JPH04137051U - 真空吸着保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体基板などの薄片の移動に対し、薄片を
ステージ面とほぼ平行な姿勢に保って、安全に戴置可能
な真空保持装置の提供。 【構成】 真空保持具１０の吸着面１４Ａを人手等によ
って把持される棒状の把持部１１に対して斜めに傾けて
形成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、真空吸着保持装置に関し、詳しくは、半導体素子形成用の基板など 、薄片を移動若しくは移し換えのために先端部に真空を供給して保持可能な真空 吸着保持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体素子の製造では、その過程において、ウエハーあるいはこれから切出さ れた基板などが取扱われるが、その取扱いに際しては、従来からピンセットか真 空吸着保持具が多く使用されてきた。このうち、ピンセットによるものは周知の ように二又に形成されたばね性を有する部材の先端部で薄片の両面を挾持するよ うになっている。また、真空吸着保持具によるものは、図５に示すように、人手 若しくは移動手段によって把持される把持部１と、把持部１に取付けられた薄片 保持部２、薄片保持部２の先端部に設けられ、吸引口３を具えた吸着部４および 不図示の真空ポンプに連絡され、吸着部４に真空を供給するための吸引チューブ ５等を具えている。

【０００３】 そして、このような真空吸着保持具６によるものは、その吸着部４に送給され る真空を利用して、ここに基板などの表面または裏面のいずれかを吸着させ、保 持した状態で移動させた上、図６の（ａ）に示すようにして、次の作業がなされ るステージ７上に運ばれる。なお、本例の場合は、基板８の表面８Ａ側がステー ジ７上で上向きとなるようにセットされる、例えば、顕微鏡のステージ７へのセ ット状況を示す。かくして図６の（ａ）に示すような姿勢で、基板８の一端がス テージ７上にほぼ接すると、そのあと、真空吸着保持具６への真空供給が停止さ れ、真空吸着保持具６を図６の（ｂ）で示すように、本例の場合は基板８と平行 する方向に移動させることにより基板８をステージ７上に倒す形で戴置すること ができる。

【０００４】 なお、図６において、θは上記の状態で基板８がステージ７の面との間でなす 角度を示し、上述の矢印で示す移動方向Ａを以下では作業方向と呼ぶこととする 。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述したような従来保持具のうち、ピンセットによるものは、 基板の両面をその二又の先端部で挾持するために、基板の大切な表面に傷がつく のみならずピンセットを介して汚れが付き易い。そこで、最近では真空保持装置 が多く使用されているが、従来のこの種の装置では、図６に示すように、吸着部 ４の吸着面と、保持具６が操作のために移動される作業方向Ａとが一致している ために、基板８とステージ７との間に角度θが保たれることになる。よって、図 ６の（ａ）の状態から保持具６を作業方向Ａに操作して、（ｂ）のように基板８ をステージ７上に倒すときに、その衝撃で基板８を破損する虞があった。なお、 このような問題は、あるステージ上に基板が裏向きの状態で戴置される場合につ いても発生する。

【０００６】 本考案の目的は、以上に述べたような従来の問題に着目し、その解決を図るべ く、基板をこれが移動される先の台上にほぼ平行する姿勢を保って、戴置可能な ようにした真空吸着保持装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

かかる目的を達成するために、本考案は、人手等によって把持される棒状の把 持部と、該把持部の先端部に設けられ、薄片の真空吸着が可能な吸着面を有する 吸着部とを具えた真空吸着保持装置であって、前記吸着面を前記把持部に対して 斜めに傾けて形成したことを特徴とするものである。

【０００８】

【作用】

本考案によれば、人手等によって把持される把持部の自然体による傾斜にかか わらず、真空吸着される方の基板を水平に保つことができるので、ステージ上か ら基板を吸着したり、基板をステージ上にセットするのに基板を破損させたりす ることなく安全に実施することができる。

【０００９】

【実施例】

以下に、図面を参照しつつ本考案の実施例を具体的に説明する。

【００１０】 図１は、本考案の一実施例を示す。ここで、１０は本考案にかかる真空吸着保 持具の一例を示し、１１はその把持部、１２は薄片保持部、１３は吸引口、１４ は吸引口１３を有し、薄片保持部１２の先端に設けられた吸着部材である。本例 の真空吸着保持具１０は吸着部材１４により移動前の台（前段のステージという ）で基板の裏面側を吸着保持し移動先の台（後段のステージという）上に基板の 表面側を上向きにして戴置するに好適な例である。本例の保持具１０におけるそ の吸着部材１４は、図示のようにくの字型に折曲げられていて、その基板吸着面 １４Ａを有する吸着部１４Ｂが、把持部１１から延在される薄片保持部１２の延 在方向に対して上向きの傾斜を持つようにしてある。

