JPH10296596A - 研磨方法および研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークの両面を同時に高い研磨精度で研磨し
得る技術を提供する。 【解決手段】 下側定盤１１の上面に設けられた下側砥
石１２と、上側定盤１３の下面に設けられた上側砥石１
４との間でワークキャリア１７に形成された保持孔１８
に保持されたワークＷが研磨される。ワークキャリア１
７は、複数個のそれぞれが下側定盤１１の回転中心部を
回転中心とする太陽歯車１５と、下側砥石１２の外側に
固定された内歯歯車１６とに噛み合って、太陽歯車１５
の周りを自転しつつ公転する。砥石１２，１４の外周部
の周速度は内周部の周速度の２．５倍以下に設定されて
おり、砥石１２，１４の内周部に位置するときのワーク
Ｗと砥石１２，１４とのすべり接触速度と、砥石１２，
１４の外周部に位置するときのワークＷと砥石１２，１
４とのすべり接触速度との差が小さくなっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク用アル
ミニウム基板などの円板状のワークを研磨加工するため
の研磨技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】複数枚の磁気ディスク用アルミニウム基
板の両面を同時に研磨加工する研磨装置は、上面に環状
の下側砥石が設けられた下側定盤と、下面に環状の上側
砥石が設けられた上側定盤とを有しており、上下両方の
定盤は相互に逆方向に回転駆動されるとともに、上下方
向に移動自在となっている。下側定盤の回転中心部には
外径が下側砥石の内径よりも小径となった太陽歯車が回
転自在に設けられ、下側砥石の外径よりも内径が大きい
内歯歯車が下側砥石の外方に位置させて固定されてい
る。

【０００３】太陽歯車と内歯歯車とに噛み合う外歯歯車
が形成されたワークキャリアが複数枚、下側砥石と上側
砥石との間に配置されるようになっており、それぞれの
ワークキャリアにはワークである磁気ディスク用アルミ
ニウム基板を収容する円形の保持孔が形成され、ワーク
キャリアの板厚はワークの板厚よりも薄く設定されてい
る。このようなアルミニウム基板の研磨装置としては、
たとえば、特許第２５５６６０５号公報に記載されるも
のがあり、ワークを研磨するには、まず、下側砥石の上
に太陽歯車と内歯歯車とに噛み合った状態で配置された
それぞれのワークキャリアの保持孔にワークを配置す
る。

【０００４】次いで、上側定盤を下降移動させて、ワー
クの上下両面に下側砥石と上側砥石とを接触させる。こ
の状態のもとで、上下両方の定盤を回転駆動するととも
に、太陽歯車を回転駆動すると、ワークキャリアは自転
しながら太陽歯車の周りを公転し、ワークの両面が研磨
されることになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、本発明者
は、同時に多数枚のワークを高い研磨精度で研磨する技
術について検討した。以下は、本発明者によって検討さ
れた技術であり、その概要は次のとおりである。

【０００６】すなわち、ワークが上下両側の砥石により
研磨される際には、ワークキャリアが自転しながら公転
するので、ワークは水平面内においてサイクロイド曲線
ないしトロコイド曲線を描いて両方の砥石の間を砥石の
表面に沿って水平に移動することになり、各々のワーク
は砥石に対してこれの外周部に位置する時と、中央部に
位置する時と、内周部に位置する時とに時々刻々と変化
する。

【０００７】砥石により研磨される研磨量は、研磨時間
に対応すると考えられるので、研磨開始から所定の時間
が経過した時に研磨終了と判断するようにしている。し
かしながら、ワークの各部位をミクロ的に観察すると、
自転しながら公転するワークキャリアによってワークを
搬送しながら研磨する装置にあっては、砥石の径方向の
位置に応じて砥石の周方向の速度が相違しているので、
砥石がワークにすべり接触する際のすべり接触速度は、
ワークが砥石の径方向に移動することから、ワークの位
置に応じて順次変化している。

【０００８】ワークの表面を高い精度で研磨することを
考慮すると、研磨開始から研磨終了までの砥石とワーク
とのすべり接触の速度は、一定であることが望ましいと
考えられるが、上述のようにワークキャリアに形成され
た保持孔にワークを保持してこれを移動させるようにし
た研磨装置では、すべり接触を一定に保つことは困難で
ある。

