JPH03502608A - 位置決め装置用測定プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 位置決め装置用測定プローブ 技術分野 この発明は位置決めを被加工物の表面位置で行う装置に用いられる測定プローブ に関するものである。この発明に係る装置は工作機械や座標測定装置を含むもの である。

背景技術 このようなプローブの公知例は被加工物の表面に接触するスタイラスを含む。こ のスタイラスはプローブ本体に対して三直交軸方向Ｘ　＋　３’　＋　Ｚに移動 し得るものである。そして、このスタイラスは上述の三方向のどの方向において も零点位置に向けてばねによりバイアスされている。この例のプローブはまた上 述の三方向のどの方向においてもスタイラスの変位を測定するための手段を含む 。実際には、このプローブは位置決め装置（例えば工作機械または座標測定装置 ）のタイルまたはスピンドルに取り付けられている。このタイルまたはスピンド ルはそれ自体が被加工物に対して上述のＸＩ　３／ｌ　ｚの各方向に移動し得る ものである。上述のスタイラスが被加工物の表面に接触していることから、その 接触点の座標は上述のタイルまたはスピンドルの位置のＸ　＋　Ｖ　＋　Ｚ表示 にプローブのＸ　＋　ｙ＋　Ｚ出力を加味することによって得られる。このよう なプローブは、被加工物の表面に継続的に接触した状態のスタイラスとともに移 動するので、被加工物の表面の輪郭を走査するのに用いることができる。

また、このようなプローブとしては、ｘ＋　５’＋　Ｚ方向の各軸線方向に沿っ て配設されたスラストベアリング（ｌｉｎｅａｒ　ｂｅａｒｉｎｇ）を備えたタ イプのものが知られている。例えば、日本企業の三豊（Ｍｉｔｕｔｏｙｏ）から 入手できるプローブでは、各軸線に沿って配されたスラスト空気ベアリング（ｌ ｉｎｅａｒ　ａｉｒ　ｂｅａｒｉｎｇ）を使用している。このプローブは低摩擦 の利点を有しており、この点は目的物の走査用に設計された測定プローブにおい ては重要な因子である。

しかしながら、上述した空気ベアリングの使用は空気供給を必要とする不利な面 を伴う。また、負荷容量（ｌｏａｄ　ｃａｐａｃｉｔｙ　）や一定サイズの空気 ベアリングの硬さく　５ｔｉｆｆｎｅｓｓ　）には実用上の限界があり、したが って相対的に低いばね率（ｓｐｒｉｎｇ　ｒａｔｅ　）を有するバイアスばねが 必要となる。少ない負荷容量は、プローブにより動作し得るスタイラスのサイズ を規制する。空気ベアリングに硬さが足りないと、プローブの静的な精度を制限 するから、いかなる変形の場合も読み出し精度が下がることになる。さらに、上 述の空気ベアリングの硬さが不足しかつそのばね率が低いと、プローブの動的動 作に影響する。

この公知のプローブの可動部分は相対的に低い自然振動数（３ヘルツ付近）を有 する。この自然振動数はプローブが正確に、かつ接触時の瞬間的な損失の危険性 なしに走査することができる場合の最大走査速度を制限する。

他のプローブは欧州特許公開公報ＥＰ−Ａ−０１２１１１５６１号（Ｍｅｃｏｆ 、　）に示唆されている。このプローブでは、空気ベアリングの代わりに、上述 の三軸線Ｘ＋　ｙ＋Ｚの各軸線に沿うボールまたはローラーベアリングを使用し ている。このプローブにおいては、Ｘ軸線方向およびＸ軸線方向には、互いに平 行な一対のスラストベアリングが各々配されており、各ベアリングはボールまた は交差ローラーに形成された溝（ｇｒｏｏｖｅ）を備えている。２軸線方向には 単筒状のスラストボールベアリングが配されている。

しかしながら、このようなプローブの設計にあたっては、ベアリングの負荷容量 、その硬さおよび摩擦を考慮する必要がある。負荷容量はベアリングの能力に影 響を及ぼし、スタイラスが被加工物との接触によりそらされた際には曲げモーメ ントを発生させることから、バイアスばねのばね率の最大可能値に連動してしま う。

