JPH0377666B2 - - Google Patents

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JPH0377666B2
JPH0377666B2 JP56023015A JP2301581A JPH0377666B2 JP H0377666 B2 JPH0377666 B2 JP H0377666B2 JP 56023015 A JP56023015 A JP 56023015A JP 2301581 A JP2301581 A JP 2301581A JP H0377666 B2 JPH0377666 B2 JP H0377666B2
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体集積回路装置(以下、単にIC
と略す場合がある)に関し、特に大電流を消費す
るリニア回路と小電流を消費するデジタル回路と
が同一の半導体基板上に形成されている半導体集
積回路装置(以下、リニア・デジタル共存ICと
いう)に関する。
リニア・デジタル共存ICでは、従来、接地電
位又は基準電位にICを接続するための接地電位
接続用パツド(以下G−PADという)は、ICパ
ツケージの外部引出しリードの本数(ピン数)の
設置の制限から、半導体基板上に一つしか設けら
れていなかつた。従つて、デジタル回路とリニア
回路とは同一のG−PADを介してICの外部の接
地電位に接続されていた。しかしながら、小電流
振幅するデジタル回路と、大電流振幅するリニア
回路とを共通接続コネクタワイヤを介して接地す
る場合は、リニア回路の大電流振幅がデジタル回
路へ干渉するという問題点があることがわかつ
た。
ここで、従来の問題点の理解を容易にするため
に、第1図に従来のリニア・デジタル共存ICの
レイアウトを略式的に示す。1はICのパツケー
ジであり、2はパツケージ1からその外部に突出
している外部引出しリード(ピン)である。パツ
ケージ1に封止された半導体基板3上に、デジタ
ル信号処理を行うデジタル回路6と、アナログ信
号を処理するリニア回路7とが形成されており、
この2つの回路はそれぞれアルミニウム配線8,
9によつて一つのG−PAD4に接続されている。
G−PAD4は接地電位をICの外部から半導体基
板3内に導入するためのものであり、周知のワイ
ヤボンデイング技術によつて外部引出しリード2
に、コネクタワイヤ(金属細線)例えば金線5に
よつて接続され、それによつてICの外部回路の
接地電位に接続されている。第1図はデジタル回
路6とリニア回路7のG−PAD4への接続部の
みを示し、入出力回路等のその他の周辺回路は省
略してある。
このようなリニア・デジタル共存ICにおいて
は、リニア回路7からアルミニウム配線9を通し
てG−PAD4に流れる電流の値が大きく変化す
ると、その変動がデジタル回路6に対してノイズ
として伝わり、デジタル回路6の接地電位に対す
る信号レベルにノイズ信号が加わつた状態となつ
てデジタル回路6に誤動作する場合があつた。
特に、デジタル回路6が小信号電流振幅で動作
するIIL(Integrated Injection Logic)によつて
構成されている場合は、誤動作が生じ易く、IC
設計上の大きな制約となつていた。
本発明は上述した欠点、特にIILから成るデジ
タル回路を有するリニア・デジタル共存ICにお
ける欠点を解消するために成されたものであり、
本発明者の研究によれば、従来半導体基板内のア
ルミニウム配線の抵抗と比較してコネクタワイヤ
5の抵抗(例えば、50mΩ)は無視できるとされ
ていたが、リニア回路7からG−PAD4へ大電
流が流れた場合はコネクタワイヤ5の抵抗による
電圧降下が無視できなくなり、この抵抗のために
電流の値が大きく振動した時にはG−PAD4の
電位もこれに伴つて振動してしまうことがわかつ
た。このためICの外部回路の接地電位と同電位
である抵抗が無視できる外部引出しリード2の電
位とG−PAD4の電位とが一致しなくなり、こ
の結果、デジタル回路6内の接地されるべき箇所
が接地の状態でなくなりリニア回路の信号振幅の
影響を受けて誤動作の原因となつていることがわ
かつた。
特に、デジタル回路6がIILによつて構成され
ている場合は、IILの動作条件である安定した接
地という条件が満たされなくなるため、より一層
誤動作の可能性が大きいことがわかつた。
本発明の目的は、IILデジタル回路とリニア回
路とから成るリニア・デジタル共存ICにおける
デジタル回路の誤動作を防止することにある。
本発明の構成は、一つの半導体基体内にリニア
回路部とデジタル回路部とが形成され、かつその
半導体基体主面上には前記リニア回路部に対する
接地電位接続用パツドと前記デジタル回路部に対
