JPH0358450A - 半導体装置のセラミックパーケージ - Google Patents
半導体装置のセラミックパーケージInfo
- Publication number
- JPH0358450A JPH0358450A JP1195007A JP19500789A JPH0358450A JP H0358450 A JPH0358450 A JP H0358450A JP 1195007 A JP1195007 A JP 1195007A JP 19500789 A JP19500789 A JP 19500789A JP H0358450 A JPH0358450 A JP H0358450A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outer periphery
- layer
- bonding
- cavity
- wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 12
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 12
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- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 14
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置のセラミックパッケージに関する。
従来、この種の半導体装置のセラミックパッケージ(以
下パッケージと記す)は、第3図に示すように、キャビ
ティ3の外周に金めつきを施した金属シールリング6と
、金属キャップ4をローラ電極5により、電気溶接を行
って封止するという方法によって得られていた。
下パッケージと記す)は、第3図に示すように、キャビ
ティ3の外周に金めつきを施した金属シールリング6と
、金属キャップ4をローラ電極5により、電気溶接を行
って封止するという方法によって得られていた。
上述したセラミックパッケージは、金属シールリングが
キャビティ外周に存在するため、第4図に示すように、
ボンディング工程に於て、ボンディングワイヤ9やボン
ダのワイヤクランパ8が金属シールリング6と接触し、
ボンディング不良を発生させるという欠点がある. 本発明の目的は、ボンディングワイヤやホンダのワイヤ
クランバが金属リングと接触し、ボンディング不良を発
生することがないパッケージを提供することにある. 〔課題を解決するための手段〕 本発明は、半導体装置のセラミックパッケージに於て、
キャビティの外周に沿って帯状の金めつき層を施し、更
に、該金めつき層の外周に沿って溝部が形或されている
. 〔実施例〕 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
キャビティ外周に存在するため、第4図に示すように、
ボンディング工程に於て、ボンディングワイヤ9やボン
ダのワイヤクランパ8が金属シールリング6と接触し、
ボンディング不良を発生させるという欠点がある. 本発明の目的は、ボンディングワイヤやホンダのワイヤ
クランバが金属リングと接触し、ボンディング不良を発
生することがないパッケージを提供することにある. 〔課題を解決するための手段〕 本発明は、半導体装置のセラミックパッケージに於て、
キャビティの外周に沿って帯状の金めつき層を施し、更
に、該金めつき層の外周に沿って溝部が形或されている
. 〔実施例〕 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
第1図(a>,(b)は本発明の一実施例の平面図及び
断面図、第2図は第1図(a),(b)の金めつき層に
金属キャップを溶接し封止する方法を説明する断面図で
ある。
断面図、第2図は第1図(a),(b)の金めつき層に
金属キャップを溶接し封止する方法を説明する断面図で
ある。
第1図(a>,(b)に示すように、セラミック基板の
キャビティ3の外周に沿って帯状の金めつき層1が施さ
れ、更に、この金めつきN1の外周に沿って溝部2が形
成されている。
キャビティ3の外周に沿って帯状の金めつき層1が施さ
れ、更に、この金めつきN1の外周に沿って溝部2が形
成されている。
このように、キャビティ3の外周に沿って金めつき層1
と溝部2を形成することにより、ボンディング工程に於
て、ボンデイングワイヤやボンダのワイヤクランバが金
めつき層1と接触し、ボンディング不良を発生させるこ
となく、第2図に示すように、ローラ電極5により、金
属キャップ4と金めっき層1を溶接し、パッケージを封
止することができる。
と溝部2を形成することにより、ボンディング工程に於
て、ボンデイングワイヤやボンダのワイヤクランバが金
めつき層1と接触し、ボンディング不良を発生させるこ
となく、第2図に示すように、ローラ電極5により、金
属キャップ4と金めっき層1を溶接し、パッケージを封
止することができる。
以上説明したように本発明は、金属シールリングの突起
をなくし、ローラ電極との接触を防ぐ溝部を設ける事に
より、第4図に示すように、ホンディング工程に於て、
ボンディングワイヤつと金属シールリング6の接触をな
くし、良好なボンディング性が与られるという効果があ
る。
をなくし、ローラ電極との接触を防ぐ溝部を設ける事に
より、第4図に示すように、ホンディング工程に於て、
ボンディングワイヤつと金属シールリング6の接触をな
くし、良好なボンディング性が与られるという効果があ
る。
第1図(a>.(b)は本発明の一実施例の平面図及び
断面図、第2図は第1図(a),(b)の金めつき層に
金属キャップを溶接し封止する方法を説明する断面図、
第3図は従来のパッケージの封止方法の一例を説明する
断面図、第4図は従来のパッケージのワイヤボンディン
グ方法の一例を説明する断面図である。 1・・・金めつき層、2・・・渭部、3・・・キャビテ
ィ、4・・・金属キャップ、5・・・ローラ電極、6・
・・金属シールリング、7・・・ボンディングツール、
8・・・ワイヤクランバ、9・・・ボンディングワイヤ
。
断面図、第2図は第1図(a),(b)の金めつき層に
金属キャップを溶接し封止する方法を説明する断面図、
第3図は従来のパッケージの封止方法の一例を説明する
断面図、第4図は従来のパッケージのワイヤボンディン
グ方法の一例を説明する断面図である。 1・・・金めつき層、2・・・渭部、3・・・キャビテ
ィ、4・・・金属キャップ、5・・・ローラ電極、6・
・・金属シールリング、7・・・ボンディングツール、
8・・・ワイヤクランバ、9・・・ボンディングワイヤ
。
Claims (1)
- 半導体装置のセラミックパッケージに於て、キャビティ
の外周に沿って帯状の金めつき層を施し、更に、該金め
っき層の外周に沿って溝部を形成したことを特徴とする
半導体装置のセラミックパッケージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1195007A JPH0358450A (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 | 半導体装置のセラミックパーケージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1195007A JPH0358450A (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 | 半導体装置のセラミックパーケージ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0358450A true JPH0358450A (ja) | 1991-03-13 |
Family
ID=16333984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1195007A Pending JPH0358450A (ja) | 1989-07-26 | 1989-07-26 | 半導体装置のセラミックパーケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0358450A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102837136A (zh) * | 2012-09-11 | 2012-12-26 | 陕西华经微电子股份有限公司 | 一种异形结构封装外壳平行缝焊工艺及装置 |
-
1989
- 1989-07-26 JP JP1195007A patent/JPH0358450A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102837136A (zh) * | 2012-09-11 | 2012-12-26 | 陕西华经微电子股份有限公司 | 一种异形结构封装外壳平行缝焊工艺及装置 |
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