JPH0350238A - 有機シラザン重合体の製造方法及び製造装置 - Google Patents

有機シラザン重合体の製造方法及び製造装置

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JPH0350238A
JPH0350238A JP1185756A JP18575689A JPH0350238A JP H0350238 A JPH0350238 A JP H0350238A JP 1185756 A JP1185756 A JP 1185756A JP 18575689 A JP18575689 A JP 18575689A JP H0350238 A JPH0350238 A JP H0350238A
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JP
Japan
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reaction vessel
polymer
silazane
temperature
cavity
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JP1185756A
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Yoshio Hasegawa
良雄 長谷川
Minoru Takamizawa
高見沢 稔
Akira Hayashida
章 林田
Yoshifumi Takeda
竹田 好文
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TOKUSHU MUKI ZAIRYO KENKYUSHO
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
TOKUSHU MUKI ZAIRYO KENKYUSHO
Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産呈上立■皿分立 本発明は、炭化珪素及び窒化珪素で構成されるセラミッ
クスの前駆体として好適な有機シラザン重合体の製造方
法及びその製造装置に関する。
の   び  が  しようとする 題セラミックスは
耐熱性、耐摩耗性、高温強度等に優れた材料として注目
を集めているが、固く、そして脆いため、セラミックス
を加工することは極めて困難である。従って、セラミッ
クス製品を製造する場合、セラミックス材料の微粉末を
加圧等の方法により予め所望の形状に成型した後、焼結
する方法、或いはセラミックス前駆体としての有機重合
体を熔融若しくは溶剤に溶解し、これを所望の形状に加
工した後、焼成して無機化する前駆体法などが採用され
ている。上記前駆体法の最大の特徴は、微粉末による焼
結法では不可能な形状のセラミックス製品を得ることが
できることであり、特に繊維の製造には極めて好適であ
る。
この場合、セラミックスのうちでSiC及びSi、N、
は、SiCが耐熱性、高温強度に優れ。
Si、N、が耐熱衝撃性、破壊靭性に優れるなど、高温
での優れた特性を有するために広く注目を集めていると
ころであり、さまざまな前駆体の研究が盛んに行なわれ
ている。また近年、繊維強化型複合材料の強化材料とし
て軽量、耐熱かつ高強度という特長を活かしてプラステ
ィクス、金属あるいはセラミックスなどとの複合化の研
究も重要になりつつある。
従来、有機シラザン重合体を熱分解重合によって得、こ
れを前駆体としてSiC及びSi3N、からなるセラミ
ック繊維を製造する方法としては、米国特許筒3,85
3,567号(特公昭55−46995号公報)に記載
の方法が知られてし)る。この方法では、各種メチルク
ロロシラン類及び各種アミン類とから得られるシラザン
化合物を200〜800℃の温度範囲に加熱し、ラシツ
ヒリング充填塔を用いて有機シラザン重合体を得るもの
であるが、これには以下のような問題点がある。
■ メチルクロロシラン類としてメチルトリクロロシラ
ン及びジメチルジクロロシラン、アミン類としてモノメ
チルアミンが記述されているのみで応用性に乏しい。
■ この有機シラザン重合体の製造方法では、原料のシ
ラザン化合物をラシツヒリング等の充填物が満たされた
管を通過させるものであるが、後述の比較例からも明ら
かなように、このラシツヒリング充填塔による方法では
、原料が充填物に接触して重合するものの1重合物は充
填物に長時間接触するためにその一部が高度な重合体を
生成して、不溶・不融な高重合度固形物となり、次第に
蓄積して管内を閉塞し、重合反応を継続することが困難
となる。
■ また、このようなラシツヒリング充填塔による方法
では、下記式(1)で示される構造の結晶性の副生物が
多量に生成して反応容器内の気相部内壁に同化・析出し
、反応に関与しなくなるために有機シラザン重合体の収
率が36%という極めて低い値となる。
CH□ NHCH。