する接地電位接続用パツドとがそれぞれ独立に設
けられ、一端がそれらパツドに近接し、パツケー
ジ外部に導出する一つの共通外部引出しリードが
設けられ、該リニア回路部に対する接地電位接続
用パツドと該引出しリードの一端および該デジタ
ル回路部に対する接地電位接続用パツドと該引出
しリードの一端との間をそれぞれコネクタワイヤ
で接続して成るものである。
かかる本発明によれば、外部引出しリード(ピ
ン)数を増加させることなく、デジタル回路の誤
動作を防止に効果がある。
以下、本発明を第2図に示す実施例により説明
する。この実施例は、信号処理を行うデジタル回
路をIILで構成し、IIL型のデジタル回路の出力信
号を受信してアナログ信号を出力するためのリニ
ア回路をバイポーラトランジスタで構成したリニ
ア・デジタル共存ICである。そのICの等価回路
を第3A図に略式的に示す。このICは、IILの持
つ高集積度、低消費電力という利点とバイポーラ
トランジスタの持つ大電流駆動が可能である利点
とを生かしたものである。第2図において、第1
図と同一箇所には同一符号を付してあるので、そ
の説明を省略する。一つのシリコン半導体基板3
上に信号処理回路14およびリニア回路15が形
成されており、この2つの回路はそれぞれアルミ
ニウム配線16および17によつて別々のG−
PAD10,G−PAD11に接続されている。信
号処理回路14はIILから成るデジタル回路であ
り他のボンデイングパツド(図示しない)(in)
に入力された信号の処理を行うものであり、15
はバイポーラトランジスタ等から成るリニア回路
であり、第3A図に示すように、デジタル回路1
4の信号を受信し、アナログ処理した出力信号を
他のボンデイングパツド(図示しない)から出力
outとして取り出すものである。G−PAD10お
よびG−PAD11はICの外部から接地電位をそ
れぞれデジタル回路14およびリニア回路15に
供給するためのパツドであり、周知のワイヤボン
デイング技術によつて同一の外部引出しリード2
に、別々のコネクタワイヤ(金属細線)例えば金
線12および13によつて接続される。外部引出
しリード2はICの外部回路の接地電位に接続さ
れる。またアルミニウム配線19はICの外部の
電源に他のボンデイングパツド(図示せず)を介
して接続されており電源電圧Vccを供給するため
のものである。電圧Vccは5Vである。18はバイ
アス回路であり、電源電圧Vcc=(5V)をIIL駆動
電圧である0.7Vに変換するためのものである。
第2図はデジタル回路14とリニア回路15の接
地電位又は基準電位接続用のG−PAD10,1
1への接続部分およびIIL駆動電圧発生回路18
以外は省略してある。
次にデジタル回路14およびリニア回路15の
構造について第3B図および第3C図を参照して
説明する。
信号処理回路14を構成するIILの基本回路の
構造を第3B図に示す。第3B図において、第3
A図と回路的に対応する部分は同一符号を以つて
示されている。
第3B図において、Q1はそのエミツタ領域、
ベース領域およびコレクタ領域がそれぞれP型領
域24、N-型エピタキシヤル層22およびP型
領域25から成る横型トランジスタであり、一
方、Q2はそのエミツタ領域、ベース領域および
コレクタ領域がそれぞれN+型埋込層21とN-
エピタキシヤル層22、P型領域25およびN+
型領域26とから成る縦型トランジスタである。
Q1のベースとQ2のエミツタは、第2図に略式
的に示された半導体基板3上に設けられたアルミ
ニウム配線16によつてG−PAD10に接続さ
れ、このG−PAD10を介して接地される。こ
のエピタキシヤル層22を接地電位に固定するこ
とはIILの安定動作に欠くことのできない条件で
ある。これは、このエピタキシヤル層22をある
一定の電位に固定することによつて素子間の絶縁
分離を不用にしているというIILの構造上の特徴
と、IILを駆動するためのバイアス回路18によ
つて発生した0.7Vという小さい電圧でIILを駆動
させるので、IILの最大論理振幅が0.5〜0.7V程度
と小さくノイズマージンが小さいという2つの理
由による。
Q1のコレクタ端子である端子Injには、第3A
図に示すように、バイアス回路18から約0.7V
の電圧が供給されており、Q2のベースは入力端
子Inに接続される。入力端子Inにはデジタル信号
が入力される。Q2のコレクタ端子である端子Out
1は次段IIL信号処理回路20に接続される。IIL
型信号処理回路は、入力段を形成する2つのトラ
ンジスタQ1およびQ2から成るIIL基本回路と同様
な基本回路を多数組合せたものから成る。
このようにしてIILの基本回路を多数組合せる
ことにより、リニア回路15を制御するためのデ
