孔（１０）内に磁気ディスク用基板（Ａ）を
配置した状態でその上下の面が保持孔（１０）の外方に
突出しうるものとなされている。

そして、これらの太陽歯車（４）、内歯歯車（５）及び
ワークキャリアー（６）相互間の歯数比は１：３：１に
設定されている。これにより、太陽歯車（４）の４の整
数倍数回の回転でキャリアー（６）の保持孔（ｌＯ）が
回転開始時の位置において停止される。

一方、目立て部材（７）は、上下両定盤（２）（３）の
側方位置に配置され、シリンダー装置により該側方位置
から上下画定！！（２）（３）ひいては上下の砥石（８
）（９）の回転中心部に向けて半径線方向に水平進退作
動されるものとなされている。

この目立て部材（７）は、エアーシリンダーのシリンダ
ーロッド（１２）の先端に取り付けらだバイト保持用ブ
ロック（Ｉ３）と、該ブロック（１３）に上下方向に向
けられて上下突出状態に取り付けられた目立て用バイト
（１４）によるものである。

次に、上記研磨装置（１）の作動を装置の制御方法と併
せて説明する。

まず、第４図に示されるように、下方の第１基準位置ｈ
ρ１で待機されていた下部定盤（２）が、その砥石（８
）の上面をワーク加工位置ｈρａに位置させるように距
離ｈΩＷだけ上昇作動される。その状態で、ワークキャ
リアー（６）が太陽歯車（４）と内歯歯車（５）との間
の所定の位置に所定の方向に向けられて噛合状態に配置
される。

そして、パターン化された動作を行う図示しないワーク
ローデング装置が作動され、磁気ディスク用基板（Ａ）
がキャリアー（６）のワーり保持部（１０）に順次配置
されていく。

基板配置完了後、上方の第１基準位置ｈｕ１で待機して
いた上部定盤（３）がその砥石（９）の下面をワーク加
工位置ｈｕａに位置させるように距離ｈｕｗだけ下降作
動され、かつ図示しない加圧装置により基板（Ａ）が上
下の砥石（８）（９）で加圧状態にされる。

そして、その状態で太陽歯車（４）が回転駆動されるこ
とによりキャリアー（６）が自転・公転され、磁気ディ
スク用基板（Ａ）が上下の砥石（８）（９）に対して摺
動されて研磨される。また、同時に上下の定盤（２）（
３）も回転駆動される。そして、太陽歯車（４）は、予
め入力されていた回数（４の整数倍数回）回転作動され
た時点で停止される。その停止状態で、キャリアー（６
）は太陽歯車（４）の回転開始時点における位置に復帰
した状態となっており、かつワーク保持孔（６０）の周
方向位置も最初の位置に復帰した状態となっている。ま
た、上下の定盤（２）（３）も所定の整数倍数回回転さ
れた後に停止され、その周方向位置が回転駆動開始時の
位置に復帰される。

そして、上部定盤（３）が第１基準位置ｈｕ１に上昇作
動され、キャリアー（６）の保持孔（１０）の基板（Ａ
）が、パターン動作を行う図示しないワークアンローデ
ング装置によって順次取り出される。

その後、前記ワークローデング装置が再び作動され、磁
気ディスク用基板（Ａ）がキャリアー（６）のワーク保
持孔（１０）内に順次配置されていき、上部定盤（３）
が第１基準位置ｈｕ１から同じく距離ｈｕｗだけ下降作
動され、太陽歯車（４）が回転駆動されて、上記同様の
動作が行われ、基板（Ａ）の研磨加工が進行されていく
。

このように、上記実施例では、太陽歯車（４）、内歯歯
車（５）及びキャリアー（６）相互間の歯数比を１：３
：１に設定し、太陽歯車（４）を４の整数倍数回回転さ
せて停止させるものとなされているから、太陽歯車（４
）の回転停止時に、ワーク保持孔（１０）が回転開始時
の位置関係と同じ位置関係において停止し、そのため、
研磨装置（１）への基板（Ａ）のローデング、アンロー
ディングの自動化を容易に図ることができる。また、上
下の定盤（２）（３）も回転開始時の位置に復帰される
ので、砥石面の高さに変化を生じさせず基板（Ａ）の高
さを安定したものにすることができ、しかも基板（Ａ）
に対する研磨を同一条件にて行うことが可能となる。

