JPH034507A - 複合巻積層インダクタとその製造方法 - Google Patents

複合巻積層インダクタとその製造方法

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JPH034507A
JPH034507A JP13743889A JP13743889A JPH034507A JP H034507 A JPH034507 A JP H034507A JP 13743889 A JP13743889 A JP 13743889A JP 13743889 A JP13743889 A JP 13743889A JP H034507 A JPH034507 A JP H034507A
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稔 高谷
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淳 佐藤
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は積層インダクタに関し、特に複合巻積層インダ
クタとその製造方法に関する。
[用語の定義] ここに「複合巻インダクタ」とは、周知の印刷、スパッ
タリングまたは蒸着技術等を利用する積層技術によって
並行的に形成された複数組の導電性巻線を包含する積層
インダクタをいうものとする。また、ここに「インダク
タ」とは、上記複合巻の複数組の導電性巻線が直列また
は並列に使用して構成される自己誘導インダクタ及びイ
ンダクタトランスを意味する。またこのインダクタは、
単独使用のみならず、フィルタ回路、中間周波トランス
その他の任意のLC複合チップ部品、LR複合チップ部
品、LCR複合チップ部品、あるいは他のいかなる回路
素子、たとえばダイオード、トランジスタ、サーミスタ
等と組み合わせて一体複合部品として使用されることを
含む9以上要するに本発明の積層インダクタは、複合巻
溝電性巻線を要素とするあらゆる用途に使用可能であり
、インダクタやトランスとしての単独使用に限られない
[従来の技術] 本発明者らは、特公昭57−39521号公報において
、印刷法により磁性フェライト層とコイル形成用縁状導
電層とを交互に印刷して積層し、焼結して、一体構造の
焼結積層インダクタを提供した。同技術は、複数個の約
手ターン分の印刷導電層をそれらの間に電気絶縁性の印
刷フェライト磁性層の縁端部を介して接続して前記半タ
ーン分の導電層が、積層方向にて重畳するコイルを形成
するようにし、且つ全体を一体焼結したことを特徴とす
る。
以下、この従来技術を第83図〜第112図について簡
単に説明する。なお、積層インダクタの製造工程では、
一般に、幅広の易剥離性基板の上に複数個積層されるが
、以下では、説明の便宜上、1個の積層インダクタにつ
いてのみ説明する。また、これらの図で、(a)は平面
図、(b)は断面図である。第83図を参照すると、平
面平滑度の高い基板(アルミニウム等)の表面にポリエ
ステル(好ましくはポリエチレンテレフタレート膜)が
形成された易剥離性基板(図示せず)の上に電気絶縁性
で透磁性の磁性フェライト層または必要に応じて表面に
電気絶縁膜を有する磁性フェライト層1を印刷し、その
上に第84図のように、印刷段差を補正するためのフェ
ライト層2を印刷し、次いで第85図のように、コイル
引き出し導電層3を印刷する0次に、第86図のように
、引き出し導電層の導電性コイル始端4を残して右半分
に磁性フェライト層5を印刷する。
次に、第87図のように、先のコイル始端4に接続して
約手ターン分のコイル形成用導電層6を印刷する。次に
、第88図のように、コイル形成用導電層6の一端部8
を残して磁性フェライト層7を左半分に印刷し、次に、
第89図のように、コイル形成用導電層の一端部8に接
続して約手ターン分のコイル形成用導電層9を印刷する
。次に、第90図のように、コイル形成用導電層9の一
端部10を残して磁性フェライト層11を右半分に印刷
し、次に、第91図のように、コイル形成用導電層の一
端部lOに接続して約手ターン分のコイル形成用導電層
12を印刷する0次に、第92図のように、コイル形成
用導電層12の一端部14を残して磁性フェライト層1
3を左半分に印刷し、次に、第93図のように、コイル
形成用導電層の一端部14に接続して約手ターン分のコ
イル形成用導電層15を印刷する。第92図までの積層
工程で、約2回巻のコイル形成用導電層3.6.9.1
2.15が積層されたことになる。所望の巻数のコイル
形成用導電層を得るためには、第86図〜第93図と同
様の積層工程を繰り返せばよい、説明の便宜上、第92
図の製造工程で積層を終了するものとする。2回巻のコ
イル形成用導電層が形成された後、第95図のようにコ
