JPH0389572A - パルスレーザ装置 - Google Patents
パルスレーザ装置Info
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- JPH0389572A JPH0389572A JP22443489A JP22443489A JPH0389572A JP H0389572 A JPH0389572 A JP H0389572A JP 22443489 A JP22443489 A JP 22443489A JP 22443489 A JP22443489 A JP 22443489A JP H0389572 A JPH0389572 A JP H0389572A
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- electrodes
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- discharge
- electrode
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- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
-
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08018—Mode suppression
- H01S3/0804—Transverse or lateral modes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、パルスレーザ装置に係り、特に、容量移行型
紫外線自動予備電離方式を用いたＴＥＡＣＯｚレーザ、
エキシマレーザなどのパルスレーザ装置に関する。
紫外線自動予備電離方式を用いたＴＥＡＣＯｚレーザ、
エキシマレーザなどのパルスレーザ装置に関する。
従来のパルスレーザ装置は、特開公昭６３−９８１７２
号公報に記載のように、複数の主放電々極に予備電離電
極を備えたものや、レーザ研究第１２巻第３号Ｓ５９，
３ｐＨ４〜Ｐ１２４に記載のように、Ｘ線により予備電
離する方法などがある。
号公報に記載のように、複数の主放電々極に予備電離電
極を備えたものや、レーザ研究第１２巻第３号Ｓ５９，
３ｐＨ４〜Ｐ１２４に記載のように、Ｘ線により予備電
離する方法などがある。
上記従来技術において、前者の複数の主放電々極毎に予
備電離電極を備えた構成では、高繰返しのレーザには好
適であるが、予備電離電極間を火花放電させて紫外線を
出すことで主放電々極間を放電励起する方法では、予備
電離電極間の火花放電部が多いのでガス劣化に対する考
慮がされておらず、長時間発振が困難であると考えられ
る。また、後者のＸ線による予備電離方式では、レーザ
ガスの寿令を長くできるなど良好であるが、応用装置と
して利用する場合、Ｘ線に関する安全面などで装置が複
雑大形となることや、繰返し周波数を速くできない等の
問題がある。
備電離電極を備えた構成では、高繰返しのレーザには好
適であるが、予備電離電極間を火花放電させて紫外線を
出すことで主放電々極間を放電励起する方法では、予備
電離電極間の火花放電部が多いのでガス劣化に対する考
慮がされておらず、長時間発振が困難であると考えられ
る。また、後者のＸ線による予備電離方式では、レーザ
ガスの寿令を長くできるなど良好であるが、応用装置と
して利用する場合、Ｘ線に関する安全面などで装置が複
雑大形となることや、繰返し周波数を速くできない等の
問題がある。
本発明の目的は、同一容器内で、レーザ光による予備電
離で主放電々極間を放電させレーザを励起するように構
成したパルスレーザ装置を提供することにある。
離で主放電々極間を放電させレーザを励起するように構
成したパルスレーザ装置を提供することにある。
上記目的は、主放電々極を光軸に沿って分離し、分割さ
れた１つの主放電々極だけに予備電離電極を配置し、す
なわち、一つの主放電々極間を予備電離電極により放電
させてレーザ発振させ、このレーザ光で、予備電離電極
をもたない他の主放電電極間を予備電離して放電を起さ
せることにより遠戚されることが判明した。
れた１つの主放電々極だけに予備電離電極を配置し、す
なわち、一つの主放電々極間を予備電離電極により放電
させてレーザ発振させ、このレーザ光で、予備電離電極
をもたない他の主放電電極間を予備電離して放電を起さ
せることにより遠戚されることが判明した。
また、予備電離電極をもつ一分割の放電々極対か、また
は、他方の分割された主放電々極対のいずれかを９０度
向きを変えて配置したもので、レーザ光による予備電離
をより強力に作用させるようにしたものである。