また一方、この研磨加工を繰り返し行っていく過程で、
上下の砥石（８）（９）に目つまり、目つぶれを生じて
砥石（８）に目立て処理を行う必要を生じた場合には、
上下の定盤（２）（３）に次のような高さ制御がなされ
る。

即ち、上部定盤（３）が第１基準位置ｈｕ１に上昇復帰
されかつ基板（Ａ）が装置（１）から取り出された状態
において、下部定盤（２）が距離り、Ｑｗだけ下降作動
されて第１基準位置ｈΩ１に復帰される。そして、下部
定盤（２）がその位置から上昇作動されると共に上部定
盤（３）が下降作動されて、画定盤（２）（３）の砥石
（８）（９）の対向面が目立て処理位置ｈρｂ、ｈｕｂ
のα（αニドレス厚さ）だけ内方の位置に位置される。

なお、その状態では、ワークキャリアー（６）は予め目
立て部材（７）の進退移動経路上に位置しないような状
態で停止されている。そしてその状態において、上下の
定盤（２）（３）が回転駆動され、目立て部材（７）が
定盤（−２）（３）の側方位置から定盤の回転中心部に
向けて径方向内方に水平に進出作動される。そして、バ
イト（１４）が砥石（８）（９）の内周端部に達したと
ころで、今度は砥石（８）（９）の外周端部側に向けて
径方向外方に水平に退出作動され、両砥石（８）（９）
の目立てがなされる。

そして、目立て処理後、下部定盤（２）が下降されて第
２基準位置ｈｎ２に位置されると共に、上部定盤（３）
が上昇されて第２基準位置ｈｕ２に位置される。これら
の第２基準位置ｈΩ２　、ｈ　Ｌ１２は、下部定盤（２
）及び上部定盤（３）が第１基準位置ｈΩ１、ｈｕ２に
位置していたときの目立て処理前の砥石（８）（９）の
両対向面の高さ位置ｈＲｏ、ｈｕｏに目立て後の砥石の
両対向面が位置するような高さ位置に設定される。

そして、下部定盤（２）がその第２基準位置ｈΩ２から
前記と同じく距離ｈρＷだけ上昇されて砥石（８）の上
面がワーク加工位置ｈｆｌａに位置され、そして基板配
置後上部定盤（３）が第２基準位置ｈｕ２から前記と同
じく距離ｈＵＷだけ下降されて砥石（９）の下面がワー
ク加工位置ｈｕａに位置され、基板（Ａ）の研磨加工が
再開される。

その後再び目立て処理が必要となって目立て処理を施し
た場合には、上下の定盤（２）（３）の基準位置が新た
な第３基準位置ｈρ３、ｈｕ３　（その位置において砥
石（８）（９）の対向面はそれぞれ高さり、Ｑｇ　Ｓｈ
ｕ□の位置に位置する。）に変更され、その位置を基準
として距離ｈΩＷｓｈｕｗ移動されてワーク加工位置ｈ
ΩａＳｈｕｂに位置され、基板（Ａ）の研磨が再開され
るという動作が繰り返される。

上記のように、例えば目立て処理等に伴って生じる砥石
（８）（９）の厚さの減少の考慮などの理由により、上
部定盤（３）のみならず下部定盤（２）もが昇降作動さ
れるものとなされている場合に、下部定盤（２）の砥石
（８）の上面を一旦所定の基準位置ｈｆ１ｇに移行し、
その基準位置ｈρ０から一定距離り、（ｗだけ該定盤（
２）を移行してその定盤（２）の砥石（８）の上面を、
設定された所定のワーク加工高さ位置ｈρａに位置させ
る構成が採用され、また、上部定盤（３）の砥石（９）
の下面を一旦所定の基準位置ｈｕｌ）に移行し、その基
準位置ｈｕＯから一定距離ｈｕｗだけ該定盤（３）を移
行してその定盤（３）の砥石（９）の下面を、設定され
た所定のワーク加工高さ位置ｈｕａに位置させる構成が
採用されることにより、ワークを高さ方向にも一定の位
置に位置させて研磨加工を実施することができ、上部定
盤（３）の上昇後のワークのローデング、アンローディ
ングの自動化を更に有効的に達成することができる。