イル引き出し導電1i118を印刷し、次に第96図の
ように、全面に磁性フェライト層19を印刷したのち、
焼結し、必要な外部引き出し端子の焼き付けを行うこと
によって、積層インダク夕が得られる。この積層インダ
クタの等価回路を図示すれば第97図のようになる。
他の従来技術による積層インダクタの製造法を第98図
〜第112図に示す(特開昭59−22304号参照)
、これらの図は、印刷技術、スパッタリングまたは蒸着
技術などの気相法等の積層技術を使用する積層インダク
タの製造工程を図示する平面図である0例示のものは印
刷技術による。
第98図〜第107図は、P、からP2に至る1次コイ
ル巻線形成用導電層の周回軸線とS、からSsに至る2
次コイル巻線形成用導電層の周回軸線とがずれている積
層インダクタの製造工程を図示するもので、第108図
〜第112図は、周回軸線がずれていない、すなわち1
次コイル巻線形成用導電層と2次コイル巻線形成用導電
層とが同心配置された積層インダクタの製造工程を図示
する。
以下、簡単にこれら積層インダクタの製造工程を説明す
る。なお、先に説明したように、説明の便宜上、1個の
積層インダクタについてのみ説明する。第98図のよう
に、易剥離性の基板(図示せず)・の上に磁性フェライ
ト等の磁性層31を印刷し、その面に約手ターン分の1
次巻線用の導電[32を印刷する。なお、導電層32の
一端部P1は磁性層31の辺部に引き出される0次に、
第99図のように、導電層32の一端部33を除いて、
磁性層34により導体層32を覆う0次に、引き出し端
S1を有する約手ターン分の2次巻線用の導電層35を
印刷し、また同時に導電層32の一端部33に接続して
約手ターン分の導電層36を印刷する0次に、第100
図のように、導電層35.36の両方の端部37.38
を残して、磁性層39を印刷する。次に、端部37.3
8に接続して約手ターン分の導電層4o、41をそれぞ
れ印刷する0次に、第101図のように、導電層40.
41の端部42.43を残して、磁性層44を印刷し、
端部42.43に接続して約手ターン分の導電層45.
46を印刷する0次に、第102図のように、磁性層3
9と同様に磁性層47を印刷し、導電層46を導電層4
8を介して右辺の引き出し端P2に引き出し、導電層4
5は約手ターン分の導電層49によって延長させる0次
に、第103図のように、磁性層44と同様に、磁性N
50を印刷し、導電層49の一端部は導電層51の印刷
によって、積層体の左辺の引き出し端S2へ引き出す、
最後に、第104図のように、全面に磁性層52を印刷
する。所望の巻数の1次コイル巻線用導電層または2次
コイル巻線用導電層を得るためには、第98図から第1
01図の積層工程を複数回繰り返せばよいことは明かで
あろう。所望の積層を終えた後、積1体を焼結処理し、
第106図のように、引き出し端P、 、pa 、S、
 、s*に適当な導電ペーストを焼き付けることにより
、チップ化した積層インダクタが得られる。
次に、更に他の従来例として、第108図〜第112図
の製造工程による得られる積層インダクタについて蘭単
に説明する(上記特開昭59−22304号参照)。
第108図のように、′・易剥離性の基板(図示せず)
の上に、磁性層62を印刷し、その面に引き出し端P、
を有する約手ターン分の1次コイル巻線形成用の導電層
63を印刷する0次に、第109図のように、導電層6
3の一端部を残して、磁性層64を印刷しその上に導電
層63の一端部に接続して約手ターン分の導電N65及
び右辺の引き出し端S1から延長する約手ターン分の2
次コイル巻線形成用の導電N66を印刷する。
次に、第110図のように、磁性層67を導電層65.
66の端部な残して印刷し、この端部に接続して約手タ
ーン分の導電層68.69を印刷する。次に第111図
のように、磁性層70を印刷した後、導電層68の露出
端から積層体の左辺の引き出し端P2へ延長する導電層
71を印刷し、また導電層69の露出端から積層体の右
辺の引き出し端S2へ延長する大略U字形状の導電層7
2を印刷する。第109図から第110図の積層工程を
繰り返すことにより所望の巻数の積層インダクタが得ら
れることは明かであろう。所望の巻数の積層を終えた後
、第112図のように、磁性層73を印刷し、焼結し、
外部端子Sl、Sz 、P+ 、P2の焼き付けを行う
ことによってチップ化した積層インダクタが得られる。
[従来技術の問題点] 積層インダクタは、一般に、フィルタ回路や中間周波ト
ランス等の種々の回路で使用され、広範な周波数帯域で
使用され、そのため、そのインダクタンスLが広範に変
えられることが望ましい。
積層インダクタのインダクタンスL (H)は、般に、 L=□4πμm  N”  X 10−”  (1)β により表わされる。ここで1.Aはコイル巻回部の断面
積(m2)であり、2は磁路長(m)であり、μ、は実
