JPH0387638A - ハードディスクの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、ハードディスクの検査装置に関する。

（従来の技術） 従来から、清浄度が要求される部品の表面に付いている
塵埃を取り除くために、部品の表面にイオン化された清
浄空気を吹きつけて、イオン化された塵埃を中和して部
品の表面からの離脱を容易にして取り除いているものが
ある。

例えば第３図において、ワーク７の上方には、高圧電源
３と圧縮空気源４に接続された除塵器５が設けられ、こ
の除塵器５の下面に設けられたノズル５ｂの噴出口内に
は、高圧電源３に接続された放電針５ａとこの放電針５
ａに対向して図示しない接地電位の電極が設けられてい
る。

このような除塵器５で下方に置かれたワーク７の表面に
付着した正に帯電した塵埃を取り除くときには、圧縮空
気ｇ４から供給された空気を放電針５ａと図示しない電
極間の放電でイオン化してワーク７に吹きつけることで
、塵埃の電荷を除いてワーク７からの離脱を容易にして
吹き飛ばしている。

一方、ハードディスクの表面の微小なきずなどの欠陥を
検査するハードディスクの検査装置のなかには、従来か
らレーザ光をハードディスクの表面に照射して、その反
射光のパターンを空間フィルタで分類して欠陥形態を映
像で検査する方法が採られている。

（発明が解決しようとする課題） ところが、このような従来のハードディスクの検査装置
では、ハードディスクの表面に、もし、微小な塵埃がわ
ずかにでも付着していると、それを欠陥と誤認するおそ
れがある。

そのため、従来からハードディスクの表面は清浄にされ
、検査装置への搬入機や検査室内の空気も清浄に維持す
るよう考慮されているが、それでも取扱い中に発生する
塵埃がハードディスクの表面に付着するのを防ぐことは
むつかしい。

その結果、従来のハードディスクの検査装置では、良品
を不良品と誤認して、ハードディスクの歩留り率を落と
す。

そこで本発明の目的は、検査機の誤認によるハードディ
スクの歩留り低下を防ぐことのできるハードディスクの
検査装置を得ることである。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段および作用）本発明は、カ
セット内に縦に収納されたハードディスクを光走査表面
検査器に供給して表面欠陥を検査するハードディスクの
検査装置において、カセット内に収納されたハードディ
スクに上からイオン化空気を吹きつけるトンネルと、こ
のトンネルの下流側に設けられた光走査表面検査器に縦
に装着されたハードディスクの光走査部に光走査と同時
にイオン化空気を吹付ける除塵器を設けることで、光走
査表面検査器に取付られたハードディスクの光走査部に
残存する塵埃を吹き飛ばして、光走査表面検査器の誤認
を防いで歩留り率を上げたハードディスクの検査装置で
ある。

（実施例） 以下、本発明のハードディスクの検査装置の一実施例を
図面を参照して説明する。

第工図は本発明のハードディスクの正面図、第２図は第
１図の要部を示す詳細図である。

第工図において、左端の未検査供給部２の右側の下流側
の予備室１５内には予備室コンベア１１が設けられ、こ
の予備室コンベア１１の下流端の上方には箱状のトンネ
ル９が予備室コンベア１１の下流端を覆うように設けら
れ、このトンネル９の天井部にはノズル８ａがトンネル
９の内部に突き出た除塵器８が縦に４組取付られ、この
除塵器８の上端の図示しない空圧継手に接続された空圧
ホース４ａは別置の圧縮空気源４に接続され、ノズル８
ａ内の図示しない放電針は別置の高圧電源３に接続され
ている。

又、予備室１５の下流側には５図示しない仕切扉が取付
らけた隔壁１２の下流側に検査室２４が設けられ、この
検査室２４内には上流端が予備室コンベア１１の下流端
と接続された検査室コンベア１３が設けられ、第２図で
示す表面検査器１６と除塵機構２０が収納されている。