なお、本発明の研磨装置は、砥石（８）（９）に替えて
研磨布を用いて研磨を行う、いわゆるパフ研磨方式の自
転公転型研磨装置に構成されてもよい。

第５図には、上記研磨装置（１）を適用した研磨加工工
程の自動化設備の一例を示す。同図において、（２１）
は未加工基板待機用テーブル、（２２）は加工済基板待
機用テーブル、（２３）は基板ローデング装置、（２４
）は基板アンローデング装置である。

未加工基板待機用テーブル（２１）及び加工済基板待機
用テーブル（２２）の各上面には、研磨装置（１）の太
陽歯車（４）が停止した状態におけるキャリアー（６）
の保持孔（１０）の位置に対応して基板受は部（２Ｂ）
　　（２７）が設けられている。

また、ローデング装置（２３）は背後のガイドレール（
２９）に案内されて未加工基板待機用テーブル（２Ｉ）
の上方位置と研磨装置（１）の上下の定盤（２）（３）
間の位置との間で往復作動されるものとなされ、また、
アンローディング装置（２４）は同じく背後のガイドレ
ール（２９）に案内されて研磨装置（１）の上下の定盤
（２）（３）間の位置と加工済基板待機用テーブル（２
２）の上方位置との間で往復作動されるものとなされて
いる。そして、再装置（２３）　　（２４）のそれぞれ
には、待機用テーブル（２１）　　（２２）の基板受は
部（２Ｂ）　　（２７）の位置に対応して基板（Ａ）を
その軸孔において拡径してチャックする基板チャツカー
（３１）　　（３２）が備えられている。

また、同図に示される研磨加工設備において、（３５）
は基板収容ラック、（３６）は洗浄・乾燥装置、（３７
）はラック（３５）から基板＜Ａ）を一つづつ取出しこ
れを未加工基板待機テーブル（２１）の基板受は部（２
Ｂ）に順次配置していく第１０ボツト、（３８）は加工
済基板待機用テープル（２２）の受は部（２７）に受け
られた基板を１つづつ洗浄・乾燥装置（３６）に渡して
いく第２０ボツトである。

上記研磨加工設備では、第１０ボツト（３７）がパター
ン化された動作を行うことにより、ラック（３５）内の
基板（Ａ）が未加工基板待機テーブル（２１）の基板受
は部（２６）内に順次配置されていく。配置完了後ロー
ディング装置（２３）が、該テーブル（２１）の上方位
置に位置して下降しチャツカー（３１）で基板（Ａ）を
チャックし上昇する。なお、その直後に第１０ボツト（
３７）は再び作動し、ラック（３５）内の基板（Ａ）を
テーブル（２１）に移していく。ローデング装置（２３
）は上昇後研磨装置（１）側に移行し、下部定盤（２）
上に位置する。そして、下降し、基板（Ａ）をキャリア
ー（６）の保持孔（１０）内に配置後チャツカーを解除
して、上昇し、未加工基板待機テーブル（２１）上に移
行する。

そして、上部定盤（３）が下降作動し、基板（Ａ）の上
下面が上下の砥石（８）（９）に加圧状態に挾持された
状態で太陽歯車（４）が回転駆動され、更に上下の定盤
（２）（３）も回転駆動されて基板（Ａ）が研磨加工さ
れる。そして、太陽歯車（４）は所定回数（４の整数倍
数回）の回転を行ったのち上下の定盤（８）（９）と共
に停止される。その停止状態で、ワーク（Ａ）は太陽歯
車（４）の回転開始時の位置関係と同じ位置関係におい
てキャリアー（６）に保持されている。

研磨終了後、上部定盤（３）が上昇され、アンローデン
グ装置（２４）が下部定盤（２）上に移行し、下降、基
板のチャック、上昇を行ったのち、加工済基板待機用テ
ーブル（２２）上に移行し、そこで下降、チャック解除
、上昇を行って基板（Ａ）を加工済基板待機用テーブル
（２２）の基板受は部（２７）内に受けさせる。なお、
その間、ローデング装置（２３）が作動して未加工基板
待機用テーブル（２１）の基板（Ａ）を研磨装置（１）
のキャリアー（６）に配置し、研磨装置（１）がその基
板の研磨を開始する。

