JPH0348217A - 光ビーム走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く産業上の利用分野〉 本発明は、画像記録装置、画像読取装置等の光ビーム走
査装置に関する．　詳しくは、簡単な機構で回転多面鏡
による面倒れを好適に補正可能で、しかも連続調画像の
記録および読み取りも良好に行なうことができる光ビー
ム走査装置に関する． 〈従来の技術〉 主走査方向に偏向された光ビームによって、副走査方向
に搬送される被走査体を２次元的に走査する光ビーム走
査装置が、画像記録装置、画像読取装置等に適用されて
いる。

このような光ビーム走査装置は、半導体レーザ、ガスレ
ーザ等の光源より射出されたレーザピーム等の光ビーム
を、ポリゴンミラー等の光偏向器によって主走査方向に
偏向・反射する．この偏向された光ビームによって、主
走査方向と略直交する方向に副走査搬送される、画像記
録装置であれば感光材料等の記録材料または画像読取装
置であれば写真・印刷物等の原稿等の被走査体を２次元
的に走査して、画像記録または画像の読み取りを行なう
ものである．従って、このような光ビーム走査装置にお
いて、正確かつ良好な画像記録、画像読み取りを行なう
ため社は、光ビームを被走査体上の所定の位置に正確に
照射して、走査線がビッチむら、歪み等のない良好なも
のである必要がある． ところで、このような光ビーム走査装置における走査線
のピッチむら等の原因として、光偏向器の面倒れが挙げ
られる． 例えば光偏向器としてポリゴンミラーを用いた場合、ポ
リゴン主ラーの各反射面を回転軸に対して完全に平行に
作製するのは、コスト等の点で非常に困難であり、通常
の光ビーム走査装置に適用されるポリゴンミラーには各
反射面の取り付け角度には多少の誤差がある。　また、
同様に、その回転軸も主走査方向に対して完全に垂直に
取りつけることは困難であり、さらに回転時に軸ブレ等
も生じる． 従って、このようなポリゴンミラーの面倒れのため、通
常のポリゴンミラーを適用する光ビーム走査装置におい
ては、光ビームの照射位置が最大±１００μｍ程度副走
査方向に位置ズレを起こし、走査線が完全に同ピッチか
つ平行なものにならない、ピッチむら等を生じる。

このような光偏向器の面倒れを補正するために、通常の
光ビーム走査装置においては、光偏向器の前後にシリン
ドリカルミラー　シリンドリカルレンズ等の面倒れ補正
光学系を設け、これにより被走査体上における光ビーム
の照射位置を正確なものとしてピッチむら等を解消して
いる． ところが、このような面倒れ補正光学系は非常に高価で
あるため、装置のコストアップを招き、また、場合によ
っては装置が大型化してしまうという問題点がある． これに対し、特開昭５９−１２４０１２号、同６１−２
８１２１４号の各公報等には、被走査体とポリゴンミラ
ーとの間に、長手方向が主走査方向であるスリットを配
し、このスリットの短手方向よりも副走査方向の径が大
きな光ビームによって、前記スリットを介して画像を記
録することにより、ポリゴンくラーの面倒れを補正する
レーザ記録装置が開示されている． このレーザ記録装置は、前記の構成とすることにより、
面倒れによってレーザビームの照射位置がズレた際にも
、感光体上におけるレーザビームの照射位置は前記スリ
ットによって規定されるために、レーザビームの照射位
置が副走査方向にズレことがなく、常に所定の走査線ピ
ッチで画像記録を行なうことができるというものである
． く発明が解決しようとする課題〉 前述のレーザ記録装置によれば、確かにシリンドリカル
レンズ等の面倒れ補正光学系を用いなくても、ボリゴン
主ラーの面倒れを補正することができ、レーザ記録装置
を安価なものとすることができる。

しかしながら、この装置では面倒れは補正することがで
きるが、レーザビームをスリットによって規定するため
に、スリット上におけるレーザビームの位置によっては
所定の露光量が得られなくなってしまい、露光量の不足
が生じ、得られる画像に濃度むら等が生じる恐れがある
． つまり、第３ａ図に示されるように、面倒れの量が少な
く、レーザビーム１００のほぼ中央部がスリット１０２
を通過した場合には、感光体を所定の露光量で露光する
ことが可能であるが、第３ｂ図に示されるように、面倒
れが大きく、レーザビーム１００の端部付近がスリット
１０２を通過した場合には、前述の例・にくらベて露光
量が少なくなってしまい、露光量の不足に起因する濃度
ムラ等を生じてしまう。

