JPH02131957A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、ラスクスキャン方式の露光装置に関し、詳し
くは、主走査を行う光偏向器の面倒れおよび／または記
録材料の搬送むらによって生じるラスク間隔のずれを補
正することのできる露光装置に関する。

く従来の技術〉 テレビジョン受像管などで行われている走査方式である
ラスクスキャン方式が、文字等画像や絵、写真、映像な
どの画像を最終的に、例えば、紙やフィルムなどの記録
材料上に可視像として得る画像記録装置の露光装置に用
いられている．　このラスクスキャン方式は、テレビス
キャン方式とも呼ばれ、画面を順次一次元方向に、例え
ば、左から右へ主走査するとともにこの主走査方向と略
直交する方向、例えば、上から下へ副走査して行く走査
方式である。

従来、このラスクスキャン方式を用いる画像記録装置に
おいては、半導体レーザ（ＬＤ）などの固体レーザ、ガ
スレーザおよび液体レーザのようなレーザ光源、発光ダ
イオード（ＬＥＤ）などの発光素子、この他、水銀灯、
キセノンランプ、ナトリウムランプなどの光源を用いて
おり、このような光源から射出される光ビームに画像情
報を担持させ、ポリゴンミラーやガルバノメータミラー
などの光偏向器により一次元的に偏向して主走査すると
ともに感光体や感光材料などの記録材料を前記主走査方
向と略直交する方向に副走査搬送手段により搬送して副
走査し二次元的に露光して、最終的に紙やフィルムなど
に二次元可視像を得ている。

従って、前記記録材料上には光偏向器の偏向による主走
査線が副走査方向に一定間隔で多数平行に画成され、所
定間隔の縞模様のラスクが形成される． く発明が解決しようとする課題〉 ところで、ポリゴンミラーやガルバノメータミラーなど
の光偏向器を主走査用として用い、記録材料の搬送を副
走査とする画像露光装置などのように１ライン（１行）
の書き込みタイミングを変えることが困難な画像露光装
置では、前記光偏向器に面倒れが存在し、面倒れ補正が
完全でない場合や記録材料の搬送にむらが存在する場合
には、光ビームの結像位置がずれて、ラスク間隔に不揃
いが生じる． 例えば、第４図に示すように、ラスクの間隔が不揃いに
なると、ラスクの間隔が接近しているところは濃く見え
、ラスクの間隔が離れているところは薄く見えることに
なる．　従って、このようにラスク間隔にビッチむら（
不揃い）が存在する露光画像を可視像とした時に、画像
に濃度むらが発生し、可視再生画像の画質を著しく損な
うことになっていた。　例えば、ラスク間隔を１／１６
ｍｍとするとき、ポリゴンミラーの面数を８面とすると
、面倒れ補正が完全でないと０．５ｍｍピッチのむらが
出る．　この０．５ｍｍの濃度むらは記録材料上で最も
目立ち、画買上大きな問題となる。　また、さらに、前
記光偏向器の反射面の反射率にむらがある場合は、主走
査線そのものに濃度の不揃いが発生し、ラスク間隔の不
揃いと相まって、再生画像に濃度むらを発生しやすい． ところで、上述したラスク間隔（主走査線の間１ｍ）の
不揃いや主走査線の濃度の不揃いあるいはその合成があ
る一定量を超えると再生画像上で濃度むらとして認識さ
れることになる。

従って、従来は、これらの濃度むらをなくすためにラス
ク間隔の不揃いや濃度の不揃いを一定量以下に抑えるよ
うに、ポリゴンミラーやガルバノメータミラーなどの光
偏向器の加工精度や動作精度や組み立て精度を上げたり
、面倒れ補正のための光学系の精度を上げて補正量を増
したり、記録材料搬送系特に副走査搬送手段の送り精度
を向上させるといった精度向上手段が採られていた。

ところで、ラスク間隔に不揃いが存在する場合、ポリゴ
ンミラーやガルバノメータミラーなどの光偏向器の回転
や記録材料の搬送を制御して、例えば、次のラスク書込
位置まで記録材料が搬送されていない場合は、光偏向器
の回転を停止し、逆に、記録材料は次のラスク書込位置
まで搬送されているのに光偏向器が遅れている時は搬送
を停止するなどの書込タイミングを可変にすることも考
えられるが、この方法は、ラスク間隔を一定にするより
も複雑でかつ高価な制御系を必要とし、実現は困難であ
る。

