JPH037838A - クリーンスペーステクノロジーの製作ライン用の製作装置 - Google Patents

クリーンスペーステクノロジーの製作ライン用の製作装置

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Publication number
JPH037838A
JPH037838A JP2055183A JP5518390A JPH037838A JP H037838 A JPH037838 A JP H037838A JP 2055183 A JP2055183 A JP 2055183A JP 5518390 A JP5518390 A JP 5518390A JP H037838 A JPH037838 A JP H037838A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
compartment
isolation chamber
standardized
assembly
sluice gate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2055183A
Other languages
English (en)
Inventor
Hans Schimmelpfennig
ハンス・シメルプフエニヒ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of JPH037838A publication Critical patent/JPH037838A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67161—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers
    • H01L21/67173—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers in-line arrangement
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J21/00—Chambers provided with manipulation devices
    • B25J21/02—Glove-boxes, i.e. chambers in which manipulations are performed by the human hands in gloves built into the chamber walls; Gloves therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
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  • Robotics (AREA)
  • Ventilation (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、集積回路を製作するためのおよび／またはウ
ェハー移動機構およびインキプリント機構のような電気
機械的な駆動装置を組立てるための、クリーンスペース
テクノロジーの製作ライン用の製作装置に関する。
従来の技術 特にマイクロエレクトロニクスの分野で構成部材をミニ
チュア化することによって、クリーンスペース条件下で
製作プロセスを実施することが増々必要になっている。
いわゆるクリーンスペースのために空気湿度、空気温度
およびダストによる汚染に関して極めてわずかな許容誤
差が維持されねばならないので、このようなりリーンス
ペースの基本構成のために高額の投資費用が費やされね
ばならない。更に付加的に、工具、搬送部材、操作装置
等のようなすべての製造装置は製作すべき対象物および
これによって生ぜしめられるいわゆるクリーンスペース
等級に応じて申し分なくエミッションなしに作業しなけ
ればならない。前記製作プロセスを実施もしくは監視す
る協働者は、前記製作プロセスのための所要の作業条件
を満たすために、クリーンスペースに適応した極めて清
潔な衣服を着用する必要がある。
発明が解決しようとする問題点 本発明の課題は、−面では所望のクリーンスペース条件
を実現するための費用と関連した高額の投資費用が、ク
リーンスペース条件を維持して協働者の作業条件および
作業プロセス自体を改善した上で、著しく減少されるよ
うにし、他面ではフレキシブにしかも簡単に種々異なる
製作プロセスに適合できる設備構想が得られるようにす
ることにある。
問題点を解決するための手段 前記課題は本発明によれば、製作装置が製作および／ま
たは組立てのために必要な作業空間を直接取り囲む規格
化された隔室から構成されていて、規格化された隔室が
作業プロセスに応じて、それぞれ内部にマニピュレータ
が突入するアクティブな組立て隔室と、個々の作業プロ
セスを分離するための二重スルースゲート式隔室と、材
料の供給および放出を行うための単一スルースゲート式
隔室とからモジュール形式で構成可能であり、規格化さ
れた隔室の内室が１バール範囲の過圧を有するイナート
ガスによって充填されていることによって解決された。
発明の作用効果 本発明は、機械およびその他の装置および協働者を申し
分なく通常の工場周囲大気内に置くことができかつ工作
物において直接性われる製作プロセスのみをクリーンス
ペース条件下で実施できるという認識に基いている。つ
まりクリーンスペース条件は、製作プロセスに基いて絶
対必要とされる個所でのみ与えられればよい。
モジュール形式の構造によって組み合わされて任意の製
作装置を形成できる規格化された隔室を使用することに
よって、換気するための適当なフィルタ装置、空調装置
を有する建物部分もしくは部屋全体を設備する必要はな
くいわゆるクリーンスペースのための費用のかかるスル
ースゲートを省くことができる。更に本発明の著しい利
点は、製作装置をそのモジュール形式の構造によって簡
単な形式で種々異なる製作および組立てプロセスを有す
る極めて異なる製作ラインに適合できるということにあ
る。
本発明の有利な構成によれば、規格化された隔室は２５
０乃至５００ミリメーターの長さを以て３５０Ｘ３５０
ミリメーター範囲の統一寸法で製作されている。このよ
うな構成によって、規格化された隔室は殊更適合させる
ことなしに製作プロセスに応じて任意に組み合わせるこ
とができる。
更に本発明の別の有利な構成では、組立て隔室はそれぞ
れ上側の制限平面の範囲に、組立て隔室の内部に突入す
るマニピュレータ用の気密な貫通案内部を有していて、
この貫通案内部はマニピュレータができるだけ大きな作
業範囲を以て組立て隔室の長さ範囲を上回るように、配
置されている。これによって、例えば互いに並べて配置
された２つの組立て隔室のためにオーバーラツプされた
作業範囲において製作すべき工作物の引き渡しを行うこ
とができるようになる。
製作プロセスをまだ確実に実施できない製作プロセスの
ために、又は自動化できないか又は極めて高額な費用を
かけてのみ自動化できる製作プロセスのために、本発明
の別の有利な構成によれば、規格化された隔室がグロー
ブ・ボックス隔室によって拡大されている。これによっ
てこのばあい所定の製作プロセス範囲内で手動で関与す
ることもできる。
実施例 図示の実施例では、規格化された隔室ＭＺ。
ＤＺ、ＥＺから構成される装置 ている。このばあいアクティブな組立て隔室ＭＺは貫通
案内部ＤＦを備えていて、この貫通案内部内には詳細に
図示されてないロボ・ｙトのマニピュレータＭＡが突入
する。アクティブな組立て隔室ＭＺには二重スルースゲ
ート式隔室ＤＺが接続されていて、この二重スルースゲ
ート式隔室のスルースゲートＳＬ’　　ＳＬ”は製作プ
ロセスに応じて選択的に開閉できる。このような二重ス
ルースゲート式隔室ＤＺは個々の作業プロセスを互いに
分離するのに役立つので、例えば接着、注型、およびコ
ーティングプロセスは、これらプロセスが相互に影響を
及ぼさないように、互いに分離することができる。更に
単一スルースゲート式隔室ＥＺが設けられていて、この
単一スルースゲート式隔室は製作装置のために材料の供
給および放出を行う。更に、グローブ・ボックス隔室Ｇ
Ｚが設けられていてこれによって規格化された隔室ＭＺ
，ＤＺ。
ＥＺが拡大されひいては製作プロセスに手動で関与でき
るようになる。
第２図では互いに並べて配置された２つの組立て隔室Ｍ
Ｚ．ＭＺ’が平面図で図示されていて、このばあいそれ
ぞれ形成される作業範囲ＡＲ，ＡＲ’のオーバーラツプ
範囲ＵＢが図示されている。オーバーラツプ範囲ＵＢで
は両組室て隔室ＭＺ，ＭＺ’の間で処理すべき工作物の
引き渡しを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は規
格化された隔室を有する完全な製作装置を示す図、第２
図は互いに並べて配置された２つの組立て隔室が作業空
間を形成していることを示す図である。 ＡＲ，ＡＲ’・・・作業範囲、ＤＦ・・・貫通案内部Ｄ
Ｚ，ＥＺ，ＭＺ・・・隔室、ＧＺ・・・グローブ・ボッ
クス隔室，ＭＡ・・・マニピュレータ、ＳＬ。 Ｓ　Ｌ　’　　　Ｓ　Ｌ　１１・・スルースゲート、Ｕ
Ｂ・・・オーパーラップ範囲 ２５

