JPH04100374A - カラーイメージセンサ及びその駆動方法 - Google Patents

カラーイメージセンサ及びその駆動方法

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JPH04100374A
JPH04100374A JP2217091A JP21709190A JPH04100374A JP H04100374 A JPH04100374 A JP H04100374A JP 2217091 A JP2217091 A JP 2217091A JP 21709190 A JP21709190 A JP 21709190A JP H04100374 A JPH04100374 A JP H04100374A
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Hiroyuki Miyake
弘之 三宅
Mamoru Nobue
守 信江
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は画像の読み取りを行なうイメージセンサに係り
、特に同一基板上に複数列の受光素子アレイを配置し、
各受光素子アレイ上にそれぞれ異なる色(例えば赤、緑
、青)のフィルタを配設してカラーの画像を読み取るこ
とができるイメージセンサの駆動方法に関する。
(従来の技術) 同一基板上に複数列の受光素子アレイを配置した従来の
カラーイメージセンサは、例えば第1−4図の平面説明
図及び第15図の断面説明図に示すように構成されてい
る。
すなわち、基板60上に、主走査方向Xにライン状に配
列されるとともに副走査方向Yに4列に並べられた画素
電極61g、61b、61c、61d及びそれぞれの画
素電極から引き出された引き出し電極62a、62b、
62c、62dを形成している。外側2列の画素電極6
1a、61dからの引き出し電極62a、62dは、そ
れぞれ反対方向へ引き出されるとともに、内側2列の画
素電極61b、61cからの引き出し電極62b。
62eは外側の画素電極61a、61. dの間を通フ
てそれぞれ反対方向へ引き出されている。
画素電極61上には、アモルファス半導体膜63が一様
に形成され、さらにアモルファス半導体膜63上に共通
透明電極64が形成されている。
アモルファス半導体膜63を画素電極61と共通透明電
極64とにより挟持した部分が光に感光する画素領域を
構成して受光素子を形成している。
共通透明電極64上には、前記画素電極61に対向する
位置に画像情報を色分離するカラーフィルタ66a、6
6b、66cが配置されている。カラーフィルタ66は
、各列で異なる色(画素電極61、 a上に赤1画素電
極61b上に緑、画素電極61c上に青)が配置されて
いる。
前記冬用き出し電極62の端部は、各受光素子アレイに
蓄積された電荷を抽出する駆動回路を構成するICチッ
プ(図示せず)にワイヤボンディング(図示せず)を介
して接続されている。
受光素子アレイの駆動回路説明図を第16図に示す。第
16図において、71 a、 7 l b、 71c、
71dはそれぞれ第14図における画素領域(以下、そ
れぞれR(赤)画素領域、G(緑)画素領域、B(青)
画素領域、W(輝度)画素領域という)であり、それぞ
れ信号読み出し用のスイッチ72a、72b、72c、
72dを介して共通出力線73a、73b、73c、7
3dに接続されている。各共通出力線73a、73b、
73c、73dはそれぞれA/D変換器74a、74b
、74c、74dに接続され、A/D変換器74bの出
力はn段の遅延レジスタ75に接続され、A/D変換器
74cの出力は2n段の遅延レジスタ76に接続され、
A/D変換器74dの出力は30段の遅延レジスタ77
に接続されている(nは各色の画素領域の主走査方向に
おける画素数である)。
受光素子アレイ上に配置される原稿は、ローラ等の原稿
送り手段によって副走査方向に移動可能になっており、
読み取るべき原稿面上の画像を第17図のように、画素
pH〜in、、P21〜2n、 P31〜3n、・・・
・・・で表わす。画素pH−InがW画素領域71dに
対応した位置にあるとき、スイッチ72dが左側から順
次選択的にオン状態とされることにより、画素pH〜i
nの輝度の情報が共通出力線73dに電気信号として順
次現れ、これがA/D変換器74dでディジタル値に変
換された後、遅延レジスタ77に転送されて遅延レジス
タ77の1−n段目に蓄積される。
次に画素pH〜1nがB画素領域71cに対応した位置
に移動すると、スイッチ72cが左側から順次選択的に
オン状態とされることにより、画素pH〜1nの青色の
情報が共通出力線73cに電気信号として順次現れ、こ
れがA/D変換器74cでディジタル値に変換された後
、遅延レジスタ76に転送されて遅延レジスタ76の1
〜n 段目1.:蓄積される。同様にして、G画素領域
71bから画素pH−1nの緑色の情報が抽出され、遅
延レジスタ75の1〜n段目に蓄積される。更に、R画
素領域71aから画素pH〜1nの赤色の情報が抽出さ
れる。
遅延レジスタ75.76.77は一定のクロックで転送
動作しているので、A/D変換器74aから画素pH〜
1nの赤の信号が順次抽出されるとき、それに同期して
遅延レジスタ75,76.77から同一画素の緑、青の
各色信号及び輝度信号が得られる。以下、他の画素P2
1〜P 2n、 P 31〜Pan・・・・・・の情報
も同様にして読み取られる(特開昭60−1.1357
3号公報参照)。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら上記従来のカラーイメージセンサの構成に
よると、各受光素子アレイから電気信号を抽出するには
、それぞれ列毎に別個の駆動回路を必要とするため高価
になるという問題点があった。
また、中央2列の受光素子アレイを構成する画素電極6
1b、61cからの引き出し電極62b、62cと、そ
の外側の受光素子アレイを構成する画素電極61a、6
1. dからの引き出し電極62a、62dとは、その
電極の配線部分の長さが異なるため配線容量が異なって
しまう。従って、同じ光量が各受光素子アレイ照射し各
受光素子で発生する電荷(Q−CV)が同してあっても
、配線容量(C)が異なるため出力電圧(V)にバラツ
キが生じてしまうという問題点があった。
更に、各受光素子アレイを構成する画素電極61a、6
1b、61 C% 6コdからの引き出し電極62a、
62b、62c、62dが駆動回路となるそれぞれの駆
動用ICにそれぞれワイヤーボンディング等で接続する
構成になっているため、ワイヤーボンディングの本数が
多くなり、信頼性に欠けるという問題点があった。
そこで、複数の受光素子を1ブロックとして複数ブロッ
クを主走査方向にライン状に配列して成る受光素子アレ
イを副走査方向に複数列並設した受光素子アレイ列と、
前記受光素子に接続し、前記受光素子で発生した電荷を
ブロック毎に転送する複数のスイッチング素子と、前記
スイッチング素子に接続し、前記転送された電荷を保持
する複数の配線と、前記配線に接続する共通信号線を介
して前記電荷を画像信号として出力する駆動用ICとを
具備することを特徴とするイメージセンサが考えられて
いる。
このイメージセンサは、複数の受光素子を1ブロックと
して複数ブロックを主走査方向にライン状に配列した受
光素子アレイをイメージセンサの副走査方向に複数列並
設した受光素子アレイ列とし、各受光素子で発生した電
荷をブロック毎に転送するだめの複数のスイッチング素
子を受光素子に接続するように設け、スイッチング素子
にそれぞれ接続する配線は受光素子アレイの1ブロック
内の受光素子数に対応する本数の共通信号線に接続し、
ブロック毎に配線に転送された電荷を共通信号線を介し
て画像信号として出力する駆動用ICを有するイメージ
センサの構成となっているので、ブロック中位に電荷を
共通信号線から順次読み出すことができるため、1個の
駆動用ICで画像信号を出力することか可能であり、駆
動用ICが1個で足りるためコスト高とならず、また1
個の駆動用ICに共通信号線をワイヤーボンディング等
で接続するようにしているのでワイヤーボンディングの
本数を少なくてきて、イメージセンサの信頼性を向上さ
せることができ、更に受光素子で発生した電荷を配線に
転送して共通信号線から読み出すようにしているので、
出力電圧にバラツキか生じることが少なくするものであ
る。
そして、このイメージセンサの駆動方法は、複数の受光
素子を1ブロックとして複数ブロックを主走査方向にラ
イン状に配列して成る受光素子アレイを副走査方向に複
数列並設した受光素子アレイ列における各受光素子に接
続されたスイッチング素子を前記ブロック毎に選択的に
オンし、前記各受光素子に蓄積された電荷を前記ブロッ
ク毎に前記スイッチング素子に接続する複数の配線へ転
送し、前記配線に接続する共通信号線を介して電荷を画
像信号として出力する駆動用ICにより前記転送された
電荷を時系列的に抽出し、前記受光素子アレイ列におけ
る一列の受光素子アレイの全ブロックの画像信号の出力
を行い、前記受光素子アレイ列における別列の受光素子
アレイの全ブロックの画像信号の出力を行うようにする
ものである。
しかしながら、上記イメージセンサの構成であると、受
光素子アレイ列の間に複数のスイッチング素子が形成さ
れることになるため、原稿に照射された反射光を各受光
素子アレイが受光して発生させた電荷をそのまま出力す
ることになれば、原稿を走査して読み取った位置と出力
位置との間の整合性を図ることかできないとの問題点が
あった。
本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、複数列の受
光素子アレイからの出力結果と原稿読取り走査位置の整
合を図ることができるイメージセンサの駆動方法を提供
することを目的とする。
(課題を解決するための手段) 上記従来例の問題点を解決するための請求項1記載の発
明は、複数の受光素子を1ブロックとして複数ブロック
を主走査方向にライン状に配列した受光素子アレイを副
走査方向に複数列並行に設けた受光素子アレイ列と、前
記受光素子にそれぞれ接続し、前記受光素子で発生した
電荷をブロック毎に転送する複数のスイッチング素子と
、前記スイッチング素子にそれぞれ接続し、前記転送さ
れた電荷を保有する複数の配線と、前記配線に接続し、
前記電荷を時系列に出力する駆動用ICと、前記出力結
果を記憶するメモリとを有するイメジセンサの駆動方法
において、前記受光素子で発生した電荷を前記受光素子
アレイの1走査についてブロック単位に前記スイッチン
グ素子をオンにして前記配線に転送し、前記駆動用IC
からブロック毎に順次時系列に出力する動作を複数の受
光素子アレイについて複数回行い、それぞれの出力結果
を前記メモリに記憶し、読取り走査位置が整合するよう
に前記複数の受光素子アレイの1走査分の出力を前記メ
モリから選択して読み出すことを特徴としている。
上記従来例の問題点を解決するための請求項2記載の発
明は、複数の受光素子を1ブロックとして複数ブロック
を主走査方向にライン状に配列した受光素子アレイを副
走査方向に複数列並行に設けた受光素子アレイ列と、前
記受光素子にそれぞれ接続し、前記受光素子で発生した
電荷をブロック毎に転送する複数のスイッチング素子と
、前記スイッチング素子にそれぞれ接続し、前記転送さ
れた電荷を保有する複数の配線と、前記配線に接続し、
前記電荷を時系列に出力する駆動用ICと、前記出力結
果を記憶するメモリとを有するイメージセンサの駆動方
法において、前記受光素子で発生した電荷を前記受光素
子アレイの1ブロックについて前記スイッチング素子を
オンにして前記配線に転送し、前記駆動用ICから1ブ
ロック分の出力を行う動作を複数の受光素子アレイにつ
いて複数回行い、それぞれの出力結果を前記メモリに記
憶し、読取りブロック位置が整合するように前記複数の
受光素子アレイの各ブロック分の出力を前記メモリから
選択して読み出すことを特徴としている。
上記従来例の問題点を解決するための請求項3記載の発
明は、複数の受光素子を1ブロックとして複数ブロック
を主走査方向にライン状に配列した受光素子アレイを副
走査方向に複数列並行に設けた受光素子アレイ列と、前
記受光素子にそれぞれ接続し、前記受光素子で発生した
電荷をブロック毎に転送する複数のスイッチング素子と
、前記各受光素子アレイ内のスイッチング素子を副走査
方向にブロック単位でそれぞれ接続し、副走査方向に対
応するブロック内のスイッチング素子と隣接するブロッ
ク内のスイッチング素子とをそれぞれ距離の近い順に接
続し、ブロック内のスイッチング素子から隣接する両方
のブロック内のスイッチング素子へは前記受光素子アレ
イ列の主走査方向に互いに反対側に位置するように接続
し、接続の距離の短い順に前記受光素子アレイ列に近い
順に配置し、前記転送された電荷を保有する複数の配線
と、前記配線に接続し、前記電荷を時系列に出力する駆
動用ICと、前記出力結果を記憶するメモリとを有する
イメージセンサを、前記受光素子で発生した電荷を前記
受光素子アレイの1走査についてブロック単位に前記ス
イッチング素子をオンにして前記配線に転送し、前記駆
動用ICからブロック毎に順次時系列に出力する動作を
複数の受光素子アレイについて複数回行い、それぞれの
出力結果を前記メモリに記憶し、読取り走査位置が整合
するように前記複数の受光素子アレイの1走査分の出力
を前記メモリから選択して読み出すことを特徴としてい
る。
上記従来例の問題点を解決するための請求項4記載の発
明は、複数の受光素子を1ブロックとして複数ブロック
を主走査方向にライン状に配列した受光素子アレイを副
走査方向に複数列並行に設けた受光素子アレイ列と、前
記受光素子にそれぞれ接続し、前記受光素子で発生した
電荷をブロック毎に転送する複数のスイッチング素子と
、前記各受光素子アレイ内のスイッチング素子を副走査
方向にブロック単位でそれぞれ接続し、副走査方向に対
応するブロック内のスイッチング素子と隣接するブロッ
ク内のスイッチング素子とをそれぞれ距離の近い順に接
続し、ブロック内のスイッチング素子から隣接する両方
のブロック内のスイッチング素子へは前記受光素子アレ
イ列の主走査方向に互いに反対側に位置するように接続
し、接続の距離の短い順に前記受光素子アレイ列に近い
順に配置し、前記転送された電荷を保有する複数の配線
と、前記配線に接続し、前記電荷を時系列に出力する駆
動用ICと、前記出力結果を記憶するメモリとを有する
イメージセンサを、前記受光素子で発生した電荷を前記
受光素子アレイの1ブロックについて前記スイッチング
素子をオンにして前記配線に転送し、前記駆動用ICか
ら1ブロック分の出力を行う動作を複数の受光素子アレ
イについて複数回行い、それぞれの出力結果を前記メモ
リに記憶し、読取りブロック位置が整合するように前記
複数の受光素子アレイの各ブロック分の出力を前記メモ
リから選択して読み出すことを特徴としている。
(作用) 請求項1記載の発明によれば、複数の受光素子を1ブロ
ックとして複数ブロックを主走査方向にライン状に配列
した受光素子アレイを副走査方向に複数列並設した受光
素子アレイ列と、受光素子に接続し、各受光素子で発生
した電荷をブロック毎に転送するための複数のスイッチ
ング素子と、スイッチング素子にそれぞれ接続する配線
と、配線に転送された電荷を時系列に出力する駆動用I
Cと、出力結果を記憶するメモリとを有するイメージセ
ンサを、受光素子アレイの1走査についてブロック単位
にブロック内のスイッチング素子をオンして配線に電荷
を転送し、配線に転送された電荷を駆動用ICからブロ
ック毎に順次時系列に出力してメモリに記憶し、他の複
数の受光素子アレイの1走査についても同様の動作を行
い、メモリに記憶された出力結果を読取り走査位置に整
合するように1走査分の出力をメモリから選択して出力
するイメージセンサの駆動方法としているので、各受光
素子アレイの読取り走査位置と出力結果の整合性を図る
ことができる。
請求項2記載の発明によれば、複数の受光素子を1ブロ
ックとして複数ブロックを主走査方向にライン状に配列
した受光素子アレイを副走査方向に複数列並設した受光
素子アレイ列と、受光素子に接続し、各受光素子で発生
した電荷をブロック毎に転送するための複数のスイッチ
ング素子と、スイッチング素子にそれぞれ接続する配線
と、配線に転送された電荷を時系列に出力する駆動用I
Cと、出力結果を記憶するメモリとを有するイメージセ
ンサを、受光素子アレイの1ブロックについてブロック
内のスイッチング素子をオンして配線に電荷を転送し、
配線に転送された電荷を駆動用ICから時系列に出力し
てメモリに記憶し、他の複数の受光素子アレイの1ブロ
ックについても同様の動作を行い、メモリに記憶された
出力結果を読取り走査位置に整合するように1ブロック
分の出力をメモリから選択して出力するイメージセンサ
の駆動方法としているので、各受光素子アレイの読取り
走査位置と出力結果の整合性を図ることができる。
請求項3記載の発明によれば、複数の受光素子を1ブロ
ックとして複数ブロックを主走査方向にライン状に配列
した受光素子アレイを副走査方向に複数列並設した受光
素子アレイ列と、受光素子に接続し、各受光素子で発生
した電荷をブロック毎に転送するための複数のスイッチ
ング素子と、副走査方向のスイッチング素子にブロック
単位でそれぞれ接続し、副走査方向に対応するブロック
内のスイッチング素子と隣接するブロック内のスイッチ
ング素子とをそれぞれ距離の近い順に接続し、ブロック
内のスイッチング素子から隣接する両方のブロック内の
スイッチング素子へは受光素子アレイ列の主走査方向に
互いに反対側に位置するように接続し、接続距離の短い
順に受光素子アレイ列に近い順に配置する配線と、配線
に転送された電荷を時系列に出力する駆動用ICと、出
力結果を記憶するメモリとを有するイメージセンサを、
受光素子アレイの1走査についてブロック単位にブロッ
ク内のスイッチング素子をオンして配線に電荷を転送し
、配線に転送された電荷を駆動用ICからブロック毎に
順次時系列に出力してメモリに記憶し、他の複数の受光
素子アレイの1走査についても同様の動作を行い、メモ
リに記憶された出力結果を読取り走査位置に整合するよ
うに1走査分の出力をメモリから選択して出力するイメ
ージセンサの駆動方法としているので、各受光素子アレ
イの読取り走査位置と出力結果の整合性を図ることがで
きる。
請求項4記載の発明によれば、複数の受光素子を1ブロ
ックとして複数ブロックを主走査方向にライン状に配列
した受光素子アレイを副走査方向に複数列並設した受光
素子アレイ列と、受光素子に接続し、各受光素子で発生
した電荷をプロ・ツク毎に転送するための複数のスイッ
チング素子と、副走査方向のスイッチング素子にブロッ
ク単位でそれぞれ接続し、副走査方向に対応するプロ・
ツク内のスイッチング素子と隣接するブロック内のスイ
ッチング素子とをそれぞれ距離の近い順に接続し、ブロ
ック内のスイッチング素子から隣接する両方のブロック
内のスイッチング素子へは受光素子アレイ列の主走査方
向に互いに反対側に位置するように接続し、接続距離の
短い順に受光素子アレイ列に近い順に配置する配線と、
配線に転送された電荷を時系列に出力する駆動用ICと
、出力結果を記憶するメモリとを有するイメージセンサ
を、受光素子アレイの1ブロックについてブロック内の
スイッチング素子をオンして配線に電荷を転送し、配線
に転送された電荷を駆動用ICから時系列に出力してメ
モリに記憶し、他の複数の受光素子アレイの1ブロック
についても同様の動作を行い、メモリに記憶された出力
結果を読取り走査位置に整合するように1ブロック分の
出力をメモリから選択して出力するイメージセンサの駆
動方法としているので、各受光素子アレイの読取り走査
位置と出力結果の整合性を図ることができる。
(実施例) 本発明の一実施例について図面を参照しながら説明する
第1図に本実施例に係るカラーイメージセンサの等偏口
略図を示す。
第1図に示すように、このカラーイメージセンサは、ガ
ラス等の絶縁性の基板21上に併設されたn個のサンド
イッチ型の受光素子(フォトダイオードP)11.’を
1ブロックとし、このブロックをN個有してなる受光素
子アレイ11(PL、1〜PN、n)とし、この受光素
子アレイ11を副走査方向に受光素子アレイ11a、1
1b、11. cと3本配置して受光素子アレイ列を形
成し、各受光素子11′に接続された薄膜トランジスタ
(T1゜1−TN、n)の電荷転送部12と、マトリッ
ク状の多層配線の配線群13と、電荷転送部12から配
線群13を介して設けられたブロック内の受光素子群毎
に対応するn本の共通信号線14と、共通信号線14が
接続する駆動用ICl3内のアナログスイッチ(SWI
〜5Wn)と、共通信号線14に設けられた負荷容量(
C1〜Cn)とから構成されている。
そして、駆動用ICl3からの出力線17はRGB選択
回路]8に接続し、RGB選択回路コ8はRGBそれぞ
れの遅延バッファー19R,19G、19Bに接続し、
遅延バッファー19R,19G、1.9Bは色補正回路
20に接続され、色補正回路20から各色毎の出力結果
が出力される構成となっている。
各受光素子11″の一端は各受光素子アレイ列毎の共通
電極にはVBI、VB2、VB3の電圧が印加され、第
1列の受光素子アレイ11aに接続する電荷転送部12
の薄膜トランジスタ(T P T)から導かれる配線は
、第2列、第3列の受光素子アレイllb、IICに接
続する薄膜トランジスタへ接続する構成となっており、
共通の配線としてマトリックス状の多層配線の配線群〕
3に接続し、受光素子アレイ11のブロック内の受光素
子11″の数の共通信号線14に接続するものである。
また、受光素子アレイ11間の薄膜トランジスタのゲー
ト電極はそれぞれブロック単位に接続され、ブロック毎
に三つのゲート端子GRI−GRN、 GGI〜GGN
、 GBI−GBNが設けられている。
第2図に本実施例に係るカラーイメージセンサの受光素
子11′部分、薄膜トランジスタ部分、それに配線群1
3の一部分の平面説明図を、第3図に本実施例に係るカ
ラーイメージセンサの断面説明図を示し、各構成部分を
説明する。
受光素子11′は、第3図の断面説明図に示すように、
ガラス等の基板21上に下部の共通電極となるクロム(
Cr)等による帯状の金属電極22と、各受光素子】1
′毎に分割形成された水素化アモルファスシリコン(a
−5i:H)から成る光導電層23と、同様に分割形成
された酸化インジウム・スズ(ITO)から成る上部の
透明電極24とが順次積層するサンドイッチ型を構成I
7ている。
尚、ここでは下部の金属電極22は主走査方向に帯状に
形成され、金属電極22の上に光導電層23が離散的に
分割して形成され、上部の透明電極24も同様に離散的
に分割して個別電極となるよう形成されることにより、
光導電層23を金属電極22と透明電極24とて挟んだ
部分が各受光素子11′を構成し、その集まりが受光素
子アレイ11を形成している。
そして、この受光素子アレイ11を副走査方向に3本配
置して受光素子アレイ列が形成される。
透明電極24上の位置には、画像情報を色分離するカラ
ーフィルタ(図示せず)が配置されている。
カラーフィルタは、各受光素子アレイ11で異なる色(
例えば、受光素子11″a上に赤、受光素子11″b上
に緑、受光素子11′C上に青)が配置されている。
また、離散的に分割形成されたそれぞれの透明電極24
の一端にはアルミニウム等の配線30gの一方が接続さ
れ、その配線30aの他方が電荷転送部12の薄膜トラ
ンジスタTi、j (i=l〜N、j=1”−n)のド
レイン電極41に接続されている。また、受光素子コ、
1′において、水素化アモルファスシリコンの代わりに
、CdSe (カドミウムセレン)等を光導電層とする
ことも可能である。このように、光導電層23と透明電
極24を個別化したのは、a−Si:Hの光導電層23
が共通層であると、その共通層のために隣接する電極間
の干渉が起こるので、この干渉を少なくするためである
更に、受光素子11″の光導電層23にa−5i:H,
p−1−nを用いてもよいし、a−3i(、a−5iG
eを用いてもよい。また、上記受光素子11′はフォト
ダイオードであるが、フォトコンダクタ、フォトトラン
ジスタであっても構わない。
また、電荷転送部12を構成する薄膜トランジスタTi
、jは、前記基板21上にゲート電極25としてのクロ
ム(Cr 1)層、ゲート絶縁層26としての窒化シリ
コン膜、半導体活性層27としての水素化アモルファス
シリコン(a−3i:H)層、ゲート電極25に対向す
るように設けられたトップ絶縁層29としての窒化シリ
コン膜、オミックコンタクト層28としてのn上水素化
アモルファスシリコン(n” a−5i : H)層、
ドレイン電極41とソース電極42としてクロム(Cr
2)層を順次積層し、その上にポリイミド等の絶縁層を
介してアルミニウム層30の配線が接続する逆スタガ構
造のトランジスタである。
ここで、オーミックコンタクト層28は、ドレイン電極
41に接触する部分28a層とソース電極42に接触す
る部分28b層とに分離されて形成され、その上のクロ
ム(Cr 2)層もドレイン電極41とソース電極42
とに分離して形成されている。そして、ドレイン電極4
1には受光素子11′の透明電極24からの配線30g
が接続され、ソース電極42には配線群13のアルミニ
ウムの配線30bが接続されている構成となっている。
また、上記半導体活性層27としてpoly−5i等の
別の材料を用いても同様の効果が得られる。
次に、マトリックス状の多層配線の配線群13及び負荷
容量01〜Cnの構成を説明する。
多層配線の配線群13の構成は、下部の縦配線31をク
ロム層で、上部の横配線32をアルミニウム層で形成さ
れ、縦配線31と横配線32の間に窒化シリコンから成
る第1の絶縁層33とポリイミドから成る第2の絶縁層
34を介して、配線層がマトリックス状に配置されてい
る。第2の絶縁層は更に二層にて形成する。絶縁層を多
層にしたのは、配線交差部でのクロストークを低減させ
るためである。そして、上下配線の接続部分は、コンタ
クトホール35で接続されている。また、平行に配列さ
れた配線の間にアース線を配置することで、隣接する配
線間におけるクロストークの発生を防止することもでき
る。
負荷容量CI−Cnの構成は、負荷容量の下部電極31
aとなる個別電極を配線群13の一部を構成する縦配線
31の延長線上に縦配線31と一体にクロムで離散的に
形成し、その上に配線群13の第1の絶縁層33の窒化
シリコンと第2の絶縁層34のポリイミドを延長して絶
縁層を形成する。但し、ここでは第2の絶縁層34は一
層のみで形成することとする。そして、絶縁層34上に
配線群13のの上部の横配線32と同時にアルミニウム
で帯状の負荷容量C1〜Cnの上部電極36部分を形成
する。
上記の下部配線31と負荷容量C1〜Cnの下部部分の
個別電極31aは、同一のフォトリソ工程で作成され、
また上部配線32と負荷容量の上部部分の共通電極36
も同一のフォトリソ工程で作成されるものである。この
ようにして作成された配線群13と負荷容量の上には保
護膜が形成される。
n本の共通信号線14は、配線群]3の横の配線32の
一部から構成され、負荷容量CI −Cnを途中に設置
して駆動用ICl3内のアナログスイッチ5WI−5W
nに接続するよう構成されている。1〜[lの共通信号
線14は、例えば、受光素子アレイ11. aにおいて
はブロック単位の受光素子Pl、1〜円、n、、r’2
.1−P2.n、−=、PN、1〜PN、nのそれぞれ
の電荷を読み出すための共通の信号線としての役割を果
たすもので、受光素子アレイ11b、11Cにおいても
同様の共通の信号線となっている。そして負荷容量01
〜Cnに蓄積された電荷によって共通信号線14の電位
が変化し、この電位値をアナログスイッチSWnの動作
により出力線17(第1図)に抽出するようになってい
る。
RGB選択回路18は、出力線17から出力された結果
が入力され、R(赤)、G(緑)、B(青)の出力結果
毎に分離する回路である。遅延バッファー19R,19
G、19Bは、RGBそれぞれに対応した記憶装置(メ
モリ)となっており、RGB選択回路18からの出力結
果を一時的に記憶し、原稿読取りの走査位置に整合する
ように各色の出力結果を遅延させてパラレルに出力する
ものである。また、色補正回路20は、遅延バッファー
]、9R,19G 、19Bからパラレルに出力される
各色の出力結果について、そのバランスを調整する補正
回路となっており、更にRGB毎にパラレルに出力する
ものである。
次に、本発明に係る一実施例のイメージセンサの駆動方
法について説明する。
受光素子アレイ11上に配置された原稿(図示せず)に
光源(図示せず)からの光が照射されると、その反射光
が各受光素子アレイ列の受光素子11、’(P)に照射
し、原稿の濃淡及び色彩に応じた電荷を発生させ、受光
素子11′の寄生容量等に蓄積される。各受光素子アレ
イlla、11b、llcには、特定の色(赤、緑、青
)の波長のみを通過させるフィルターが設けられている
ため、第1の受光素子アレイllaでは赤色に反応して
電荷を発生し、第2の受光素子アレイllbでは緑色に
反応して電荷を発生し、第3の受光素子アレイllcで
は青色に反応して電荷を発生させるようになっている。
ゲートパルス発生回路(図示せず)からのゲートパルス
φGに基づきTPTがオンの状態になると、フォトダイ
オードPと共通信号線14側を接続し、寄生容量等に蓄
積された電荷を負荷容量CI−Cnに転送蓄積される。
具体的には、第1の受光素子アレイ(赤色対応)11a
における第1ブロックのフォトダイオードP1,1〜P
 1.nに電荷が発生した場合、ゲートパルス発生回路
からゲトバルスφGRIが印加されると、TFTのTl
1−T1.nがオンの状態になり、PI、l −Pi、
nに発生した電荷がマトリックス状の多層配線の配線群
13を経由して、負荷容量C1〜Cnに転送蓄積される
。この後、TPTのT1.1〜T 1.nがオフの状態
になる。上記の場合、フォトダイオドPの寄生容量に比
べ、負荷容量の方が100倍以上大きいので、フォトダ
イオードPのリセットは不要となる。
次に、タイミング発生回路(図示せず)は、駆動用IC
l3の読み出し用のスイッチswi −5Wnに読み出
しスイッチング信号φs1〜φsnを順次印加するとと
もに、これに1タイミングずつ遅れて駆動用ICl3の
リセット用スイッチング素子R81〜R5nにリセット
スイッチング信号φR1〜φRnを順次印加する。これ
により、負荷容量にCI−Cnに蓄積されている電荷は
画像信号として出力線1.7から出力(T out)さ
れる。そして次のブロックのフォトダイオードPに発生
している電荷の転送が行われる。第1の受光素子アレイ
(赤色対応)11aの読み取りが終了すると、上記同様
に、第2の受光素子アレイ(緑色対応)11bの読み取
りを行い、そして、第3の受光素子アレイ(青色対応)
11Cの読み取りを行う。
次に、読み取られた第1〜第3の受光素子アレイ1.1
 a〜llcの画像信号(画像データ)を1本の共通の
出力線17からRGB選択回路18に出力し、RGB選
択回路18で赤、緑、青の各色の画像データに分離し、
遅延バッファー19R119G、19Bに各色の画像デ
ータ毎に記憶され、原稿読取りの走査位置と画像データ
が整合するように制御されて遅延バッファー19R,1
9G。
19Bからパラレルに出力される。そして、パラレルに
出力された画像データについて、各色のバランスの調整
を色補正回路20で行い、各色の画像データをパラレル
に出力する。
更に、遅延バッファー19R119G、19Bにおける
原稿読取りの走査位置と画像データとの整合の制御処理
について、具体的に、第4図の受光素子、電荷転送部及
び配線群の一部の概略説明図と、第5図の読取り順位を
表す図と、第6図の出力線から出力される順位を表す図
と、第7図の遅延バッファーに記憶される状態を表す図
とを使って、説明する。
受光素子と電荷転送部の構成は、第4図に示すように、
受光素子アレイ11aと受光素子アレイ11bの間及び
受光素子アレイ11bと受光素子アレイllcの間には
、電荷転送部12の薄膜トランジスタが形成されている
ために、約1走査分の空きエリアが形成される。そのた
め、例えば、受光素子アレイllaが第1走査目を読む
時には、受光素子アレイllbが第3走査目を読むこと
になり、また受光素子アレイ11Cが第5走査目を読む
ことになってしまう。
そのため、第5図に示すように、受光素子アレイ11c
が第1走査目を読むためには、受光素子アレイllBは
4走査分(R−4,R−3,R−2,R−1)の空読み
をしなければならず、受光素子アレイ11bは2走査分
(G−2,G−1)の空読みをしなければならない。ま
た、受光素子アレイllaが第N走査目を読むためには
、受光素子アレイ11bは2走査分(G N+2.0 
N+1)の空読みをしなければならず、受光素子アレイ
11. cは4走査分(B N+2. B N+2. 
B N+2. B Ni1)の空読みをしなければなら
ない。
本実施例のイメージセンサにおいて、受光素子アレイl
la、llb、llcの走査の順に原稿を読み取った場
合に、出力線17から出力される各色の1走査の画像デ
ータの順位は、第6図に示すようになる。つまり、原稿
の第1走査目に対して4走査分前の空読み走査を受光素
子アレイ11aが読み取って出力線17からR−4とし
て出力し、次に2走査分前の空読み走査を受光素子アレ
イ11bが読み取って出力線17からG−2として出力
し、次に原稿の第1走査目を受光素子アレイ11Cが読
み取って出力線17から81として出力する。そして、
原稿の第N走査目を受光素子アレイ11aが読み取って
出力線17からRNとして出力し、次に原稿の第N走査
目に対して2走査分後の空読み走査を受光素子アレイ1
1bが読み取って出力線17からG N+2として出力
し、次に4走査分後の空読み走査を受光素子アレイ1.