このような露光量ムラは、形成する画像が電子写真画像
のような白黒２値化画像の際にはほとんど問題になるこ
とはない。　しかしながら、銀塩写真感光材料を用いた
画像記録の場合のように、連続階調画像を表現可能な画
像記録を行なう場合には、露光量の過不足が０．５％を
超えると人間の目で確認することのできる濃度ムラ等を
生じてしまうため、大きな問題となる。

また、このようなスリットを用いた光ビーム走査装置を
適用する画像読取装置においても、面倒れによる光ビー
ム照射位置ズレに起因する光量ムラは画像読み取り強度
のムラとなって発生し、特に、写真原稿や、空間周波数
の高い印刷原稿を読み取る場合には問題となる。

本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決すること
にあり、シリンドリカルレンズ、シリンドリカルミラー
等の高価な面倒れ補正光学系を用いなくてもポリゴンミ
ラーの面倒れを好適に補正することができ、しかも、被
走査体上における光ビームの光量ムラを生じることがな
く、画像記録装置に適用した場合には連続階調画像の記
録も良好に、また、画像読取装置に適用した場合には写
真原稿や空間周波数の高い印刷原稿画像の読み取りも良
好に行なうことが可能な光ビーム走査装置を提供するこ
とにある。

く課題を解決するための手段〉 前記目的を達成するために、本発明は、光ビームを回転
多面鏡によって主走査方向に偏向し、この光ビームによ
って、前記主走査方向と略直交する方向に副走査移動す
る被走査体上を２次元的に走査する光ビーム走査装置で
あって、 前記回転多面鏡と前記被走査体との間の前記光ビームの
光路上に配される、前記主走査方向を長手方向とし、か
つ短手方向が前記光ビームの副走査方向の径よりも短い
スリットと、前記スリットにおける前記光ビームの前記
副走査方向の位置または前記スリットを通過した前記光
ビームの光量を検出する検出手段と、前記検出手段によ
り検出された光ビームの位置または光ビームの光量に応
じて、前記光ビームの光量を調整する制御装置とを有す
ることを特徴とする光ビーム走査装置を提供する。

