JPH086317Y2 - 多極対向型静電偏向器 - Google Patents
多極対向型静電偏向器Info
- Publication number
- JPH086317Y2 JPH086317Y2 JP3283091U JP3283091U JPH086317Y2 JP H086317 Y2 JPH086317 Y2 JP H086317Y2 JP 3283091 U JP3283091 U JP 3283091U JP 3283091 U JP3283091 U JP 3283091U JP H086317 Y2 JPH086317 Y2 JP H086317Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrostatic deflector
- electrode
- holders
- electrodes
- opposed electrostatic
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、電子ビーム描画装置等
の荷電ビーム装置における多極対向型静電偏向器に係
り、特に偏向精度の向上に関する。
の荷電ビーム装置における多極対向型静電偏向器に係
り、特に偏向精度の向上に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、従来の８極対向型静電偏向器と
して、図２および図３に示すように、ホルダ１０が中空
円筒状で上下両端に荷電ビーム通過孔１１，１２を有す
る壁１３，１４を有し、壁１３，１４に設けた小孔１５
に棒状の電極１６を挿入固定したものがある。
して、図２および図３に示すように、ホルダ１０が中空
円筒状で上下両端に荷電ビーム通過孔１１，１２を有す
る壁１３，１４を有し、壁１３，１４に設けた小孔１５
に棒状の電極１６を挿入固定したものがある。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上記のような静電偏向
器は、電極１６の相互平行度の精度を検査して事前に修
正することができないため、偏向精度不良などの問題を
発生した場合、偏向フィールドの歪みデータを求めて、
歪み補正を行わなければならず、取扱いがめんどうであ
ると共に、汚れのチェックもできない欠点があった。
器は、電極１６の相互平行度の精度を検査して事前に修
正することができないため、偏向精度不良などの問題を
発生した場合、偏向フィールドの歪みデータを求めて、
歪み補正を行わなければならず、取扱いがめんどうであ
ると共に、汚れのチェックもできない欠点があった。
【０００４】本考案は、比較的容易に高精度に製造でき
ると共に、検査や保守も容易な多極対向型静電偏向器を
提供することを目的としている。
ると共に、検査や保守も容易な多極対向型静電偏向器を
提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本考案は、荷電ビームの光軸を挟んで互いに対向する
電極を該光軸の周りに複数組配列してなる多極対向型静
電偏向器において、各電極を対をなす半割ホルダにそれ
ぞれ取付け、半割ホルダを分離可能に組付けることによ
り、半割ホルダに取付けられている電極を互いに対向さ
せるようにしたものである。なお、各電極は、アルミナ
セラミックスを絶縁体として熱接合により半割ホルダに
取付けることが好ましい。
の本考案は、荷電ビームの光軸を挟んで互いに対向する
電極を該光軸の周りに複数組配列してなる多極対向型静
電偏向器において、各電極を対をなす半割ホルダにそれ
ぞれ取付け、半割ホルダを分離可能に組付けることによ
り、半割ホルダに取付けられている電極を互いに対向さ
せるようにしたものである。なお、各電極は、アルミナ
セラミックスを絶縁体として熱接合により半割ホルダに
取付けることが好ましい。
【０００６】
【作用】半割ホルダ上における各電極の幾何学的条件は
定まっているため、半割ホルダに電極を取付けた後、半
割ホルダを基準として各電極の電極面を最終仕上げ加工
することにより、半割ホルダに対する各電極の取付位置
精度は比較的容易に高めることができる。そこで、対を
なす半割ホルダの組付けを正確に行うことにより、すべ
ての電極の幾何学的精度を確保することができるが、半
割ホルダを正確に組付けること自身は比較的容易である
ため、所望の精度を容易にかつ確実に得ることができ、
さらに汚れ等の検査も半割ホルダを分離することにより
容易にかつ確実に行うことができる。半割ホルダへの電
極の取付けは、アルミナセラミックスを絶縁体として熱
接合すれば、より小形にして簡潔な構造であって、かつ
剛性、機能的にも優れたものとすることができる。
定まっているため、半割ホルダに電極を取付けた後、半
割ホルダを基準として各電極の電極面を最終仕上げ加工
することにより、半割ホルダに対する各電極の取付位置
精度は比較的容易に高めることができる。そこで、対を
なす半割ホルダの組付けを正確に行うことにより、すべ
ての電極の幾何学的精度を確保することができるが、半
割ホルダを正確に組付けること自身は比較的容易である
ため、所望の精度を容易にかつ確実に得ることができ、
さらに汚れ等の検査も半割ホルダを分離することにより
容易にかつ確実に行うことができる。半割ホルダへの電
極の取付けは、アルミナセラミックスを絶縁体として熱
接合すれば、より小形にして簡潔な構造であって、かつ
剛性、機能的にも優れたものとすることができる。
【０００７】
【実施例】以下本考案の実施例について図１を参照して
説明する。２０Ａ，２０Ｂは半割ホルダで、リーマボル
ト２１により、さらには図示しない位置決めピン等を付
加して、相対的位置関係を高精度に保って分離可能に組
付けられる。半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂは、組付けられ
た状態において穴２２を形成するようになっている。穴
２２を形成する半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂの内面には、
アルミナセラミックスの板状の絶縁体（以下絶縁板とい
う）２３がチタン系等の活性金属を用いて熱接合され、
この絶縁板２３には電極２４が同様に熱接合されてい
る。なお、半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂと電極２４は銅の
ような熱伝導性および導電性に富む材料で形成されてい
る。
説明する。２０Ａ，２０Ｂは半割ホルダで、リーマボル
ト２１により、さらには図示しない位置決めピン等を付
加して、相対的位置関係を高精度に保って分離可能に組
付けられる。半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂは、組付けられ
た状態において穴２２を形成するようになっている。穴
２２を形成する半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂの内面には、
アルミナセラミックスの板状の絶縁体（以下絶縁板とい
う）２３がチタン系等の活性金属を用いて熱接合され、