これらの考慮すべきことに注意して、この提案されたプローブを検討すると、こ のプローブにおいては、所望の動的走査動作を達成するために、むしろ大きめの スラストベアリングが必要となるから、小型のハウジング内に組み立てることは できない不都合がある。

さらに、これらのベアリングは受容し得ない高い摩擦熱に晒される欠点もある。

本発明は上述した全ての問題点を克服するためになされたものである。そして、 本発明は添付された請求の範囲に明細に述べられているように、種々の実施態様 を有するものである。

発明の開示 本発明の一つの実施態様に従うと、 軸線を有するプローブ本体と、 該プローブ本体の軸線方向にプローブ本体から突出しかつ前記軸線方向と該軸線 方向の側方（１ａｔｅｒａｌ）の少なくとも一方向とに移動可能である、被加工 物に接触するためのスタイラスと、 前記各方向における変位のために前記スタイラスを支持するための支持手段と、 前記各方向におけるプローブ本体に関連した前記スタイラスの変位を測定する手 段とを含み、前記支持手段が前記軸線方向への変位のために前。

記スタイラスを支持するものであって、前記軸線にいずれも平行でかつ互いに側 方へ離間した二つのストラスベアリングを含むものである測定用プローブが提供 される。

また、本発明の他の実施態様に従うと、軸線を有するプローブ本体と、 該プローブ本体の軸線方向にプローブ本体から突出しかつ前記軸線方向と該軸線 方向の側方（１ａｔｅｒａｌ）の少なくとも一方向とに移動可能である、被加工 物に接触するためのスタイラスと、 前記各方向における変位のために前記スタイラスを支持するための支持手段と、 前記各方向におけるプローブ本体に関連した前記スタイラスの変位を測定する手 段とを含み、前記支持手段は、少な（とも一つの第１の介在体と、該第１の介在 体と前記軸線方向への変位のために第１の介在体を支持するプローブ本体との間 に配された第１のスラストベアリング手段と、前記第１の介在体と前記側方の方 向への変位のためにスタイラスを支持するためのスタイラス保持具とを含み、第 １の介在体が側方の方向への変位ではなく軸線方向への変位のために支持された プローブが提供される。

さらに、本発明の他の実施態様に従うと、軸線を有するプローブ本体と、 該プローブ本体の軸線方向にプローブ本体から突出しかつ前記軸線方向と該軸線 方向の側方（１ａｔｅｒａｌ）の少なくとも一方向とに移動可能である、被加工 物に接触するためのスタイラスと、 前記各方向における変位のために前記スタイラスを支持するための支持手段と、 前記各方向におけるプローブ本体に関連した前記スタイラスの変位を測定する手 段とを含み、前記支持手段は、少な（とも一つの第１の介在体と、該第１の介在 体と前記軸線方向のうち一方向への変位のために前記第１の介在体を支持するプ ローブ本体と、前記軸線方向の他の方向への変位のためにスタイラスを支持する スタイラス保持具とを含み、前記第１および第２のスラストベアリング手段にそ れぞれ関係した第１および第２のバイアス手段を備え、該第１および第２のバイ アス手段は第］の介在体およびスタイラスをそれぞれの零点位置にバイアスする ものであり、 前記第２のバイアス手段はスタイラスと第１の介在体との間に作用するものであ るプローブが提供される。

さらにまた、本発明の他の実施態様に従うと、軸線を有するプローブ本体と、 該プローブ本体の軸線方向にプローブ本体から突出しかつ前記軸線方向と該軸線 方向の側方（１ａｔｅｒａＩ）の少なくとも一方向とに移動可能である、被加工 物に接触するためのスタイラスと、 前記各方向におけろ変位のために前記スタイラスを支持するための支持手段と、 前記各方向におけるプローブ本体に関連した前記スタイラスの変位を測定する手 段とを含み、支持手段は前記各軸線方向への前記変位のためにスタイラスを支持 するものであって、互いに平行でかつ互いに離間した二つの円筒状のスラストベ アリングを含み、 各スラストベアリングは、同心状に配された複数の円筒体の表面同士で構成しか つ互いに滑動可能である対向面と、該対向面間に配された回転要素を含むプロー ブが提供される。