また、本発明の別の態様は、光ビームを回転多面鏡によ
って主走査方向に偏向し、この光ビームによって、前記
主走査方向と略直交する方向に副走査移動する被走査体
上を２次元的に走査する光ビーム走査装置であって、 前記回転多面鏡と前記被走査体との間の前記光ビームの
光路上に配される、前記主走査方向を長手方向とし、か
つ短手方向が前記光ビームの副走査方向の径よりも短い
スリットと、あらかじめ測定された前記回転多面鏡の前
記スリットにおける前記光ビームの副走査方向の位置ま
たは前記スリットを通過した前記光ピームの光量社応じ
た光ビームの補正光量を記憶するメモリと、 前記補正光量に応じて、前記光ビームの光量を調整する
制御装置とを有することを特徴とする光ビーム走査装置
を提供する． また、前記検出手段は２分割センチであるのが好ましい
． また、前記スリットは、前記光ビーム進行方向の被走査
体直前に配置されるのが好ましい． く発明の作用〉 本発明の光ビーム走査装置は、前記所定の構成を有する
． 従って、ポリゴンミラーに面倒れが生じて被走査体上に
おける光ビームの照射位置がズレた場合においても、光
ビームは所定のスリットを通過して被走査体上に照射さ
れるため、常にスリットによって被走査体上における走
査位置を正確に規定され、走査線ピッチのむら、走査線
の歪み等を生じることがない． また、このスリットにおける光ビームの副走査搬送方向
の位置、またはこのスリットを通過する光ビームの光量
を検出し、この光ビームの位置または光量に応じて光ビ
ームの光量を調整するので、面倒れによって、スリット
を通過する光ビームの量が変化した際にも、常にほぼ一
定の光量の光ビームによって被走査体を走査することが
可能であり、画像記録装置においては露光ムラを生じな
い濃度ムラの目立たない良好な画像記録を、また画像読
取装置においては、読み取りムラのない正確な画像読み
取りを行なうことが可能である． しかも、常に良好な画像記録、画像読み取りを可能とし
たにも関わらず、従来必要であったシリンドリカルレン
ズ、シリンドリカルミラー等の面倒れ補正光学系が不要
であるので、光ビーム走査装置を小型かつ安価なものと
することができる． く実施態様〉 以下、本発明に係る光ビーム走査装置について、添付の
図面に示される好適実施例を基に詳細に説明する． 第１図に、本発明の光ビーム走査装置による画像記録装
置の好適な一実施例が示される．第１図に示される画像
記録装置１０・はモノクロ画像記録装置であって、光ビ
ーム１２ａを矢印ａで示される主走査方向に反射・偏向
し、この主走査方向と略直交する、矢印ｂで示される方
向に副走査搬送される感光材料Ａを２次元的に走査して
、画像記録を行なうものである．このような画像記録装
置１０は、光ビーム１２ａを射出する光源１２と、光ビ
ーム１２ａを所定の形状に整形するビーム整形素子１４
と、この光ビーム１２ａを主走査方向に反射・偏向する
ポリゴンミラ−１６と、ｆθレンズ１８と、偏向された
光ビーム１２ａを立ち下げる長尺ミラー２０と、光ビー
ム１２ａの感光材料Ａ上における照射位置を規定するス
リット２２と、スリット２２における光ビーム１２ａの
副走査搬送方向の位置を検出するための２分割センサ２
４と、この２分割センサによって検出された光ビーム１
２ａの位置に応じて、光源１２を変調して、感光材料Ａ
の露光量を調節する制御装置２６とから構成されるもの
である． 画像記録装置１０において、光源１２としては特に限定
はなく、各種の半導体レーザ、ガスレーザ等はいずれも
適用可能である． 光源１２より射出された光ビーム１２ａは、次いでビー
ム整形素子１４に入射し、感光材料Ａ上において所定の
形状となるように整形される． 本発明に係る画像記録装置１０は、後に詳述するが、光
ビーム１２ａをスリット２２通過させることによって、
感光材料Ａ上における副走査方向の光ビーム１２ａの照
射位置を規定してポリゴンミラ−１６の面倒れ補正を行
うものである． そのため、良好な画像記録を行うためには、スリット２
２の副走査方向の長さ（以下、短手方向の長さ、または
スリット２２の巾とする．）は光ビーム１２ａの副走査
方向の径よりも小さい必要があり、逆に、スリット２２
上における光ビーム１２ａの形状を副走査方向の径はス
リット２２の巾よりも大きなものである必要がある． 本発明においては、このようなスリット２２上における
光ビーム１２ａの副走査方向の径は、スリット２２の巾
および面倒れによる光ビーム１２ａの照射位置の最大ズ
レ量に応じて適宜決定すればよく、通常このような画像
記録装置に適用されるポリゴンミラ−１６の面倒れによ
る光ビーム照射位置のズレ量は最大±１００μｍ程度で
あるので、通常２００〜３００μｍ程度とすればよい．
　なお、光ビーム１２ａの主走査方向の径は、適応する
画像記録装置の画像記録密度に応じて適宜決定すればよ
い． ビーム整形素子１４としては特に限定はなく、各種のス
リット、ビームリデューサ一等、公知の光ビーム整形手
段はいずれも適用可能である． ビーム整形素子１４によって整形された光ビーム１２ａ
は、次いでポリゴンミラ−１６に入射し、反射され、矢
印ａで示される主走査方向に偏向される．　なお、本発
明は、光偏向器としてガルバノメータミラーを用いた画
像記録装置または画像読取装置にも適用可能である． ポリゴンミラ−１６によって主走査方向に反射・偏向さ
れた光ビーム１２ａは、ｆθレンズ１８に入射して、感
光材料Ａ上で所定の形状に結像するように調整され、次
いで長尺ミラー２０に立ち下げられスリット２２に入射
する． スリット２２は、感光材料Ａ上における光ビーム１２ａ
の照射位置を規定するもので、その長手方向を主走査方
向として、かつ短手方向（巾）が光ビーム１２ａの副走
査方向の径よりも短いものである． ボリゴン主ラー１６は、通常、各反射面の仕上げ精度の
誤差、ポリゴン主ラー１６の取り付誤差、回転軸のブレ
、ふれまわり等に起因する面倒れが生じるため、感光材
料Ａ上における光ビーム１２ａの照射位置がズレてしま
い、走査線のピッチむら、歪み等を生じてしまう．ここ
で、通常の光ビーム走査装置においては、シリンドリカ
ルレンズ、シリンドリカルミラー等の高価な面倒れ補正
光学径をボリゴンよラーの前後に配置して、ポリゴンミ
ラーの面倒れを補正するが、本発明の光ビーム走査装置
による画像記録装置１０においては、ポリゴン主ラー１
６と感光材料Ａとの間、好ましくは感光材料Ａの直前の
光ビーム１２ａの光路にスリット２２を配置し、光ビー
ム１２ａを通通させて感光材料Ａ上における光ビーム１
２ａの照射位置を規定することにより、走査線の歪みを
なくし、かつピッチも一定とすることができ、しかも装
置を安価かつ小型のものとすることができる． このようなスリット２２は、長手方向は適用可能な感光
材料Ａの主走査方向を網羅するものであればよく、また
、短手力向（巾）は光ビーム１２ａの主走査方向の径よ
りも小さなものであれば特に限定はないが、通常は１ｏ
ｏμｍ以下、特に走査線のピッチと同程度でよい．なお
、本発明においてはスリット２２の巾に応じて、その２
〜３倍程度光ビーム１２ａの副走査方向の径を調整して
もよい． 図示例の画像記録装置１０において、スリット２２の少
なくとも一方の端部（長手方向）には、スリット２２に
おける光ビーム１２ａの副走査方向の位置を検出するた
めの２分割センサ２４が配置される．　また、この２分
割センサ２４による光ビーム１２ａの位置検出結果は、
制御装置２６に転送される． 制御装置２６には、スリット２２における光ビーム１２
ａの副走査方向の位置Ｃ応じた、光ビーム１２ａ光量の
補正量が記憶されており、制御装置２６は検出された光
ビーム１２ａの位置Ｃ応じて、光源１２を変調して光ビ
ーム！２ａによる感光材料八の露光量を調整する。

