JPH03114050A - ペリクルカバーのフレーム - Google Patents
ペリクルカバーのフレームInfo
- Publication number
- JPH03114050A JPH03114050A JP1253366A JP25336689A JPH03114050A JP H03114050 A JPH03114050 A JP H03114050A JP 1253366 A JP1253366 A JP 1253366A JP 25336689 A JP25336689 A JP 25336689A JP H03114050 A JPH03114050 A JP H03114050A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- thin film
- organic thin
- pellicle cover
- transparent organic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 12
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- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、フォトリソグラフィ工程の転写パターン欠陥
発生を防止する目的で、パーティクルからマスク保護を
するペリクルカバーのフレームの構造に関するものであ
る。
発生を防止する目的で、パーティクルからマスク保護を
するペリクルカバーのフレームの構造に関するものであ
る。
従来の技術
近年、半導体製造の歩留まり安定化の一手段として、フ
ォトリソグラフィ工程での転写パターン欠陥発生を防止
するため、マスクにパーティクルが付着することを防止
するペリクルカバーをマスクに装着する方法が用いられ
ている。
ォトリソグラフィ工程での転写パターン欠陥発生を防止
するため、マスクにパーティクルが付着することを防止
するペリクルカバーをマスクに装着する方法が用いられ
ている。
以下に従来のペリクルカバーのフレームについて説明す
る。第２図は従来のペリクルカバーフレームのマスクへ
の装着例の一つを示すものである。第２図において、１
はべりクルカバーのフレーム、２は透明有機薄膜、３は
マスクである。
る。第２図は従来のペリクルカバーフレームのマスクへ
の装着例の一つを示すものである。第２図において、１
はべりクルカバーのフレーム、２は透明有機薄膜、３は
マスクである。
以上のように構成されたペリクルカバーを装着したマス
クを露光に用いると、紫外線により透明有機薄膜が劣化
しペリクルカバーの交換が必要になる。
クを露光に用いると、紫外線により透明有機薄膜が劣化
しペリクルカバーの交換が必要になる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記の従来の構成では、ペリクルカバーの
交換の際に必要なベリクルヵバーフレームから透明有機
薄膜を取り除くことが、透明有機薄膜を破って取り除く
以外に方法がなく、透明有機薄膜を破った際に、マスク
面に透明有機薄膜が付着し、洗浄を困難にしたり、マス
クパターン面に付着した透明有機薄膜を取り除く際に発
生１．た静電気でマスクバクーンが破壊されるという課
題を有していた。
交換の際に必要なベリクルヵバーフレームから透明有機
薄膜を取り除くことが、透明有機薄膜を破って取り除く
以外に方法がなく、透明有機薄膜を破った際に、マスク
面に透明有機薄膜が付着し、洗浄を困難にしたり、マス
クパターン面に付着した透明有機薄膜を取り除く際に発
生１．た静電気でマスクバクーンが破壊されるという課
題を有していた。
本発明は上記従来の課題を解決するもので、透明有機薄
膜をマスクパターン面に付着させることなく、ペリクル
カバーフレームから除去する優れたペリクルカバーのフ
レームを提供することを目的とする。
膜をマスクパターン面に付着させることなく、ペリクル
カバーフレームから除去する優れたペリクルカバーのフ
レームを提供することを目的とする。
課題を解決するだめの手段
この目的を達成するために本発明のペリクルカバーのフ
レームは、フレームと透明有機薄膜との接着面を有する
側の端面に溝と、前記溝の中に埋め込み可能な形状を有
する金属あるいは樹脂の枠と、前記金属あるいは樹脂の
枠をフレームの外側に取り出す溝という構成を有してい
る。
レームは、フレームと透明有機薄膜との接着面を有する
側の端面に溝と、前記溝の中に埋め込み可能な形状を有
する金属あるいは樹脂の枠と、前記金属あるいは樹脂の
枠をフレームの外側に取り出す溝という構成を有してい
る。
作用
この構成によって、透明有機薄膜をベリクルヵバーフ１
ノームより取り除く際に、溝中にある金属あるいは樹脂
の枠を上方に持ち上げることにより行なうことができ、
透明有機薄膜をペリクルカバーフレームから均一に剥が
すことができ、破れた透明薄膜がマスクパターン面に付
着することが防止できる。
ノームより取り除く際に、溝中にある金属あるいは樹脂
の枠を上方に持ち上げることにより行なうことができ、
透明有機薄膜をペリクルカバーフレームから均一に剥が
すことができ、破れた透明薄膜がマスクパターン面に付
着することが防止できる。
実施例
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例におけるペリクルカバーのフ
レームのマスクへの装着例の断面を示すものである。同
図において、１はペリクルカバーフレーム、２は透明有
機薄膜、３はマスク、４は枠である。