\/ Si ■ 得られる有機シラザン重合体が耐加水分解性に劣る
従って、上記方法ではセラミックス前駆体として好適な
有機シラザン重合体を工業的に有利に製造することは困
難である。
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、高品質なS
 x CS i3 N 4系セラミツク繊維等のセラミ
ックス製品を得る場合のセラミックス前駆体として好適
な有機シラザン重合体を効率良く高収率で製造すること
ができる有機シラザン重合体の製造方法及び製造装置を
提供することを目的とする。
を解 するための   び 本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意研究を行な
った結果、シラザン化合物、特に下記式%式%([3 (1) () で示されるシラザン化合物の蒸気を400〜7oO℃の
範囲に加熱した空筒内を通過させて活性化した後、これ
を液相中で好ましくは300〜600℃の温度範囲で熱
重合させることにより、耐加水分解性に優れ、かつ熱安
定性、加工性も良好な有機シラザン重合体を連続して効
率良く、高収率で製造することができ、しかも、この有
機シラザン重合体は熔融紡糸・不融化・焼成すると、引
張強度、弾性率、高温強度に優れた5iC−3i、N。
系セラミック繊維を与え、セラミックス製品の前駆体と
して極めて有効なものであることを知見し、本発明をな
すに至った。
なお、シラザン系の化合物には水分に対して弱い、即ち
51−N−81M合が加水分解され、アンモニアを発し
て5i−0−8i結合を生成するという特有の性質があ
り、これにより繊維とした際にはその表面積が極めて大
きくなるため、繊維の品質上好ましくないが、本発明の
有機シラザン重合体はこのような加水分解に強く、米国
特許3.853,567号で開示された前駆体よりも耐
加水分解性に優れている。
従って、本発明は、シラザン化合物の蒸気を400〜7
00”Cの範囲に加熱された空筒内を通過させて活性化
した後、液相中で熱重合させることを特徴とする有機シ
ラザン重合体め製造方法を提供する。
また、本発明は、シラザン化合物を蒸発させると共に、
熱重合させる反応容器と、該反応容器を加熱するヒータ
ーと、上記反応容器に接続され、該反応容器内のシラザ
ン化合物の蒸気が導入される空筒と、該空筒内を400
〜700℃の温度に加熱するヒーターと、上記空筒と反
応容器とを連絡し、冷却器が介装されて、上記空筒内で
400〜700℃の温度に加熱されて活性化されたシラ
ザン化合物の蒸気を凝縮して反応容器内に戻す返送管と
を具備することを特徴とする有機シラザン重合体の製造
装置を提供する。
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明に係る有機シラザン重合体の製造方法においては
、出発原料として珪素と窒素との結合よりなるシラザン
化合物を利用するものであり、種々のシラザン化合物を
使用することができるが、原料シラザン化合物の置換基
は工業的に入手が容易で安価かつ取扱いの容易なメチル
基であることが最も好ましく、特に下記式(1)及び(
II)で示されるシラザン化合物が好適に採用される。
(CHs )−S I  N HS x (CH3) 
3(1)CH。
(−8i−NH−L          (If)襲 CH。
本発明方法では、原料のシラザン化合物を蒸発させ、そ
の蒸気を加熱した空筒内に通過させて活性化した後、こ
れを液相中で熱重合させる。
この場合、シラザン重合体の製造装置としては、シラザ
ン化合物を蒸発させると共に、熱重合させる反応容器と
、該反応容器を加熱するヒーターと、上記反応容器に接
続され、該反応容器内のシラザン化合物の蒸気が導入さ
れる空筒と、該空筒内を400〜700’Cの温度に加
熱するヒーターと、上記空筒と反応容器とを連絡し、冷
却器が介装されて、上記空筒内で400〜700℃の温
度に加熱されて活性化されたシラザン化合物の蒸気を凝
縮して反応容器内に戻す返送管とを具備するものが好適
に使用できる。
第1図はかかる装置の一例を示すもので1図中1はシラ
ザン化合物が充填され、該シラザン化合物を蒸発させる
と共に、熱重合する反応容器であり、この反応容器1に
はその周囲にヒーター(マントルヒーター)2が配設さ
れている。3は空筒(石英管)で、その外周にはヒータ
ー(電気炉)4が配設されている。上記空筒3は導入管
5を介して反応容器1と接続され、反応容器1内のシラ
ザン化合物の蒸気が空筒3内に導入されてヒーター4に
より400〜700℃に加熱、活性化されるようになっ
ている。また、6は冷却器7a。
7b及びバルブ8を介装する返送管で、その一端は上記
空筒3の上端に連結され、他端は反応容器lに連結され
て、空筒3内の400〜700℃に加熱、活性化された
シラザン化合物の蒸気が凝縮されて反応容器1に戻され
るようになっている。
なお、上記返送管6の両冷加盟7a、7b間には、冷却
器7cを介装する分岐管9の一端が連結され、該分岐管
9の他端はシリコーンオイルなどの液封を介して系外へ