本発明に係る画像記録装置１０は、前述のようにスリッ
ト２２によって感光材料Ａ上における光ビーム１２ａの
照射位置を規定することじより、ポリゴンミラ−１６の
面倒れを補正するものである．　従って、面倒れによる
光ビーム１２ａの位置ズレの量によっては、スリット２
２を通過する光ビームの光量が不十分になってしまい、
露光量に不足を生じ、画像が濃度ムラのあるものとなっ
てしまう。（第３ａ図および第３ｂ図参照） これに対し、本発明に係る画像記録装置１０においては
、２分割センサ２４によってスリット２２における光ビ
ーム１２ａの副走査方向の位置を検出し、検出された光
ビーム１２ａの位置に応じて制御装置２６において光源
１２を変調して光ビーム１２ａの光量を調整、例えば光
ビーム１２ａの位置ズレ（面倒れ）が大きく、スリット
２２を通過する光ビーム１２ａの量が低下した場合には
光ピーム１２ａの光量を多くすることにより、感光材料
Ａの露光量を常に所定のものとすることができ、濃度ム
ラのない良好な画像を得ることができる． なお、本発明において、光ビーム１２ａの光量の調整方
法としては、光ビーム１２ａの光強度を変調する方法、
発光パルス数を変調する方法、露光時間を変調する方法
等、公知の光量（感光材料Ａの露光量）調整方法はいず
れも適用可能である． また、光量の調整量は、光ビーム１２ａのビームスポッ
ト径、感光材料Ａのγ特性等に応じて適宜決定すればよ
い。

図示例においては２分割センサ２４はスリット２２の主
走査方向の延長上に配置されるものであるが、本発明に
おいてはこれに限定されるものではなく、スリット２２
の代わりに、第２図に示されるような長尺の２分割セン
サを用いたスリット２８を用い、画像記録を行いなから
光ビーム１２ａの位置検出を行い、光量の調整を行うも
のであってもよい。

また、スリット２２上に所定の間隔で複数の２分割セン
サ等の位置検出手段を配置して、１走査線内の複数個所
において光ビーム１２ａの位置検出を行い、それに応じ
て光ビーム１２ａの光量の調整を行うものであってもよ
い．なお、本発明Ｃ通用可能な光ビーム１２ａの副走査
方向の検出手段としては、図示例のような２分割センサ
に限定されるものではなく、Ｐ　Ｓ　Ｄ　（ｐｏｓｉｔ
ｉｏｎ　ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ　ｄｅｔｅｃｔｅｒ）　　
等、公知の位置検出手段はいずれも適用可能である。