更に、第１図の要部詳細を示す第２図（ａ）とその右側
面図を示す同図（ｂ）において１表面検査器１６の手前
側には柱１４が立設され、この柱１４の上端には軸受枠
１７が設けられ、この軸受枠１７にはアーム１８が設け
られ、このアーム１８の右端には軸１９ａを軸として除
塵器１９がノズル１９ｃを右側にして取付られ、この除
塵器１９のノズル１９ｃの先端の図示しない放電針は別
置の高圧電源３の二次側に、除塵器Ｉ９の空圧継手は空
圧ホースで同じく別置の圧縮空気ｇ４にそれぞれ接続さ
れている。

次に、このように構成されたハードディスクの検査装置
の作用を説明する。

まず、第１図において、左端の未検査品供給部２内の図
示しないカセット内に収納された図示しないハードディ
スク１は、未検査品供給部２内に設けられた詳細省略し
た供給機＠２ａで予備室コンベア１１の左端にカセット
１０に収納された状態で送り出され、予備室コンベア１
１の駆動で右端のトンネル９内の所定の位置に搬入され
る。すると、図示しないリミットスイッチの信号で高圧
電源３の電圧がノズル８ａ内の図示しない放電針と電極
間に印加され、除塵器８に設けられた図示しない空圧弁
が開かれて圧縮空気源４から清浄な空気が供給される。

するとこの空気は、前述の放電針と電極間に印加された
電圧による放電でイオン化されて、ノズル８ａからカセ
ット１０内のハードディスク１に吹き付けられる。そし
てその結果、ハードディスクエに付着していた塵埃は約
９０％取り除かれる。

次に、この除塵されたハードディスクｔは、カセット１
０とともに予備室コンベア１１で検査室１４内の検査室
コンベア１３に移送されて所定の位置に停められ、図示
しない供給機構のアームでカセット１０の片側から順に
抜かれて、表面検査器１６のレーザ照射位置に縦に保持
されるとともに、図示しない回転機構で回転されながら
レーザ光を照射され、このレーザ光の照射と同時に走査
部にイオン化空気がレーザ照射部に斜めに吹き付けられ
ることで、表面に残存していたハードディスク１の塵埃
は完全に吹き飛ばされる。

この結果、発明者の一試運転結果では、第２図の除塵器
１９を使わないときに比べて、同一ロットのハードディ
スク１の歩留り率を約２０％向上させることができた。

これは、第１図のトンネル９内での除塵で残っていた塵
埃が、第２図の除塵器１９での部分的イオン化空気の吹
付けで、少なくともレーザ走査中の照射部からはほぼ完
全に吹き飛ばされた結果と考える。

〔発明の効果〕

以上、本発明によれば、カセット内に縦に収納されたハ
ードディスクを光走査表面検査器に供給して表面欠陥を
検査するハードディスクの検査装置において、カセット
内に収納されたハードディスクに上からイオン化空気を
吹き付けるトンネルと、このトンネルの下流側に設けら
れた光走査表面検査器に縦に装着されたハードディスク
の光走査部にイオン化空気を吹付ける除塵器を設けるこ
とで、光走査表面検査器に取付られたハードディスクの
光走査部に残っていた塵埃を吹き飛ばして光走査表面検
査器の誤認を防いだので、ハードディスクの歩留り率を
上げることのできるハードディスクの検査装置を得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のハードディスクの検査装置の一実施例
を示す図、第２図（ａ）は第１図の要部詳細図、第２図
（ｂ）は第２図（ａ）の右側面図、第３図は従来のハー
ドディスクの検査装置を示す図である。 １・・・ハードディスク　　　９・・・トンネル１０・
・・カセット　　　　　　１６・・・光走査検出器１９
・・・除塵器 （８７３３）　　代理人　弁理士　猪　股　祥　晃（ほ
か１名）辛 憫 ３“）等２ 図 （谷〕

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 カセット内に縦に収納されたハードディスクを光走査表
   面検査器に供給して表面欠陥を検査するハードディスク
   の検査装置において、 前記カセット内に収納されたハードディスクに上からイ
   オン化空気を吹きつけるトンネルと、このトンネルの下
   流側に設けられた前記光走査表面検査器に縦に装着され
   た前記カセットの光走査部に前記光走査表面検査器の光
   走査と同時にイオン化空気を吹付ける除塵器を設けたこ
   とを特徴とするハードディスクの検査装置。