効透磁率(Wb/A’m)であり、Nは巻線回数である
。この式(1)から明らかなように、インダクタンスL
を高めるためには、巻線回数の増大が最も効果的な方法
であることは明かであろう、すなわち巻線回数の2乗に
比例してインダクタンスが増大する。
ところが、第83図〜第96図に図示される従来の積層
インダクタの場合、第89図までの印刷工程で約1回巻
のコイル形成用導電層3.6.9が形成されることにな
る。このことは、磁性フェライト層とコイル形成用導電
層の積層厚さから見れば5段の層の厚さ(第83図の印
刷段差補正用のフェライト層5を含めると6段の層の厚
さであり、更に電気絶縁膜を必要とする場合には7段の
層の厚さ)でわずか1回巻のコイル形成用導電層しか積
層できない、一方、第98図〜第107図および第10
8図〜第112図の積層インダクタの場合は、各コイル
の周回方向が同一であるため、各コイルに電流を流した
場合に、各コイルに発生する磁束の方向が互りに逆にな
るので、インダクタンスの増大にはならず、いわゆるバ
イファイラコイルを形成するにすぎない。
本発明者らは、積層厚さをほぼ一定にしつつしかもイン
ダクタンスLが飛躍的に増大する積層インダクタおよび
その製造方法を模索した結果、第1図〜第27図、第2
8図〜第63図および第64図〜第82図に例示される
本発明による複合巻積層インダクタを開発した。
[本発明の概要] 本発明の原理を第27図を参照しつつ説明する。第27
図に図示されるように、本発明者らは、P、〜P2に至
る右回りのコイル巻線(以下、第27図で、右ねじを回
転してその進む方向が図中右方に向かうときの右ねじの
回転方向を右回りとし、図中左方に向かうときの右ねじ
回転方向を左回りと定義する。)とS、〜Ssに至る左
回りのコイル巻線は、もし、右回りコイル巻線の終端P
2と左回りコイル巻線の終端S2とを接続すれば、コイ
ル巻線は、たえず右回りで始端Plから出発し終端Sl
に戻ることに気付いた。すなわち互いに逆方向の一対の
コイル巻線の終端同士または始端同士を接続すれば、全
体として一定方向の回転方向のコイル巻線が得られるこ
とになる。本発明者らはこの原理を積層インダクタの導
電層のパターン形成に上手に応用すれば、積層厚さを一
定にしつつしかも゛コイル巻線回数を2倍以上にするこ
とができるということを発見した。これにより積層厚さ
は従来とほとんど異ならないにも拘らず巻線回数は倍以
上に出来る。このためインダクタンスは約4倍以上に増
大出来ることになる。
すなわち、本発明は、複数組のコイルを形成するための
複数組の導電片と複数の絶縁片との交互積層体を備え、
前記各組の導電片は絶縁片の縁部な介して隣接した導電
片に接続されて1つのコイルを形成しており、前記複数
組のコイルは共通軸線のまわりに周回しており、前記複
数組のコイルうちの少くとも2組は、互いに逆方向のら
旋状を描く様に積層され、それら少なくとも2組で構成
されるコイルは導電片の始端、中間又は終端で、互いに
接続されていることを特徴とする複合巻積層インダクタ
を提供する。
本発明は又、斯かる複合巻積層インダクタの製造方法を
提供するものであり、本発明の方法は、絶縁体粉末のペ
ーストと導電粉末のペーストを用いて、ほぼ共通軸線の
まわりに周回する複数組のコイルを形成するための複数
組の導電片と複数の絶縁片とを交互に印刷積層して複合
巻積層インダクタを製造するに当たり、易剥離性の基体
の上に絶縁片を印刷形成し、その上に少なくとも2組が
互いに逆巻を生成する複数組の導電片を印刷形成し、そ
の上に前記導電片の終端を残して絶縁片を印刷形成し、
前記複数組の導電片の対応した前記終端に接続する始端
を有する他の複数組の導電片を前記絶縁片の上に印刷形
成し、以下同様な工程を必要回数反復し、最後にこうし
て積層されたものの全面に絶縁片を印刷形成し、更に上
記印刷工程の最初、中間、又は最後において、前記少な
くとも2組の逆巻コイルを、近接部分で印刷により互い
に接続し、最後に基板より剥離することを特徴とする複
合巻積層インダクタの製造方法である。
又本発明の複合巻積層インダクタは気相法によっても製
造し得るもので、本発明の他の方法は、所定形状のマス
クを使用してスパッタリング法等の気相法により、ほぼ
共通軸線のまわりに周回する複数組のコイルを形成する
ための複数組の導電片と複数の絶縁片とを交互に印刷積
層して複合巻積層インダクタを製造するに当たり、基体
の上に絶縁片を形成し、その上に少なくとも2組が互い
に逆巻な生成する複数組の導電片を形成し、その上に前
記導電片の終端を残して絶縁片を形成し、前記複数組の
導電片の対応した前記終端に接続する始端を有する他の
複数組の導電片を前記絶縁片の上に形成し、以下同様な
工程を必要回数反復し、更に上記積石工程の最初、中間
、又は最後において、前記少なくとも2組の逆巻コイル