は、他方の分割された主放電々極対のいずれかを９０度
向きを変えて配置したもので、レーザ光による予備電離
をより強力に作用させるようにしたものである。
一次コンデンサＣ１に充電されたエネルギは、高圧スイ
ッチ素子のオン動作により、各々に分割された主放電々
極に接続された二次コンデンサＣ２ヘパルス充電される
。充電されはじめた後、放電する過程は、一方は予備電
離電極が放電し紫外光を発生し主放電々極間に放電を起
させ、レーザを励起する経路と、他方は主放電々極間の
コンデンサを直接充電し、先のレーザ光により主放電電
極間が予備電離される。これによって、予備電離電極を
もたない主放電々極間が放電してレーザを励起する経路
とができる。従って、時間的には最初のレーザ光と若干
遅れたレーザ光との合成されて長パルス化のレーザが得
られる。
ッチ素子のオン動作により、各々に分割された主放電々
極に接続された二次コンデンサＣ２ヘパルス充電される
。充電されはじめた後、放電する過程は、一方は予備電
離電極が放電し紫外光を発生し主放電々極間に放電を起
させ、レーザを励起する経路と、他方は主放電々極間の
コンデンサを直接充電し、先のレーザ光により主放電電
極間が予備電離される。これによって、予備電離電極を
もたない主放電々極間が放電してレーザを励起する経路
とができる。従って、時間的には最初のレーザ光と若干
遅れたレーザ光との合成されて長パルス化のレーザが得
られる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。光学
窓１０．１１を取付けて封じられた容器１内に光軸に沿
って分割された第一主放電々極２ａ、２ｂに対して第二
主放電々極３ａ、３ｂは向きを９０度変えて配置されて
いる。第一主放電電極２ａ側には複数個の予備電離電極
４が接続され、これに直列にバラストコイルＬを介して
、充電用コンデンサ６ａに接続した回路と、第二主放電
々極３ａには充電用コンデンサ６ｂに接続した回路から
なる。そして、各々の接続点には、充電用インダクタン
ス７ａ、７ｂが接続されている。
窓１０．１１を取付けて封じられた容器１内に光軸に沿
って分割された第一主放電々極２ａ、２ｂに対して第二
主放電々極３ａ、３ｂは向きを９０度変えて配置されて
いる。第一主放電電極２ａ側には複数個の予備電離電極
４が接続され、これに直列にバラストコイルＬを介して
、充電用コンデンサ６ａに接続した回路と、第二主放電
々極３ａには充電用コンデンサ６ｂに接続した回路から
なる。そして、各々の接続点には、充電用インダクタン
ス７ａ、７ｂが接続されている。
充電用コンデンサの他端は、高電圧スイッチング素子で
あるサイラトロン１２に各々接続されている。また、各
主放電々極対と並列に、主放電用二次コンデンサ８と９
が接続されている。
あるサイラトロン１２に各々接続されている。また、各
主放電々極対と並列に、主放電用二次コンデンサ８と９
が接続されている。
今、高電圧電源により、充電用インダクタンス７ａ、７
ｂを介して充電された一次コンデンサ６ａ、６ｂのエネ
ルギはサイラトロン１２のオン動作により、一つは二次
コンデンサ８、予備電離電極４、バラストコイルＬ、−
次コンデンサ６ａの閉回路を作り、二次コンデンサ８を
充電するが。
ｂを介して充電された一次コンデンサ６ａ、６ｂのエネ
ルギはサイラトロン１２のオン動作により、一つは二次
コンデンサ８、予備電離電極４、バラストコイルＬ、−
次コンデンサ６ａの閉回路を作り、二次コンデンサ８を
充電するが。
充電する電流は予備電離電極４を通り紫外線を放射して
第一の主放電々極２ａ、２ｂ間を予備電離しながら二次
コンデンサ８に流れる回路を作る。
第一の主放電々極２ａ、２ｂ間を予備電離しながら二次
コンデンサ８に流れる回路を作る。
他のもう一つは、二次コンデンサ９、−次コンデンサ６
ｂの閉回路を作り、第二の主放電々極３ａ。
ｂの閉回路を作り、第二の主放電々極３ａ。
３ｂ間に並列に接続された二次コンデンサ９に流れる回
路とからなる。まず、前者の回路で二次コンデンサ８の
電圧が第一の主放電々極対２ａ。
路とからなる。まず、前者の回路で二次コンデンサ８の
電圧が第一の主放電々極対２ａ。
２ｂ間の耐圧値より高くなると第一主放電々極間は放電
してレーザを発振することになる。一方、後者の回路は
第二主放電々極３ａ、３ｂ間は予備電離されない状態で
あるため、グロー放電することなく放電々極間の耐圧値
以上になるまで電圧が高くなってゆくが、第一主放電々
極間で先に発生したレーザ光が第二主放電々極間を予備
電離するので第二主放電々極間が放電してレーザを励起
することができる。
してレーザを発振することになる。一方、後者の回路は
第二主放電々極３ａ、３ｂ間は予備電離されない状態で
あるため、グロー放電することなく放電々極間の耐圧値
以上になるまで電圧が高くなってゆくが、第一主放電々
