JPH04120399U - 多極対向型静電偏向器 - Google Patents
多極対向型静電偏向器Info
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- JPH04120399U JPH04120399U JP3283091U JP3283091U JPH04120399U JP H04120399 U JPH04120399 U JP H04120399U JP 3283091 U JP3283091 U JP 3283091U JP 3283091 U JP3283091 U JP 3283091U JP H04120399 U JPH04120399 U JP H04120399U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 比較的容易に高精度に製造できると共に、検
査や保守を容易にできるようにする。 【構成】 半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂに電極２４を取付
け、電極２４の電極面２４ａ等を所定精度に形成し、半
割ホルダ２０Ａ，２０Ｂを組付けて多極対向型静電偏向
器を構成する。
査や保守を容易にできるようにする。 【構成】 半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂに電極２４を取付
け、電極２４の電極面２４ａ等を所定精度に形成し、半
割ホルダ２０Ａ，２０Ｂを組付けて多極対向型静電偏向
器を構成する。
Description
【０００１】
本考案は、電子ビーム描画装置等の荷電ビーム装置における多極対向型静電偏
向器に係り、特に偏向精度の向上に関する。
【０００２】
例えば、従来の８極対向型静電偏向器として、図２および図３に示すように、
ホルダ１０が中空円筒状で上下両端に荷電ビーム通過孔１１，１２を有する壁１
３，１４を有し、壁１３，１４に設けた小孔１５に棒状の電極１６を挿入固定し
たものがある。
【０００３】
上記のような静電偏向器は、電極１６の相互平行度の精度を検査して事前に修
正することができないため、偏向精度不良などの問題を発生した場合、偏向フィ
ールドの歪みデータを求めて、歪み補正を行わなければならず、取扱いがめんど
うであると共に、汚れのチェックもできない欠点があった。
【０００４】
本考案は、比較的容易に高精度に製造できると共に、検査や保守も容易な多極
対向型静電偏向器を提供することを目的としている。
【０００５】
上記目的を達成するための本考案は、荷電ビームの光軸を挟んで互いに対向す
る電極を該光軸の周りに複数組配列してなる多極対向型静電偏向器において、各
電極を対をなす半割ホルダにそれぞれ取付け、半割ホルダを分離可能に組付ける
ことにより、半割ホルダに取付けられている電極を互いに対向させるようにした
ものである。なお、各電極は、アルミナセラミックスを絶縁体として熱接合によ
り半割ホルダに取付けることが好ましい。
【０００６】
半割ホルダ上における各電極の幾何学的条件は定まっているため、半割ホルダ
に電極を取付けた後、半割ホルダを基準として各電極の電極面を最終仕上げ加工
することにより、半割ホルダに対する各電極の取付位置精度は比較的容易に高め
ることができる。そこで、対をなす半割ホルダの組付けを正確に行うことにより
、すべての電極の幾何学的精度を確保することができるが、半割ホルダを正確に
組付けること自身は比較的容易であるため、所望の精度を容易にかつ確実に得る
ことができ、さらに汚れ等の検査も半割ホルダを分離することにより容易にかつ
確実に行うことができる。半割ホルダへの電極の取付けは、アルミナセラミック
スを絶縁体として熱接合すれば、より小形にして簡潔な構造であって、かつ剛性
、機能的にも優れたものとすることができる。
【０００７】
以下本考案の実施例について図１を参照して説明する。２０Ａ，２０Ｂは半割
ホルダで、リーマボルト２１により、さらには図示しない位置決めピン等を付加
して、相対的位置関係を高精度に保って分離可能に組付けられる。半割ホルダ２
０Ａ，２０Ｂは、組付けられた状態において穴２２を形成するようになっている
。穴２２を形成する半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂの内面には、アルミナセラミック
スの板状の絶縁体（以下絶縁板という）２３がチタン系等の活性金属を用いて熱
接合され、この絶縁板２３には電極２４が同様に熱接合されている。なお、半割
ホルダ２０Ａ，２０Ｂと電極２４は銅のような熱伝導性および導電性に富む材料
で形成されている。
【０００８】
各電極２４は、半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂに上記のように絶縁板２３を介して
取付けられた後、半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂの例えば外周面ａおよび接合面ｂ等
の基準面に対して正確に割り出し、研摩またはダイヤモンド切削法等により電極
面２４ａおよび両側面の最終仕上げを行い、その後、電極２４ａに金メッキをす
る。電極面２４ａの図１において紙面に垂直な方向の長さは数１０mmで、幅は１
〜２mm程度であり、各電極面２４ａの対向間隔は数mmであるが、上記最終仕上げ
はミクロンオーダの精度で行うことができる。
【０００９】
半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂの電極２４を仕上げた後、両者を合わせてリーマボ
ルト２１等で締付け固定すれば、両半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂに設けられた電極
２４は互いに対をなして対向し、多極対向型静電偏向器を形成する。このとき、
両半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂの組付け精度はリーマボルト２１や図示しない位置
決め用のピン等を用いることにより高精度に行うことが可能であるため、組付け
に伴なう誤差の発生は極めてわずかに押えられる。
【００１０】
前述した実施例においては、半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂに電極２４を取付けた
後、電極面２４ａおよび両側面を最終仕上げする例を示したが、絶縁板２３を取
付けるためにホルダ２０Ａ，２０ｂの内面に設けた溝２５，絶縁板２３ならびに
電極２４を高精度に製作すれば、組付け後の仕上げ加工は省略することができる
。
【００１１】
以上述べたように本考案によれば、多極対向型静電偏向器の構造を簡単にでき
、製作工数、コストの低減を図ることができると共に、精度を比較的容易に高め
ることができ、電極面の検査や汚れの検査等も容易に行うことができ、保守も容
易である効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の実施例を示す断面図である。
【図２】従来例の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線による断面図である。
１０ ホルダ
１６ 電極
２０Ａ，２０Ｂ 半割ホルダ
２１ リーマボルト
２３ 絶縁体
２４ 電極
２５ 溝
Claims (2)
- 【請求項１】 荷電ビームの光軸を挟んで互いに対向す
る電極を該光軸の周りに複数組配列してなる多極対向型
静電偏向器において、前記各電極を対をなす半割ホルダ
にそれぞれ取付け、該半割ホルダを分離可能に組付ける
ことにより、各半割ホルダに取付けられている電極を互
いに対向させるようにしたことを特徴とする多極対向型
静電偏向器。 - 【請求項２】 各電極は、アルミナセラミックスを絶縁
体として熱接合により半割ホルダに取付けられているこ
とを特徴とする請求項１の多極対向型静電偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3283091U JPH086317Y2 (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 多極対向型静電偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3283091U JPH086317Y2 (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 多極対向型静電偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04120399U true JPH04120399U (ja) | 1992-10-28 |
| JPH086317Y2 JPH086317Y2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=31915700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3283091U Expired - Lifetime JPH086317Y2 (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 多極対向型静電偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086317Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006216558A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Leica Microsystems Lithography Gmbh | 粒子放射線用の静電偏向システム |
-
1991
- 1991-04-11 JP JP3283091U patent/JPH086317Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006216558A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Leica Microsystems Lithography Gmbh | 粒子放射線用の静電偏向システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH086317Y2 (ja) | 1996-02-21 |
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