を、近接部分で互いに接続することを特徴とする複合巻
積層インダクタの製造方法である。
[発明の詳細な説明] 第1図〜第26図は、この原理を応用した本発明による
第1の実施例の複合巻積層インダクタの製造工程を図示
する平面図(a)および断面図(b)である、同様の原
理を応用した本発明による複合巻積層インダクタの第2
の実施例の製造工程が第28図〜第63図に図示されて
いる。
第1図〜第26図、第28図〜第63図は互いに逆方向
に積層された2組のコイル巻線用導電片を有する複合巻
積層インダクタを図示するが、第64図〜第82図に図
示される本発明による複合巻積層インダクタの第3の実
施例は、2組の導電片(回転方向が同一で仮に右回りと
する)と2組の導電片(回転方向が同一であるが先の2
組の導電片とは逆方向の左回りとする)が複数個積層さ
れた4組のコイル巻線用導電片を有する複合巻積層イン
ダクタを図示する。なおいずれの実施例においても、各
組のコイル巻線形成用導電片は、ほぼ共通軸線のまわり
に周回している点において共通している。
以下、本発明の第1、第2および第3の実施例について
詳細に説明する。
複合巻積層インダクタの製造工程では、複数個の複合巻
積層インダクタを同一の易剥離性基板に同時に積層する
が、以下では説明の便宜上、単一の複合巻積層インダク
タについて説明する。また、以下の説明では、積石工程
は、従来の周知の印刷技術によるものとして説明するが
、スパッタリング法や蒸着法などの薄膜法で積層を行う
ことも可能である。さらに、実施例の説明では、2組ま
たは4紐のコイル巻線形成用導電片を有する複合巻積層
インダクタの積層パターンについて説明するが、本発明
による複合巻積層インダクタはこれに限らず複数組のコ
イル巻線形成用導電片を有し、少くともその2組が逆方
向に積層された複合巻積層インダクタも本発明の技術思
想に包含されることは明らかであろう、またコイル巻線
形成用導電片の材料としては、従来の種々の導電体が使
用可能であり、また磁性片の材料もまた従来の種々の磁
性体が使用可能である。導電片の材料として考^られる
ものを例示すれば、Ag(銀)、Au(金)、Cu(銅
)、Pd(パラジウム)、Ag−Pd (銀−パラジウ
ム)合金などの粉末を適当なバインダとを混練りしたペ
ースト状の材料が考えられるが、種々の金属粉末と適当
なバインダを混練りしたペースト状のものが考えられる
さらに、蒸着法による場合は、AI、NiCr−Au、
Cr−Au等の任意の導体材料が考えられる。さらに磁
性片としては、Znフェライト、Mn−Znフェライト
、Ni−Cu−Znフェライト、Fe*Oフェライトな
どの磁性体または必要に応じて誘電体や磁性体等の絶縁
層を介在する磁性片が考えられる。絶縁片としては、ガ
ラス層、アルミナ層、チタン酸バリウム、酸化チタン等
から選択可能である。
さらに本発明による複合巻積層インダクタは、抵抗、容
量、トランジスタ、ダイオードなどを一体に組み込んだ
複合部品への応用も可能である。
(1)実施例1 第1図〜第26図に図示される本発明による実施例1の
複合巻積層インダクタの製造工程を説明する。図中(a
)は複合巻積層インダクタの平面図であり、(b)はそ
の断面図である。
第1図のように、易剥離性の基板(図示せず)の全面に
磁性層81を印刷する0次に第2図のように、印刷段差
を補正するための磁性片82をほぼ中央に印刷する。次
に、第3図のように、互いに入れ子形状にまたほぼ対称
にそれぞれ2組のコイル巻線引き出し用導電片83.8
4を印刷する。この導電片83.84はターン数が約属
ターン分であることが好ましい。以下の導電片について
も同様である。次に第4図のように、導電片83.84
の端部な85.86を残して、磁性片87.88をそれ
ぞれ、右側部および左側部に印刷する。この磁性片87
.88は第2図の磁性片82と互いに相補形状となるよ
うに印刷することが好ましい、またこの磁性片87.8
8の厚さは、従来の磁性層の厚さよりも薄くそして従来
の磁性層の厚さの半分であることが好ましい。以下の磁
性片についても同様である。次に、第5図のように、露
出した端部85.86に接続して入れ子形状にまたほぼ
対称に複合巻コイル巻線形成用導電片90.89を印刷
する。次に、第6図のように、導電片90.89の側部
を残して磁性片91をほぼ中央部に印刷する。次に、第
7図のように、導電片90.89の側部に接続して互い
にずらして導電片93.92をそれぞれ印刷する(以下
特に断わらない限り、1つの文において、句点「、」の
前後の参照番号は互いに対応するものとする)。次に、
第8図のように、導電片92.93の端部94.95を
残して、磁性片96.97を右側部および左側部に印刷
する6次に、第9図のように、露出した端部94.95
に接続して導電片99.98を入れ子形状にまたほぼ対
称に印刷する6次に、第10図のように、導電片98.