このような光偏向器や副走査搬送手段の精度向上には限
界があるばかりか、精度を向上さけるためには高価な装
置や部品等を使う必要があり、コストを大幅にアップさ
せていた。　また、低コストの装置を目指す場合には、
この様な方法を用いるには限界があった。

本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消し、光偏
向器による光ビームの主走査と記録材料の搬送による副
走査とを用いるラスクスキャン方式で二次元的に露光す
る際に、特別な精度の高価な光｛扁向器や副走査搬送手
段を用いる必要がなく、前記光偏向器の面倒れおよび／
または前記記録材料の送りむらから生じるラスク間隔（
主走査線の間隔）の不揃いを少なくとも１組の複数の光
源の光ビームの強度を調整することにより補正すること
のできる露光装置を提供するものである。

〈課題を解決するための手段〉 上記目的を達成するために、本発明は、記録材料上に光
ビームを一次元方向に順次照射して主走査を行うと共に
、この主走査方向と略直交する方向に前記記録材料を搬
送して副走査を行い、前記記録材料を二次元的に露光す
る露光装置であって、 前記照射用光ビームを主走査方向に近接して設けられた
複数の光源からなる１組の光源の少なくとも１組と、前
記光ビームを一次元方向に偏向する光偏向器と、前記記
録材料を副走査搬送する副走査搬送手段と、前記光偏向
器の面倒れ量を検出する手段および／または前記副走査
搬送手段の搬送速度むらによる前記記録材料の搬送位置
ずれを検出する手段と、前記検出手段により検出された
前記面倒れ量および／または前記検出手段により検出さ
れた記録材料の搬送位置ずれに基づいて、前記記録材料
上に画成された主走査線の前記副走査方向の位置ずれを
補正するように前記組をなす複数の光源の発光タイミン
グと光ビーム強度の調整を行う制御手段とを有すること
を特徴とする露光装置を提供するものである。

以下に、本発明に係る露光装置を添付の図面に示す好適
実施例に基づいて詳細に説明する．第１図は、本発明の
露光装置の一実施例の制御系のフローを含む斜視説明図
である．本発明の露光装置はモノクロ画像露光装置であ
ってもカラー画像露光装置であってもよいが、本実施例
で代表的にモノクロ画像露光装置について説明する。

同図に示すように、本発明の画像露光装置１０は、基本
的に、本発明の特徴とする部分の１つである光源部１２
と、ポリゴンミラ−１６と、副走査搬送手段１８と、本
発明の特徴とする部分の１つであって画像の露光制御を
行なう制御部２０とを有し、光学系を構成する光源部１
２と、ポリゴンミラ−１６とは図示しない定盤上にｉ置
されている。

光源部１２は、本発明の露光装置１０の特徴とする部分
の１つであり、近接して配設された２つのレーザダイオ
ード（ＬＤ）２２ａおよび２２ｂと、それぞれその駆動
（原（ドライバ）２４ａおよび２４ｂと、ＬＤ２２ａお
よび２２ｂからそれぞれ射出された光ビーム２６ａおよ
び２６ｂのビーム径を調整するコリメータレンズ２８ａ
および２８ｂと、光ビーム２８ａおよび２６ｂをポリゴ
ンミラ−１６の鏡面１６ａに向けて反射する反射ミラー
３２とで構成される．　光ビーム２６ａおよび２６ｂは
ある角度をもって反射ミラー３２のほぼ同一位置に入射
する． ポリゴンミラ−１６は、光ビーム２６ａおよび２６ｂを
一次元方向に偏向するための光偏向器であって、複数の
鏡面１６ａを有する。　第１図に示す例では８面の鏡面
からなる。　ポリゴンミラ−１６はモータなどの駆動源
３４により一定速度で回転される。　駆動源３４にはポ
リゴンミラ−１６の回転を制御するためのエンコーダ３
５が取り付けられている．　本発明では、このエンコー
ダ３５の情報を用いて、走査露光に用いられているポリ
ゴンミラ−１６の鏡面１６ａが８面あるうちのどの鏡面
であるかを検知ｌノ、ポリゴンミラ−１６の鏡面１６ａ
の面倒れ量を検出する。　本発明では、光偏向器として
ポリゴンミラ−１６を用いたけれども、光ビームを一次
元方向に偏向することができる光偏向器であれば何を用
いてもよく、例えば、回転ミラーを使うものや、回動ミ
ラーを揺勤して用いるガルバノメータミラーなどを用い
ることができる。