図面の簡単な説明 本発明に従うプローブの例を、添付する図面を参照しつつ記載する。

第１図は本発明に従うのプローブの一例を示す垂直断面図、 第２図は第１図におけるＢ−Ｂ線視垂直断面図、第３図は第１図におけるＤ−Ｄ 線視水平断面図、第４図は第１図におけるＥ−Ｅ線視水平断面図、第５図は第１ 図におけるＦ−Ｆ線視水平断面図、第６図は本発明に従うプローブの他の例を示 す水平断面図、および 第７図は本発明に従うプローブの一態様の詳細を示す断面図である。

発明を実施するための最良の形態 第１図ないし第５図は、本発明に従うプローブの一′例を示すものである。これ らの図において、プローブは工作機械または座標測定装置などの位置きめ装置内 に取りつけるためのハウジング１０を含む。このハウジングｌＯは、上述の位置 決め装置により被加工物に対してプローブが移動した際に、被加工物の表面に接 触するためのスタイラスチップ１４を備えたスタイラス１２を有している。この スタイラスチップ１４が被加工物の表面に接触している場合、スタイラス１２は ハウジングｌＯに対してＸ　ｒ　、Ｖ　＋　２軸線方向の各正逆方向（±Ｘ、± ｙ、±ｚ　ｄｉｒｅｃｔｉｏｎｓ　）に自由に移動することができる。このハウ ジング１０の端部において、上述したスタイラス１２は後述の懸架装置に取り付 けられている。

スタイラス１２はハウジング１０内のスタイラス保持具１６に固着されている。

このスタイラス保持具は、ハウジングの孔１８を通じてハウジングの外方へ突出 している。可どう性の仕切板（ｆｌｅｘｉｂｌｅ　ｄｉａｐｈｒａｍ　）　２０ は、この仕切板が上述したＸ　＋　Ｖ　＋　Ｚ軸線方向への移動を妨害しない状 態を各方向で同時に提供する間、ハウジングｌＯとスタイラス保持具１６との間 の隙間を封止するものである。スタイラス保持具１６は第１の介在部材２２に対 してＸ軸線方向の正逆方向に沿って滑動可能である。この第１の介在部材２２は 第２の介在部材２４に対してＸ軸線方向の正逆方向に沿って滑動可能である。こ の第２の介在部材２４はハウジング１０に対してＺ軸線方向の正逆方向に沿って 滑動可能である。

スタイラス保持具１６と第１の介在部材２２との間の滑動は次のようにして行わ れる。２本の平行なスリーブ２６は、スタイラス保持具１６の内部をＸ軸線方向 に沿って延びる平行な穴にそれぞれ固着されている。シャフト３０は、各スリー ブ２６内の中心に位置してスリーブ２６と同心状に延在されている。このシャフ ト３０は、第２図および第５図に最もよく示されているように、第１の介在部材 ２２のぶら下がり形状の脚部３２の間に配設されるようにして介在部材２２で固 着されている。スリーブ２６は、（スタイラス１２のＸ軸線方向への移動を提供 するために）シャフト３０とスリーブ２６との間の円筒状の筐体２８によりシャ フト３０上に滑動可能である。この筐体２８は上述のシャフトとスリーブとの間 に複数のボールベアリングを捕捉してお（ためのものである。

上述のシャフト３０、スリーブ２６、筐体２８および該筐体に付随したボールベ アリングは、商業的に入手可能な装置である円筒状のスラストボールベアリング を構成する。

上述のプローブの製造工程においては、二つのスラストベアリングが精度よく互 いに平行であることを保証するために注意が払われる。この結果、スタイラス１ ２はスタイラス保持具１６に対してＸ軸線方向に真に直線移動することができる 。

上述のスタイラス保持具１６は２本の互いに対立する引張ばね３６により第１の 介在部材２２に対して零点位置にバイアスされている。各引張ばね３６は、上述 のスラストベアリング装置に平行となるようにスタイラス保持具１６の内部に形 成されたそれぞれ個別の穴に挿通されており、各引張ばね３６の一端は介在部材 ２２の脚部３２のうちの一方にそれぞれ接続されている。