【０００９】しかし、それぞれ環状となった上下両側の
砥石の内側部と外側部との周速度の差を小さく設定する
ことにより、研磨時間を長くすることなく、研磨精度を
高めることができるとの推測のもとで種々の実験が繰り
返された。その結果、環状の砥石の内外周の周速度の差
を小さくすることにより、研磨精度を高め得ることが判
明した。

【００１０】本発明の目的は、ワークの両面を同時に高
い研磨精度で研磨し得る技術を提供することにある。

【００１１】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１３】すなわち、本発明の研磨方法は、水平面内
において回転する下側定盤に環状に設けられた下側研磨
具と、前記下側定盤に対向して回転する上側定盤に設け
られた上側研磨具との間に配置された複数のワークキャ
リアの各々に複数のワークを装填し、前記ワークキャリ
アに前記研磨具の内周部側で噛み合う太陽歯車と、前記
キャリアに前記研磨具の外周部側で噛み合う内歯歯車と
を相対回転させて前記ワークキャリアを前記下側研磨具
の上面に沿って自転移動させつつ公転移動し、前記それ
ぞれの研磨具の外周部の周速度を内周部の周速度の２．
５倍以下に設定することにより、前記それぞれのワーク
キャリアの自転に伴ってワークが前記研磨具の内周部に
位置するときのワークと前記研磨具とのすべり接触速度
と、ワークが前記研磨具の外周部に位置するときのワー
クと前記研磨具とのすべり接触速度との差を小さくし、
前記それぞれのワークキャリアに保持された前記複数の
ワークのそれぞれの両面の研磨度を全体的に均一にする
ようにしたことを特徴とする。

【００１４】また、本発明の研磨装置は、水平面内にお
いて回転する下側定盤の上面に設けられた下側研磨具
と、前記下側定盤に対向して回転する上側定盤の下面に
設けられた上側研磨具と、前記下側定盤の回転中心部を
回転中心として回転する太陽歯車と、前記下側研磨具の
外側に固定された内歯歯車と、それぞれ前記太陽歯車と
前記内歯歯車とに噛み合った状態で前記下側研磨具の上
に載置され、ワークを保持する複数の保持孔が形成され
た複数のワークキャリアとを有し、前記それぞれの研磨
具の外周部の周速度を内周部の周速度の２．５倍以下に
設定し、前記それぞれのワークキャリアの自転に伴って
ワークが前記研磨具の内周部に位置するときのワークと
前記研磨具とのすべり接触速度と、ワークが前記研磨具
の外周部に位置するときのワークと前記研磨具とのすべ
り接触速度との差を小さくしたことを特徴とする。

【００１５】本発明にあっては、研磨具の外周部の周速
度と内周部の周速度との差を小さくすることにより、ワ
ークを環状の研磨具の間で挟み付けた状態で研磨する際
における研磨条件が研磨開始から終了の間で大きく変化
することなく、研磨品質を向上させることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１７】図１は本発明の一実施の形態である研磨装
置における下側定盤とこれの両側に配置されたローディ
ングテーブルとアンローディングテーブルとを示す概略
構造図であり、図２は図１に示された下側定盤とこれの
上方に設けられた上側定盤とを有する研磨装置を示す一
部切り欠き斜視図である。

【００１８】図２に示すように、研磨装置１０は矢印で
示すように水平面内において回転する下側定盤１１を有
し、この下側定盤１１の上面には環状の下側研磨具とし
ての下側砥石１２が取り付けられ、下側定盤１１は上下
方向にも調整移動自在となっている。下側定盤１１の上
方には、これに対向して回転する上側定盤１３が配置さ
れており、この上側定盤１３には下側砥石１２に対応し
て環状となった上側砥石１４が上側研磨具として取り付
けられている。この上側定盤１３は、矢印で示すよう
に、下側定盤１１の回転方向とは逆方向に回転するとと
もに、上下方向に移動自在となっている。

【００１９】図示する研磨装置にあっては、研磨具とし
て砥石が用いられているが、上下の砥石１４，１２に代
えてそれぞれバフを取り付けるようにしても良い。

【００２０】下側定盤１１の回転中心部には外径が下側
砥石１２の内径よりもやや小径となった太陽歯車１５が
矢印で示すように下側定盤１１と同一の方向に回転自在
に設けられており、下側砥石１２の外径よりもやや大径
となった環状の内歯歯車１６が下側定盤１１を囲むよう
に固定配置されている。