ポリゴンミラ−１６で一次元方向に偏向された光ビーム
２６ａおよび２６ｂが２７ａから２７ｂまで偏向され、
偏向された光ビーム２７ａ〜２７ｂはｆθレンズなどの
走査レンズ３６を透過し、長尺の反射ミラー３８で反射
され、立ち下げられて、副走査搬送手段１８により搬送
される記録材料４０上に１本の主走査線４２を形成する
ように光学系が構成される。

ここで、主走査線４２は光ビーム２６ａおよび２６ｂが
主走査方向にわずかに離れて結像し、かつ記録材料４０
が搬送され１いるため、相対的に光ビーム２６ａおよび
２６ｂは副走査方向にわずかにずれて結像し、１木のラ
スクを画成する． この時、走査レンズ３６はポリゴンミラー１６で偏向さ
れた光ビーム２７ａ〜２７ｂを記録材料４０面上に収束
させる。

副走査搬送手段１８は、記録材料４０を主走査方向すな
わち、主走査線４２と略直交する副走査方向に搬送する
ものであればいかなるものでもよく、記録材料４０の形
態に応じて適宜最適なものを用いてよい。　例えば、記
録材料が感光体ドラムである場合、あるいはシート状感
光材料などであってもドラムに巻回されて用いられる場
合は、感光体ドラムあるいはドラムそのものが副走査搬
送手段１８を構成する。　また、記録材料がシート状感
光材料である場合は、ベルトコンベアあるいは第１図に
示すように二組のローラ対により構成することができる
。

第１図に示す副走査搬送手段１８は、二組の口−ラ対４
４ａと４４ｂおよび４６ａと４６ｂにより構成され、シ
ート状の記録材料４０を扶持搬送する。　二組のローラ
対のそれぞれ下側のローラ４４ａおよび４６ａの一方の
側には同期ベルト４８が懸架され、ローラ４４ａの他方
の側に取り付けられた駆動源５０により同期駆動され、
記録材料４０を一定速度で搬送する。

もちろん、ローラ４４ａおよび４６ａの径が等しければ
、これらのローラ４４ａおよび４６ａは等速回転する。

駆動源５０は、第１図に示すように、副走査搬送手段１
８を構成する二組のローラ対のローラ４４ａに取り付け
られているが、この例に限定されず、いずれのローラに
取り付けてもよいし、またこれらのローラに直結せず、
ベルト、チェーン、歯車等の伝動手段を介して二組の口
−ラ対を駆動するようにしてもよい。　ローラ４４ａの
同期ベルト４８側にはローラ４４ａの回転速度すなわち
記録材料４０の搬送速度を検出するためのロータリーエ
ンコーダ５２が取り付けられる．　　ロータリーエンコ
ーダ５２を取り付ける位買は、駆動側のローラ４４ａま
たは４６ａが好ましいが、第１図に示す例に限定されず
、二組のローラ対のいずれのローラの軸端でもよいし、
駆動源５０の軸端に取り付けてもよい。

本発明においてロータリーエンコーダ５２は、副走査衆
送手段１８の搬送速度むらすなわちローラ４４ａ，４６
ａの回転速度むらに起因する記録材料４０の搬送位置ず
れを検出するための搬送位置ずれ検出手段を構成する。

　ここで、搬送位置ずれ検出手段は、副走査搬送手段１
８を構成する二組のローラ対のいずれかに取り付けられ
たロータリーエンコーダ５２に限定されるわけではなく
、もともとモータなどの駆動源に内蔵されているロータ
リーエンコーダなどを用いてもよい。

制御部２０は本発明の最も特徴とする部分であって、第
１図に示すように走査位置ずれ、すなわち、光ビーム２
６ａおよび２６ｂの中心位置のずれおよびこの走査位置
ずれを補正するための２つのＬＤ２２ａと２２ｂの発光
強度バランスさらに必要であれば書き込み濃度補正量を
演算するマイクロプロセッサ（以下μＰという）５４と
、ポリゴンミラ−１６の各鏡面１６ａの面倒れ量情報を
予め記憶しておくＲＯＭ５６およびポリゴンミラ−１６
の各鏡面１６ａの反射率情報を記憶してお＜ＲＯＭ５８
と、今回書き込む主走査線上のラスクの濃度情報を記憶
してお＜ＲＡＭ６０と、ＲＡＭ６０からの今回書込濃度
情報をμＰ５４からの強度バランス情報に従って、さら
に必要があれば濃度補正をも加味して、ＬＤ２２ａおよ
びＬＤ２２ｂの発光強度電気信号を出力する発光強度調
整千段６２とから構成される。