また、このスタイラス保持具１６には、その内部に、スラストベアリング装置に 平行となるように更に形成された穴に配された減衰装置３８を任意に備えること ができる。この減衰装置３８はスタイラス保持具１６と介在部材２２の脚部の一 方との間に作用するものである。

変換器はＸ軸線方向の正逆方向に沿うスタイラス保持具１６の移動量を測定する ために配設されている。この変換器は、第１図および第５図に最もよく示されて いるように、Ｘ軸線方向に沿って延び、かつスタイラス保持具１６に取り付けら れた周期的な目盛りの付いた定規４０を含む。第１の介在部材２２に取り付けら れた発光ダイオード４２が定規４０を照らすことから、これも介在部材２２の、 定規４０側とは反対側の位置に取り付けられた読み出しヘッド４４は定規４０上 の周期的な目盛りの通過を検出することができる。なお、上述した定規および読 み出しヘッドの構造としては、国際特許出願明細書の公開公報Ｎｏ、　ＷＯ８６ １０３８３３号に記載されたものであってもよい。例えば、線形可変容量型電磁 変換器（ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ　１ｉｎｅａｒ　ｖａｒｉａｂｌｅ　 ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ、ＬＶＤＴｓ　）などの異なる タイプの変換器を使用することが望ましいならば、勿論使用することができる。

Ｘ軸線方向の正逆方向への滑動を提供する上述の配置構成および同方向への移動 量の測定は基本的にＸ軸線方向の正逆方向への移動やＺ軸線方向の正逆方向への 移動の場合に繰り返される。

このように、第１の介在部材２２は、第２図および第４図に示されるように、上 述のスラストベアリング装置２６．２８．３０と同様に構成された二つの互いに 平行なスラストベアリング装置４６を備えている。このスラストベアリング装置 ４６は、第２の介在部材２４の両側部４８間に第１の介在部材２２を、Ｘ軸線方 向の正逆方向に滑動させるように懸架するものである。

先に述べたように、第１の介在部材２２は、この介在部材２２の内部に形成され た穴にそれぞれ配された互いに対立する引張ばね５０により零点位置にバイアス されている。各引張ばね５０は、それぞれ第１の介在部材２２と第２の介在部材 ２４の側部４８の一方との間においてＸ軸線方向の正逆方向に作用するものであ る。

上述した減衰装置３８に類似する減衰装置５２は介在部材２２のＸ軸線方向の正 逆方向への動きを減衰する。介在部材２２のＸ軸線方向の正逆方向への移動量は 、介在部材２４にＸ軸線方向に沿って取り付けられた定規５８と協同して、介在 部材２２に取り付けられた発光ダイオード５４および読み出しヘッド５６により 測定される。

同様に、第２の介在部材２４は、二つの互いに平行なスラストベアリング装置６ ０により２軸線方向の正逆方向に沿って滑動可能である。これらのスラストベア リング装置は上述の介在部材２４の両側部４８の内部に形成された穴にそれぞれ 配設されており、ハウジングｌＯの上方内部フランジ６２と下方内部フランジ６ ４との間に介在部材２４を懸架するものである。

先にも述べたように、介在部材２４の２軸線方向の正逆方向への動作は引張ばね により零点位置にバイアスされている。このような二つのスプリング６６は、上 部フランジ６２に取り付けられた複数の（ぎ６８と介在部材２４の両側部４８に 取り付けられた複数の（ぎ７０との間に作用する。さらに、二つのスプリング７ ２は上述のくぎ７０と下部フランジ６４に取り付けられた（ぎ７４との間に作用 する。

減衰装置７６はハウジング１０と介在部材２４との間にＺ軸線方向に沿って作用 する。垂直方向に延びる定規７８は介在部材２４に取り付けられている。Ｚ軸線 方向への移動量は、上述の定規７８と、発光ダイオード８０と、上方内部フラン ジ６２に取り付けられた読み出しヘッド８４との協同作用により測定される。