【００２１】太陽歯車１５と内歯歯車１６との間には、
図示する場合には、１０個のワークキャリア１７が配置
されており、それぞれのワークキャリア１７は外周部に
外歯歯車が形成されている。それぞれのワークキャリア
１７には、ワークである磁気ディスク用アルミニウム基
板Ｗを収容するための円形の保持孔１８が５つずつ形成
されており、ワークキャリア１７の厚みは、ワークＷの
厚みよりも薄く形成されている。

【００２２】それぞれのワークキャリア１７を太陽歯車
１５と内歯歯車１６とに噛み合わせた状態で太陽歯車１
５を回転させると、内歯歯車１６は固定されているの
で、それぞれのワークキャリア１７は自転しながら太陽
歯車１５の周りを公転することになり、ワークＷはワー
クキャリア１７によって水平面内において上下の砥石１
４，１２の間でこれらに接触しながら、サイクロイド曲
線ないしトロコイド曲線を描いて水平方向に移動するこ
とになる。

【００２３】それぞれのワークキャリア１７の保持孔１
８に対してワークを装填するために、図１に示すよう
に、下側定盤１１に隣接させてローディングテーブル２
１が配置されており、ワークＷを装填する際には、それ
ぞれのワークキャリア１７が所定の位置となるように位
置決めされる。ローディングテーブル２１には、図示し
ないワーク収納容器に収容されたワークが１つずつ載置
されるようになっており、ローディングテーブル２１に
対しては、所定の位置に位置決めされたワークキャリア
１７の保持孔１８に対応させて、図１に示すように、ロ
ーディングテーブル２１の所定の位置にワークＷが載置
される。

【００２４】そのときには、１つのワークキャリア１７
の５つの保持孔１８の位置に対応させて５つのワークＷ
をローディングテーブル２１の上に載置した後に、その
テーブル２１を１つのワークキャリア１７の位相角度に
対応した３６°だけ回転させ、次の５つのワークＷをテ
ーブル２１の上に載置することになる。この操作を１０
個のワークキャリア１７に対応させて行うことにより、
５０個のワークＷをテーブル２１の上に載置した状態が
図１に示されている。

【００２５】ローディングテーブル２１の上方には上下
動自在に図示しないワーク装填装置が設けられており、
この装置によって５０個のワークＷが同時に保持されて
上昇された後に、水平移動されて下側定盤１１の真上に
全てのワークＷは同時に搬送され、次いで下降移動され
てそれぞれのワークキャリア１７の保持孔１８にワーク
Ｗが挿入される。ワーク装填装置には、それぞれのワー
クＷを保持するためのチャックがワークＷの数に対応し
た数だけ設けられており、チャックはそれぞれのワーク
Ｗの中央部に形成された貫通孔の部分でワークＷを保持
するようになっている。

【００２６】研磨終了後にワークキャリア１７から取り
出されたワークＷを支持するために、下側定盤１１に隣
接させて図１に示すように、アンローディングテーブル
２２が配置されており、ローディングテーブル２１に載
置された５０個のワークＷを研磨装置１０に装填するた
めのワーク装填装置と同様の構造からなる図示しないワ
ーク取り出し装置によって、研磨終了後のワークＷはア
ンローディングテーブル２２の上に載置される。このア
ンローディングテーブル２２の上に載置されたワークＷ
は、図示しないワーク搬送装置によって洗浄乾燥装置に
１つずつ搬送される。

【００２７】図４は研磨装置１０の下側定盤１１を駆動
するための装置本体部を示す図であり、この中に下側定
盤１１を回転する機構と上下動する機構とが組み込まれ
ている。

【００２８】図示するように、台座２３に設けられた支
持台２４には軸受により回転自在に筒状の駆動体２５が
組み込まれており、この駆動体２５の中空孔内には、上
端部で下側定盤１１に固定された中空の駆動軸２６が設
けられている。駆動体２５の回転を駆動軸２６に伝達す
るとともに、駆動軸２６を駆動体２５に対して上下方向
に移動自在とするために、駆動軸２６と駆動体２５との
間にはすべりキー２７が設けられている。駆動軸２６の
中空孔内には、上端部で太陽歯車１５に固定された回転
軸２８が回転自在に設けられており、この回転軸２８は
その下端部で軸受により支持されている。