μＰ５４は、搬送位置ずれ検出手段を構成するロータリ
ーエンコーダ５２からの記録材料４０の搬送速度情報を
受けて搬送位置ずれを検出し、さらにポリゴンミラ−１
６の駆動源３４のエンコーダ３５からの使用鏡面の情報
に基づいてＲＯＭ５６から使用鏡面の面倒れ量を読み込
んで、直前のラスクと今回書き込まれるラスクの間隔を
算出し、すなわち今回のラスクの走査位置ずれ、すなわ
ち、光ビーム２６ａおよび２６ｂの中心位置のずれを算
出する．この中心位置のずれから各ＬＤ２２ａおよび２
２ｂがそれぞれ射出する光ビーム２６ａおよび２６ｂの
位置ずれも算出される。　この光ビーム２６ａおよび２
６ｂの中心位置ずれまたは光ビーム２６ａ、２６ｂの位
置ずれから、ラスクを書き込む光ビーム２６ａおよび２
８ｂの中心位置ずれの分だけ逆に光ビーム２６ａおよび
２６ｂの中心位置を戻すように光ビーム２６ａおよび２
６ｂの強度分布すなわちＬＤ２２ａおよび２２ｂの発光
強度のバランスの調整量を決定する。　さらに必要があ
ればＲＯＭ５８からのポリゴンミラ−１６の使用鏡面の
反射率情報に基づいて、今回書き込むべきラスクの濃度
補正量を決定する。

発光強度調整手段６２においてはμＰ５４で決定された
ＬＤ２２ａおよび２２ｂの発光強度バランスの調整量に
合うように、さらに前記濃度補正量も加味されて、ＲＡ
Ｍ６０から読み込まれた今回の書込濃度に基づいて、Ｌ
Ｄ２２ａの発光強度電気信号が出力され、ＬＤ２２ｂに
は、ＬＤ２２ａよりもわずかに遅れて発光強度電気信号
が出力され、それぞれ各ドライバ２４ａおよび２４ｂに
伝送される。　この時、ＬＤ２２ｂから出る光ビームは
ＬＤ２２’ａから出る光ビームより時間的にわずかに遅
れて同一位置に結像する．　このわずかな時間に記録材
料４０は、ある量移動するので、相対的に２つのビーム
は、副走査方向にずれた位置に結像する。

本発明に係る露光装置において行われる各光源の光ビー
ム強度調整を第２図を参照して説明する。　第２図（ａ
）に示すように直前のラスク位置６　４　ｉと今回書き
込むラスク位置６４ｊと次回書き込むラスク位置６４ｋ
とが等間隔である場合には、ＬＤ２２ａおよび２２ｂの
強度バランス調整を各ラスク毎に行う必要がない。

例えば、各ラスクの画像１度が同じであれば、ラスタ位
胃６４ｉ、６４ｊ、６４ｋでの光ビーム２６ａおよび２
６ｂの合成露光強度分布６５ｉ，６５ｊ，６５ｋは同じ
になる．ところで、本発明においては、ラスク位置での
露光強度分布は複数の光源から射出される光ビームが記
録材料上のそのラスク位置で形成する記録材料４０の移
動を考慮した各光ビーム２６ａおよび２６ｂのビーム強
度分布の和となる。　第１図に示すように２つのＬＤ２
２ａおよび２２ｂを用いる場合には、第２図（ｂ）に示
すように、それぞれＬＤ２２ａおよび２２ｂから射出さ
れた光ビーム２６ａおよび２６ｂが記録材料４０上のラ
スタ位置６４ｉでそれぞれ形成するビーム強度分布６５
ｉａおよび６５ｉｂを合成することにより、ラスク位置
６４ｉでの合成ビーム強度分布６５ｉとなる．直前のラ
スタ位ｆｉｌ　６　４　ｉはずれがなく正しい位置であ
ったとすると、合成ビーム強度分布６５ｉの中心位置が
ラスク位置６４ｉと一致すれば、両ビーム強度分布６　
５　！　ａ　％　６　５　ｉｂの形状はどのようなもの
でもよいが、第２図（ｂ）に示すように等しくしておく
のが好ましい．　こうすれば、合成ビーム強度分布６５
ｉの中心位置６４１（すなわちラスク位置）は２つの光
ビーム２６ａ，２６ｂのビーム強度分布６５ｉａ，６５
ｉｄの中心位置６４ｉａと６４ｆｄの中心とすることが
できる。　本発明においては、２つの光ビーム２６ａ，
２６ｂの中心結像位置６５ｉａ、６５ｉｂが相対的に記
録材料の搬送方向に所定間隔ずれるように記録材料４０
の搬送速度を考慮して、光ビーム２６ａおよび２６ｂが
ポリゴンミラ−１６にある角度を持って入射するように
ＬＤ２２ａ，２２ｂ１コリメータレンズ２８ａ，２８ｂ
を配設するのが好ましい。　ここで、記録材料上での２
つの光ビーム２６ａ，２２ｂの結像位置であるビーム強
度分布６５ｔａ，６５ｉｂの中心位置６４ｉａ、６４ｉ
ｂの間隔ｄは露光装置の光学系や搬送系およびラスク間
隔などにより適宜定めればよいが、ラスク間隔Ｊ！（ラ
スタ位置８４ｉと６４ｊとの間隔）の約１０％程度とす
るのが好ましい。

