JPH04120400U - 静電偏向器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 平行平板型の静電偏向器にも適用可能である
と共に、比較的容易に高精度に製造可能とする。 【構成】 電極３１と絶縁体３３を一体的に形成すると
共に所定形状に形成し、これを筒状のホルダ３０の内面
３０ａに形成した凸形または凹形の取付位置基準３２に
嵌め合わせて取付けて静電偏向器を構成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電子ビーム描画装置等の荷電ビーム装置における静電偏向器に係り 、特に偏向精度の向上に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の最も一般的な静電偏向器は、図３に示すように、筒状のホルダ１０に穴 １１を設け、この穴１１に筒状の絶縁体１２を嵌入してナット１３により締付け 固定し、電極１４に突設した軸１５を絶縁体１２の穴１６に嵌入してナット１７ により締付け固定することにより、電極１４をホルダ１０に取付けていた。

【０００３】 また、多極型の静電偏向器においては、図４ないし図５に示すように、ホルダ ２０が筒状で上下両端に荷電ビーム通過孔２１，２２を有する壁２３，２４に設 けた小孔２５に棒状の電極２６を嵌入固定したものがある。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上記電極１４，２６は、対をなして対向する電極間の間隔、その平行度、また 、多極型の場合には周方向の間隔すなわち交叉角度が静電偏向器の精度に関係し ており、例えば電極の間隔および平行度はミクロンオーダの寸法精度を必要とす る。ところで、図３に示す従来例は、ホルダ１０の穴１１と絶縁体１２の穴１６ との２つの穴が介在しているため、それらのわずかなすき間が加算されて誤差と なり、しかもナット１３，１７で締付ける際にも穴１１，１６での回転によるね じれ誤差を生じ、電極１４をミクロンオーダの寸法精度で取付けることは不可能 である。また、図４ないし図５に示す従来例は、円形断面の電極２６を用い得る のみで、図３に示すような、平行平板型の静電偏向器に適用することはできない 。

【０００５】 本考案は、平行平板型の静電偏向器にも適用可能であると共に、比較的容易に 高精度で電極をホルダに取付けることのできる静電偏向器を提供することを目的 としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するための本考案は、電極と、この電極を支持するホルダと、 電極とホルダとの間に介在された絶縁体とからなり、電極が荷電ビームの光軸を 挟んで対向するように配置してなる静電偏向器において、電極と絶縁体とを一体 的に接合すると共に所定形状に形成し、この電極および絶縁体を筒状のホルダの 内面に形成されている凸形または凹形の取付位置基準に嵌め合わせて取付けたも のである。なお、上記取付位置基準は電鋳法によって形成することが好ましい。

【０００７】

【作用】

電極と絶縁体を接合によって一体的に形成し、これを所定形状に加工すれば、 両者は１つの部品として高い寸法精度のものが比較的容易に得られる。また、筒 状ホルダの内面に形成される凸形または凹形の取付位置基準を例えば電鋳法等に より正確に形成しておけば、ホルダに対する電極および絶縁体の取付けは取付位 置基準への嵌め合わせによって正確に行われるため、各電極間の相対的位置精度 を高くすることができる。

【０００８】

【実施例】

以下本考案の実施例について図１ないし図２を参照して説明する。３０は銅の ような熱伝導性に富む材料によって形成されたホルダで、筒状をしており、内面 ３０ａに電極３１用の取付位置基準としての溝３２が極数に応じて８つ等配に形 成されている。これらの溝３２は電極３１の取付精度に応じてミクロンオーダの 寸法精度に加工される。

【０００９】 なお、筒状ホルダ３０の内面３０ａへの溝３２の加工精度を高くすることは比 較的困難であるため、ホルダ３０の内面３０ａおよび溝３２に対応する円柱およ び突条からなる心材を高精度に製作し、この心材を用いてホルダ３０を電鋳法に よって製造すれば、溝３２を極めて高精度に形成することができる。

【００１０】 電極３１は元端側にアルミナセラミックス等の絶縁体３３がチタン系活性金属 などによる熱接合等によって一体的に接合され、さらに絶縁体３３の後部には好 ましくはホルダ３０と同一の材料からなる電極台３４が同じく熱接合等によって 一体的に接合されている。以下、一体的に形成された電極３１，絶縁体３３およ び電極台３４を電極体３５という。

【００１１】 電極体３５は、少なくとも溝３２に嵌め合わされる部分を高精度に形成され、 この部分を基準として電極３１の先端が高精度に形成されている。

【００１２】 電極体３５は、その電極台３４が溝３２に着脱可能に嵌入され、図２に示すよ うに、ネジ３６によってホルダ３０に取付けられる。なお、図２において、３７ は電極３１への給電用の電線である。

【００１４】 上記電極体３５は、一体的に形成されているため、溝３２に嵌入される部分の 寸法精度はもとより、該嵌入される部分に対する電極３１の先端の寸法精度もミ クロンオーダで製作することは比較的容易である。他方の溝３２も高精度の機械 加工または電鋳法等により高精度に形成できる。さらに、電極体３５は溝３２に 嵌め合わせることにより、ホルダ３０に対し所定の位置に正確に取付けられる。 このため、各電極３１の先端は互いにより正確に所定の位置関係に置かれる。

【００１５】 また、電極体３５の製作には若干工数を要するが、組立て部品点数は少なく、 組立、分解、清掃が容易で、再組立時の誤差の発生も極めてわずかである。

【００１６】 前述した実施例は、絶縁体３３の元部にホルダ３０と同一材料の電極台３４を 一体的に接合してホルダ３０の溝３２に嵌め合わせる例を示したが、これに限ら ず本考案は絶縁体３３を図示のものより厚くし、これを溝３２に直接嵌め合わせ てもよく、さらに電極台３４または厚くした上記絶縁体３３を溝３２に分離でき ないように接合し、ホルダ３０を半割としてホルダ３０自身を分離可能に組付け るようにしてもよく、さらに溝３２のように電極体３５の元端の全面を嵌め合わ せるものに限らず、該元端に形成した凸形または凹形の被取付位置基準に対応し た凸形または凹形の取付位置基準としてもよい等、種々変形可能である。

【００１７】

【考案の効果】

以上述べたように本考案によれば、平行平板型の電極であっても、これを比較 的容易に高精度でホルダに取付けることができ、静電偏向器の精度を高めること ができる。また、組立、分解も容易であり、再組立による誤差の発生もほとんど なく、構成が簡単であるため、特に多極型の静電偏向器をコンパクトに形成でき る等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線による縦断面図である。

【図３】従来例の横断面図である。

【図４】他の従来例の平面図である。

【図５】図４のＢ−Ｂ線による縦断面図である。

【符号の説明】

１０，２０，３０ ホルダ １４，２６，３１ 電極 １２，３３ 絶縁体 ３２ 溝（取付位置基準） ３４ 電極台

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 電極と、同電極を支持するホルダと、前
   記電極とホルダとの間に介在された絶縁体とからなり、
   前記電極が荷電ビームの光軸を挟んで対向するように配
   置してなる静電偏向器において、前記電極と絶縁体とを
   一体的に接合すると共に所定形状に形成し、該電極およ
   び絶縁体を筒状のホルダの内面に形成されている凸形ま
   たは凹形の取付位置基準に嵌め合わせて取付けたことを
   特徴とする静電偏向器。
2. 【請求項２】 前記凸形または凹形の取付位置基準が電
   鋳法によって形成されていることを特徴とする請求項１
   の静電偏向器。