【００２９】下側定盤１１を回転駆動するために、図４
に示すように、駆動体２５にはプーリー２９が固定さ
れ、このプーリー２９に掛け渡されるタイミングベルト
をモータにより駆動することにより、下側定盤１１は所
定の方向に回転駆動される。また、太陽歯車１５を回転
駆動するために、回転軸２８の下端部にはプーリー２９
が固定され、これをモータにより回転駆動することによ
り、太陽歯車１５は下側定盤１１とは別の駆動源により
駆動されるようになっている。

【００３０】下側定盤１１を上下方向に移動するため
に、支持台２４に形成された収容スペース内には軸受を
介して駆動プレート３１が駆動軸２６に取り付けられて
おり、支持台２４に回転自在に取り付けられた複数のボ
ールねじ３２に噛み合うボールナット３３が駆動プレー
ト３１に設けられている。それぞれのボールねじ３２に
は駆動歯車３４が連結されており、駆動歯車３４をモー
タにより回転駆動することにより、駆動軸２６を介して
下側定盤１１は所定のストロークで上下方向に移動され
る。

【００３１】図５は上側定盤１３を示す正面側断面図で
あり、上側定盤１３は下面に上側砥石１４が取り付けら
れる環状の定盤本体３５を有しており、その定盤本体３
５には第１補強部材３６が取り付けられ、さらにこの第
１補強部材３６には第２補強部材３７が取り付けられて
いる。これらの部材により上側定盤１３は、全体として
中空孔を有することなく、高い剛性を有している。

【００３２】上側定盤１３の上方には駆動体３８が配置
されており、この駆動体３８は上側定盤１３に対して駆
動ロッド３９により上側定盤１３の外周部おいて連結さ
れている。駆動体３８を上下動することにより上側定盤
１３は上下方向に駆動され、駆動体３８を回転駆動する
ことにより上側定盤１３は回転駆動される。このよう
に、上側定盤１３をその外周部に連結された複数本の駆
動ロッド３９を介して駆動するとともに、上側定盤１３
を環状の定盤本体３５と２つの補強部材３６，３７とに
より剛性が高く設定されているので、研磨に際して上側
定盤１３の変形が回避され、上側砥石１４も変形するこ
となく、高い精度でワークＷを研磨することができる。

【００３３】図３に示すように、太陽歯車１５のピッチ
円直径をＤｓとし、内歯歯車１６のピッチ円直径をＤｉ
とし、ワークキャリア１７のピッチ円直径をＤｃとする
と、これらの比Ｄｓ：Ｄｉ：Ｄｃは、2.5 ：4.5 ：1 と
なっている。このような直径比に設定することにより、
図４に示すように環状の下側砥石１２の内径Ｄ₁ と外径
Ｄ₂ との比は１：1.76となっている。上側砥石１４の内
外径の比も同様となっている。このような直径比とする
ために、それぞれの砥石１２，１４の内径は、図示する
場合には、７４５ｍｍとなっており、外径は１３１３ｍ
ｍに設定されている。

【００３４】このような内外径の差とすることにより、
砥石１２，１４の内周エッジと外周エッジとの周速度Ｖ
₁ とＶ₂ の値は、それぞれの砥石１２，１４を３０ｒｐ
ｍで回転させた場合には、それぞれ７０ｍ／ｍｉｎと１
２４ｍ／ｍｉｎとなり、内外径の比に対応した周速比と
なり、周速度の差は４７ｍ／ｍｉｎとなる。

【００３５】ワークキャリア１７が自転することによ
り、ワークキャリア１７の保持孔１８に保持された状態
のワークＷが、砥石１２，１４に対してそれぞれの内周
部側に位置していた状態から外周部側の位置に移動し、
再度内周部側に戻るというように、砥石表面に対して水
平方向にジグザグ移動することになる。

【００３６】次に、前述した研磨装置１０によりワーク
を研磨するための研磨手順について説明する。未研磨の
ワークを図１に示すローディングテーブル２１の上に図
示するようにワークキャリア１７およびそれに形成され
た保持孔１８に対応させて所定の数だけ配置する。この
ように配置が完了し、上側定盤１３が上方に退避し、さ
らに下側定盤１１が停止された状態のもとで、図示しな
いワーク装填装置によって全てのワークＷを全てのワー
クキャリア１７の保持孔１８内に装填する。