第１図に示される画像記録装置１０は、スリット２２の
長手方向の少なくとも一方の端部に２分割センチ２４等
の光ビーム１２ａの位置検出手段を配置して、スリット
２２における光ビーム１２ａの位置に応じて光ビーム１
２ａによる露光量を調整するものであっｋが、本発明に
おいてはスリット２２はおける光ビーム１２ａの位置で
はなく、スリット２２を通過した光ビームの光量を検出
して、この光量の検出結果に応じて光ビーム１２ａによ
る露光量を調整するように構成してもよい。

この場合、例えばスリット２２の長手方向を画像領域外
まで（例えば、第１図において２分割センサ２４が配置
される位置。）をＭ４羅するものとし、この画像領域外
のスリット２２の図中下方に各種の光量検出手段を配置
して、スリット２２を通過した光ビーム１２ａの光量を
測定して．この結果に応じて光ビーム１２ａｃ７）光量
を調整してもよい． なお、この際における光量検出手段には特に限定はなく
、通常適用される各種のものが適用可能である． また、光量検出手段の配置位置も、上述の例に限定され
るものではなく、画像の記録（読み取り）を妨害せずに
スリット２２を通過した光ビーム１２ａの光量を検出で
きる位置であればよい。

以上説明した本発明に係る光ビーム走査装置では、スリ
ット２２における光ビーム１２ａの位置、またはスリッ
ト２２を通過した光ビーム１２ａの光量を検出し、それ
に応じて適宜光ビーム１２ａによる感光材料Ａの露光量
を調整するものであったが、本発明はこれじ限定される
ものではない． 本発明に係る光ビーム走査装置の別の態様においては、
特に、面倒れ量がポリゴンミラー１６の一回転毎でほと
んど変化しない場合には、予め２分割センサ２４等の位
置検出手段や各種の光量検出手段を用いて、ポリゴンミ
ラー１６の各反射面毎における、スリット２２上の光ビ
ーム１２ａの照射位置やスリット２２を通過する光ビー
ム１２ａの光量検出、つまりポリゴンミラ−１６の各反
射面毎の面倒れを予めを測定し、これに応じたポリゴン
ミラ−１６の各反射面毎の光ビーム１２ａの光量の調整
量を先に決定してＲＯＭ等のメモリに記憶させ、これに
応じて制御装置によって各走査線毎に光量を調整するも
のであってもよい． この場合においては、ポリゴンミラーの面倒れをポリゴ
ンミラー車体で測定して、これに応じて光ビームの光量
調整を決定してメモリに記憶させてもよく、また、取り
外し可能な位置検出手段、光量検出手段を用いてスリッ
ト２２における光ビームの位置またはスリット２２を通
過する光ビームの光量を検出し、検出結果に応じて光量
の補正量を決定してメモリに記憶させるものであっても
よい． また、メモリに記憶させる光ビーム１２ａの補正光量を
変更可能に構成し、所定回数の画像記録を行った後、ま
たはポリゴンミラーの面倒れの変化に応じて変更しても
よい。

このような本発明の光ビーム走査装置に係る画像記録装
置は、図示例のモノクロ画像記録装置のみならず、カラ
ー画像記録装置に適用してもよいのはもちろんのことで
ある． また、このような画像記録装置は、カラーもしくはモノ
クロ複写装置であっても画像読取部を有さす、種々の画
像処理装置、例えば、コンピュータ、ビデオ、光ディス
クからの画像であっても適合する画像処理装置により処
理されたカラーもしくはモノクロ画像情報を受けてカラ
ーもしくはモノクロ画像を記録するカラーもしくはモノ
クロプリンターであってもよい．また、使用する記録材
料としては、モノクロ感光材料のみならず、カラー感光
材料や各種の感光体ドラム等であってもよい． このため、本発明を適用可能な画像記録装置は、カラー
あるいはモノクロのいずれであってもよいが例えば、本
出願人の出願に係る特願昭６３−２４１５５２号等に開
示された画像記録装置を始めとして、電子写真式画像記
録装置、銀塩写真式画像記録装置、感熱転写式画像記録
装置、インクジェット画像記録装置、レーザプリンタ、
レーザ複写装置、ビデオプリンタ、ビデオ複写装置、こ
の他種々の感光材料、例えば感光感圧性感光材料、感光
性樹脂材料などを用いる画像記録装置等を挙げることが
できる。

