JPH0383062A - ペリクルカバーの透明有機薄膜除去器 - Google Patents
ペリクルカバーの透明有機薄膜除去器Info
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- JPH0383062A JPH0383062A JP1220762A JP22076289A JPH0383062A JP H0383062 A JPH0383062 A JP H0383062A JP 1220762 A JP1220762 A JP 1220762A JP 22076289 A JP22076289 A JP 22076289A JP H0383062 A JPH0383062 A JP H0383062A
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- Japan
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- thin film
- organic thin
- transparent organic
- pellicle cover
- pellicle
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、フォトリングラフィ工程の転写パターン欠陥
発生を防止する目的で、パーティクルからマスク保護を
するペリクルカバーの透明有機薄膜除去器に関するもの
である。
発生を防止する目的で、パーティクルからマスク保護を
するペリクルカバーの透明有機薄膜除去器に関するもの
である。
従来の技術
近年、半導体製造の歩留まり安定化の一手段として、フ
ォトリングラフィ工程での転写パターン欠陥発生を防止
するため、マスクにパーティクルが付着することを防止
するペリクルカバーをマスクに装着する方法が用いられ
ている。
ォトリングラフィ工程での転写パターン欠陥発生を防止
するため、マスクにパーティクルが付着することを防止
するペリクルカバーをマスクに装着する方法が用いられ
ている。
以下にペリクルカバーのマスクへの装着について説明す
る。第２図はべりクルカバーフレームのマスクへの装着
例の一つを示すものである。第２図において、３は透明
有機薄膜、４はペリクルカバーのフレーム、５はマスク
である。
る。第２図はべりクルカバーフレームのマスクへの装着
例の一つを示すものである。第２図において、３は透明
有機薄膜、４はペリクルカバーのフレーム、５はマスク
である。
以上のように構成されたペリクルカバーを装着したマス
クを露光に用いると、紫外線により透明有機薄膜が劣化
しペリクルカバーの交換が必要になる。
クを露光に用いると、紫外線により透明有機薄膜が劣化
しペリクルカバーの交換が必要になる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記構成のペリクルカバー装着マスクの従
来の交換方法では、ペリクルカバーフレームから透明有
機薄膜を取り除くとき、透明有機薄膜を破って取り除い
ていたので、透明有機薄膜がマスク面に付着し洗浄を困
難にしたり、マスクパターン面に付着した透明有機薄膜
を取り除く際に発生した静電気でマスクパターンが破壊
されるという課題を有−していた。
来の交換方法では、ペリクルカバーフレームから透明有
機薄膜を取り除くとき、透明有機薄膜を破って取り除い
ていたので、透明有機薄膜がマスク面に付着し洗浄を困
難にしたり、マスクパターン面に付着した透明有機薄膜
を取り除く際に発生した静電気でマスクパターンが破壊
されるという課題を有−していた。
本発明は上記従来の課題を解決するもので、透明有機薄
膜をマスクパターン面に付着させることなく、ペリクル
カバーフレームから除去する優れたペリクルカバー透明
有機薄膜除去器を提供することを目的とする。
膜をマスクパターン面に付着させることなく、ペリクル
カバーフレームから除去する優れたペリクルカバー透明
有機薄膜除去器を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために本発明のペリクルカバー透明
有機薄膜除去器は、円筒状をなし側面に粘着剤を塗布し
たものであって、円筒の周の長さが、除去しようとする
透明有機薄膜の長さよりも長く、幅は除去しようとする
透明有機薄膜の幅よりも広いという構成を有している。
有機薄膜除去器は、円筒状をなし側面に粘着剤を塗布し
たものであって、円筒の周の長さが、除去しようとする
透明有機薄膜の長さよりも長く、幅は除去しようとする
透明有機薄膜の幅よりも広いという構成を有している。
作用
この構成によって、透明有機薄膜をペリクルカバーフレ
ームより取り除く際に、円筒状の除去器をペリクルカバ
ーフレーム上で転がせば、円筒側面に塗っである粘着剤
に透明有機薄膜を粘着させて除去できる。又、除去器の
幅１円周はそれぞれ除去する透明有機薄膜の幅、長さよ
りも大きいのでペリクルカバーフレーム上での除去器の
一回転で、ペリクルカバーフレームの透明有機薄膜は除
去される。従って、破れた有機薄膜がマスクパターン面
に付着することが防止できる。
ームより取り除く際に、円筒状の除去器をペリクルカバ
ーフレーム上で転がせば、円筒側面に塗っである粘着剤
に透明有機薄膜を粘着させて除去できる。又、除去器の
幅１円周はそれぞれ除去する透明有機薄膜の幅、長さよ
りも大きいのでペリクルカバーフレーム上での除去器の
一回転で、ペリクルカバーフレームの透明有機薄膜は除
去される。従って、破れた有機薄膜がマスクパターン面
に付着することが防止できる。
実施例
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例におけるペリクルカバーの透
明有機薄膜の除去例を示すものである。