99の側部を残して磁性片100をほぼ中央部に印刷す
る0次に、第11図のように、導電片98.99の側部
に接続して、導電片101.102を互いにずらして印
刷する。以下、第4図〜第11図と同様の積層工程を、
第12図〜第19図および第20図〜第25図の積層工
程でも繰り返す、所望のコイル巻線回数を得るためには
同様の積層工程を繰り返せばよいことは明かであろう、
必要な巻数の積層工程を終えた後、第25図の積層工程
ではさらに、P1〜P2に至る1組のコイル巻線形成用
導電片およびS+”S*に至るもう1組のコイル巻線形
成用導電片の終端部P2およびS2とを接続し、磁性片
105を全面に印刷し、積層体を焼成炉で焼結して、必
要な外部引き出し端子P+、S+の焼き付けを行って本
発明による複合巻積層インダクタが得られる。
(2)実施例2 第28図〜第62図に図示される本発明による第2の実
施例による複合巻積層インダクタの製造工程を説明する
。図中(a)は複合巻積層インダクタの平面図であり、
(b)はその断面図である。
第28図のように、易剥離性の基板(図示せず)の全面
に磁性層111を印刷する。次に第29図のように、印
刷段差を補正するための磁性片112をほぼ中央部に印
刷する。次に、第30図のように、上辺および下辺にコ
イル巻線引き出し用の導電片SIおよびPlを印刷し、
導電片P+に接続してコイル巻線形成用導電片113を
印刷する。導電片113のターン数は実施例1と同様に
好ましくは約%ターン分である。
以下の導電片についても同様である。なお、この導電片
113は導電片S、と接続しないように印刷する。次に
、第31図のように、導電片113の一部114および
導電片Slの端部を残して、磁性片115.115をそ
れぞれ右側部および左側部に印刷する。この磁性片11
5.115は第29図の磁性片112と互いに相補形状
となるように印刷することが好ましい、またこの磁性片
115.115の厚さは、従来の磁性層の厚さよりも薄
くそして従来の磁性層の厚さの約半分であることが好ま
しい。以下の磁性片についても同様である。次に、第3
2図のように、導電片113の端部114に接続してコ
イル巻線形成用の導電片116を印刷し延長する。また
同時に導電片116とは反対向きにそして導電片116
とは入れ子形状にコイル巻線形成用の導電片117を導
電片SIに接続して印刷し延長する。次に、第33図の
ように、導電片116.117の端部118.119を
残して磁性片120をほぼ中央部に印刷する。次に、第
34図のように、端部118.119に接続して互いに
入れ子形状にコイル巻線形成用の導電片122.121
を印刷し延長する。次に、第35図のように、導電片1
21.122の端部123.124を残して、磁性片1
25.125をそれぞれ右側部および左側部に印刷する
0次に、導電片の端部123.124に接続して互いに
入れ子形状にコイル巻線形成用の導電片127.126
を印刷し延長する。次に、第37図のように、導電片1
26.127の端部128.129を残して、磁性片1
30をほぼ中央部に印刷する0次に、第38図のように
、導電片の端部128.129に接続して互いに入れ子
形状にコイル巻線形成用の導電層132.131を印刷
し延長する。以下、第35図〜第38図と同様の積層工
程を、第39図〜第46図および第47図〜第54図、
第55図〜第61図の積層工程でも繰り返す。所望のコ
イル巻線回数を得るためには同様の積層工程を繰り返せ
ばよいことは明かであろう、必要な巻数の積層工程を終
えた後、第60図の積層工程ではさらに、P l”” 
P xに至る1組のコイル巻線形成用導体層およびS 
t ” S zに至るもう1組のコイル巻線形成用導体
層の終端部P2およびS2とを接続し、第61図のよう
に、ほぼ中央部に磁性片を印刷し、必要に応じて、第6
0図と同様の端部接続を行い、その後、第62図のよう
に磁性層133を全面に印刷し、積層体を焼成炉で焼結
して、必要な外部引き出し端子P1.S1の焼き付けを
行って本発明による複合巻積層インダクタが得られる。
(3)実施例3 第64図〜第81図は、本発明による第3の実施例によ
る4組のコイル巻線形成用導電片を有する複合巻積層イ
ンダクタの平面図である。
第63図のように、易剥離性の基板(図示せず)の全面
に磁性層141を印刷する。次に第65図のように、印
刷段差を補正するための磁性片142.143を左辺お
よび右辺に印刷する。次に、第66図のように、上辺に
引出部144′を有する1組のコイル巻線形成用導電片
144(右回りとする)を上辺に、2組のコイル巻線形
成用導電片145(右回り)を左辺に印刷し、3組のコ
イル巻線形成用導電片147(左回り)を右辺に印刷し
、4組のコイル巻線形成用導電片146(左回り)を下
辺へ引き出して引出部146′とする。そして、右回り
の2組のコイル巻線形成用導電片145と左回りの3組
のコイル巻線形成用導電片147とを接続部TIにて接