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、集積回路を製作するためのおよび／または電気機械
    的な駆動装置を組立てるための、クリーンスペーステク
    ノロジーの製作ライン用の製作装置において、製作装置
    が製作および／または組立てのために必要な作業空間を
    直接取り囲む規格化された隔室（ＭＺ、ＤＺ、ＥＺ）か
    ら構成されていて、規格化された隔室（ＭＺ、ＭＤ、Ｅ
    Ｚ）が作業プロセスに応じて、それぞれ内部にマニピュ
    レータ（ＭＡ）が突入するアクティブな組立て隔室（Ｍ
    Ｚ）と、個々の作業プロセスを分離するための二重スル
    ースゲート式隔室（ＤＺ）と、材料の供給および放出を
    行うための単一スルースゲート式隔室（ＥＺ）とからモ
    ジュール形式で構成可能であり、隔室の内室が１バール
    範囲の過圧を有するイナートガスによって充填されてい
    ることを特徴とする、クリーンスペーステクノロジーの
    製作ライン用の製作装置２、規格化された隔室がそれぞ
    れ２５０乃至５００ミリメーターの長さを以て３５０×
    ３５０ミリメーター範囲の寸法で形成されている、請求
    項１記載の製作装置。 ３、組立て隔室（ＭＺ）がそれぞれ上側の制限平面の範
    囲に、組立て隔室（ＭＺ）の内部に突入するマニピュレ
    ータ（ＭＡ）用の気密な貫通案内部（ＤＦ）を有してい
    て、この貫通案内部が、マニピュレータ（ＭＡ）ができ
    るだけ大きな作業範囲を以て組立て隔室（ＭＺ）の長さ
    範囲を上回るように、配置されている、請求項１記載の
    製作装置。 ４、規格化された隔室（ＭＺ、ＤＺ、ＥＺ）がグローブ
    、ボックス隔室（ＧＺ）によって拡大可能である、請求
    項１記載の製作装置。
JP2055183A 1989-03-10 1990-03-08 クリーンスペーステクノロジーの製作ライン用の製作装置 Pending JPH037838A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3908329.2 1989-03-10
DE3908329A DE3908329A1 (de) 1989-03-10 1989-03-10 Fertigungseinrichtung in reinraumtechnologie

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH037838A true JPH037838A (ja) 1991-01-16

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ID=6376335

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JP2055183A Pending JPH037838A (ja) 1989-03-10 1990-03-08 クリーンスペーステクノロジーの製作ライン用の製作装置

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