明有機薄膜の除去例を示すものである。
同図において、１は除去器、２は除去器の粘着面、３は
透明有機薄膜、４はペリクルカバーフレーム、５はマス
クである。
透明有機薄膜、４はペリクルカバーフレーム、５はマス
クである。
以上のように構成された除去器を用いて、ペリクルカバ
ーの有機薄膜を除去する動作について説明する。
ーの有機薄膜を除去する動作について説明する。
まず、除去器１をペリクルカバーフレーム４上にのせ、
除去器１をペリクルカバーフレーム４上で回転させる。
除去器１をペリクルカバーフレーム４上で回転させる。
すると、ペリクルカバーの透明有機薄膜は除去器の粘着
面にはぎ取られ、従来法のように透明有機薄膜を破って
マスク面に付着させることなくペリクルカバーから除去
できる。
面にはぎ取られ、従来法のように透明有機薄膜を破って
マスク面に付着させることなくペリクルカバーから除去
できる。
発明の効果
以上にように本発明は、円筒状をなし側面に粘着剤を塗
布したものを、ペリクルカバーフレーム上を転がすこと
により、透明有機薄膜を破ってマスクパターン面に付着
させることなく、透明有機薄膜をペリクルカバーフレー
ムより除去できる優れた除去器を実現できるものである
。
布したものを、ペリクルカバーフレーム上を転がすこと
により、透明有機薄膜を破ってマスクパターン面に付着
させることなく、透明有機薄膜をペリクルカバーフレー
ムより除去できる優れた除去器を実現できるものである
。
第１図は本発明の一実施例におけるペリクルカバーの透
明有機薄膜除去器を用いている図、第２図は従来のペリ
クルカバーの透明有機薄膜除去を示す図である。 １・・・・・・除去器、２・・・・・・粘着面、３・・
・・・・透明有機酵ｍ、４・・・・・・ペリクルカバー
フレーム、５・・・・・・マスク。
明有機薄膜除去器を用いている図、第２図は従来のペリ
クルカバーの透明有機薄膜除去を示す図である。 １・・・・・・除去器、２・・・・・・粘着面、３・・
・・・・透明有機酵ｍ、４・・・・・・ペリクルカバー
フレーム、５・・・・・・マスク。
Claims (1)
- 円筒状をなし側面に粘着剤を塗布したものであって、円
筒の周の長さが、除去しようとする透明有機薄膜の長さ
よりも長く、幅は除去しようとする透明有機薄膜の幅よ
りも広いペリクルカバーの透明有機薄膜除去器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22076289A JP2584066B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | ペリクルカバーの透明有機薄膜除去器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22076289A JP2584066B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | ペリクルカバーの透明有機薄膜除去器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0383062A true JPH0383062A (ja) | 1991-04-09 |
| JP2584066B2 JP2584066B2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=16756152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22076289A Expired - Lifetime JP2584066B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | ペリクルカバーの透明有機薄膜除去器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2584066B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008086273A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Tominaga Jushi Kogyosho:Kk | 観賞魚等のすくい取り用具 |
| JP2012033569A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Toshiba Corp | レチクルチャッククリーナー |
| CN110125094A (zh) * | 2018-02-08 | 2019-08-16 | 华为机器有限公司 | 一种残胶清除系统及残胶清除方法 |
-
1989
- 1989-08-28 JP JP22076289A patent/JP2584066B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008086273A (ja) * | 2006-10-03 | 2008-04-17 | Tominaga Jushi Kogyosho:Kk | 観賞魚等のすくい取り用具 |
| JP2012033569A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Toshiba Corp | レチクルチャッククリーナー |
| CN110125094A (zh) * | 2018-02-08 | 2019-08-16 | 华为机器有限公司 | 一种残胶清除系统及残胶清除方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2584066B2 (ja) | 1997-02-19 |
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