JPH04102788U - 真空保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 保持具を把持したまま手首をひねったりする
ことなく、そのチャック部に真空吸着している薄片の向
きを容易にかえることができるようにして作業効率の改
善を図る。 【構成】 保持具１０のチャック部４を把持部６に回動
自在に保持させる構造（１１〜１３）とした真空保持装
置の提供。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、真空式保持装置に関し、詳しくは、半導体ウエハーなどの取扱操作 時にその対象となるウエハーなどの物体を先端部に真空吸着可能な真空式保持装 置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

集積回路用基板等に使用される薄片の半導体ウエハーは、微細な上に破損し易 いために、従来からその取扱操作には種々の特殊な保持具が用いられてきた。中 でも、真空を利用して保持具の先端にウエハーを吸着保持させるようにした図２ に示すようなものが従来から多く使用されている。

【０００３】 図２において、１はその真空式保持具、２は取扱の対象となる例えば半導体ウ エハーであり、真空式保持具１は、その先端部に半導体ウエハー２を吸着するた めの吸引口３を具えたチャック部４と、チャック部４を支持し、真空供給用の操 作スイッチ５等が配設されていて人手により把持される把持部６と不図示の真空 ポンプに連結され、保持具１に真空を供給するためのフレキシブルホース７等と を具えている。

【０００４】 そこで、このように構成された真空式保持装置においては、例えば成形直後な いし作業経路の途中等に載置された半導体ウエハー２の裏面側にチャック部４を 近接させ、操作スイッチ５の操作により吸引口３から周囲の空気を吸引しつつ、 ウエハー２を吸着させて保持することができる。また、取扱ったウエハー２に対 し、移動などの対処が終了したならば、再び操作スイッチ５の操作により真空の 供給を中止とし、ウエハー２をチャック部４から引外すことができる。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述したような従来の真空式保持装置では、チャック部４によ り保持している半導体ウエハー２の向きを変えて例えば表裏を反対にする必要が あるような場合、いちいち手首をねじって保持具１ごと回動させねばならず、殊 に挾いような空間でこのような操作をすると、不注意などによって半導体ウエハ ー２を破損したり、誤って落したりする虞があり、ある程度の熟練度が必要な上 、神経を使うという問題があった。

【０００６】 本考案の目的は、かかる従来の問題に着目し、その解決を図るべく、保持具を 把持したままの状態で吸着保持している半導体ウエハーなどの薄片の向きを容易 に変えることができて、作業効率の改善に寄与する真空式保持装置を提供するこ とにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

このような目的を達成するために、本考案は、薄片を真空吸着可能な薄片保持 部と、該薄片保持部を回動自在に支持し、人手によって把持される把持部と、前 記薄片保持部に真空を供給する手段とを具備したことを特徴とする。

【０００８】

【作用】

本考案によれば、薄片保持部に真空を供給し、半導体ウエハーなどの薄片を真 空吸着させたまま、把持部を保持する人手によって薄片保持部を回動させて、自 在に薄片の向きを変更することができる。

【０００９】

【実施例】

以下に、図面を参照しつつ本考案の実施例を具体的に説明する。

【００１０】 図１は本考案の一実施例を示す。なおここで、図２と同じ機能を有する部分に は、同一符号を用いることとし、その説明を省略する。図１において、１０は真 空式保持具であり、１１はそのチャック部４と一体に形成され、把持部６の先端 部分に回動自在に嵌め合わされたソケット部である。１２はソケット部１１に形 成された案内溝であり、本例の場合、ソケット部１１のほぼ半周にわたり螺旋状 に案内溝１２が形成されている。１３はソケット部１１が嵌め合わされる把持部 ６の先端近傍に穿設した滑動突起であり、このような滑動突起１３がソケット部 １１の案内溝１２に嵌め合わされている。

【００１１】 なお、案内溝１２の上下両端部に案内溝１２の形成方向とは方向を変えて、例 えば保持具１０のほぼ長手方向に沿った係止溝１２Ａを形成しておき、後述する ようにしてソケット部１１を介しチェック部４をいずれかの方向に回し切ったと きに、滑動突起１３をこのような係止溝１２Ａに仮係止させるようにしておくこ とが望ましい。また、図示しないが、案内溝１２の途中にいくつかの係止部を設 けておき、これらの係止部に滑動突起１３を仮係止させるようにすることも可能 である。

【００１２】 このように構成した真空式保持装置においては、不図示の真空ポンプにより、 チャック部４に真空を供給可能な状態となして、操作スイッチ５を操作し真空を 供給することにより半導体ウエハー２を図示のように保持することができると共 に、例えば指先を使用してソケット部１１を図１の場合であれば時計回りの方向 に回動させることにより滑動突起１３を案内溝１２に沿わせて滑動させ、ウエハ ー２の向きを自在に変更することができる。

【００１３】 なお、以上に述べた実施例では案内溝１２を螺旋状に形成したが、螺旋状に限 られるものではなく、例えばソケット部１１の周方向に沿ってかかる案内溝を設 けるようにしてもよい。

【００１４】 また、上記実施例の場合は、ソケット部１１をチャック部４と一体に形成した が、これにかえて、ソケット部１１を把持部６と一体に形成し、一方、チャック 部４に滑動突起１３を突設して、これをソケット部１１の案内溝１２に嵌め合わ すようになし、指先で滑動突起１３を案内溝１２に沿って移動させるように構成 してもよいことはいうまでもない。

【００１５】 さらにまた、上述のようにソケット部１１の案内溝１２に滑動突起１３を嵌め 合わせる構造にかえて、ソケット部およびソケット部を介して嵌め合わされるチ ャック部４または把持部６の嵌め合わせ部の双方に雌ねじ部および雄ねじ部をそ れぞれ形成しておき、これらのねじ部を介してチャック部４を回動させるように してもよい。

【００１６】

【考案の効果】

以上説明してきたように、本考案によれば、薄片を真空吸着可能な薄片保持部 と、該薄片保持部を回動自在に支持し、人手によって把持される把持部と、前記 薄片保持部に真空を供給する手段とを具備させるようにしたので、破損し易い半 導体ウエハーなどの薄片を保持したまま短時間で安全かつ容易に向きを変えて、 次の作業のために備えることが可能となり、半導体ウエハー等の薄片の移動や移 し替え等の作業効率を多いに高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案真空式保持装置の構成の一例を示す斜視
図である。

【図２】従来例の構成を示す斜視図である。

【符号の説明】 ２ 半導体ウエハー ３ 吸引口 ４ チャック部 ５ 操作スイッチ ６ 把持部 １０ 真空保持具 １１ ソケット部 １２ 案内溝 １３ 滑動突起

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄片を真空吸着可能な薄片保持部と、該
   薄片保持部を回動自在に支持し、人手によって把持され
   る把持部と、前記薄片保持部に真空を供給する手段とを
   具備したことを特徴とする真空保持装置。