第６図は本発明に従うプローブの第２の例を示す。

概略説明すると、この例のプローブは先に述べたプローブに類似しており、この 類似部分には同一の参照符号を符した。第６図に示した断面は、第１図および第 ２図のスラストベアリング装置２６．２８．３０の断面と同一の面での切断面で ある。このように、第６図は、単にスタイラス保持具１６と第１の介在部材２２ との間のベアリングの配置構成を示すものである。しかしながら、類似のベアリ ングの配置構成は他の二つの直交軸の軸線方向への移動に対しても用意される。

第６図に示されているように、スラストベアリング装置２６．２８．３０は、複 数の軽量型圧縮ばね１００が備えられている以外は第１図ないし第５図の装置と 同一である。これら圧縮ばね１００は上述の円筒状の筐体２８と介在部材２２の 脚部との間に作用する。圧縮ばね１００は上述の筐体がスリーブ２６とシャフト ３０との間から次第に逸脱していかないように、また介在部材２２と隣接してい るように、筐体をシャフトの中心部に集めておくためのものである。圧縮ばね１ ００は、スタイラス保持具１６を零点位置にバイアスさせておくようなかなり大 きな効果を示さないように、とても弱いばね率を有している。

前記実施例の引張ばね３６の代わりに、圧縮ばね１３６は介在部材２２とスタイ ラス保持具１６との間に配され、スタイラス保持具を零点位置にバイアスする。

この圧縮ばね１３６は介在部材２２の各脚部にそれぞれ配されたねじ切りプラグ １３７をその付勢力で押圧する。これらプラグ１３７は、必要に応じてばね率の 異なるばねに交換できるように、ばね１３６への簡易なアクセスを提供するもの である。上述のねじ切りプラグ１３７を微調整することは、またスタイラス保持 具１６の零点位置の微調整をすることになる。

減衰装置１３８は、内部にピストン（図示せず）が配設された液状シリコン充填 シリンダー１９０を含む。このピストンは介在部材２２の脚部の間に固定された ロッド１９２に取り付けられており、シリンダー１９０を貫通するものである。

このシリンダーの両端部は、その両端部から突出したロッド１９２の周囲が蛇腹 状の可どう性シール１９４により被覆されることによって封止されている。この シリンダーにおけるピストンは、そのシリンダー自体に接触していない。これは シリンダーとピストンとの低摩擦を保証するためである。シリンダー内の液体は 粘性減衰を提供するものである。上述のばね１３６のように、減衰装置１３８は また取り外し可能であるから、必要に応じて減衰率の異なる減衰装置に置き換え ることができる。

第１図ないし第５図に示した実施例のように、上述したベアリング、ばね、減衰 装置の配置構成と類似する構成は、第１の介在部材と第２の介在部材との間、ま たさらに第２の介在部材とハウジングとの間に配されると理解されるべきである 。

上述した二つの実施例において、ばね３６，１３６および減衰装置３８．１３８ は、スタイラス保持具１６とハウジングとの間というよりはむしろスタイラス保 持具１６と介在部材２２との間に作用する。同様に、他の水平軸に関係したばね と減衰装置は、第１の介在部材とハウジングとの間ではなく、第１の介在部材と 第２の介在部材との間に作用する。これは、一定の軸線に沿う動作のためのばね と減衰装置は他の軸線上のいかなる効果をも奏することはなく、またそれら他の 軸線方向における摩擦抵抗を生じさせる可能性のないことを意味する。

このようにして、走査中に偶然発生した摩擦抵抗を減少させ、プローブの全動作 を改良した。さらにまた、各構成部の配置は、上述のばね率がｘ、ｙ、ｚ軸線に 平行でない方向を含む三次元において、スタイラスがそれる可能性のある全ての 方向に関して等しいことを保証する。

上述したプローブにおけるスタイラス１２を各軸線方向に移動させるための二つ の互いに平行なスラストベアリング装置の使用は、他の軸線上の望まない動作を 減少させようとすることなしに、一定の軸線に沿ったスタイラスの真の直線移動 という結果を生じる。これにより、プローブの精度は向上する。