凝縮しない分解ガスをパージするようになっている。な
お、図中10は窒素導入管、11.12はそれぞれ熱電
対である。
上記第1図の装置を用いるとシラザン重合体の製造が容
易に行なわれ、容易に反応を進めることができる。
即ち、反応容器1内に原料シラザン化合物を仕込み、該
反応容器1をマントルヒーター2を用いて加熱してシラ
ザン化合物を蒸発させる。この蒸気を電気炉4により外
部から加熱して特定温度に保持した空筒(石英管)3内
に移動させ、空筒内で蒸気の一部を活性化させる。活性
化したシラザン化合物は、空筒3から連結管5を介して
容器に還流し、あるいは未反応蒸気と共に、空筒3の上
部端から冷却器7a、7b、7cにより冷却されて返送
管6より反応容器内1へ適宜バルブ操作により戻される
。還流した活性化シラザン化合物は反応容器1内におい
て液相中で熱重合させ、一方、低分子量成分や原料シラ
ザン化合物については同様の操作で再度蒸発・活性化を
繰り返す。
ここで、原料シラザン化合物の活性化を進める空筒は、
空筒内の温度が400〜700℃、好ましくはへキサメ
チルジシラザンでは650〜690℃、ヘキサメチルシ
クロトリシラザンでは550〜650”Cの範囲になる
ように加熱する。
空筒内の温度が一般に400℃に満たないと、シラザン
化合物からの活性化成分の生成割合が極めて少なく、ま
た700℃より高温では空塔内おいて高重合度固形物が
生成するので工業的に不利であるが1本発明の方法の温
度範囲であれば高重合度固形物による管内の閉塞という
問題は起こらない。
また、反応容器1内の温度は、原料シラザン化合物が十
分に蒸発し得ると共に、活性化したシラザン化合物が効
率良く熱重合し得る温度に保つことが好ましく、反応容
器内温度は300〜600℃、特に400〜500℃の
範囲にすることが好適である。温度が300℃より低い
と未反応原料あるいは低分子量重合体の割合が多くなり
、目的とする有機シラザン重合体の収量が低下する場合
があり、600℃より高いと重合体の重合度が進み、有
機シラザン重合体の融点が高くなって加工性に劣る場合
がある。なお、上記活性化成分の反応容器内での熱重合
により、反応容器内の重合体の濃度が増加するにつれて
低分子量物あるいは原料シラザン化合物が蒸発しにくく
なるので反応容器内温度も上昇させることが好ましい。
更に、重合体の分子量が大きくなり、残存する少量の低
分子量物あるいは原料シラザン化合物を所望の分子量の
重合体を得るためにもはや蒸発させることができなくな
る温度に容器内温度が達した時点で重合反応を終了する
ことが好ましい。
生成した有機シラザン重合体は適宜常法により低分子量
物を除去してセラミックス前駆体として利用することが
できるが、−数的には不活性雰囲気下に常圧あるいは減
圧下に加熱して低分子量物を留去する方法が好適に採用
される。
また、本発明の方法は第1図に示した装置図の反応容器
から生成された重合体の一部を連続的に抜き出し、同時
に原料シラザン化合物を容器内に適宜供給してやること
によって、反応を停止することなく連続して行なうこと
も可能である。
主班勿羞米 以上説明したように、本発明の製造方法は、耐加水分解
性に優れ、しかも加工性、熱安定性も良好で、例えば熔
融紡糸した場合、紡糸期間中に前駆体の融点、分子量な
どに変化はなく、曳糸性も良好な有機シラザン重合体を
効率良く高収率で提供することができ、工業的に有利で
ある。
更に、本発明方法で得られる有機シラザン重合体は、熔
融・紡糸・不融化・焼成した場合、例えば引張強度28
0kg/−以上、弾性率19ton/−以上で高温強度
も良好な高品質のセラミック繊維を与えることができ、
セラミックスの前垢区体として極めて有効なものである
また、本発明装置によりかかるシラザン重合体の製造を
簡単に行なうことができる。
〈実施例、比較例〉 以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明
するが1本発明は下記実施例に制限されるものではない
〔実施例1〕 ヘキサメチルジシラザン50gを第1図に示した装置の
反応容器1に仕込み、電気炉4により石英管3を680
’Cに加熱・維持し、またマントルヒーター2によりヘ
キサメチルジシラザンが沸騰するまで反応容器1を徐々
に加熱した。この時の反応容器1の内温は125℃であ
った。このまま反応容器内温を沸騰状態が継続するよう
に徐々に上昇させ、内温が450℃に達した後、反応を
約5時間継続し、反応容器1内からの蒸発量が極度に低
下したところで反応を停止し、冷却した。第1図の装置
から反応容器1を取り外し、これに蒸留装置を取り付け
て減圧下(1m+0g) 300℃にて低分子量物を留
去すると、28g(収率56.0%)の褐色の固体(有
機シラザン重合体A)が得られた。得られた有機シラザ
ン重合体Aは融点258℃5重量平均分子量2790、
数平均分子量1540であり、ヘキサン、ベンゼン、T
HF及びその他の有機溶媒に可溶であった。有機シラザ
ン重合体AのIRチャートを第2図に示す。
〔実施例2〕 ヘキサメチルシクロトリシラザン50gを用い、実施例