【００３７】この状態のもとで、上側定盤１３を下降移
動させて、上側砥石１４と下側砥石１２とでワークＷを
挟むように保持する。このときには、ワークキャリア１
７の厚みはワークＷの厚みよりも薄くなっているので、
ワークキャリア１７は下側砥石１２に接触するのみであ
り、両方の砥石１２，１４によって挟み付けられること
はない。

【００３８】次いで、研磨液をワークＷに供給した状態
にしながら、下側定盤１１と上側定盤１３とを相互に逆
方向に回転駆動するとともに、太陽歯車１５を下側定盤
１１と同一の方向に回転駆動する。これにより、全ての
ワークキャリア１７は同時に太陽歯車１５の周りを自転
しながら公転することになり、それぞれのワークＷは砥
石１２，１４の内周側と外周側との間をジグザグ移動し
ながら研磨される。

【００３９】このジグザグ移動は、砥石１２，１４の外
周側の周速度が、内周側の周速度の１．７６倍に設定さ
れているので、内外周部の周速度の差が小さくなり、研
磨開始から研磨終了までの間に砥石１２，１４とワーク
Ｗとのすべり接触速度の差が小さくなり、研磨精度を高
めることができる。

【００４０】図６はこのようにワークＷが砥石の内周部
と外周部との間をジグザグ移動しながら太陽歯車１５の
周りを公転している際における砥石１２，１４の表面と
ワークＷの表面とのすべり接触速度の変化を示すグラフ
であり、図示した実施の形態の研磨装置１０におけるす
べり接触速度の変化は実線で示されている。ただし、こ
のグラフにあっては、ワークＷ自体が自転とともに公転
する速度は省略されている。

【００４１】図６において二点鎖線は、比較例における
すべり接触速度の変化を示すグラフであり、この比較例
にあっては、上述した太陽歯車１５と内歯歯車１６とワ
ークキャリア１７のピッチ円直径の比Ｄｓ：Ｄｉ：Ｄｃ
を 1： 3：1 に設定しており、砥石１２，１４の内外径
をそれぞれ４３０ｍｍ、１２５０ｍｍとして、それぞれ
の砥石１２，１４を逆方向に３０ｒｐｍの回転数で回転
させた。この場合における周速度は、それぞれＶ₁ が４
１ｍ／ｍｉｎで、Ｖ₂ が１１８ｍ／ｍｉｎであり、周速
度の差は７７ｍ／ｍｉｎであった。

【００４２】それぞれの研磨装置１０によって同じ数の
ワークＷを研磨した後に、それぞれのワークＷの研磨精
度の平均値を測定したところ、研磨精度は比較例の研磨
装置よりも図示する本発明の研磨装置１０の方が向上す
ることが判明した。

【００４３】表１は本発明の３つの実施例と２つの比較
例について、砥石の寸法および内外周部の周速度につい
てのデータを示す。実施例１は前述した砥石に相当し、
実施例２はピッチ円直径の比Ｄｓ：Ｄｉ：Ｄｃを 3：
5：1 に設定した場合であり、実施例３はピッチ円直径
の比Ｄｓ：Ｄｉ：Ｄｃを 2： 4：1 に設定した場合であ
る。比較例１は前述した場合であり、比較例２も同様の
ピッチ円直径の比となっている。

【００４４】

【表１】

【００４５】このように、比較例にあっては、いずれも
砥石の外周部の周速度は内周部の周速度の２．６倍以上
となっており、外周部の周速度を内周部の周速度の２．
５倍以下、好ましくは２．０倍以下に設定することによ
り、研磨精度を高めることが可能となった。

【００４６】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４７】たとえば、太陽歯車１５と内歯歯車１６と
ワークキャリア１７のピッチ円直径の比は前述した場合
に限られず、任意の値とすることができる。また、使用
されるワークキャリア１７の数を８つとしたり、その他
の数とすることができる。さらに、それぞれのワークキ
ャリア１７に形成される保持孔１８の数も任意の数とす
ることができ、１つのワークキャリア１７に対して任意
の数のワークを装填することができる。図示する場合に
は、砥石を用いてワークを研磨しているが、バフを用い
てワークを研磨やポリッシングする場合にも本発明の装
置を使用することができる。