この絶縁板２３には電極２４が同様に熱接合されてい
る。なお、半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂと電極２４は銅の
ような熱伝導性および導電性に富む材料で形成されてい
る。
【０００８】各電極２４は、半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂ
に上記のように絶縁板２３を介して取付けられた後、半
割ホルダ２０Ａ，２０Ｂの例えば外周面ａおよび接合面
ｂ等の基準面に対して正確に割り出し、研摩またはダイ
ヤモンド切削法等により電極面２４ａおよび両側面の最
終仕上げを行い、その後、電極２４ａに金メッキをす
る。電極面２４ａの図１において紙面に垂直な方向の長
さは数１０mmで、幅は１〜２mm程度であり、各電極面２
４ａの対向間隔は数mmであるが、上記最終仕上げはミク
ロンオーダの精度で行うことができる。
に上記のように絶縁板２３を介して取付けられた後、半
割ホルダ２０Ａ，２０Ｂの例えば外周面ａおよび接合面
ｂ等の基準面に対して正確に割り出し、研摩またはダイ
ヤモンド切削法等により電極面２４ａおよび両側面の最
終仕上げを行い、その後、電極２４ａに金メッキをす
る。電極面２４ａの図１において紙面に垂直な方向の長
さは数１０mmで、幅は１〜２mm程度であり、各電極面２
４ａの対向間隔は数mmであるが、上記最終仕上げはミク
ロンオーダの精度で行うことができる。
【０００９】半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂの電極２４を仕
上げた後、両者を合わせてリーマボルト２１等で締付け
固定すれば、両半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂに設けられた
電極２４は互いに対をなして対向し、多極対向型静電偏
向器を形成する。このとき、両半割ホルダ２０Ａ，２０
Ｂの組付け精度はリーマボルト２１や図示しない位置決
め用のピン等を用いることにより高精度に行うことが可
能であるため、組付けに伴なう誤差の発生は極めてわず
かに押えられる。
上げた後、両者を合わせてリーマボルト２１等で締付け
固定すれば、両半割ホルダ２０Ａ，２０Ｂに設けられた
電極２４は互いに対をなして対向し、多極対向型静電偏
向器を形成する。このとき、両半割ホルダ２０Ａ，２０
Ｂの組付け精度はリーマボルト２１や図示しない位置決
め用のピン等を用いることにより高精度に行うことが可
能であるため、組付けに伴なう誤差の発生は極めてわず
かに押えられる。
【００１０】前述した実施例においては、半割ホルダ２
０Ａ，２０Ｂに電極２４を取付けた後、電極面２４ａお
よび両側面を最終仕上げする例を示したが、絶縁板２３
を取付けるためにホルダ２０Ａ，２０ｂの内面に設けた
溝２５，絶縁板２３ならびに電極２４を高精度に製作す
れば、組付け後の仕上げ加工は省略することができる。
０Ａ，２０Ｂに電極２４を取付けた後、電極面２４ａお
よび両側面を最終仕上げする例を示したが、絶縁板２３
を取付けるためにホルダ２０Ａ，２０ｂの内面に設けた
溝２５，絶縁板２３ならびに電極２４を高精度に製作す
れば、組付け後の仕上げ加工は省略することができる。
【００１１】
【考案の効果】以上述べたように本考案によれば、多極
対向型静電偏向器の構造を簡単にでき、製作工数、コス
トの低減を図ることができると共に、精度を比較的容易
に高めることができ、電極面の検査や汚れの検査等も容
易に行うことができ、保守も容易である効果が得られ
る。
対向型静電偏向器の構造を簡単にでき、製作工数、コス
トの低減を図ることができると共に、精度を比較的容易
に高めることができ、電極面の検査や汚れの検査等も容
易に行うことができ、保守も容易である効果が得られ
る。
【図１】本考案の実施例を示す断面図である。
【図２】従来例の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線による断面図である。
１０ ホルダ １６ 電極 ２０Ａ，２０Ｂ 半割ホルダ ２１ リーマボルト ２３ 絶縁体 ２４ 電極 ２５ 溝
Claims (2)
- 【請求項１】 荷電ビームの光軸を挟んで互いに対向す
る電極を該光軸の周りに複数組配列してなる多極対向型
静電偏向器において、前記各電極を対をなす半割ホルダ
にそれぞれ取付け、該半割ホルダを分離可能に組付ける
ことにより、各半割ホルダに取付けられている電極を互
いに対向させるようにしたことを特徴とする多極対向型
静電偏向器。 - 【請求項２】 各電極は、アルミナセラミックスを絶縁
体として熱接合により半割ホルダに取付けられているこ
とを特徴とする請求項１の多極対向型静電偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3283091U JPH086317Y2 (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 多極対向型静電偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3283091U JPH086317Y2 (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 多極対向型静電偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04120399U JPH04120399U (ja) | 1992-10-28 |
| JPH086317Y2 true JPH086317Y2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=31915700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3283091U Expired - Lifetime JPH086317Y2 (ja) | 1991-04-11 | 1991-04-11 | 多極対向型静電偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086317Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005005801B4 (de) * | 2005-02-04 | 2007-08-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Elektrostatisches Ablenksystem für Korpuskularstrahlung |
-
1991
- 1991-04-11 JP JP3283091U patent/JPH086317Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04120399U (ja) | 1992-10-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |