JPH0393482A - 振動波駆動装置 - Google Patents
振動波駆動装置Info
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- JPH0393482A JPH0393482A JP1230597A JP23059789A JPH0393482A JP H0393482 A JPH0393482 A JP H0393482A JP 1230597 A JP1230597 A JP 1230597A JP 23059789 A JP23059789 A JP 23059789A JP H0393482 A JPH0393482 A JP H0393482A
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/08—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、振動波モータ、特に弾性体に接合される圧電
素子等の電気一機械エネルギ変換素子の電極パターンの
配置に関するものである．［従来の技術］ 進行性振動波を利用した振動波モータの原理を、第７図
および第８図の概略図により説明する． １は直線部と円弧部を有する長円形の弾性体であり、金
属などの弾性物質でできており、例えばプリンタのシー
ト搬送手段として使用する場合には直線部を使ってシー
トをリニア送りをするものである．２は直線部と円弧部
を有する電気一機械エネルギ変換素子であり、以下圧電
素子で代表する．３は下記に説明する例えばＣｕ， Ｎ
ｉ，八ｇなどでできている電極膜であり、印刷、蒸着法
などで圧電素子２の両面に着けられており、この場合、
電極Ｉｇ［３は圧電素子の裏面（弾性体と接合されてい
ない面）では図示のように切れ目３゛を有する電極パタ
ーンを形成しており、表面（弾性体と接合されている方
の面）では切れ目のない全面電極を形成している．ざら
社圧電素子２の上記裏面の電極パターン３について、第
８図で説明する。図示の例は全周で６波の定在波を二組
合成して進行波を作ろうとするものであって、電極３ａ
ｔ ，３ａ２は駆動用の第１電極群を、また電極３ｂ１
，３ｂ，は駆動用の′ｓ２電極群を構威し、第１電極群
３ａ．．３ａ２および第２電極群３ｂｌ，３１）２は各
々尾波長の長さを有し、かつ局波長のピッチで配列され
ており、そして第１電極群と第２電極群との間には馬波
長の奇数倍だけずれがあるように配列されている， ３
Ｇはアース用電極、３５ａ，３Ｓｂはそれぞれ第１電極
群、第２電極群の駆動による振動状態を検知するための
センサ電極である．なお、円弧部では放射状に電極の切
れ目を設けている。駆動用電極３ａｌ ．３ａ２，３ｂ
１ ，３ｂｚに夫々対応する区画において圧電素子２は
厚み方向に分極されており、この場合、第１電極群３ａ
．と３ａ．どの区画では互いに逆向きに、また同様に第
２電極群３ｂｌ と３ｂ，との区画では互いに逆向きに
分極されている。すなわち、第１電極群に同じ極性の電
圧を印加したとき、圧電素子２は電極３ａ，と３ａ．の
区画では伸縮が互いに逆になるように分極処理が施され
ており、また３＠２電極群３ｂ，と３ｂ２の区画につい
ても同様である． そして、これらの電極群に互いに時間的に９０゜ずれた
周波電圧を印加することにより、二組の定在波の合成と
して進行波を弾性体１に生ぜしめ、これに押圧された移
動体（不図示）を摩擦駆動するものである。なお、上記
の移動体を固定すれば、弾性体１が動くことになる．［
発明が解決しようとしている課題］ ところで、このような長円形状の弾性体の振動モードは
、第９図及び第１０図のようになる．これは、有限要素
法による固有値解析によって求めた２つの定在波モード
の変位の等高線図であり、第９図は第１群圧電素子によ
って駆動し、第１０図は第２群圧電素子によって駆動ず
る振動モードを示す．変位は圧電素子２の面に垂直な方
向の成分で、第９図及び第１０図は圧電素子面の等高線
を示している．変位量は、最大変位を「１」として正規
化している，これらの図と第８図の電極パターンを比較
してみると、振動の節部（太線部）と電極パターンの切
れ目がずれており、節となるべき部分にも変位を発生さ
せる力が働くため、効率が低下するという問題点があっ
た． 本発明は、上記した従来の問題点をＭ決し、効率の低下
を防ぐことのできる振動波モータを提供することにある
． ［Ｘ！題を解決するための手段］ 本発明の目的を達成するための要旨とするところは、弾
性体に接合されている電気一機械エネルギ変換素子の複
数の駆動用素子群に時間的位相の異なる交流電界を印加
することにより発生する複数の定在波の合成で、該弾性
体に進行性振動波を形成し、該弾性体と、該弾性体に圧
接する部材とを相対移動させる振動波モータにおいて、
該電気一機械エネルギ変換素子は、弾性体に生ずる定在
波の節部に電極の切れ目を有するパターンに形成されて
いることを特徴とする振動波モータにある。
素子等の電気一機械エネルギ変換素子の電極パターンの
配置に関するものである．［従来の技術］ 進行性振動波を利用した振動波モータの原理を、第７図
および第８図の概略図により説明する． １は直線部と円弧部を有する長円形の弾性体であり、金
属などの弾性物質でできており、例えばプリンタのシー
ト搬送手段として使用する場合には直線部を使ってシー
トをリニア送りをするものである．２は直線部と円弧部
を有する電気一機械エネルギ変換素子であり、以下圧電
素子で代表する．３は下記に説明する例えばＣｕ， Ｎ
ｉ，八ｇなどでできている電極膜であり、印刷、蒸着法
などで圧電素子２の両面に着けられており、この場合、
電極Ｉｇ［３は圧電素子の裏面（弾性体と接合されてい
ない面）では図示のように切れ目３゛を有する電極パタ
ーンを形成しており、表面（弾性体と接合されている方
の面）では切れ目のない全面電極を形成している．ざら
社圧電素子２の上記裏面の電極パターン３について、第
８図で説明する。図示の例は全周で６波の定在波を二組
合成して進行波を作ろうとするものであって、電極３ａ
ｔ ，３ａ２は駆動用の第１電極群を、また電極３ｂ１
，３ｂ，は駆動用の′ｓ２電極群を構威し、第１電極群
３ａ．．３ａ２および第２電極群３ｂｌ，３１）２は各
々尾波長の長さを有し、かつ局波長のピッチで配列され
ており、そして第１電極群と第２電極群との間には馬波
長の奇数倍だけずれがあるように配列されている， ３
Ｇはアース用電極、３５ａ，３Ｓｂはそれぞれ第１電極
群、第２電極群の駆動による振動状態を検知するための
センサ電極である．なお、円弧部では放射状に電極の切
れ目を設けている。駆動用電極３ａｌ ．３ａ２，３ｂ
１ ，３ｂｚに夫々対応する区画において圧電素子２は
厚み方向に分極されており、この場合、第１電極群３ａ
．と３ａ．どの区画では互いに逆向きに、また同様に第
２電極群３ｂｌ と３ｂ，との区画では互いに逆向きに
分極されている。すなわち、第１電極群に同じ極性の電
圧を印加したとき、圧電素子２は電極３ａ，と３ａ．の
区画では伸縮が互いに逆になるように分極処理が施され
ており、また３＠２電極群３ｂ，と３ｂ２の区画につい
ても同様である． そして、これらの電極群に互いに時間的に９０゜ずれた
周波電圧を印加することにより、二組の定在波の合成と
して進行波を弾性体１に生ぜしめ、これに押圧された移
動体（不図示）を摩擦駆動するものである。なお、上記
の移動体を固定すれば、弾性体１が動くことになる．［
発明が解決しようとしている課題］ ところで、このような長円形状の弾性体の振動モードは
、第９図及び第１０図のようになる．これは、有限要素
法による固有値解析によって求めた２つの定在波モード
の変位の等高線図であり、第９図は第１群圧電素子によ
って駆動し、第１０図は第２群圧電素子によって駆動ず
る振動モードを示す．変位は圧電素子２の面に垂直な方
向の成分で、第９図及び第１０図は圧電素子面の等高線
を示している．変位量は、最大変位を「１」として正規
化している，これらの図と第８図の電極パターンを比較
してみると、振動の節部（太線部）と電極パターンの切
れ目がずれており、節となるべき部分にも変位を発生さ
せる力が働くため、効率が低下するという問題点があっ
た． 本発明は、上記した従来の問題点をＭ決し、効率の低下
を防ぐことのできる振動波モータを提供することにある
． ［Ｘ！題を解決するための手段］ 本発明の目的を達成するための要旨とするところは、弾
性体に接合されている電気一機械エネルギ変換素子の複
数の駆動用素子群に時間的位相の異なる交流電界を印加
することにより発生する複数の定在波の合成で、該弾性
体に進行性振動波を形成し、該弾性体と、該弾性体に圧
接する部材とを相対移動させる振動波モータにおいて、
該電気一機械エネルギ変換素子は、弾性体に生ずる定在
波の節部に電極の切れ目を有するパターンに形成されて
いることを特徴とする振動波モータにある。
［作 用］
上記した構成の振動波モータは、電極の切れ目が弾性体
に形成される定在波の節部と一致するので、効率の低下
を防ぐことができることとなる． ［実 施・ 例］ 以下、本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する
． 第１の実施例 第１図は本発明の第１の実施例であり、長円形状の弾性
体に接合される圧電素子の電極パターンを示している。
に形成される定在波の節部と一致するので、効率の低下
を防ぐことができることとなる． ［実 施・ 例］ 以下、本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する
． 第１の実施例 第１図は本発明の第１の実施例であり、長円形状の弾性
体に接合される圧電素子の電極パターンを示している。
本実施例では、第１電極群３ａ，，３ａ．の切れ目を第
９図に示す振動モードの節部（太線部）に設け、第２電
極群３ｂ．，３ｂ，の切れ目を、第１０図に示す振動モ
ードの節部（太線部）は設けている。また、一方のセン
サ電極３Ｓ．は第１０図に示す振動モードの節部（太線
部）に設け、他方のセンサ電極３Ｓ，は第９図に示す振
動モードの節部（太線部）に設けた。
９図に示す振動モードの節部（太線部）に設け、第２電
極群３ｂ．，３ｂ，の切れ目を、第１０図に示す振動モ
ードの節部（太線部）は設けている。また、一方のセン
サ電極３Ｓ．は第１０図に示す振動モードの節部（太線
部）に設け、他方のセンサ電極３Ｓ，は第９図に示す振
動モードの節部（太線部）に設けた。
したがって、本実施例では、第１電極群の各電極及び第
２電極群の各電極と振動モード（定在波）とにずれがな
く、節となるべき部分に変位を発生させる力が働かない
ので、モータの効率低下が防がれることになる． 第２の実施例 第２図は第２の実施例を示すものである．長円形状に形
成した振動波モータの用途として、例えばプリンタの紙
送りのための駆動部として用いる場合があり、この場合
は弾性体の一方の長線部を被搬送体となる紙等のシート
に圧接し、シートを搬送するようにしている。その際、
振動状態を検出するためのセンサ電極は、弾性体の直線
部の振動状態を検出するのが好ましいということから、
本実施例は、センサ電極３Ｓ．，３Ｓｂを直線部に配置
したものである．第１電極群３ａ， ．３ａ２及び第２
電極群３ｂｌ ，３ｂ２は上記した第１の実施例と同様
の方法で配置している。
２電極群の各電極と振動モード（定在波）とにずれがな
く、節となるべき部分に変位を発生させる力が働かない
ので、モータの効率低下が防がれることになる． 第２の実施例 第２図は第２の実施例を示すものである．長円形状に形
成した振動波モータの用途として、例えばプリンタの紙
送りのための駆動部として用いる場合があり、この場合
は弾性体の一方の長線部を被搬送体となる紙等のシート
に圧接し、シートを搬送するようにしている。その際、
振動状態を検出するためのセンサ電極は、弾性体の直線
部の振動状態を検出するのが好ましいということから、
本実施例は、センサ電極３Ｓ．，３Ｓｂを直線部に配置
したものである．第１電極群３ａ， ．３ａ２及び第２
電極群３ｂｌ ，３ｂ２は上記した第１の実施例と同様
の方法で配置している。
第３の実施例
第３図は本発明の第３の実施例を示す弾性体の外観斜視
図、第６図はその電極パターンを示す図である。
図、第６図はその電極パターンを示す図である。
本実施の弾性体ｌ゜は、円弧部の断面形状を図示の如く
変えることにより、直線部の振動のねじれ戒分をなくし
たもので、２つの振動モードを第４図及び第５図Ｃ示す
． そして、第４図及び第５図に示す振動モードに従って、
圧電素子の電極パターンを第６図に示すように形威して
いる． ［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、弾性体に発生す
る定在波の節部に、圧電素子等の電気一機械エネルギ変
換素子の電極パターンの切れ目を設けることによって、
効率よく進行性振動波を発生させることが可能となる．
変えることにより、直線部の振動のねじれ戒分をなくし
たもので、２つの振動モードを第４図及び第５図Ｃ示す
． そして、第４図及び第５図に示す振動モードに従って、
圧電素子の電極パターンを第６図に示すように形威して
いる． ［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、弾性体に発生す
る定在波の節部に、圧電素子等の電気一機械エネルギ変
換素子の電極パターンの切れ目を設けることによって、
効率よく進行性振動波を発生させることが可能となる．
第１図は本発明の第１の実施例を示す電極パターン図、
第２図は本発明の第２の実施例を示す電極パターン図、
第３図は本発明の第３の実施例を示す弾性体の斜視図、
第４図および第５図はその有限要素法による固有値解析
によって求めた２つの定在波モードの変位の等高線図、
第６図はその電極パターン図、第７図は従来の振動体を
示す斜視図、３４８図はその電極パターン図、第９図お
よび第１０図は、その有限要素法による固有値解析によ
って求めた２つの定在波モードの変位の等高線図である
． １・・・弾性体、 ２・・・圧電素子、３・・・
電極膜、 ３ａ， ．３ａ２・・・駆動用の第ｌ電極群、３ｂ，，
３ｂ，・・・駆動用の第２電極群、３Ｇ・・・アース用
電極、 ３Ｓ．３Ｓｂ・・・センサ電極。 第３図 第４図 第５図 第６図 ３（２２ 冨７図 ２
第２図は本発明の第２の実施例を示す電極パターン図、
第３図は本発明の第３の実施例を示す弾性体の斜視図、
第４図および第５図はその有限要素法による固有値解析
によって求めた２つの定在波モードの変位の等高線図、
第６図はその電極パターン図、第７図は従来の振動体を
示す斜視図、３４８図はその電極パターン図、第９図お
よび第１０図は、その有限要素法による固有値解析によ
って求めた２つの定在波モードの変位の等高線図である
． １・・・弾性体、 ２・・・圧電素子、３・・・
電極膜、 ３ａ， ．３ａ２・・・駆動用の第ｌ電極群、３ｂ，，
３ｂ，・・・駆動用の第２電極群、３Ｇ・・・アース用
電極、 ３Ｓ．３Ｓｂ・・・センサ電極。 第３図 第４図 第５図 第６図 ３（２２ 冨７図 ２
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 弾性体に接合されている電気−機械エネルギ変換素
子の複数の駆動用素子群に時間的位相の異なる交流電界
を印加することにより発生する複数の定在波の合成で、
該弾性体に進行性振動波を形成し、該弾性体と、該弾性
体に圧接する部材とを相対移動させる振動波 モータにおいて、 該電気−機械エネルギ変換素子は、弾性体 に生ずる定在波の節部に電極の切れ目を有するパターン
に形成されていることを特徴とする振動波モータ。 ２ 弾性体が直線部と円弧部とを有する環形状に形成さ
れていることを特徴とする請求項１に記載の振動波モー
タ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1230597A JP2604862B2 (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 振動波駆動装置 |
| DE69026169T DE69026169T2 (de) | 1989-09-06 | 1990-09-05 | Vibrationswellenbetriebener Motor |
| EP90309688A EP0416884B1 (en) | 1989-09-06 | 1990-09-05 | Vibration wave driven motor |
| US07/919,390 US5274294A (en) | 1989-09-06 | 1992-07-29 | Vibration wave driven motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1230597A JP2604862B2 (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 振動波駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0393482A true JPH0393482A (ja) | 1991-04-18 |
| JP2604862B2 JP2604862B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=16910240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1230597A Expired - Fee Related JP2604862B2 (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 振動波駆動装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5274294A (ja) |
| EP (1) | EP0416884B1 (ja) |
| JP (1) | JP2604862B2 (ja) |
| DE (1) | DE69026169T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5348287A (en) * | 1991-10-29 | 1994-09-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Sheet feeding apparatus using a vibration wave to convey sheets |
| JP2010239780A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0421374A (ja) * | 1990-05-15 | 1992-01-24 | Canon Inc | 振動波モータ及びプリンタ |
| JP2725134B2 (ja) * | 1992-07-24 | 1998-03-09 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 |
| US6628046B2 (en) | 1997-05-27 | 2003-09-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type actuator |
| JP4731723B2 (ja) * | 2001-05-24 | 2011-07-27 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置の製造方法 |
| JP4027090B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2007-12-26 | キヤノン株式会社 | 振動体および振動波駆動装置 |
| KR20100039158A (ko) * | 2008-10-07 | 2010-04-15 | 삼성전자주식회사 | 초음파 모터 및 그것을 구비한 이송장치 |
| US10775681B2 (en) | 2015-11-27 | 2020-09-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
| US10536097B2 (en) | 2015-11-27 | 2020-01-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
| US10516091B2 (en) | 2015-11-27 | 2019-12-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
| US10451833B2 (en) | 2015-11-27 | 2019-10-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61227680A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-09 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS62260567A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-12 | Canon Inc | 振動波モ−タ− |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6013481A (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-23 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| US4562373A (en) * | 1983-10-21 | 1985-12-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric motor |
| US4786836A (en) * | 1984-03-01 | 1988-11-22 | Matsushita Electric Industrail Co., Ltd. | Piezoelectric motor |
| JPH0687671B2 (ja) * | 1984-05-18 | 1994-11-02 | 株式会社ニコン | 超音波モータ |
| US4692652A (en) * | 1985-03-29 | 1987-09-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
| JPS63220782A (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-14 | Olympus Optical Co Ltd | 圧電素子 |
| JP2589698B2 (ja) * | 1987-07-03 | 1997-03-12 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ装置 |
| DE69030827T2 (de) * | 1989-02-14 | 1998-01-15 | Canon Kk | Vibrationswellenmotor |
-
1989
- 1989-09-06 JP JP1230597A patent/JP2604862B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-09-05 DE DE69026169T patent/DE69026169T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-09-05 EP EP90309688A patent/EP0416884B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-07-29 US US07/919,390 patent/US5274294A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61227680A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-09 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS62260567A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-12 | Canon Inc | 振動波モ−タ− |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5348287A (en) * | 1991-10-29 | 1994-09-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Sheet feeding apparatus using a vibration wave to convey sheets |
| JP2010239780A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒及びカメラ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69026169T2 (de) | 1996-08-22 |
| EP0416884A2 (en) | 1991-03-13 |
| EP0416884B1 (en) | 1996-03-27 |
| JP2604862B2 (ja) | 1997-04-30 |
| US5274294A (en) | 1993-12-28 |
| DE69026169D1 (de) | 1996-05-02 |
| EP0416884A3 (en) | 1991-08-21 |
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