JPH04122607A - 硬脆体の穴明け方法

Info

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、たとえば、シリコンウェハのような硬脆体で
形成された被加工物に砥石で六を明けるだめの穴明方法
に関するものである。

〔従来の技術〕

硬脆体で形成された被加工物に、回転する砥石で六を明
ける方法として、回転する砥石を定圧で被加工物に切り
込ませる方法と、回転する砥石に超音波振動を付加しで
、定圧で被加工物に切り込ませる方法がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

回転する砥石を定圧で被加工物に切り込ませる方法は、
穴の端部の欠けなどの損傷が少ない反面、加工速度が遅
い。また、回転する砥石に超音波振動を付加して、被加
工物に切り込ませる方法では。

加工速度が速い反面、超音波振動で被加工物を破砕して
加工するため、穴の端部に欠けなどの損傷が大きくなる
。

本発明の目的は、前記の事情に鑑み、穴の端部の損傷を
少なくシ、かつ加工速度を向上させるようにした硬脆体
の穴明は方法を提供するにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため、本発明の第１の発明におい
ては、回転する砥石を、硬脆体の被加工面から第１の深
さまで、定圧で切り込み、第１の深さまで切り込んだ後
、砥石に切り込み方向の超音波振動を付加して、所定の
深さまで加工する。

また、第２の発明においては、回転する砥石を、硬脆体
の被加工面から第１の深さまで、定圧で切り込み、第１
の深さまで切り込んだ後、砥石に切り込み方向の超音波
振動を付加して、第２の位置まで切り込み、第２の深さ
まで切り込んだ後、超音波振動を止め、所定の深さまで
定圧で加工する。

〔作　　　用〕

そして、第１の発明においては、被加工物の表面から所
定の深さまでは、砥石を定圧で切り込み、砥石が所定の
深さに達した後、砥石に超音波振動を付加し、所望の深
さまで加工することにより、止まり穴を効率良く加工す
る。

また、第２の発明においては、被加工物の表面から第１
の深さまでは、砥石を定圧で切り込み、砥石が第１の深
さに達したら、砥石に超音波振動を付加し、さらに第２
の深さまで加工した後、超音波振動を止め、所定の深さ
まで定圧で加工することにより、貫通穴を効率良く加工
する。

〔実　施　例〕

以下、本発明の一実施例を、第１図に基づいて説明する
。

第１図は本発明による穴明は方法を示す工程図で、１は
砥石、２は被加工物である。

まず、（Ａ）に示すように、砥石１を被加工物２に対向
させる。そして、砥石１を回転させるとともに、切り込
み方向に移動させる。

すると、　（Ｂ）に示すように、砥石１が被加工物２に
定圧で切り込み、穴明けを開始する。

そして、砥石１が（Ｂ）に示す深さＤｌに達すると、（
Ｃ）に示すように、砥石１に超音波振動が付加される。

この状態で加工が進行して、砥石１が（Ｃ）に示す深さ
Ｄ２に達すると、超音波振動が止められ、（Ｄ）に示す
ように、定圧での切り込みになる。

さらに、砥石１が被加工物２を貫通すると穴明けが終わ
り、（Ｅ）に示すように砥石が上昇する。

なお、止まり穴の加工を行うときには、（Ｂ）、（Ｃ）
、（Ｄ）の何れかの状態で加工を終了するようにすれば
よい。

また、砥石１が被加工物２に切り込むとき、あるいは被
加工物２を貫通するときの加工圧は、被加工物２を砿砕
しない大きさに設定する。

また、加工深さＤｌ、Ｄ２は、砥石１に超音波振動を加
えたとき、被加工物２の表面にその影響がでない深さに
設定する。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、穴の端部の損傷を
少なくし、かつ加工速度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による穴明は工程を示す工程図である。１・・砥石、２・・被加工物、隼図（Ｃ）ＣＤ）（ε）