例えば、第１図に示す露光装置において、ラスタ間隔を
１／１６ｍｍ（約６０μｍ）とすると、相対的な２つの
ビーム結像位置間隔ｄは６μｍとすることができる。

また、本発明のように複数の光ビームで１本のラスクを
露光する場合には、１本のビームで露光する場合よりも
それぞれのビームを絞っておく必要がある。　　これは
、ビームを絞っておかないと合成ビーム強度分布を１本
のビームで露光する際のビーム強度分布と一致させるこ
とができず、露光エネルギが変ってしまい、再生画像の
濃度が変化するので好ましくない．　例えば、第２図（
ｂ）に示すように、ビーム強度分布６５ｉを２つビーム
強度分布６５ｉａ，６５ｉｂを合成する場合のビーム２
６ａ，２６ｂのビームは１本のビームで形成する場合の
ビームよりも絞ったものであればいかなるものでもよい
が５０〜７０％とするのが好ましい．次に、今回書き込
む際に、光学系のずれ（光偏向器の面倒れ）や搬送系の
ずれに起因して光ビーム２６ａ，２６ｂが形成するビー
ム強度分布６７ａ、６７ｂの中心位置６６ａと６６ｂが
ずれると、ビーム強度分布８　７　ａ，　６　７　ｂの
バランスを調整しなければ合成ビーム強度分布６７の中
心位置６６がずれる。　すなわち、今回書き込むラスク
位置がその中心位置６６となるので、第２図（ｂ）では
矢印方向（右側）にずれのない正しいラスタ位置６４ｊ
からσだけずれてしまう。

そこで、本発明においては、このずれ量σを光学系のポ
リゴンミラ−１６の使用鏡面１６ａの面倒れ量や副走査
搬送手段１８の搬送位置ずれから算出できるので、μｐ
５４により決定されたＬＤ２２ａおよび２２ｂの発光強
度バランスの調整を行い、光ビーム２２ａ、２２ｂのビ
ーム強度のバランスを変えて、第２図（Ｃ）に示すよう
に、２つのビーム強度分布６８ａおよび６８ｂのバラン
スを変えて、すなわちビーム強度分布６８ａを増加させ
ビーム強度分布６８ｂを減少させて、新しい合成ビーム
強度分布６９を形成させ、その中心位置を左側にずれ量
ａの分だけ移動させて、正しいラスク位置６４ｊに一致
させる。　このとき、第２図（Ｃ）に示す合成ビーム強
度分布６９と第２図（ｂ）にしすめ合成ビーム強度分布
６８のプロフィルが変らないように、ＬＤ２２ａおよび
２２ｂの発光強度のバランスを調整する必要がある。　
この両ビーム強度分布６８、６９のプロフィルが異なる
と、再生画像の濃度が変化し゜〔シまうので好ましくな
い。

第１図に示す露光装置において、標準状態をＬＤ２２ａ
，２２ｂから射出される各ビーム２６ａ，２６ｂの出力
を０．００５４４５ｍ　Ｗ、各ビーム２６ａと２６ｂの
主走査方向の結像中心位置間隔を３１．５μｍ１ビーム
径を７０Ｘ９０μｍ、発色濃度を中央でｏ．ａｏｏとし
、この漂準状態から各ＬＤ２２ａと２２ｂとの発光強度
バランスを変えて露光を行った。　　この時、各ビーム
２６ａおよび２８ｂとの相対的な副走査方向の結像中心
位置間隔ｄは６μｍであった。　その結果は以下のよう
になった．ここで、合成ビーム強度分布の中心位置移動
量は第２図において、左側に移動させる場合を十とした
． この場合±３μｍの範囲で合成ビーム強度分布の中心位
置を移動させることができた。　いずれの場合もｍ準状
態との濃度差は全体についてｏ．ｏｏｏｓ以下で、濃度
の変化は目視では認識できな力じた。