【００４８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００４９】(1).研磨具の外周部の周速度を内周部の周
速度の２．５倍以下、好ましくは２．０倍以下に設定す
ることにより、ワークＷが研磨具の外周部に位置して研
磨されるときと、内周部に位置して研磨されるときとに
おける研磨具とワークとのすべり接触速度の差が小さく
なる。

【００５０】(2).これにより、ワークの研磨開始から研
磨終了までの間における研磨条件の差が小さくなり、ワ
ークの両面の研磨度を多数のワークについて全体的に均
一にすることができ、それぞれのワークを高い精度で研
磨することが可能となる。

【００５１】(3).周速度の差を小さくすることから、環
状の研磨具の径を大きくして、同時に多数のワークを研
磨することができ、研磨効率を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態である研磨装置とこれに
隣接した配置されるローディングテーブルとアンローデ
ィングテーブルとの配置状態を示す概略斜視図である。

【図２】図１に示された研磨装置を示す一部切り欠き斜
視図である。

【図３】図１および図２に示された研磨装置の下側部分
を示す平面図である。

【図４】図３の正面側断面図である。

【図５】研磨装置の上側部分を示す正面側断面図であ
る。

【図６】本発明の研磨装置と比較例の研磨装置とにおけ
るワークの移動による砥石とワークとのすべり接触速度
の変化を示すグラフである。

【符号の説明】

１０ 研磨装置 １１ 下側定盤 １２ 下側砥石 １３ 上側定盤 １４ 上側砥石 １５ 太陽歯車 １６ 内歯歯車 １７ ワークキャリア １８ 保持孔 ２１ ローディングテーブル ２２ アンローディングテーブル ２３ 台座 ２４ 支持台 ２５ 駆動体 ２６ 駆動軸 ２７ すべりキー ２８ 回転軸 ２９ プーリー ３１ 駆動プレート ３２ ボールねじ ３３ ボールナット ３４ 駆動歯車 ３５ 定盤本体 ３６，３７ 補強部材 ３８ 駆動体 ３９ 駆動ロッド

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平面内において回転する下側定盤に環
   状に設けられた下側研磨具と、前記下側定盤に対向して
   回転する上側定盤に設けられた上側研磨具との間に配置
   された複数のワークキャリアの各々に複数のワークを装
   填し、 前記ワークキャリアに前記研磨具の内周部側で噛み合う
   太陽歯車と、前記ワークキャリアに前記研磨具の外周部
   側で噛み合う内歯歯車とを相対回転させて前記ワークキ
   ャリアを前記下側研磨具の上面に沿って自転移動させつ
   つ公転移動し、前記それぞれの研磨具の外周部の周速度
   を内周部の周速度の２．５倍以下に設定することによ
   り、前記それぞれのワークキャリアの自転に伴ってワー
   クが前記研磨具の内周部に位置するときのワークと前記
   研磨具とのすべり接触速度と、ワークが前記研磨具の外
   周部に位置するときのワークと前記研磨具とのすべり接
   触速度との差を小さくし、 前記それぞれのワークキャリアに保持された前記複数の
   ワークのそれぞれの両面の研磨度を全体的に均一にする
   ようにしたことを特徴とする研磨方法。
2. 【請求項２】 水平面内において回転する下側定盤の上
   面に設けられた下側研磨具と、 前記下側定盤に対向して回転する上側定盤の下面に設け
   られた上側研磨具と、 前記下側定盤の回転中心部を回転中心として回転する太
   陽歯車と、 前記下側研磨具の外側に固定された内歯歯車と、 それぞれ前記太陽歯車と前記内歯歯車とに噛み合った状
   態で前記下側研磨具の上に載置され、ワークを保持する
   複数の保持孔が形成された複数のワークキャリアとを有
   し、 前記それぞれの研磨具の外周部の周速度を内周部の周速
   度の２．５倍以下に設定し、前記それぞれのワークキャ
   リアの自転に伴ってワークが前記研磨具の内周部に位置
   するときのワークと前記研磨具とのすべり接触速度と、
   ワークが前記研磨具の外周部に位置するときのワークと
   前記研磨具とのすべり接触速度との差を小さくしたこと
   を特徴とする研磨装置。