この研磨中、加工済基板待機用テーブル（２２）に待機
された基板は、第２０ボツト（３８）によって１個づつ
取り出され、洗浄・乾燥装置（２６）に送り込まれてい
く。

以降は、上記動作が繰り返され、次々に基板の研磨が行
われていく。

なお、研磨加工設備として、上記のような基板待機用テ
ーブル（２１）　　（２２）及びローデング・アンロー
ディング装置（２３）　　（２４）を省略し、第１０ボ
ツト（３７）のパターン化された動作によりラック（３
５）内の基板をキャリアー（６）に配置し、また第２０
ボツト（３８）の同じくパターン化された動作によりキ
ャリアー（６）に保持された基板を後工程に移すものに
構成されていてもよい。即ち、この発明の研磨装置（１
）によれば、自動化された種々の研磨加工設備を実現す
ることが可能となる。

発明の効果 上述の次第で、この発明の研磨装置は、太陽歯車、内歯
歯車及びワークキャリアー相互間の歯数比が、太陽歯車
又は／及び内歯歯車の所定回数の回転により前記キャリ
アーの全ワーク保持部が回転開始時の位置関係と同じ位
置関係に復帰する歯数比に設定されると共に、前記太陽
歯車又は／及び内歯歯車が、前記所定回数の回転により
前記ワークの研磨加工を終了した時点で一時的に停止さ
れる態様において間欠駆動制御されるようになされてい
るから、太陽歯車又は／及び内歯歯車の回転停止時に、
全ワーク保持部は、太陽歯車又は／及び内歯歯車の回転
開始時の位置関係と同じ位置関係に復帰する。従って、
この研磨装置によれば、該装置へのワークのローデング
・アンローデングの自動化を容品に図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図はこの発明の研磨装置の実施例を示
すもので、第１図は太陽歯車、キャリアー及び内歯歯車
の歯数関係を示す平面図、第２図は研磨装置の垂直断面
図、第３図は第２図の■−■線矢視図、第４図は上下定
盤の昇降作動を説明する研磨装置の垂直断面図、第５図
は本研磨装置によって構成された研磨加工自動化設備を
示す斜視図である。 第６図は従来の研磨装置の構成を示す斜視図である。 （１）・・・研磨装置、（４）・・・太陽歯車、（５）
・・・内歯歯車、（６）・・・ワークキャリアー　（１
０）・・・ワーク保持部、（Ａ）・・・磁気ディスク用
アルミニウム基板。 以上 特許出願人　　昭和アルミニウム株式会社代理人　　　
　弁理士　清　水　久　義第２因 第３図 第１ 第４

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）太陽歯車と、該太陽歯車の同心外方部に配置され
   た内歯歯車と、両歯車間に両歯車に噛合状態に配置され
   た外歯歯車状のワークキャリアーとが備えられ、前記太
   陽歯車又は／及び内歯歯車の回転駆動によりワークキャ
   リアーを自転させながら公転させ、ワークの研磨加工を
   行う研磨装置において、 前記太陽歯車、内歯歯車及びワークキャリアー相互間の
   歯数比が、太陽歯車又は／及び内歯歯車の所定回数の回
   転により前記キャリアーの全ワーク保持部が回転開始時
   の位置関係と同じ位置関係に復帰する歯数比に設定され
   ると共に、前記太陽歯車又は／及び内歯歯車が、前記所
   定回数の回転により前記ワークの研磨加工を終了した時
   点で一時的に停止される態様において間欠駆動制御され
   るようになされていることを特徴とする研磨装置。
2. （２）前記太陽歯車、内歯歯車及びワークキャリアー相
   互間の歯数比が１：３：１に設定され、前記内歯歯車が
   固定された状態で太陽歯車が、４の整数倍数回の回転に
   よりワークの研磨加工を終了した時点で一時的に停止さ
   れる態様において間欠駆動制御されるようになされてい
   る請求項（１）に記載の研磨装置。