さらにまた、外部スリーブ、内部シャフトおよび該スリーブとシャフトとの間に 捕捉されたボールを有する円筒状のスラストベアリングの使用は特に有利である 。明らかに、ボールまたはローラベアリングの負荷容量は、使用されたボールま たはローラの数に依存する。上述したように、ボール等を円筒状に配置すること は、比較的小さな体積のボールを多数供給することを可能にする。したがって、 プローブのサイズが小さいのに、スタイラスぶれの曲げモーメントを生じさせる とともに、高いばね率のバイアスばねを収容することも可能となる。例えば、欧 州特許公開公報ＥＰ−Ａ−０１２８５６１号に従う実用化プローブの直径は約１ ５０ｍｍであるのに対し、本発明に従う実用化プローブは、その直径が８４＋ｎ ｍおよび４０ｍｍであり、プローブ動作もより優れたものとなっている。硬さく ５ｔｉｆｆｎｅｓｓ　）や、より高いばね率を発揮するように改良された本実施 例のプローブの能力のために、このプローブの可動部分は、１６ヘルツ付近と、 公知である三層の空気ベアリングプローブの約ヘルツに比べて高い自然振動数を 有する。これにより、スタイラスが被加工物の表面から離れることなしに、被加 工物の表面を２ｍ／分と５ｍ／分との間の走査速度で走査することが可能となる 。

ベアリングの能力は曲げモーメントを生じさせることであると先に述べたが、本 発明に従うプローブの例として示した二つのプローブのいずれかの動作を例えば 第７図に示すように改良することができる。即ち、円筒状のスラストベアリング の長さ方向の全体にわたって等間隔にボールを配置する代わりに、筐体２８の両 端側の部分にボールを集中的に配置する。これは、また正確な公差が筐体の端部 についてのみ要求されることになるから、ベアリングの製造が容易となる利点を 有する。

産業上の利用可能性 本発明の測定プローブは、例えば工作機械や座標測定装置などの位置決めを被加 工物の表面位置で行う装置に適用することができる。また、本発明はＸ　＋　３ ’　＋Ｚ軸の三軸方向にぶれ可能な三次元プローブのみならず、−軸のみまたは 二軸方向にぶれ可能なプローブへの応用も可能である。