ジタル信号処理回路14が構成される。例えば、
この信号処理回路14は、記憶回路、デコーダ、
カウンタ等より成る。
リニア回路15を構成するバイポーラトランジ
スタ回路は第3A図に、そのリニア回路に使用さ
れるバイポーラトランジスタの構造は第3C図に
示される。両図において、同一の部分は同じ符号
を付してある。
第3A図において、入力段トランジスタQ3
負荷抵抗R1を介して電圧Vccが印加されており、
バイポーラトランジスタQ3のベースには、IIL型
デジタル回路14の出力信号が印加される。これ
によつて、Q3はスイツチ動作を行ない、次段の
アナログ信号処理回路21を制御する。このリニ
ア回路15は、出力端子Out3をもつ、大電流振
幅で動作する出力段回路を含む。リニア回路15
の動作によりリニア回路15を横切つて電源Vcc
から、接地用アルミニウム配線17に流れる電流
は数十mAから数百mAまでの間で変化するもの
である。例えば20mAから280mAに変化するもの
である。この電流の変化はIILデジタル回路14
の電流変化数μA〜数百μAに対し、1000倍以上の
大きさを以つて変化するものである。このリニア
回路15を構成するバイポーラトランジスタの構
造は第3C図に示すように、N+型領域30のエ
ミツタ領域と、P型領域29のベース領域と、
N-エピタキシヤル層22のコレクタ領域とから
成り、各トランジスタはP型アイソレーシヨン領
域23によつて互いに半導体基板内において電気
的に分離されている。リニア回路15の接地用配
線(アルミニウム配線)17が半導体基板上に設
けられ、これはデジタル回路14と独立に設けら
れたG−PAD11に接続される。さらに、この
G−PAD11は、コネクタワイヤ13によつて、
外部引出しリード2に電気的接続される。
このようなリニア回路15においては、動作に
従つて、振幅変化する電流(例えば最大280mA
から最低20mAに変化する電流)がアルミニウム
配線17を通つてG−PAD11に流れ、さらに
コネクタワイヤ13を通り外部引出しリード2へ
流れ、システムにおける本来の接地電位に流れる
こととなる。
本発明によれば、ノイズマージンの少ないIIL
型デジタル回路14をリニア回路15と共存させ
ても、リニア回路15の大電流振幅に基づくIIL
型デジタル回路14への影響を防止することがで
きる。すなわち、リニア回路15に大電流が流れ
しかもその値が20mAから280mAという大きな振
幅で変動する場合でも、G−PADおよびコネク
タワイヤがデジタル回路用10および12とリニ
ア回路用11および13とにそれぞれ別個に設け
られているので、G−PAD10の電位は外部引
出しリードの電位すなわちICの外部回路の接地
電位と常に等しくされる。すなわち、本発明によ
れば、従来のようにリニア回路とIILデジタル回
路とが同一のG−PADおよびコネクタワイヤに
接続されているために、リニア回路から大電流が
流れしかもその値が大きな振幅で変動する場合、
コネクタワイヤの抵抗による電圧降下が無視でき
なくなり、電流値の振動に伴つてコネクタワイヤ
での電圧降下によつて共通のG−PADの電位が
振動し外部引出しリードの電位すなわちICの外
部回路の接地電位と一致しなくなるという不都合
は全くない。従つてリニア回路における電流の変
動がIIL型デジタル回路に影響を与えることはな
く、デジタル回路の誤動作は防止される。特に、
IIL型デジタル回路は低消費電力回路であるため、
IIL型デジタル回路14からアルミニウム配線1
6、G−PAD10およびコネクタワイヤ12を
通り外部引出しリードへ流れる電流は数μA〜数
百μAと小さく、コネクタワイヤ12の抵抗によ
る電圧降下は無視できたにもかかわらず、従来の
ようにリニア回路と共通にそのコネクタワイヤを
使用した場合、IIL型デジタル回路の入力レベル
がリニア回路の信号レベルの変化の影響を受け易
いという問題点があつた。本発明によれば、この
ような問題点は全く解消される。
以上の本発明の実施例から明らかにされるよう
に、本発明によれば、特に、IIL型デジタル回路
をリニア回路と共存させるICを製造する場合に
おいて、IILデジタル回路の誤動作の防止に効果
がある。特に、ICパツケージの引出しリードの
本数(ピン数)が制約される場合において適用し
て有効である。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のリニア・デジタル共存ICの概
略のレイアウト図、第2図は本発明によるリニ
ア・IIL型デジタル共存ICの概略のレイアウト図、
第3A図は第2図のデジタル回路を構成するIIL
の等価回路図、第3B図および第3C図は第2図
に示した本発明のICの断面図である。 2……ICの外部引出しリード、3……半導体