以上のように、本発明においては、ラスク位置ずれ、あ
るいはラスクすなわち、主走査線のずれに応じて、複数
の光源の光ビームの強度のバランス調整により前記ラス
ク間隔の調整を行うが、その調整量は、複数の光源の設
置位置、光源の種類と数、複数の光源からの光ビームの
結像位置とその間隔とビーム径等により適宜決定すれば
よい。

本発明において用いられる光源としては、通常露光装置
として用いられる光源であれば何でもよいが、例えば、
ＬＤ（レーザタイオード），ＬＥＤ　（発光ダイオード
）などの発光素子を始めとして、ガスレーザ、液体レー
ザ、半導体レーザ、固体レーザなとのレーザ光源、この
他、水銀灯、キセノンランプ、ナトリウムランプ、ハロ
ゲンランプなどの光源が挙げられるが、近接した位置に
配設でき、ビーム径も細くでき、ビーム出力の調整も比
較的容易であるので特にＬＤが好ましい． 第１図に示す例では、１本のラスクを形成する合成ビー
ム強度分布を、光源として２つのＬＤ２２ａおよび２２
ｂを用いて、これらの光源から射出される２つの光ビー
ム２６ａおよび２６ｂから合成しているけれども、本発
明はこれに限定されるわけではなく、近接した位置に配
置でき、近接した位置に結像できれば用いる光源の数は
いくらでもよい。　例えば、３つの光源を用い、１つは
主露光光源とし、残りの２つ光源を補助光源として、合
成ビーム強度分布を形成することもできる。

第１図に示す例では、μＰ５４で複数の光源の発光強度
バランスを決定し、発光強度調整手段６２で各光源の発
光強度および発光タイミングを決定するよう構成したけ
れども、μＰ５４で発光強度および発光タイミング調整
も行ない直接各光源の発光強度および発光タイミングを
決定するよう構成して発光強度調整手段６２を設けなく
てもよい。

Ｒ　Ｏ　Ｍ　５　６には、画像露光装置１０に組み込ま
れた状態で、ポリゴンミラ−１６の鏡面の面倒れ補正量
が予め計測ざれて記憶される．ＲＯＭ５８には、同様に
、画像露光装置１０に組み込まれた状態で、計測された
反射率が予め記憶される。

ここで、使用鏡面を検知するポリゴンミラ−１６のエン
コーダ３５と各鏡面の面倒れ量を予め記憶しているＲＯ
Ｍ５６とはポリゴンミラー１６の鏡面１６ａの面倒れ量
を検出する手段を構成する。

第１図に示す例では使用鏡面検知手段としてポリゴンミ
ラ−１６のエンコーダ３５を用いたけれども、本発明は
これに限定されるわけではなく、例えば、第３ａ図に示
すように直接ポリゴンミラ−１６の特定の面を検知する
直接手段や第３ｂ図に示すようにポリゴンミラ−１６と
同軸回転する回転板の所定の位置を検知する間接手段を
用いることができる。　この他、ポリゴンミラ−１６の
使用鏡面を検知できる手段であればいかなる手段を用い
てもよい。

第３ａ図においては、使用鏡面検知手段７０はボリゴン
ミラ−１６の所定の鏡面１６ｇの上面の所定の位置に設
けられたあるいは貼着された被検知部７１と、被検知部
７１においてパルスを発生するピックアップ７２とで構
成され、直接鏡面を検知するが、同図の場合は８面の鏡
面からなるが、検出鏡面１６ｇの２つ後の鏡面を使用鏡
面１６ａとして検知する。　もちろん、図中の使用鏡面
１６ａの上面に被検知部７１を設け、直接検知してもよ
い。　ここで、ビックアップ７２としては、電磁ビック
アップ、発光受光素子からなるフォトセンサー静電ピッ
クアップ等を用いることができる。

電磁ピックアップを用いる場合の被検知部７１は、ポリ
ゴンミラ−１６の上面の検知される所定の部分が磁性材
料であれば、非磁性材料、逆に前記上面が非磁性材料で
あれば、磁性材料とすればよい。　さらに、フォトセン
サーの場合は被検知部７１とポリゴンミラ−１６の上面
の所定部分とを光の反射率とが異なるように構成すれば
よい。　この他、種々の非接触式のビックアップを用い
ることができる。