1と同様に第1図に示した装置で反応を行なった。なお
2石英管の温度を570”Cとし、初期の反応容器内温
を190℃に制御し、反応容器内温を沸騰状態が継続す
るように徐々に昇温させ。
反応容器内温が480’Cに達したところで反応を終了
した。次いで窒素雰囲気下、350℃で蒸留して低分子
量成分を除去したところ、39.4g(収率78.8%
)の褐色の固体(有機シラザン重合体B)が得られた。
得られた有機シラザン重合体Bは、融点284℃、重量
平均分子量7130、数平均分子量1580であり、実
施例1で得られた有機シラザン重合体Aと同機種々の溶
媒に可溶であった。有機シラザン重合体BのIRチャー
トを第3図に示す。
〔実施例3〕 ヘキサメチルジシラザン50gを実施例1と同様に反応
容器に仕込み、石英管を680℃に加熱・維持し1反応
容器を徐々に加熱して、内温が480℃に達した後1反
応を約10時間継続した。
反応容器内からの蒸発量が極度に低下したので、このま
ま常圧下に重合体の濃縮を行ない冷却したところ、32
.4g (収率64.8%)の褐色の固体(有機シラザ
ン重合体C)が得られた。
得られた有機シラザン重合体Cは融点240℃、重量平
均分子量6900、数平均分子量1430であった。
〔比較例1〕 第1図に示した装置の石英管に直径8ms、長さ8m1
1のラシッヒリングを充填し、反応容器にメチルトリス
メチルアミノシラン[CH,5i(NHCH,)335
0gを仕込んで実施例1と同様に反応を行なった。石英
管の温度を450℃とし、初期の反応容器内温を85℃
に制御した0反応が約6時間経過したところで、石英管
が閉塞気味となったので反応を中止した。装置を冷却・
解体後、内部を見たところ、石英管中央部に不溶・不融
の固形物があり、閉塞寸前の状態であった。また1反応
容器内の気相部内壁には白色の結晶性物質が大量に付着
しており、これを再結晶により精製したところ、融点1
30〜133℃、ベンゼン凝固点降下法による分子量3
12、元素分析の結果は5i27.8%、C34,8%
、N26.4%、HIo、1%であり、前記化合物(1
)であることが確認された。
化合物(1)のIRチャートを第4図に示す、更に、反
応容器内に残った粘稠な液体を実施例1と同様に処理し
たところ、24.2g (収率48.4%)の固体(有
機シラザン重合体D)が得られた。
得られた有機シラザン重合体りは空気中で強いアンモニ
ア臭が認められ、融点116℃、重量平均分子量103
o、数平均分子量820であった。
そのIRチャートを第5図に示す。
【比較例2〕 第1図に示した装置の反応容器にメチルトリスメチルア
ミノシラン(CH,5L(NHCH,)□〕47gを仕
込んで反応を行なった。比較例1と同様に石英管の温度
を520℃、初期の反応容器内温を85℃に制御した0
反応は石英管の閉塞もなく、約8時間反応を継続するこ
とができ、最終の反応容器内温は450℃であった。冷
却後、反応容器内の気相部内壁には比較例1と同様に白
色の結晶性物質が付着しており、その重量は9.8g(
20,9%)であった。反応容器内の重合物を実施例1
と同様に処理したところ、17.0g(収率36.2%
)の固体(有機シラザン重合体E)が得られた。
得られた有機シラザン重合体Eは空気中で強いアンモニ
ア臭が認められ、融点147℃、重量平均分子量122
0、数平均分子量970であった。
〔比較例3〕 比較例1と全く同様の装置にヘキサメチルシクロトリシ
ラザン50gを仕込んで比較例1と全く同様に反応を行
なったところ、約10時間経過して石英管が閉塞して反
応を継続することができなかった。比較例1と同様に処
理したところ、21.3g (収率42.6%)の有機
シラザン重合体Fが得られた。この有機シラザン重合体
Fは空気中で強いアンモニア臭が認められた。
前記実施例1,2及び比較例2で得られた有機シラザン
重合体の耐加水分解性を比較するため、有機シラザン重
合体を粉砕した後、325メツシユの篩を通過させた粉
末を一定条件の下に水分を含む大気中に@露し、次いで
焼成を行なってセラミックス化し、その元素分析を行な
った。第1表に結果を示す。
第 表 この結果から、本発明による有機シラザン重合体は耐加
水分解性が極めて高いことがわかった。
次に、参考例として前記実施例1,2及び比較例1で得
られた前駆体を繊維化し、その性能を比較した結果を示
す。
〔参考例1〕 実施例1で得られた有機シラザン重合体Aを0.2mm
φの細孔を有する紡糸口金より350℃に加熱して熔融
紡糸した。約1時間の紡糸中に断糸は全くなく、得られ
た原糸は11〜12声の直径であった。次いで、得られ
た繊維(0,1〜0.2g)をA1□O,ボートに乗せ
、直径50■のムライト管型炉に入れた。炉内に空気を
送入しながら20o℃から6時間かけて260℃とし、
この温度で1時間保持して不融化を行なった。この後、
炉内を不活性ガス(N Z又はAr)で置換し、120
0℃まで6時間かけて焼成を行ない、セラミック繊維を
得た。こうして得られたセラミック繊維は約10mの直