レームのマスクへの装着例の断面を示すものである。同
図において、１はペリクルカバーフレーム、２は透明有
機薄膜、３はマスク、４は枠である。
以」二のように構成されたペリクルカバーのフレームに
ついて、以下その動作を説明する。
ついて、以下その動作を説明する。
マス、ペリクルカバーフレーム１から透明有機薄膜２を
剥がずときは、枠４を持ち上げて透明有機薄膜２をペリ
クルカバーフレーム】ｊ；り剥がす。
剥がずときは、枠４を持ち上げて透明有機薄膜２をペリ
クルカバーフレーム】ｊ；り剥がす。
以上のように、本実施例によれば、ペリクルカバーのフ
レームと透明有機薄膜との接着面を有する側のペリクル
カバーの端面に溝と、前記溝の中に埋め込み可能な形状
を有する金属あるいは樹脂の枠と、前記金属あるいは樹
脂の枠をペリクルカバーのフレームの外側に取り出す溝
とを設けることにより、ペリクルカバーから透明有機薄
膜を破ってマスク面に付着させることなく除去すること
ができる。
レームと透明有機薄膜との接着面を有する側のペリクル
カバーの端面に溝と、前記溝の中に埋め込み可能な形状
を有する金属あるいは樹脂の枠と、前記金属あるいは樹
脂の枠をペリクルカバーのフレームの外側に取り出す溝
とを設けることにより、ペリクルカバーから透明有機薄
膜を破ってマスク面に付着させることなく除去すること
ができる。
発明の効果
以上のように本発明は、ペリクルカバーのフレームと透
明有１！！薄膜との接着面を有する側の端面に溝と、前
記溝の中に埋め込み可能な形状を有する金属あるいは樹
脂の枠と、前記金属あるいは樹脂の枠をフレームの外側
に取り出す溝とを設けることにより、ペリクルカバーの
フレームから透明有機薄膜を除去する際に、透明有機薄
膜を破ったりマスク面に付着させずに除去できる優れた
ペリクルカバーのフレームを実現できるものである。
明有１！！薄膜との接着面を有する側の端面に溝と、前
記溝の中に埋め込み可能な形状を有する金属あるいは樹
脂の枠と、前記金属あるいは樹脂の枠をフレームの外側
に取り出す溝とを設けることにより、ペリクルカバーの
フレームから透明有機薄膜を除去する際に、透明有機薄
膜を破ったりマスク面に付着させずに除去できる優れた
ペリクルカバーのフレームを実現できるものである。
第１図は本発明の一実施例におけるペリクルカバーをマ
スクに装着した断面図、第２図は従来のペリクルカバー
をマスクに装着した断面図である。 】−・・・・・・ペリクルカバーフレーム、２・・・・
・・透明有機薄膜、３・・・・・・マスク、４・・・・
・・枠。
スクに装着した断面図、第２図は従来のペリクルカバー
をマスクに装着した断面図である。 】−・・・・・・ペリクルカバーフレーム、２・・・・
・・透明有機薄膜、３・・・・・・マスク、４・・・・
・・枠。
Claims (1)
- 筒状をなし一端面がフォトリソグラフィ技術で用いるパ
ターン転写マスクに粘着されるペリクルカバーフレーム
と、前記マスクにパーティクルが付着することによりお
こるウェハー露光工程でのパターン欠陥発生の防止用に
前記ペリクルカバーフレームの多端面に張り付けた透明
有機薄膜とを備えたペリクルカバーにおいて、フレーム
と透明有機薄膜との接着面を有する側の端面に溝と、前
記溝の中に埋め込み可能な形状を有する金属あるいは樹
脂の枠と、前記金属あるいは樹脂の枠と、前記金属ある
いは樹脂の枠をフレームの外側に取り出す溝とを備えた
ペリクルカバーのフレーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1253366A JPH03114050A (ja) | 1989-09-28 | 1989-09-28 | ペリクルカバーのフレーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1253366A JPH03114050A (ja) | 1989-09-28 | 1989-09-28 | ペリクルカバーのフレーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03114050A true JPH03114050A (ja) | 1991-05-15 |
Family
ID=17250349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1253366A Pending JPH03114050A (ja) | 1989-09-28 | 1989-09-28 | ペリクルカバーのフレーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03114050A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4632161B1 (ja) * | 2010-02-12 | 2011-02-23 | ユー・エス・エム株式会社 | ヘラ機能付きトング |
-
1989
- 1989-09-28 JP JP1253366A patent/JPH03114050A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4632161B1 (ja) * | 2010-02-12 | 2011-02-23 | ユー・エス・エム株式会社 | ヘラ機能付きトング |
| JP2011161188A (ja) * | 2010-02-12 | 2011-08-25 | Usm Corp | ヘラ機能付きトング |
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