第３ｂ図においては、使用鏡面検知手段７４は、間接的
に使用鏡面を検出する手段であって、ポリゴンミラ−１
６と同軸で回転する回転円板７５と回転円板７５の所定
の位置に開けられたスリット７６と回転円板７５を介し
てスリット７６の上下に設けられた発光素子７７ａと受
光素子７７ｂとから構成される．　スリット７６の位置
は、図中の使用鏡面１６ａに相当する位置であっても、
使用鏡面１６ａとの位置関係がはっきりしていれば、い
ずれの位置に設けてもよい。

本発明においては、第１図に示す記録材料の第１行目の
書き込みあるいは始めの何行目かの書き込みの１つに使
用される面が検出できればよく、第３ａ図および第３ｂ
図に示すように検知する鏡面位置は１ケ所でよいが、本
発明はこれに限定されるわけではなく、複数の鏡面位置
を検知できるように構成してよい。　もちろん、第１行
目の書き込みに使用される面がどのような場合にも確実
に検知されるように、すべての鏡面を検知するように構
成してもよい。

第１図に示す例では、ポリゴンミラ−１６の面倒れ量検
出手段と副走査搬送手段１８による記録材料４０の搬送
位置ずれ検出手段の両方を備えているが、面倒れ量が小
さかったり、あるいは副走査搬送手段１８の搬送精度が
高く搬送位置ずれが小さい場合には、走査位置ずれの原
因となる側だけ検出するように構成してもよい。

さらに第１図に示す例では、ポリゴンミラー１６の使用
鏡面の反射率情報をも考慮して濃度補正を行い、（発光
強度）を調整しているが、反射率による補正を行わなく
てもよい。

以上、本発明に係る露光装置を第１図に示すモノクロ露
光装置を代表例として説明したが、木発明はこれに限定
されるわけではなく、カラー画像を露光するカラー露光
装置であってもよい。

本発明のカラー露光装置においては、３色または４色の
光源が必要であるが、それぞれもしくはむらの目立つい
くつかの色の１色について、合成ビーム強度分布を形成
するために複数の光源を用い、合成ビーム強度分布の中
心位置を移動させることができるように構成すれば良い
。　この時、それぞれの色の合成ビーム強度分布を形成
する光源の数や配Ｗ（結像させる位置も含めて）は各色
とも同じにするのが好ましい。　また、３色または４色
の合成ビーム強度分布は反射ミラーやダイクロツクミラ
ーなとを用いて、１木化されるが、合成ビーム強度分布
の中心位置は各色で一致する必要があるので、各色の複
数の光源の中心位置は対応する位置にある各色の光源ご
とに一致させるように構成する必要がある。

本発明のカラー露光装置は光源とそのドライバおよび１
木化するためのミラーと各色の濃度を決め、露光量を決
定する部分を除き、例えば、第１図に示すモノクロ露光
装置と同様の構成とすることができる。

また、本発明においては、上述の画像露光装置を適用す
ることのでぎる画像記録装置に応じて適宜変形すること
ができる。　また、このような画像記録装置は、カラー
もしくはモノクロ複写装置であっても画像読取部を有さ
す、種々の画像処理装置、例えば、コンピュータ、ビデ
オ、光ディスクからの画像であっても適合する画像処理
装置により処理されたカラーもしくはモノクロ画像情報
を受けてカラーもしくはモノクロ画像を記録するカラー
もしくはモノクロプリンターであってもよい。　　また
、使用する記録材料としては、前述したように感光体ド
ラムやカラーあるいはモノクロ感光材料のいずれであっ
てもよい．　このため、本発明を適用可能な画像記録装
置は、カラーあるいはモノクロのいずれであってもよい
が例えば、本出願人の出願に係る特願昭６３−２４１　
５５２号に開示された画像記録装置を始めとして、電子
写真式画像記録装置、銀塩写真式画像記録装置、感熱転
写式画像記録装置、インクジェット画像記録装置、レー
ザプリンタ、レーザ複写装置、ビデオプリンタ、ビデオ
複写装置、この他種々の感光材料、例えば感光感圧性感
光材料、感光性樹脂材料などを用いる画像記録装置等を
挙げることができる。

本発明に係る露光装置は基本的には以上のように構成さ
れるが、本発明はこれに限定されるわけではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設
計の変更が可能なことは勿論である。