続する。この接続部T1は、後述の接続部T2、T3と
ともに、同一の方向に周回することになる4組のコイル
巻線が2つの閉ループを構成するのに必要なものである
0次に導電片144の端部148と導電片145の端部
149と導電片147の端部151と、導電片146の
端部150を残して磁性片152をほぼ中央部に印刷す
る。この磁性片152は、先の磁性片142.143と
相補形状となるように印刷するのが好ましい。以下の磁
性片についても同様である。次に、第68図のように、
導電片144の端部148と接続して右方向に導電片1
53を、導電片145の端部149と接続して右方向に
導電層154を、導電片146の端部150と接続して
左方向に導電片155を、導電片147の端部151と
接続して左方向に導電片156を引き出して印刷する。
次に、第69図のように、各導電片153〜156の一
部を残すように、磁性片157.158を左辺および右
辺に印刷する。次に、第70図のように、導電片159
,160を右回りの方向に導電片153.154に接続
して印刷し延長する。また、導電片161.162を左
回りの方向に導電片155.156と接続して印刷し延
長する。導電片159〜161のターン数は約%ターン
分であることが好ましい0次に、第71図のように、導
電片159〜161の一部を残すように、磁性片163
をほぼ中央部に印刷する1次に第72図のように、導電
片164.165を導電片160.159に接続して左
方向に印刷し、導電片166.167を導電層162.
161に接続して右方向に印刷する0次に、第73図の
ように、各導電片164〜167を残すように磁性片1
68.169を左辺または右辺に印刷する。次に、第7
4図のように、好ましくは約%ターン分の導電片170
.171を右回りの方向に導電片165.164と接続
して印刷延長する。また、好ましくは約属ターン分の導
電片172.173を左回りの方向に導電片167.1
66に接続して印刷延長する。次に、第75図のように
、各導電片170〜173の一部を残すように磁性片1
74をほぼ中央部に印刷する0次に、第76図のように
、導電片175.176を導電片170.171に接続
して右方向に印刷し、導電片177.178を導電層1
72.173に接続して左方向に印刷する。以下、第6
9図〜第76図と同様の積層工程を繰り返せば、所望回
数のコイル巻線形成用の導電片が印刷できることは明か
であろう。所望回数の積層工程を終えた後、第75図の
ように、磁性片174を中央部に印刷した後、第77図
のように、右回りの2組のコイル巻線形成用導電片17
6と左回りの4組のコイル巻線形成用導電片177とを
接続部T2で接続する。次に、第78図のように、導電
片175.178を残して、磁性片179.180を左
辺または右辺に印刷する。次に第79図のように、好ま
しくは属ターン分の導電片179を左回りの方向に導電
片178と接続して印刷延長し、また同時に、好ましく
は%ターン分の導電片180を右回りの方向に導電片1
75と接続して印刷延長し、右回りの1組のコイル巻線
形成用導電片180および左回りの3組のコイル巻線形
成用導電片179を接続部T3にて接続し、第80図の
ように、磁性片をほぼ中央部に印刷し、必要に応じて、
第79図と同様の端部接続を再度行い、第81図のよう
に磁性片181をほぼ全面に印刷し、積層体を焼成炉で
焼結して、必要な外部引き出し端子の焼き付けを行って
本発明による4組のコイル巻線形成用導電片を有する複
合巻積層インダクタが得られる。
以上、本発明による複合巻積層インダクタの実施例につ
いて説明したが、コイル巻線形成用の導電片を適当にず
らして印刷することにより、導電片間の分布容量を減少
させることも可能である。
また導電片の大きさ、形状等は任意に変更できることは
明かであろう。
[本発明による作用効果] 第1図〜第26図に図示される本発明による複合巻積層
インダクタについて、本発明の詳細な説明すると、最終
的に第25図のように端部Pz、Stで接続されると、
第1図〜第7図までの積層工程で、左回りの導電片P、
〜P2から構成されるコイル巻線および右回りの導電片
SI〜S2から構成される左回りのコイル巻線が、端部
P2および端部S2で接続されたことにより、たえず一
定の方向に周回するコイル巻線を形成することとなり、
コイル巻線に電流を流したときに発生する磁束の方向が
同一の方向に向くことになり従来の磁束の方向が互いに
逆向きのバイファイラコイルのインダクタンスの4倍の
インダクタンスが得られる。第28図〜第62図の第2
の実施例でも同様である。ただし、第3図の実施例では
、4組のコイル巻線形成用導電片を使用しているので、
従来のバイファイラコイルの実に16倍のインダクタン
スが得られるという効果を奏する。
なお、磁性片の厚さを従来の磁性溜の厚さよりも薄くそ
して好ましくは従来の約半分にすれば、積層厚さをほぼ
従来と同様の積層厚さに収めつつ、従来の巻線回数の2