また、本発明の光ビーム走査装置は、このような画像記
録装置のみならず、光ガイド等の集光部材や、各種の光
検出器、ＣＣＤセンサ等を配置して、感光材料Ａの換わ
りに印刷物、写真等の原稿を副走査搬送することにより
、画像読取装置として適用してもよい． 本発明の光ビーム走査装置は、画像読取装置として通用
した場合においても、ポリゴンミラーの面倒れを好適に
補正した状態で、一定の光量によって強度ムラのない正
確な画像読み取りを行うことができ、また、シリンドリ
カルレンズ、シリンドリカル主ラー等の高価な面倒れ補
正光学系を用いる必要がないので、装置そのものを大幅
にコスドダウンすることができる． 以上、本発明に係る光ビーム走査装置社ついて詳細に説
明したが、本発明はこれに限定されるわけではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに
設計の変更が可能なことは勿論である． く発明の効果〉 以上、詳細に説明したように、本発明の光ビーム走査装
置は、ポリゴンよラーに面倒れが生じて被走査体上にお
ける光ビームの照射位置がズレた場合においても、光ビ
ームは所定のスリットを通過して被走査体上に照射され
るため、常にスリットによって被走査体上における走査
位置を正確に規定され、走査線ピッチのむら、走査線の
歪み等を生じることがなく、正確な画像記録、画像読み
取りを行うことが可能である． また、このスリットにおける光ビームの副走査搬送方向
の位置を検出し、これ応じて光ビームの光量を調整する
ので、常に不足のない所定の光量の光ビームによって被
走査体を走査することが可能であり、画像記録装置にお
いては露光不足による濃度ムラのない良好な画像記録を
、また画像読取装置においては、読み取り強度のムラの
ない正確な画像読み取りを行なうことが可能である． しかも、常に良好な画像記録、画像読み取りを可能とし
たＣも関わらず、従来必要であったシリンドリカルレン
ズ、シリンドリカルミラー等の面倒れ補正光学系が不要
であるので、光ビーム走査装置をコンパクトかつ安価な
ものとすることができる．

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る光ビーム走査装“置による画像
記録装置の一実施例の概略斜視図である． 第２図は、本発明に係る光ビーム走査装置に適用される
スリットの別の一例である．第３ａ図および第３ｂ図は
、面倒れによる光ビームの照射位置ズレおよびそれに起
因する光量不足を説明するための模式図である。 符号の説明 １０・・・画像記録装置、 ｌ２・・・光源、　　　　　１２ａ・・・光ビーム、１
４・・・ビーム整形素子、 １６・・・ポリゴンミラ−　１８・・・ｆθレンズ、２
０・・・長尺ミラー ２２．２８，１０２・・・スリット、 ２４・・・２分割センサ、　２６・・・制御装置、１０
０・・・レーザビーム

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）光ビームを回転多面鏡によって主走査方向に偏向
   し、この光ビームによって、前記主走査方向と略直交す
   る方向に副走査移動する被走査体上を２次元的に走査す
   る光ビーム走査装置であって、 前記回転多面鏡と前記被走査体との間の前記光ビームの
   光路上に配される、前記主走査方向を長手方向とし、か
   つ短手方向が前記光ビームの副走査方向の径よりも短い
   スリットと、 前記スリットにおける前記光ビームの前記副走査方向の
   位置または前記スリットを通過した前記光ビームの光量
   を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された
   光ビームの位置または光ビームの光量に応じて、前記光
   ビームの光量を調整する制御装置とを有することを特徴
   とする光ビーム走査装置。
2. （２）光ビームを回転多面鏡によって主走査方向に偏向
   し、この光ビームによって、前記主走査方向と略直交す
   る方向に副走査移動する被走査体上を２次元的に走査す
   る光ビーム走査装置であって、 前記回転多面鏡と前記被走査体との間の前記光ビームの
   光路上に配される、前記主走査方向を長手方向とし、か
   つ短手方向が前記光ビームの副走査方向の径よりも短い
   スリットと、 あらかじめ測定された前記回転多面鏡の前記スリットに
   おける前記光ビームの副走査方向の位置または前記スリ
   ットを通過した前記光ビームの光量に応じた光ビームの
   補正光量を記憶するメモリと、 前記補正光量に応じて、前記光ビームの光量を調整する
   制御装置とを有することを特徴とする光ビーム走査装置
   。