1 cが読み取って出力線17からB N+4として出
力する。
このように出力線17から出力された画像ブタは、RG
B選択回路18にて各色毎に分離されて、RGBそれぞ
れの遅延バッファー19R,19に、19Bに記憶され
る。遅延バッファー19R,19G、19Bに画像デー
タが記憶される状態を表しているのが第7図である。遅
延バッファー19Rにおいては、バッファー先頭に4走
査分不要な画像データを保持しており、遅延バッファー
19Gにおいては、バッファー先頭に2走査分不要な画
像データを保持している。そこで、遅延バッファー19
Hにおいては、先頭から4走査分遅れて出力するように
し、遅延バッファー19Gにおいては、先頭から2走査
分遅れて出力するようにし、更に遅延バッファー19G
においては、末尾から2走査分を出力しないようにし、
遅延バッファー19Bにおいては、末尾から4走査分を
出力しないようにする。これによって、各色の画像デー
タと原稿読取りの走査位置とを揃えて出力することがで
きる。
本実施例のカラーイメージセンサによれば、受光素子1
1′に発生した電荷をブロック単位に共通信号線14か
ら順次読み出すことかできるため、1個の駆動用ICl
3で画像信号を出力することが可能であり、駆動用IC
が1個で足りるためコスト高とならない効果があり、ま
た1個の駆動用ICl3に共通信号線14をワイヤーボ
ンディング等で接続するようにしているのでワイヤーボ
ンディングの本数を少なくできて、イメージセンサの信
頼性を向上させることができる効果があり、更に受光素
子11″で発生した電荷を負荷容量01〜Cnに転送し
て共通信号線14から読み出すようにしているので、出
力電圧にバラツキが生じることが少ないとの効果がある
また、本実施例のカラーイメージセンサの駆動方法によ
れば、受光素子アレイlla、llb。
】、1Cで読み取った画像信号(画像データ)を遅延バ
ッファー19R,19G、19Bに記憶し、遅延バッフ
ァー19Rにおいて4走査分遅らせて画像データを出力
し、遅延バッファー19Gにおいて2走査分遅らせて画
像データを出力するようにしているので、受光素子アレ
イ11a、11b111cで読み取った走査位置を揃え
てパラレルに出力することかできる効果がある。
本実施例のイメージセンサの駆動方法においては、1走
査毎に1走査分を読み取って、遅延バッファーに各色毎
に記憶し、遅延バッファーで1走査分の出力タイミング
を制御して、画像データと原稿の読取り走査位置との整
合性を図るようにしていたが、別の実施例として、各受
光素子アレイのブロック単位に遅延バッファーに記憶し
、ブロック単位に出力データを制御して、出力データと
原稿の読取り走査位置との整合性を図るようにする駆動
方法も考えられる。
具体的には、第1列の受光素子アレイ1la(赤)の第
1ブロックの受光素子11′で発生した電荷を電荷転送
部12のスイッチング素子をオンにして、共通信号線1
4に転送し、共通信号線14の電位を駆動用ICで読み
取って出力線17に出力し、RGB選択回路18を経由
して遅延バッファー19Hに記憶し、次に第2列の受光
素子アレイ11b(緑)の第1ブロックについても同様
の処理を行い、次に第3列の受光素子アレイIIC(青
)の第1ブロックについても同様の処理を行い、この動
作を第1ブロックから第Nブロックまで行うようにし、
そして原稿を移動させて次の走査位置についても第1ブ
ロックから第Nブロックまでの読取り記憶処理を行う。
但し、受光素子アレイ11aと受光素子アレイ11bと
の間及び受光素子アレイ11. bと受光素子アレイ1
1Cとの間には約1走査分の空きエリアが存在するため
、受光素子アレイllaか第1走査目の第1ブロックを
読む時に、受光素子アレイllbは第3走査目の第1ブ
ロックを読むことになり、受光素子アレイ11cは第5
走査目の第1ブロックを読むことになる。
従って、受光素子アレイ1 ]、 aにおいては、4走
査分の空読みを第1ブロック〜第Nブロックまで行い、
受光素子アレイ11bにおいては、2走査分の空読みを
第1ブロック〜第Nブロックまで行い、遅延バッファー
191?においてバッファー先頭から4走査分の第1ブ
ロック〜第Nブロックまでの出力データを遅延させ、遅
延バッファー19Gにおいてバッファー先頭から2走査
分の第1ブロック〜第Nブロックまでの出力データを遅
延させるようにし、更に遅延バッファー1.9Gにおい
てはバッファー末尾から2走査分を出力l〜ないように
し、遅延バッファー19Bにおいてはバッファー末尾か
ら2走査分を出力しないようにすれば、…カデータと原
稿の読取り走査位置との整合性を図ることができる。そ
して、色補正回路20で出力データの色のバランスを調
整し、ブロック単位でパラレルに出力するものである。
また、上記本実施例と別の実施例に示した2つのイメー
ジセンサの駆動方法は、以下に説明する別の実施例のイ
メージセンサにも応用できる。
このイメージセンサは、複数の受光素子を1ブロックと
して複数ブロックを主走査方向にライン状に配列して成
る受光素子アレイを副走査方向に複数列並設した受光素
子アレイ列と、前記受光素子で発生した電荷をブロック
毎に転送する複数のスイッチング素子と、前記電荷を画
像信号として出力する駆動用ICとを有するイメージセ
ンサにおいて、前記1列の受光素子アレイのスイッチン
グ素子と別列の受光素子アレイのスイッチング素子とを
ブロック単位に副走査方向に対応するよう接続して共通
の配線とし、前記受光素子アレイ列の副走査方向に対応
するブロック内のスイッチング素子を接続する前記共通
の配線と隣接するブロック内のスイッチング素子を接続
する前記共通の配線とをそれぞれ距離の近い順に配線で
接続し、前記受光素子アレイ列におけるブロック内のス
イッチング素子に接続する前記共通の配線から隣接する
両方のブロック内のスイッチング素子に接続する前記共
通の配線への配線の接続は前記受光素子アレイ列の主走
査方向に対して互いに反対側に位置するように接続し、
前記接続された配線の長さの短い順に前記配線を前記受
光素子アレイ列に近い順で配置したことを特徴としてい
る。
次に、上記カラーイメージセンサの等缶口略図を第8図
に示し、その構成を説明する。第1図と同様の構成をと
る部分については同一の符号を使って説明する。
第8図に示すように、このカラーイメージセンサは、ガ
ラス等の絶縁性の基板上に併設されたn個のサンドイッ
チ型の受光素子(フォトダイオドP)11’を1ブロッ
クとし、このブロックをN個有してなる受光素子アレイ
11.(PI、1〜PN、n)とし、この受光素子アレ
イ11を副走査方向に受光素子アレイlla、11.b
、11Cと3本配置して受光素子アレイ列を形成し、受
光素子アレイ11aには赤(R)色光を透過させるフィ
ルタが設けられ、受光素子アレイ11bには緑(G)色
光を透過させるフィルタが設けられ、受光素子アレイl
lcには青(B)色光を透過させるフィルタが設けられ
、各受光素子11″に接続された薄膜トランジスタ(T
l、1−TN、n)の電荷転送部12と、隣接するブロ
ック内の電荷転送部12相互を接続する配線群13と、
電荷転送部12から配線群13を介してブロック内の受
光素子群毎に対応するn本の共通信号線14と、共通信
号線14が接続する駆動用ICl3と、駆動用ICl3
内でn本の共通信号線14の電位を出力線17(COM
)に時系列的に抽出するためのアナログスイッチ(SW
I〜5Wn)とから構成されている。
各受光素子11′の一端は各受光素子アレイ毎の共通電
極からVBI、VB2、VB3の電圧が印加され、第1
列の受光素子アレイllaの各受光素子11′に接続す
る電荷転送部12の薄膜トランジスタ(T P T)か
ら導かれる配線は、第2列、第3列の受光素子アレイl
lb、llcに接続する薄膜トランジスタへ接続する構
成となっており、共通の配線として配線群13に接続し
、受光素子アレイ11のブロック内の受光素子11′の
数の共通信号線14に接続するものである。また、受光
素子アレイ11間の薄膜トランジスタのゲート電極はそ
れぞれブロック単位に接続され、ブロック毎にゲート端
子が設けられ、3列の受光素子アレイ11 a s 1
1 b −11cに対応してゲート端子GRI−GRN
、 GGI−GGN、 GBI−GBNが設けられてい
る。
第9図にカラーイメージセンサの受光素子11′部分、
薄膜トランジスタ部分、それに配線群13の一部分の平
面説明図を示し、各構成部分を説明する。尚、第2図と
同様の構成をとる部分については、同一の符号を付して
説明する。
受光素子11′の構成及び電荷転送部12を構成する薄
膜トランジスタ<Ti、j>の構成は、第1図〜第3図
のイメージセンサにおいて説明したものと同様である。
ここで、第1列の受光素子アレイllaの各受光素子1
1′に接続する電荷転送部12の薄膜トランジスタと、
第2列の受光素子アレイ11bにおける薄膜トランジス
タと、それに第3列の受光素子アレイ11Cにおける薄
膜トランジスタとの間の接続関係について第9図を使っ
て説明すると、第1列〜第3列の受光素子アレイ11 
a〜llc内の電荷転送部12の薄膜トランジスタのソ
ース電極42は、ブロック単位に副走査方向に対応する
ように、それぞれ共通信号線14となるアルミニウムの
配線30bで接続されている。つまり、共通信号線14
が薄膜トランジスタのソース電極42に接続しながら通
過していく形となっている。
第8図のイメージセンサにおける配線群13の構成を、
第8図から第10図を参照しながら詳細に説明する。
配線群13の構成は、例えば第8図に示すように、第1
ブロックの下側に位置する駆動用ICl5aから共通信
号線14(信号線1′〜n′)が導き出され、当該信号
線1′〜n′には途中受光素子アレイ1l−as ll
b、1.1cのそれぞれの第1ブロックの薄膜トランジ
スタ71.1−TI、nのソース電極42がそれぞれ接
続し、第9図の受光素子と薄膜トランジスタ、それに配
線群の一部の平面説明図に示すように、受光素子11′
と隣接する受光素子1−1′の間をポリイミド等の絶縁
層の上をアルミニウム(Al)の金属配線で信号線1′
〜n′を通過させ、受光素子アレイ列の上側を第2ブロ
ック方向に信号線1′〜n′が延び、更に再び受光素子
11′と隣接する受光素子11′の間をポリイミド等の
絶縁層の上をAIの金属配線で信号線1′〜n′を通過
させ、途中受光素子アレイlla、llb、11cのそ
れぞれの第2ブロックの薄膜トランジスタT2.n−7
2,1のソース電極42がそれぞれ接続するようになっ
ている。
具体的には、信号線1′には受光素子アレイ11c、l
lb、llaの第1ブロックの薄膜トランジスタT1,
1のソース電極42がそれぞれ接続し、そして受光素子
アレイlla、1.1b、]−1Cの第2ブロックの薄
膜トランジスタT2.nのソース電極42がそれぞれ接
続し、また信号線2′には受光素子アレイ1.1 c 
s 11 b −11aの第1ブロックの薄膜トランジ
スタTI、2のソース電極42がそれぞれ接続し、受光
素子アレイ118111b、llcの第2ブロックの薄
膜トランジスタT2.n−1のソース電極42がそれぞ
れ接続するように、隣接するブロックにおいて遠い順に
薄膜トランジスタTのソース電極42同士が信号線を経
由して接続し、そして信号線n′には受光素子アレイl
lc、llb、llaの第1ブロックの薄膜トランジス
タTI、nのソース電極42がそれぞれ接続し、受光素
子アレイlla、11. b、11cの第2ブロックの
薄膜トランジスタT2,1のソース電極42がそれぞれ
接続することとなる。
逆に言えば、隣接するブロック間において距離の近い薄
膜トランジスタTのソース電極42同士が信号線で順次
接続されるようにする。
この場合、第10図の配線群の概略図に示すように、第
1ブロックと第2ブロックの間を接続した信号線の配線
は、その距離が短い順に受光素子アレイ列に沿って(主
走査方向に)、受光素子アレイ列に近づけて受光素子ア
レイl1gの上側に配置するようにする。具体的に説明
すると、最も短い信号線n′が受光素子アレイllaに
最も近くに配置され、次に信号線nI   1が受光素
子アレイllaに2番目に近く配置され、このようにし
て最も長い信号線1′が配線群]3の内で一番外側に配
置されることになる。以上のような構成になっているの
で、第1ブロックと第2ブロックの間には信号線同士が
交差することがなく、クロストークの心配がない。
次に、第2ブロックと第3ブロックとの間の配線群13
の具体的構成を説明する。受光素子アレイ列の第2ブロ
ックの薄膜トランジスタT2,1〜T 2.nのそれぞ
れのソース電極42と、受光素子アレイ列の第3ブロッ
クの薄膜トランジスタT3゜n−T:11.lのそれぞ
れのソース電極42とは受光素子アレイ列の下側に配置
された信号線n 〜1′によってそれぞれ接続されてい
る。具体的には、信号線n′には受光素子アレイ11.