倍または4倍の巻線回数(したがって、従来の4倍また
は16倍のインダクタンス)が得られるという効果を奏
する。以上本発明の好ましい実施例について説明したけ
れども、本発明の技術思想から逸脱することなく種々の
変更および応用が可能である。たとえば、本発明の好ま
しい実施例では、コイル巻線の組数が2組または4組の
偶数組であるとして説明したけれども、複数組のコイル
巻線の内、少くとも2組が逆向きに周回接続されたもの
が本発明の技術思想内に包含されるべきものであること
は明かであろう。また互いに逆向きの各組のコイル巻線
が各コイル巻線の始端または終端で接続されたものだけ
でなく、コイル巻線の中間で接続されたものも本発明に
包含されるべきものである。
4・    の   なM 日 第1図(a)〜第26図(a)は、本発明による複合巻
積層インダクタの製造工程を図示する平面図である= 第1図(b)〜第26図(b)は、本発明による複合巻
積層インダクタの製造工程を図示する断面図である。
第27図は、第1図(a)〜第26図(a)の製造工程
によって得られる本発明による複合巻積層インダクタの
等価回路図である。
第28図(a)〜第62図(a)は、本発明による別の
複合巻積層インダクタの製造工程を図示する断面図であ
る。
第28図(b)〜第62図(b)、は、本発明による別
の複合巻積層インダクタの製造工程を図示する断面図で
ある。
第63図は、第28図(a)〜第53図(a)の製造工
程により得られる複合巻積層インダクタの等価回路図で
ある。
第64図〜第81図は、本発明によるさらに別の複合巻
積層インダクタの製造工程を図示する平面図である。
第82図は、第64図〜第81図の製造工程によりえら
れた複合巻積層インダクタの等価回路図である。
第83図(a)〜第96図(a)は、従来の積層インダ
クタの製造工程を図示する平面図である。
第83図(b)〜第96図(b)は、従来の積層インダ
クタの製造工程を図示する断面図である。
第97図は、第83図(a)〜第96図(a)の製造工
程により得られる従来の積層インダクタの等価回路図で
ある6 第98図〜第106図は、従来のトランス型積層インダ
クタの製造工程を図示する平面図である。
第107図は、第98図〜第106図の製造工程により
得られるトランス型積層インダクタの等価回路図である
第108図〜第112図は、さらに別の従来のトランス
型積旧インダクタの製造工程を図示する平面図である。
第28図 第29図 第父図 第31 図 第32図 第33図 (α) (0) (Q) (Q) (Q) (α) 第25図第26図 (α)(a) 第46図 第47図 第48図 第49図 第凹図 第51図 (α) (Q) (Q) (a) (a) (α) 第58図第59図第60図第61図第62図(O)(α
)  (α”)   ((1)   (Q)第63図 第83図 第84図 第85図 第86図 第87図 第88図 第89図 第90図 第91図 第92図 第93図 第94図 第95図 第96図 第73図 第74図 第75図 第76図 第82図 第99図 第104図 第109図 第100図 第105図 第110図

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数組のコイルを形成するための複数組の導電片
    と複数の絶縁片との交互積層体を備え、前記各組の導電
    片は絶縁片の縁部を介して隣接した導電片に接続されて
    1つのコイルを形成しており、前記複数組のコイルはほ
    ぼ共通軸線のまわりに周回しており、前記複数組のうち
    の少くとも2組は、互いに逆方向のら旋状を描く様に積
    層され、それら少なくとも2組で構成されるコイルは導
    電片の始端、中間又は終端で、互いに接続されているこ
    とを特徴とする複合巻積層インダクタ。
  2. (2)複数組のコイルを形成するための複数組の導電片
    と複数の絶縁片との交互積層体を備え、前記各組の導電
    片は絶縁片の縁部を介して隣接した導電片に接続されて
    1つのコイルを形成しており、前記複数組のコイルはほ
    ぼ共通軸線のまわりに周回しており、前記複数組のうち
    の少くとも2組は、互いに逆方向のら旋状を描く様に積
    層され、それら少なくとも2組で構成されるコイルは導
    電片の始端、中間又は終端で、互いに接続されており、
    前記複数の絶縁片のうち隣合う絶縁片は互いに相補形状
    にて構成されることを特徴とする複合巻積層インダクタ
  3. (3)前記絶縁片は絶縁性磁性体または絶縁体を表面に
    被覆した磁性体である請求項第1項または第2項記載の
    複合巻積層インダクタ。
  4. (4)全体が焼結されている前記請求項第1項〜第3項
    のいずれかに記載の複合巻積層インダクタ。
  5. (5)絶縁体粉末のペーストと導電粉末のペーストを用
    いて、ほぼ共通軸線のまわりに周回する複数組のコイル