く発明の効果〉 以上、詳述したように、本発明の露光装置によれば、露
光光学系のポリゴンミラーやガルバノメータミラーなど
の光偏向器の面倒れ量および／または記録材料の搬送系
の搬送速度むらによる搬送位置ずれを検出し、前記面倒
れ量および／または搬送位置ずれから予想される主走査
線すなわちラスクの走査位置ずれを算出して、モノクロ
画像では１本の光ビームをカラー画像では３色の光ビー
ムそれぞれについて前記記録材料上の主走査方向に近接
した位置に結像する複数の光源の発光タイミングと発光
強度バランスを調整することにより、前記複数の光源か
らの合成光ビームの中心位置を前記走査位置ずれの分だ
け穆動させることができるので、高価な高加工精度や高
組立精度の光学系や搬送系を用いなくても前記走査位置
ずれを容易になくすことができ、前記走査位置ずれに起
因する濃度むらのない画質のよいモノクロあるいはカラ
ー再生画像を得ることができる。

また、本発明の露光装置は、感光体や感光材料などの記
録材料を搬送して２次元的に走査露光して、再生画像を
得る画像記録装置であればいかなる画像記録装置にも適
用可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る露光装置の一実施例れる発光強
度調整により主走査線上に画成されるラスクの位置およ
び露光強度を示す説明図である。 第３ａ図および第３ｂ図は、本発明の画像露光装置に用
いられるポリゴンミラーの使用鏡面を検知する手段のそ
れぞれ一実施例の斜視図である． 第４図は、従来の画像露光装置により画成されたラスク
を示す説明図である． 符号の説明 １０・・・画像露光装置、 １２・・・光源部、 １４・・・面倒れ補正光学系、 １６・・・ポリゴンミラー １６ａ，１６ｇ・・・鏡面、 １８・・・副走査搬送手段、 ２０・・・制御部、 ２２ａ、２　２　ｂ−・・レーザダイオード（ＬＤ）、
２４ａ、２４ｂ・・・駆動源（ドライバ）、２６ａ、２
　６　ｂ　・・・光ビーム、２７ａ，２７ｂ−光ビーム
、 ２８ａ，２８ｂ・・・コリメータレンズ、３２・・・反
射ミラー ３４・・・駆ｉｌ］源、 ３５・・・エンコーダ、 ３６・・・走査レンズ、 ３８・・・反射ミラー ４０・・・記録材料、 ４２・・・主走査線（ラスク）、 ４４ａ、４４ｂ，４６ａ．４６ｂ−ｏ−ラ、４８・・・
ベルト、 ５０・・・駆動源、 ５２・・・ロータリーエンコーダ、 ５４・・・マイクロプロセッサ（μｐ）、５６、５　８
−Ｒ　Ｏ　Ｍ、 ６０・・・ＲＡＭ， ６２・・・（発光強度）調整手段、 ６４ｉ　　、　６４ｊ，　　６４ｋ，　　６６・・・合
成ビーム強度分布の中心位置 （ラスク位置）、 ６４ｉａ，６４ｉｂ，６６ａ，６６ｂ ・・・光ビームの中心位置、 ６５ｉ，６５ｊ，６５ｋ，６７、６９ ・・・合成ビーム強度分布、 ６５ｉａ，６５ｉｂ，６７ａ，６７ｂ，６８ａ，６８ｂ
・・・光ビームの中心位置、７０、７４・・・使用鏡面
検出手段、 ７１・・・被検出部、 ７２・・・ビックアップ、 ７５・・・回転円板、 ７６・・・スリット、 ７７ａ・・・発光素子、 ７７ｂ・・・受光素子 特許出願人　富士写真フイルム株式会社ノ′（゛叉 ６６ａ　６４３　６６ｂ ＦＩＧ，４

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）記録材料上に光ビームを一次元方向に順次照射し
   て主走査を行うと共に、この主走査方向と略直交する方
   向に前記記録材料を搬送して副走査を行い、前記記録材
   料を二次元的に露光する露光装置であって、 前記照射用光ビームを主走査方向に近接して設けられた
   複数の光源からなる１組の光源の少なくとも１組と、前
   記光ビームを一次元方向に偏向する光偏向器と、前記記
   録材料を副走査搬送する副走査搬送手段と、前記光偏向
   器の面倒れ量を検出する手段および／または前記副走査
   搬送手段の搬送速度むらによる前記記録材料の搬送位置
   ずれを検出する手段と、前記検出手段により検出された
   前記面倒れ量および／または前記検出手段により検出さ
   れた記録材料の搬送位置ずれに基づいて、前記記録材料
   上に画成された主走査線の前記副走査方向の位置ずれを
   補正するように前記組をなす複数の光源の発光タイミン
   グと光ビーム強度の調整を行う制御手段とを有すること
   を特徴とする露光装置。