基板、10……デジタル回路用の接地電位接続用
パツド、11……リニア回路用の接地電位接続用
パツド、12……デジタル回路用のコネクタワイ
ヤ、13……リニア回路用のコネクタワイヤ、1
4……IILから成るデジタル回路、15……リニ
ア回路。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 一つの半導体基体内にリニア回路部とデジタ
    ル回路部とが形成され、かつその半導体基体主面
    上には前記リニア回路部に対する接地電位接続用
    パツドと前記デジタル回路部に対する接地電位接
    続用パツドとがそれぞれ独立に設けられ、一端が
    それらパツドに近接し、パツケージ外部に導出す
    る一つの共通外部引出しリードが設けられ、該リ
    ニア回路部に対する接地電位接続用パツドと該引
    出しリードの一端および該デジタル回路部に対す
    る接地電位接続用パツドと該引出しリードの一端
    との間をそれぞれコネクタワイヤで接続して成る
    ことを特徴とする半導体集積回路装置。
JP56023015A 1981-02-20 1981-02-20 Semiconductor integrated circuit device Granted JPS57138170A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56023015A JPS57138170A (en) 1981-02-20 1981-02-20 Semiconductor integrated circuit device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56023015A JPS57138170A (en) 1981-02-20 1981-02-20 Semiconductor integrated circuit device

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JPS57138170A JPS57138170A (en) 1982-08-26
JPH0377666B2 true JPH0377666B2 (ja) 1991-12-11

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ID=12098659

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JP56023015A Granted JPS57138170A (en) 1981-02-20 1981-02-20 Semiconductor integrated circuit device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6113319A (ja) * 1984-06-29 1986-01-21 Yokogawa Hokushin Electric Corp 基準電圧発生装置
JPS61190150U (ja) * 1985-05-17 1986-11-27
JPS63142847A (ja) * 1986-12-05 1988-06-15 Nec Corp 半導体集積回路
JP2766138B2 (ja) * 1992-09-07 1998-06-18 株式会社日立製作所 半導体集積回路の検査方法
JP3851303B2 (ja) 2003-09-08 2006-11-29 ローム株式会社 多出力型電源装置及びこれを用いた携帯機器

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54142985A (en) * 1978-04-28 1979-11-07 Toshiba Corp Semiconductor device

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5499576U (ja) * 1977-12-26 1979-07-13

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54142985A (en) * 1978-04-28 1979-11-07 Toshiba Corp Semiconductor device

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JPS57138170A (en) 1982-08-26

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