極間で先に発生したレーザ光が第二主放電々極間を予備
電離するので第二主放電々極間が放電してレーザを励起
することができる。
第２図は、第１図の主放電々極部の断面図である。レー
ザ光のパタンの幅は通常は長方形であるが第２図に示す
ように主放電々極が正方形状となる配置としているので
、ビームの強度は第３図に示すように（ａ） （ｂ）の
ものが合成され（ｃ）のように正方形となる。
ザ光のパタンの幅は通常は長方形であるが第２図に示す
ように主放電々極が正方形状となる配置としているので
、ビームの強度は第３図に示すように（ａ） （ｂ）の
ものが合成され（ｃ）のように正方形となる。
上の実施例では、最初に放電を開始する放電部の予備電
離には微小ギャップ間の火花放電中の紫外光を利用して
いるが、コロナ放電の紫外光を利用する予（１電離でも
同様の効果が得られる。
離には微小ギャップ間の火花放電中の紫外光を利用して
いるが、コロナ放電の紫外光を利用する予（１電離でも
同様の効果が得られる。
本発明によれば、一部のレーザ光で主放電々極間を予備
電離してレーザを励起できるので、火花放電する予ｍｉ
ｓ離電極を少なくすることや、この結果、ガス劣化を防
ぐ効果がある。
電離してレーザを励起できるので、火花放電する予ｍｉ
ｓ離電極を少なくすることや、この結果、ガス劣化を防
ぐ効果がある。
第１図は本発明の一実施例の系統図、第２図は第１図の
主放電々極部の断面図、第３図（ａ）ないしくｃ）はビ
ーム強度の形状を示す説明図である。 ２ａ、２ｂ・・・第一の主放電々極、３ａ、３ｂ・・・
第二の主放電々極、４・・・予備ｆ！離電極、６ａ、６
ｂ・・・充電用−次コンデンサ、８，９・・・充電用二
次コ第 図
主放電々極部の断面図、第３図（ａ）ないしくｃ）はビ
ーム強度の形状を示す説明図である。 ２ａ、２ｂ・・・第一の主放電々極、３ａ、３ｂ・・・
第二の主放電々極、４・・・予備ｆ！離電極、６ａ、６
ｂ・・・充電用−次コンデンサ、８，９・・・充電用二
次コ第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザガスを封入した容器内に発振レーザ光軸上に
互いに対を成す長手の主放電々極と、主放電々極の近く
に配置したレーザガスの予備電離手段をもつ容量移行型
紫外線自動予備電離式パルスレーザ装置において、 前記主放電々極を複数組分割配置し、このうち、第一の
主放電々極の近くだけにレーザガスの予備電離手段を設
けたことを特徴とするパルスレーザ装置。 ２、請求項１において、分割した前記主放電々極のうち
、少なくとも一つを光軸に対して９０度向きを変えて配
置したことを特徴とするパルスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22443489A JPH0389572A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | パルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22443489A JPH0389572A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0389572A true JPH0389572A (ja) | 1991-04-15 |
Family
ID=16813716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22443489A Pending JPH0389572A (ja) | 1989-09-01 | 1989-09-01 | パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0389572A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5426661A (en) * | 1993-11-09 | 1995-06-20 | Hughes Aircraft Company | Pulsed laser discharge stabilization |
-
1989
- 1989-09-01 JP JP22443489A patent/JPH0389572A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5426661A (en) * | 1993-11-09 | 1995-06-20 | Hughes Aircraft Company | Pulsed laser discharge stabilization |
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