径を有し、引張強度は280 kg/nJ、引張弾性率
19ton/−であった。また、この繊維の組成はSi
  65.4%、C22,1%、N10.5%、0 2
.0%であり、SiC,Si、N、を主体とするセラミ
ックス繊維であることが確認された。
〔参考例2〕 実施例2で得られた有機シラザン重合体Bを参考例1と
全く同様に繊維化し、1000℃で焼成して繊維径9μ
のセラミック繊維を得た。得られたセラミック繊維の引
張強度は290kg/+nJ、引張弾性率21ton/
−であった。また、この繊維を1600℃の各温度で焼
成し直してX線回折による測定を行なった結果、第6図
に示したように1400℃までは非晶質であり、160
0℃ではSiC及びSi□N4の回折ピークを示した。
〔参考例3〕 比較例1で得られた有機シラザン重合体りを参考例1と
同様に200℃で熔融紡糸したところ、初期には原糸の
繊維径約12μであったものが時間の経過と共に繊維径
は細くなり、ついには断糸してしまった。冷却後、紡糸
浴内の重合体の融点並びに数平均分子量は融点180”
C,分子量980まで上昇していた。僅かに得られた原
糸を参考例1と同様に不融化・焼成したところ、繊維同
士が融着を起こしていた。僅かに融着していない部分の
強度を測定したところ、引張強度90kg/−2弾性率
8tor+/−と低い値であった。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る装置の一実施例を示す概略断面図
、第2図は実施例1で得られた有機シラザン重合体Aの
IRチャート図、第3図は実施例2で得られた有機シラ
ザン重合体BのIRチャート図、第4図は比較例1で得
られた結晶性物質のIRチャート図、第5図は比較例1
で得られた有機シラザン重合体りのIRチャート図、第
6図は参考例2で得られたセラミック繊維のX線回折チ
ャート図である6 1・・・反応容器、 2・・・ヒーター  3・・・空
筒、4・・・ヒーター  6・・・返送管、7 a 、
 7 b 、 7 c ・=冷却器。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.シラザン化合物の蒸気を400〜700℃の範囲に
    加熱した空筒内を通過させて活性化した後、液相中で熱
    重合させることを特徴とする有機シラザン重合体の製造
    方法。
  2. 2.シラザン化合物を蒸発させると共に、熱重合させる
    反応容器と、該反応容器を加熱するヒーターと、上記反
    応容器に接続され、該反応容器内のシラザン化合物の蒸
    気が導入される空筒と、該空筒内を400〜700℃の
    温度に加熱するヒーターと、上記空筒と反応容器とを連
    絡し、冷却器が介装されて、上記空筒内で400〜70
    0℃の温度に加熱されて活性化されたシラザン化合物の
    蒸気を凝縮して反応容器内に戻す返送管とを具備するこ
    とを特徴とする有機シラザン重合体の製造装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6429856B1 (en) 1998-05-11 2002-08-06 Ricoh Company, Ltd. Coordinate position inputting/detecting device, a method for inputting/detecting the coordinate position, and a display board system
US6518960B2 (en) 1998-07-30 2003-02-11 Ricoh Company, Ltd. Electronic blackboard system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6429856B1 (en) 1998-05-11 2002-08-06 Ricoh Company, Ltd. Coordinate position inputting/detecting device, a method for inputting/detecting the coordinate position, and a display board system
US6608619B2 (en) 1998-05-11 2003-08-19 Ricoh Company, Ltd. Coordinate position inputting/detecting device, a method for inputting/detecting the coordinate position, and a display board system
US6518960B2 (en) 1998-07-30 2003-02-11 Ricoh Company, Ltd. Electronic blackboard system

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