    を形成するための複数組の導電片と複数の絶縁片とを交
    互に印刷積層して複合巻積層インダクタを製造するに当
    たり、易剥離性の基体の上に絶縁片を印刷形成し、その
    上に少なくとも2組が互いに逆巻を生成する複数組の導
    電片を印刷形成し、その上に前記の導電片の終端を残し
    て絶縁片を印刷形成し、前記複数組の導電片の対応した
    前記終端に接続する始端を有する他の複数組の導電片を
    前記絶縁片の上に印刷形成し、以下同様な工程を必要回
    数反復し、最後にこうして積層されたものの全面に絶縁
    片を印刷形成し、更に上記印刷工程の最初、中間、又は
    最後において、前記少なくとも2組の逆巻コイルを、近
    接部分で印刷により互いに接続し、最後に基板より剥離
    することを特徴とする複合巻積層インダクタの製造方法
  6. (6)絶縁体粉末のペーストと導電粉末のペーストを用
    いて、ほぼ共通軸線のまわりに周回する複数組のコイル
    を形成するための複数組の導電片と複数の絶縁片とを交
    互に印刷積層して複合巻積層インダクタを製造するに当
    たり、易剥離性の基体の上に絶縁層を印刷形成し、その
    上に少なくとも2組が互いに逆巻を生成する複数組の導
    電片を印刷形成し、その上に前記の導電片の終端を残し
    て絶縁片を印刷形成し、前記複数組の導電片の対応した
    前記終端に接続する始端を有する他の複数組の導電片を
    前記絶縁片の上に印刷形成し、該始端を有する他の複数
    組の導電片の終端を残しかつ前記絶縁片と相補形状とな
    るよう絶縁片を印刷形成し、以下同様な工程を必要回数
    反復し、最後にこうして積層されたものの全面に絶縁片
    を印刷形成し、更に上記印刷工程の最初、中間、又は最
    後において、前記少なくとも2組の逆巻コイルを、近接
    部分で印刷により互いに接続し、最後に基板より剥離す
    ることを特徴とする複合巻積層インダクタの製造方法。
  7. (7)積層後更に焼結される前記第5項または第6項記
    載の複合巻積層インダクタの製造方法。
  8. (8)所定形状のマスクを使用してスパッタリング法等
    の気相法により、ほぼ共通軸線のまわりに周回する複数
    組のコイルを形成するための複数組の導電片と複数の絶
    縁片とを交互に印刷積層して複合巻積層インダクタを製
    造するに当たり、基体の上に絶縁層を形成し、その上に
    少なくとも2組が互いに逆巻を生成する複数組の導電片
    を形成し、その上に前記導電片の終端を残して絶縁片を
    形成し、前記複数組の対応した前記終端に接続する始端
    を有する他の複数組の導電片を前記絶縁片の上に形成し
    、以下同様な工程を必要回数反復し、更に上記積層工程
    の最初、中間、又は最後において、前記少なくとも2組
    の逆巻コイルを、近接部分で互いに接続することを特徴
    とする複合巻積層インダクタの製造方法。
  9. (9)所定形状のマスクを使用してスパッタリング法等
    の気相法により、ほぼ共通軸線のまわりに周回する複数
    組のコイルを形成するための複数組の導電片と複数の絶
    縁片とを交互に印刷積層して複合巻積層インダクタを製
    造するに当たり、基体の上に絶縁層を形成し、その上に
    少なくとも2組が互いに逆巻を生成する複数組の導電片
    を形成し、その上に前記導電片の終端を残して絶縁片を
    形成し、前記複数組の対応した前記終端に接続する始端
    を有する他の複数組の導電片を前記絶縁片の上に形成し
    、該始端を有する他の複数組の導電片の終端を残してか
    つ前記導電片と相補形状となるよう絶縁片を形成し、以
    下同様な工程を必要回数反復し、更に上記積層工程の最
    初、中間、又は最後において、前記少なくとも2組の逆
    巻コイルを、近接部分で互いに接続することを特徴とす
    る複合巻積層インダクタの製造方法。
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JP2000216023A (ja) * 1998-11-18 2000-08-04 Fuji Elelctrochem Co Ltd 積層インダクタ
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JP2010021321A (ja) * 2008-07-10 2010-01-28 Murata Mfg Co Ltd Lc複合部品この発明は、複数の誘電体層の積層体内にインダクタ及びキャパシタを構成してなる、例えば帯域通過フィルタ等のlc複合部品に関するものである。
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