a、llb、]−1cの第2ブロックの薄膜トランジス
タT2,1のソース電極42がそれぞれ接続し、受光素
子アレイIlc、1lbs  llaの第3プロ、ツク
の薄膜トランジスタT 3.nのソース電極42がそれ
ぞれ接続し、また信号線n′−1には受光素子アレイ1
1.a、llb、1.1 cの第2ブロックの薄膜トラ
ンジスタT2.2のソース電極42がそれぞれ接続し、
受光素子アレイ11. a、llb、IICの第3ブロ
ックの薄膜トランジスタT3.n−1のソース電極42
かそれぞれ接続する。このように隣接するブロックにお
いて遠い順に薄膜トランジスタTのソース電極42同士
を信号線で接続し、そして受光素子アレイ11. C1
1lb、11aの第2ブロックの薄膜トランジスタT2
.nのソース電極42と受光素子アレイ11a、11 
b、11Cの第3ブロックの薄膜!・ランジスタT3.
1のソース電極42とは信号線1′によってそれぞれ接
続されることになる。逆に言えば、隣接するブロック間
において距離の近い薄膜トランジスタTのソース電極4
2同士を信号線で順次接続されるようにする。
この場合、第10図に示すように、第2ブロックと第3
ブロックの間を接続した信号線の配線は、その距離が短
い順に受光素子アレイ列に沿って(主走査方向に)、受
光素子アレイ列に近づけて受光素子アレイ11Cの下側
に配置するようにする。具体的に説明すると、最も短い
信号線1′が受光素子アレイ11Cに最も近くに配置さ
れ、次に信号線2′が受光素子アレイ11Cに2番目に
近く配置され、このようにして最も長い信号線n′が配
線群13の内で一番外側に配置されることになる。以上
のような構成になっているので、第2ブロックと第3ブ
ロックの間には信号線同士が交差することがなく、クロ
ストークの心配がない。
全体の様子を第10図の概略図を示すと、奇数ブロック
から偶数ブロックへと配線群13の信号線で接続する場
合は、受光素子アレイ11 aの上側に配置され、偶数
ブロックから奇数ブロックへと配線群13の信号線で接
続する場合は、受光素子アレイllcの下側に配置され
る。そのため、奇数ブロックから偶数ブロックへの配線
群13と偶数ブロックから奇数ブロックへの配線群13
とが交差することがなく、クロストークの心配がない。
本実施例においては、第Nブロックを偶数ブロックであ
るとすると、第1ブロックの下側に駆動用IC15aを
設けたのと同様に、偶数ブロックの第Nブロックの下側
に駆動用IC15bを設ける。ここで、駆動用IC15
a内のアナログスイッチS Wl −S Wnには、信
号線1′〜n′の順で接続されでいる。そして、第Nブ
ロックの薄膜トランジスタTN、l〜TN、nのソース
電極42がそれぞれ接続する信号線は駆動用IC15b
に接続されるが、駆動用IC15b内のアナログスイッ
チ5WI−5Wnには、駆動用IC15aから続いてい
る信号線が信号線n 〜1′の順でそれぞれ接続される
ことになる。
駆動用IC15a、15b内のアナログスイッチS W
l = S Wnに接続される0本の共通信号線14は
、配線群13から引き出され、この配線群13の信号線
の配線中に蓄積された電荷によって共通信号線14の電
位が変化し、この電位値をアナログスイッチの動作によ
り出力線17(COMl、2)に抽出するようになって
いる。ここで、駆動用IC15a、15bにおいては、
アナログスイッチSW1〜SWnの順で信号線の電位値
を読み出すこととなっている。
次に、本発明に係る一実施例のイメージセンサの駆動方
法について説明する。
受光素子アレイ]1上に配置された原稿(図示せず)に
光源(図示せず)からの光が照射されると、その反射光
が受光素子(フォトダイオードP)に照射し、原稿の濃
淡に応じた電荷を発生させ、受光素子11′の寄生容量
等に蓄積される。ゲートパルス発生回路(図示せず)か
らゲート信号線Gを経由して伝達されたゲートパルスφ
Gに基づき薄膜トランジスタTがオンの状態になると、
フォトダイオードPと共通信号線14側を接続して受光
素子11′の寄生容量等に蓄積された電荷を配線群13
の配線容量に転送蓄積される。
具体的に受光素子アレイllaの第1ブロックのフォト
ダイオードP1,1〜P 1.nに電荷が発生した場合
について説明すると、ゲートパルス発生回路からゲート
パルスφGRIが印加されると、受光素子アレイ1.1
 aの第1ブロック内の薄膜トランジスタTI、1 =
TI、nがオンの状態になり、受光素子アレイ11aの
フォトダイオードPi、1〜Pi、nに発生した電荷が
共通信号線14全般に均一に分散して転送蓄積される。
つまり、フォトダイオードPi、1の電荷は信号線1′
全般の配線容量へ、フォトダイオードP1.2の電荷は
信号線2′全般の配線容量へ、そしてフォトダイオード
P1、nの電荷は信号線n′全全般配線容量へと転送蓄
積される。
そして、配線容量へ転送蓄積された電荷によって共通信
号線]、4の電位が変化し、これを駆動用ICl3で読
み出し、このようにして、受光素子アレイllaの第2
〜MNブロックの電荷の転送、読み出しを行い、次に受
光素子アレイ11b、】1cの出力を行うことになる。
次に、第8図と第10図に示す実施例では2個の駆動用
IC1,5a、15bを設けているため、2個の駆動用
IC15a、15b相互の動作関係を説明する。
2個の駆動用IC15a、15bは、第11図に示すよ
うにそれぞれ接続されていて、駆動用IC15aには外
部より配線容量に生じる電位の読み出しを開始するスタ
ート信号φSを読み込む構成となっており、スタート信
号φSを信号読み込み端子STIで読み込むと、第1ブ
ロックに関する配線容量の電位を駆動用IC15a内に
読み込み、駆動用IC15a内のスイッチSWI〜SW
nを順次オンにして第1ブロックのフォトダイオードP
I、I 〜PI、nで発生し、信号線I J 〜nの配
線容量に蓄積された電荷をCOMIより読み出すことと
なる。
第1ブロックの読み出しが終了した場合、信号が駆動用
I C15a内の信号発生端子CRIから駆動用IC1
5b内の信号読み込み端子ST2及びC52に伝達され
、当該信号を受は取った駆動用IC15bは、駆動用I
C15b内のスイッチSW1〜SWnを順次オンにして
第2ブロックのフォトダイオードP2,1−P2.nで
発生し、信号線1′〜n′の配線容量に蓄積された電荷
をC0M2より読み出すこととなる。端子ST2と端子
C82は、内部でOR回路に接続されているため、いず
れか一方に信号が入力されると、駆動用IC15bが動
作可能な状態となり、1ブロック(ここでは第2ブロッ
ク)の電荷を読むよう作動する。
さらに、第2ブロックの読み出しが終了した場合、信号
が駆動用IC15b内の信号発生端子CR2から駆動用
IC15a内の信号読み込み端子C3Iに伝達され、当
該信号を受は取った駆動用IC15aは、第3ブロック
に関する電荷をC0M1より読み出すこととなる。端子
C81も端子C52と同様に信号が伝えられると、1ブ
ロック(ここでは第3ブロック)の電荷を読むよう作動
する。
このようにして、受光素子アレイ11の第1ブロックか
ら第Nブロックまでの電荷を駆動用IC15aのCOM
Iと駆動用I C1,5bのC0M2から交互にCOM
に読み出すこととなっており、CRIから信号が発生し
た時は、COMIからの出力はC8Iに信号が入るまで
オフの状態になり、同様に、CR2から信号が発生した
時は、C0M2からの出力はC82に信号が入るまでオ
フの状態になる。
駆動用IC15a、15bには、外部から一定間隔でク
ロックパルスφCkが送り込まれており、上記COMI
とC0M2からの交互の出力動作によって、第Nブロッ
クの電荷の読取りを行って、駆動用ICの動作が終了し
、原稿の1ラインの読取りが終了する。
そして、COMIとC0M2を連結させて、COMIと
C0M2から交互にCOMに出力された画像信号は、第
1ブロックから第Nブロックまでの全体の画像信号とな
る。
このように、駆動用IC15aで奇数ブロックに関する
電荷を読み出し、駆動用IC15bで偶数ブロックに関
する電荷を読み出すようにしているのは、第12図で示
す奇数偶数ブロックにおける電荷の読み出し順位(方向
)か反対になるからである。つまり、駆動用IC15a
は、信号線1〜n′に蓄積された電荷をアナログスイッ