国際調査報告 国際調査報告　　　ＧＢ　８９０１１９７

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）軸線を有するプローブ本体と、 該プローブ本体の軸線方向にプローブ本体から突出しかつ前記軸線方向と該軸線 方向の側方（ｌａｔｅｒａｌ）の少なくとも一方向とに移動可能である、被加工 物に接触するためのスタイラスと、 前記各方向における変位のために前記スタイラスを支持するための支持手段と、 前記各方向におけるプローブ本体に関連した前記スタイラスの変位を測定する手 段とを含み、前記支持手段が前記軸線方向への変位のために前記スタイラスを支 持するものであって、前記軸線にいずれも平行でかつ互いに側方へ離間した二つ のストラスベアリングを含むものである測定用プローブ。 ２）請求の範囲第１項記載のプローブにおいて、各ストラスベアリングは、前記 軸線方向に延びかつ相対的に滑動可能である二つの対向面と、該対向面間に配さ れた回転要素とを含むものであるプローブ。 ３）請求の範囲第１項または第２項記載のプローブにおいて、 支持手段は、前記側方の方向への変位のために前記スタイラスを支持するもので あって、前記側方の方向にいずれも平行でかつ互いに離間した二つのストラスベ アリングを含むものであるプローブ。 ４）請求の範囲第３項記載のプローブであって、さらに前記第１の側方の方向に 直交する第２の側方の方向への変位のために前記スタイラスを支持する支持手段 を含み、 該支持手段は前記第２の側方の方向にいずれも平行でかつ互いに離間した二つの ストラスベアリングを含むものであるプローブ。 ５）請求の範囲第３項または第４項記載のプローブにおいて、 各スラストベアリングは、変位の方向に延びかつ相対的に互いに滑動可能である 二つの対向面と該対向面間に配された回転要素を含むものであるプローブ。 ６）請求の範囲第２項または第５項記載のプローブにおいて、 対向面は同心状に配された円筒体の表面同士であるプローブ。 ７）請求の範囲第２項、第５項、第６項のいずれかに記載のプローブにおいて、 回転要素は、対向面の両端部に集中的に配したものであるプローブ。 ８）軸線を有するプローブ本体と、 該プローブ本体の軸線方向にプローブ本体から突出しかつ前記軸線方向と該軸線 方向の側方（ｌａｔｅｒａｌ）の少なくとも一方向とに移動可能である、被加工 物に接触するためのスタイラスと、 前記各方向における変位のために前記スタイラスを支持するための支持手段と、 前記各方向におけるプローブ本体に関連した前記スタイラスの変位を測定する手 段とを含み、前記支持手段は、少なくとも一つの第１の介在体と、該第１の介在 体と前記軸線方向への変位のために第１の介在体を支持するプローブ本体との間 に配された第１のスラストベアリング手段と、前記第１の介在体と前記側方の方 向への変位のためにスタイラスを支持するためのスタイラス保持具とを含み、第 １の介在体が側方の方向への変位ではなく軸線方向への変位のために支持された プローブ。 ９）請求の範囲第８項記載のプローブにおいて、支持手段は、前記第２のスラス トベアリング手段により側方の方向への変位のために支持された第２の介在体と 、前記第１の側方の方向に直交する第２の側方の方向への変位のためにスタイラ スを支持するために、前記第２の介在体と前記スタイラスとの間に配した第３の スラストベアリング手段とを含むものであるプローブ。 １０）請求の範囲第８項または第９項記載のプローブにおいて、 各ストラスベアリング手段は、同心状に配された複数の円筒体の表面同士で構成 しかつ互いに滑動可能である対向面を有する一対の円筒状のスラストベアリング と、前記対向面間に配された回転要素を含むものであるプローブ。 １１）軸線を有するプローブ本体と、 該プローブ本体の軸線方向にプローブ本体から突出しかつ前記軸線方向と該軸線 方向の側方（ｌａｔｅｒａｌ）の少なくとも一方向とに移動可能である、被加工 物に接触するためのスタイラスと、 前記各方向における変位のために前記スタイラスを支持するための支持手段と、 前記各方向におけるプローブ本体に関連した前記スタイラスの変位を測定する手 段とを含み、前記支持手段は、少なくとも一つの第１の介在体と、該第１の介在 体と前記軸線方向のうち一方向への変位のために前記第１の介在体を支持するプ ローブ本体と、前記軸線方向の他の方向への変位のためにスタイラスを支持する スタイラス保持具とを含み、前記第１および第２のスラストベアリング手段にそ れぞれ関係した第１および第２のバイアス手段を備え、該第１および第２のバイ アス手段は第１の介在体およびスタイラスをそれぞれの零点位置にバイアスする ものであり、 前記第２のバイアス手段はスタイラスと第１の介在体との間に作用するものであ るプローブ。 １２）請求の範囲第１１項記載のプローブであって、第１および第２のバイアス 手段にそれぞれ関係した第１および第２の減衰装置を有し、 前記第２の減衰装置はスタイラスと第１の介在体との間に作用するものであるプ ローブ。 １３）軸線を有するプローブ本体と、 該プローブ本体の軸線方向にプローブ本体から突出しかつ前記軸線方向と該軸線 方向の側方（ｌａｔｅｒａｌ）の少なくとも一方向とに移動可能である、被加工 物に接触するためのスタイラスと、 前記各方向における変位のために前記スタイラスを支持するための支持手段と、 前記各方向におけるプローブ本体に関連した前記スタイラスの変位を測定する手 段とを含み、支持手段は前記各軸線方向への前記変位のためにスタイラスを支持 するものであって、互いに平行でかつ互いに離間した二つの円筒状のスラストベ アリングを含み、 各スラストベアリングは、同心状に配された複数の円筒体の表面同士で構成しか つ互いに滑動可能である対向面と、該対向面間に配された回転要素を含むもので あるプローブ。 １４）請求の範囲第２項、第５項、第６項、第７項、第１０項、第１３項のいず れかに記載のプローブにおいて、回転要素は前記対向面間に配された筐体内に収 容され、バイアス手段は前記筐体を前記対向面の相対的な滑動変位の方向に沿っ て中心に集めるために配されたものであるプローブ。