【００１１】 なおここで、吸着面１４Ａが上記延在方向となす角度は先に述べた作業方向Ａ がステージ７の面となす角度θと近い角度に設定されることが望ましい。

【００１２】 このように設定することにより以下に示すような基板の取扱い時に基板をステ ージ上にほぼ平坦な形でセットすることが可能となる。

【００１３】 図２は、このように構成した真空吸着保持具１０により基板を保持し、基板の 表面を常に上向きに保つようにしてステージ間の移動を行う例を示す。なお、図 ２では好適例として、前段，後段のステージ７上にそれぞれ吸着部１４Ｂの差込 みが可能な基板操作用の溝７Ａが設けられている場合の例が示されている。従っ て、この場合は、保持具を作業方向Ａに沿ってステージ７に向け移動させ、その 吸着部１４Ｂを溝７Ａに沈めるようにすることにより基板８の裏面側をステージ ７の上面にほぼ合わせた状態に保つことかできる。そこで、このあと、吸着部材 １４への真空の供給を停止することにより、基板８を保持具１０から解放して、 基板８の表面８Ａを上向きに保った状態でステージ７上にセットすることができ る。

【００１４】 図３は、基板の裏面を常に上向きに保つようにしてステージ間の移動を行うに 好適な真空吸着保持具１０の例を示す。すなわち、本例では、作業方向Ａに対し て適切な角度（好ましくは先に述べた角度θ）折曲げて形成された吸着部材１４ に対し、その吸着部１４Ｂの図１とは反対側の面が吸着面１４Ａとして構成され ている。従って、吸引口１３も把持部１１からすれば外向きの吸着面１４Ａに形 成されるもので、このような保持具１０によってステージ７上の基板８を移動操 作するときの状態を図４に示す。

【００１５】 本例の場合は、前段のステージ７上から基板８を取上げるときも後段のステー ジ７上にセットするときも共に基板８の表面８Ａが下向きに置かれるような作業 時に好適なものである。すなわち、作業者は、真空吸着保持具１０の把持部１１ を把持した通常の作業姿勢において把持部１１を水平面に対してほぼ角度θ°傾 けた状態に保つことができるので、そのまま把持部１１を作業方向Ａに移動させ ることによりその吸着面１４Ａを水平な状態に保ったまま、基板８に対して真空 吸着および吸着からの解放を行うことができる。

【００１６】 なお、以上に述べた実施例では、好適例として半導体基板を取扱うために使用 される場合について述べたが、本考案の適用は半導体基板には限らず、半導体基 板が切出されるウエハーや、その他の微細な薄片を、特に人手で移動させる場合 に広く適用できるものであることはいうまでもない。

【００１７】

【考案の効果】

以上説明してきたように、本考案によれば、人手等によって把持される棒状の 把持部と、該把持部の先端部に設けられ、薄片の真空吸着が可能な吸着面を有す る吸着部とを具えた真空吸着保持装置であって、前記吸着面を前記把持部に対し て斜めに傾けて形成したので、吸着面に半導体基板などの薄片を真空吸着させて 、ステージ間を移動させるのに、人手等によって自然体のまま把持される把持部 がステージ面に対して傾くにかかわらず、吸着面に吸着保持される薄片の方はス テージに対してほぼ平行に保たれることにより作業がしやすいばかりでなく、特 に薄片を後段のステージにセットする場合の薄片の姿勢をステージ面に合わせて 水平に保つことができるので、ステージ上に薄片を倒して破損させたりするのを 防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の構成の一例を示す斜視図である。

【図２】図１に示す保持装置による動作の説明図であ
る。

【図３】本考案の他の実施例の構成を示す側面図であ
る。

【図４】図３に示す保持装置による動作の説明図であ
る。

【図５】従来例の構成を示す斜視図である。

【図６】図５に示す装置による動作の説明図である。

【符号の説明】

８ 基板 ８Ａ 表面 １０ 真空保持具 １１ 把持部 １２ 薄片保持部 １３ 吸引口 １４ 吸着部材 １４Ａ 吸着面 １４Ｂ 吸着部 Ａ 作業方向

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 人手等によって把持される棒状の把持部
   と、該把持部の先端部に設けられ、薄片の真空吸着が可
   能な吸着面を有する吸着部とを具えた真空吸着保持装置
   であって、前記吸着面を前記把持部に対して斜めに傾け
   て形成したことを特徴とする真空吸着保持装置。