チSW1〜SWnで信号線1′〜n′の順で読み取り、
COMIより出力するようになっているので、第1ブロ
ック〜第Nブロックの電荷を読み出そうとすれば、奇数
ブロックではフォトダイオードPの1番目〜n番目の電
荷が信号線1′〜n′に蓄積されるため、信号線1′〜
n′の順で読み出すようになっているか、偶数ブロック
ではフォトダイオードPの1番目〜n番目の電荷が信号
線n′〜1′に蓄積されるため、信号線n′〜1′の順
で読み出すようになるので、偶数ブロックでは信号の読
み出し順序か逆になる。そこで、駆動用IC15aでは
奇数ブロックでの電荷のみを選択的に読み出すこととす
る。
その反対に、駆動用IC15bでは偶数ブロックでの電
荷を読み出しが正常に行われる。つまり、偶数ブロック
ではフォトダイオードPの1番目〜n番目の電荷が信号
線n′〜1′に蓄積されるが、駆動用IC15bでは信
号線n′〜]′の電荷の順で読み取り、C0M2で出力
するようになっているので、C0M2には、偶数ブロッ
クのフォトダイオードPの1番目〜n番目で発生した電
荷を画像信号として出力されることになる。逆に、奇数
ブロックにおいてはフォトダイオードPのn番目〜1番
目で発生した電荷を画像信号として出力されることにな
る。そのため駆動用IC15bては偶数ブロックでの電
荷のみを選択的に読み出すこととする。
以上のように駆動用IC15a、15bがそれぞれ奇数
、偶数ブロックを選択的にCOMIとC0M2から出力
し、それらを交互に総合(2てCOMより出力すると、
第12図のCOMに示すように、第1ブロック〜第Nブ
ロックの画像信号を順次出力するができる。
このように出力された]走査分の画像信号(画像データ
)は、マトリックス配線構造のカラーイメージセンサに
おいて説明したように、RGB選択回路18で各色のデ
ータに分離され、各色毎の遅延バッファー19R119
G、19Bに記憶され、遅延バッファー19Rを4走査
分遅延させ、遅延バッファー19Gを2走査分遅延させ
て色補正回路20にパラレルに出力し、色補正回路20
にて各色のバランスを調整してパラレルに出力するよう
にする。
これにより、各受光素子アレイ11て読み取られた画像
データを原稿読取りの走査位置に整合させ、各色を揃え
てパラレルに出力できるようになる。
また、マトリックス配線構造のカラーイメージセンサの
駆動方法において別の実施例として説明したように、R
GBの画像データを1走査単位で処理するのではなく、
受光素子アレイ列のブロック単位にブロック毎のデータ
として遅延バッファー19に記憶し、各受光素子アレイ
のブロック毎のデータをパラレルに出力するようにして
も、各受光素子アレイ11で読み取られた画像データを
原稿読取りの走査位置に整合させて出力できる。
更に、上記実施例のカラーイメージセンサの駆動方法に
おいては、駆動用ICを2個設けて、方の駆動用IC1
5aで奇数ブロックで発生した電荷を読み出すようにし
、他方の駆動用IC15bで偶数ブロックで発生した電
荷を読み出すようにして、両方の駆動用ICからの出力
を合成させて画像信号としてたが、第13図のイメージ
センサの概略説明図に示すように、1個の駆動用ICを
用いて画像信号を出力することにし、出力線17からR
GB選択回路18に接続する前に信号順切換回路40を
設け、この信号順切換回路40にて偶数ブロックのn〜
1ビット順に出力される信号を逆順序にてRGB選択回
路18に出力するようにすれば、駆動用IC1個でセン
サを駆動することが可能となる。
(発明の効果) 請求項1記載の発明によれば、複数の受光素子を1ブロ
ックとして複数ブロックを主走査方向にライン状に配列
した受光素子アレイを副走査方向に複数列並設した受光
素子アレイ列と、受光素子に接続し、各受光素子で発牛
した電荷をブロック毎に転送するための複数のスイッチ
ング素rと、スイッチング素子にそれぞれ接続する配線
と、配線に転送された電荷を時系列に出力する駆動用I
Cと、出力結果を記憶するメモリとを有するイメージセ
ンサを、受光素子アレイの1走査についてブロック単位
にブロック内のスイッチング素子をオンして配線に電荷
を転送し、配線に転送された電荷を駆動用ICからブロ
ンク毎に順次時系列に出力してメモリに記憶し、他の複
数の受光素子アレイの1走査についても同様の動作を行
い、メモリに記憶された出力結果を読取り走査位置に整
合するように1走査分の出力をメモリから選択して出力
するイメージセンサの駆動方法にしているので、各受光
素子アレイの読取り走査位置と出力結果の整合性を図る
ことができる効果がある。
請求項2記載の発明によれば、複数の受光素子を1ブロ
ックとして複数ブロックを主走査方向にライン状に配列
した受光素子アレイを副走査方向に複数列並設した受光
素子アレイ列と、受光素子に接続し、各受光素子で発牛
した電荷をブロック毎に転送するための複数のスイッチ
ング素子と、スイッチング素子にそれぞれ接続する配線
と、配線に転送された電荷を時系列に出力する駆動用I
Cと、出力結果を記憶するメモリとを有するイメジセン
サを、受光素子アレイの1ブロックについてブロック内
のスイッチング素子をオンして配線に電荷を転送し、配
線に転送された電荷を駆動用ICから時系列に出力して
メモリに記憶し、他の複数の受光素子アレイの1ブロッ
クについても同様の動作を行い、メモリに記憶された出
力結果を読取り走査位置に整合するように1ブロック分
の出力をメモリがち選択して出力するイメージセンサの
駆動方法とlでいるので、各受光素子アレイの読取り走
査位置乏出力結果の整合性を図ることができる効果があ
る。
請求項3記載の発明によれば、複数の受光素子を1ブロ
ックとして複数ブロックを主走査方向にライン状に配列
した受光素子アレイを副走査方向に複数列並設した受光
素子アレイ列と、受光素子に接続し、各受光素子で発生
した電荷をブロック毎に転送するための複数のスイッチ
ング素子と、副走査方向のスイッチング素子にブロック
中位でそれぞれ接続し、副走査方向に対応するブロック
内のスイッチング素子と隣接するブロック内のスイッチ
ング素子とをそれぞれ距離の近い順に接続し、ブロック
内のスイッチング素子から隣接する両方のブロック内の
スイッチング素子へは受光素子アレイ列の主走査方向に
互いに反対側に位置するように接続し、接続距離の短い
順に受光素子アレイ列に近い順に配置する配線と、配線
に転送された電荷を時系列に出力する駆動用ICと、出
力結果を記憶するメモリとを有するイメージセンサを、
受光素子アレイの1走査についてブロック単位にブロッ
ク内のスイッチング素子をオンして配線に電荷を転送]
5、配線に転送された電荷を駆動用ICからブロック毎
に順次時系列に出力してメモリに記憶し、他の複数の受
光素子アレイの1走査についても同様の動作を行い、メ
モリに記憶された出力結果を読取り走査位置に整合する
ように1走査分の出力をメモリから選択して出力するイ
メージセンサの駆動方法としているので、各受光素子ア
レイの読取り走査位置と出力結果の整合性を図ることが
できる効果がある。
請求項4記載の発明によれば、複数の受光素子を1ブロ
ックとして複数ブロックを主走査方向にライン状に配列
した受光素子アレイを副走査方向に複数列並設した受光
素子アレイ列と、受光素子に接続し、各受光素子で発生
した電荷をブロック毎に転送するための複数のスイッチ
ング素子と、副走査方向のスイッチング素子にブロック
単位でそれぞれ接続し、副走査方向に対応するブロック
内のスイッチング素子と隣接するブロック内のスイッチ
ング素子とをそれぞれ距離の近い順に接続し、ブロック
内のスイッチング素子から隣接する両方のブロック内の
スイッチング素子へは受光素子アレイ列の主走査方向に
互いに反対側に位置するように接続し、接続距離の短い
順に受光素子アレイ列に近い順に配置する配線と、配線
に転送された電荷を時系列に出力する駆動用ICと、出
力結果を記憶するメモリとを有するイメージセンサを、
受光素子アレイの1ブロックについてブロック内のスイ
ッチング素子をオンして配線に電荷を転送し、配線に転
送された電荷を駆動用ICから時系列に出力してメモリ
に記憶し、他の複数の受光素子アレイの1ブロックにつ
いても同様の動作を行い、メモリに記憶された出力結果
を読取り走査位置に整合するように1ブロック分の出力
をメモリから選択して出力するイメージセンサの駆動方
法としているので、各受光素子アレイの読取り走査位置
と出力結果の整合性を図ることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本実施例に係るカラーイメージセンサの等価回
路図、第2図は本実施例に係るカラーイメージセンサの
受光素子、電荷転送部及び配線群の一部の平面説明図、
第3図は本実施例に係るカラーイメージセンサの断面説
明図、第4図は受光素子、電荷転送部及び配線群の一部
の概略説明図、第5図は読取り順位を表す図、第6図は
出力線から出力される順位を表す図、第7図は遅延バッ
ファーに記憶される状態を表す図、第8図は別の実施例
のカラーイメージセンサの等価回路図、第9図は別の実
施例のカラーイメージセンサの受光素子部分、薄膜トラ
ンジスタ部分、配線群の一部の平面説明図、第10図は
別の実施例のカラーイメージセンサの配線群の概略図、
第11図は別の実施例のカラーイメージセンサの駆動用
ICの接続構成図、第12図は第11図の駆動用ICか
らの出力説明図、第13図はもう一つ別のカラーイメー
ジセンサの概略説明図、第14図は従来のカラーイメー
ジセンサの平面説明図、第15図は第14図のA−A’
線断面説明図、第16図は第14図のカラーイメージセ
ンサの駆動回路説明図、第17図は画像読み取り動作を
説明するための図である。 11・・・・・・受光素子アレイ 12・・・・・・電荷転送部 13−・・・・・配線群 14・・・・・・共通信号線 15・・・・・・駆動用IC 17・・・・・・出力線 18・・・・・・RGB選択回路 19・・・・・・遅延バッファー 20・・・・・・色補正回路 21・・・・・・基板 22・・・・・・金属電極 23・・・・・・光導電層 24・・・・・・透明電極 25・・・・・・ゲート電極 26・・・・・・ゲート絶縁層 27・・・・・・半導体活性層 28・・・・・・オーミックコンタクト層29・・・・
・・トップ絶縁層 30・・・・・・アルミニウム層 31・・・・・・縦配線 32・・・・・・横配線 33・・・・・・第1の絶縁層 34・・・・・・第2の絶縁層 35・・・・・・コンタクトホール 36・・・・・・上部電極 40・・・・・・信号順位切換回路 41・・・・・・ドレイン電極 42・・・・〜ソース電極 ′−″−−〜−〕

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数の受光素子を1ブロックとして複数ブロック
    を主走査方向にライン状に配列した受光素子アレイを副
    走査方向に複数列並行に設けた受光素子アレイ列と、前
    記受光素子にそれぞれ接続し、前記受光素子で発生した
    電荷をブロック毎に転送する複数のスイッチング素子と
    、前記スイッチング素子にそれぞれ接続し、前記転送さ
    れた電荷を保有する複数の配線と、前記配線に接続し、
    前記電荷を時系列に出力する駆動用ICと、前記出力結
    果を記憶するメモリとを有するイメージセンサの駆動方
    法において、 前記受光素子で発生した電荷を前記受光素子アレイの1
    走査についてブロック単位に前記スイッチング素子をオ
    ンにして前記配線に転送し、前記駆動用ICからブロッ
    ク毎に順次時系列に出力する動作を複数の受光素子アレ
    イについて複数回行い、それぞれの出力結果を前記メモ
    リに記憶し、読取り走査位置が整合するように前記複数
    の受光素子アレイの1走査分の出力を前記メモリから選
    択して読み出すことを特徴とするイメージセンサの駆動
    方法。
  2. (2)複数の受光素子を1ブロックとして複数ブロック
    を主走査方向にライン状に配列した受光素子アレイを副
    走査方向に複数列並行に設けた受光素子アレイ列と、前
    記受光素子にそれぞれ接続し、前記受光素子で発生した
    電荷をブロック毎に転送する複数のスイッチング素子と
    、前記スイッチング素子にそれぞれ接続し、前記転送さ
    れた電荷を保有する複数の配線と、前記配線に接続し、
    前記電荷を時系列に出力する駆動用ICと、前記出力結
    果を記憶するメモリとを有するイメージセンサの駆動方
    法において、 前記受光素子で発生した電荷を前記受光素子アレイの1
    ブロックについて前記スイッチング素子をオンにして前
    記配線に転送し、前記駆動用ICから1ブロック分の出
    力を行う動作を複数の受光素子アレイについて複数回行
    い、それぞれの出力結果を前記メモリに記憶し、読取り
    ブロック位置が整合するように前記複数の受光素子アレ
    イの各ブロック分の出力を前記メモリから選択して読み
    出すことを特徴とするイメージセンサの駆動方法。
  3. (3)複数の受光素子を1ブロックとして複数ブロック
    を主走査方向にライン状に配列した受光素子アレイを副
    走査方向に複数列並行に設けた受光素子アレイ列と、前
    記受光素子にそれぞれ接続し、前記受光素子で発生した
    電荷をブロック毎に転送する複数のスイッチング素子と
    、前記各受光素子アレイ内のスイッチング素子を副走査
    方向にブロック単位でそれぞれ接続し、副走査方向に対
    応するブロック内のスイッチング素子と隣接するブロッ
    ク内のスイッチング素子とをそれぞれ距離の近い順に接
    続し、ブロック内のスイッチング素子から隣接する両方
    のブロック内のスイッチング素子へは前記受光素子アレ
    イ列の主走査方向に互いに反対側に位置するように接続
    し、接続の距離の短い順に前記受光素子アレイ列に近い
    順に配置し、前記転送された電荷を保有する複数の配線
    と、前記配線に接続し、前記電荷を時系列に出力する駆
    動用ICと、前記出力結果を記憶するメモリとを有する
    イメージセンサを、前記受光素子で発生した電荷を前記
    受光素子アレイの1走査についてブロック単位に前記ス
    イッチング素子をオンにして前記配線に転送し、前記駆
    動用ICからブロック毎に順次時系列に出力する動作を
    複数の受光素子アレイについて複数回行い、それぞれの
    出力結果を前記メモリに記憶し、読取り走査位置が整合
    するように前記複数の受光素子アレイの1走査分の出力
    を前記メモリから選択して読み出すことを特徴とするイ
    メージセンサの駆動方法。
  4. (4)複数の受光素子を1ブロックとして複数ブロック
    を主走査方向にライン状に配列した受光素子アレイを副
    走査方向に複数列並行に設けた受光素子アレイ列と、前
    記受光素子にそれぞれ接続し、前記受光素子で発生した
    電荷をブロック毎に転送する複数のスイッチング素子と
    、前記各受光素子アレイ内のスイッチング素子を副走査
    方向にブロック単位でそれぞれ接続し、副走査方向に対
    応するブロック内のスイッチング素子と隣接するブロッ
    ク内のスイッチング素子とをそれぞれ距離の近い順に接
    続し、ブロック内のスイッチング素子から隣接する両方
    のブロック内のスイッチング素子へは前記受光素子アレ
    イ列の主走査方向に互いに反対側に位置するように接続
    し、接続の距離の短い順に前記受光素子アレイ列に近い
    順に配置し、前記転送された電荷を保有する複数の配線
    と、前記配線に接続し、前記電荷を時系列に出力する駆
    動用ICと、前記出力結果を記憶するメモリとを有する
    イメージセンサを、前記受光素子で発生した電荷を前記
    受光素子アレイの1ブロックについて前記スイッチング
    素子をオンにして前記配線に転送し、前記駆動用ICか
    ら1ブロック分の出力を行う動作を複数の受光素子アレ
    イについて複数回行い、それぞれの出力結果を前記メモ
    リに記憶し、読取りブロック位置が整合するように前記
    複数の受光素子アレイの各ブロック分の出力を前記メモ
    リから選択して読み出すことを特徴とするイメージセン
    サの駆動方法。
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