JPH0344413B2 - - Google Patents
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- JPH0344413B2 JPH0344413B2 JP60241782A JP24178285A JPH0344413B2 JP H0344413 B2 JPH0344413 B2 JP H0344413B2 JP 60241782 A JP60241782 A JP 60241782A JP 24178285 A JP24178285 A JP 24178285A JP H0344413 B2 JPH0344413 B2 JP H0344413B2
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- turntable
- welding
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- ribbon
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
- Y10T29/49144—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. by metal fusion
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、集積回路を回路ユニツトに接続して
組み立てる方法並びにこの方法を実施する装置に
関する。
組み立てる方法並びにこの方法を実施する装置に
関する。
特に本発明は、その過程中に集積回路の片面の
外周部に配置された接続電極が回路ユニツトの端
子にいわゆる「インナリードボンデイング」によ
つて熱圧を用いて接続される方法に関する。なお
付言すると本明細書において回路ユニツトという
のは、集積回路が取り付けられる導線セツトを意
味しており、このような導線セツトは電気又は電
子構成要素を単数備えていても複数備えていても
よい。
外周部に配置された接続電極が回路ユニツトの端
子にいわゆる「インナリードボンデイング」によ
つて熱圧を用いて接続される方法に関する。なお
付言すると本明細書において回路ユニツトという
のは、集積回路が取り付けられる導線セツトを意
味しており、このような導線セツトは電気又は電
子構成要素を単数備えていても複数備えていても
よい。
従来技術並びに欠点
「インナリードボンデイング」を行うためには
通常映画フイルムの形のリボンが使用され、この
リボンはその長手方向に一列に配置された多数の
回路ユニツトを支承しており、これらの回路ユニ
ツトには集積回路が電極と端子とのろう接又は溶
接によつてそれぞれ接続される。リボンは間欠的
に溶接位置を通して駆動され、溶接作業は電極及
びこれに重ねられる対応する各端子に加熱された
工具又は溶接工具を押し付けることによつて行わ
れる。この場合集積回路は周知のように溶接工具
に対して垂直に支持装置に保持される。
通常映画フイルムの形のリボンが使用され、この
リボンはその長手方向に一列に配置された多数の
回路ユニツトを支承しており、これらの回路ユニ
ツトには集積回路が電極と端子とのろう接又は溶
接によつてそれぞれ接続される。リボンは間欠的
に溶接位置を通して駆動され、溶接作業は電極及
びこれに重ねられる対応する各端子に加熱された
工具又は溶接工具を押し付けることによつて行わ
れる。この場合集積回路は周知のように溶接工具
に対して垂直に支持装置に保持される。
集積回路の寸法が極めて小さいことを考慮する
と、溶接工具に対する集積回路の極めて正確の整
合を達成すること並びに、集積回路が接続される
回路ユニツトに対する集積回路の極めて正確な整
合を達成することは不可欠なことである。多くの
場合整合誤差が20ミクロンを越えることは許され
ない。このような高い精度を得るために一般には
テレビ回路のような光学機構が用いられ、カメラ
によつてとらえられた画像に基づいて回路ユニツ
トに対する集積回路の位置が調整される。この作
業は例えば集積回路支持装置を互いに直角な2つ
の方向に沿つて手によつてずらすことによつて行
われる。従つてこの調整作業は、溶接位置におけ
るカメラの視野が解放されている場合にのみ行う
ことが可能であり、このためには、各作業サイク
ル中におけるアライメントの前後に溶接工具を側
方に移動させることが必要である。
と、溶接工具に対する集積回路の極めて正確の整
合を達成すること並びに、集積回路が接続される
回路ユニツトに対する集積回路の極めて正確な整
合を達成することは不可欠なことである。多くの
場合整合誤差が20ミクロンを越えることは許され
ない。このような高い精度を得るために一般には
テレビ回路のような光学機構が用いられ、カメラ
によつてとらえられた画像に基づいて回路ユニツ
トに対する集積回路の位置が調整される。この作
業は例えば集積回路支持装置を互いに直角な2つ
の方向に沿つて手によつてずらすことによつて行
われる。従つてこの調整作業は、溶接位置におけ
るカメラの視野が解放されている場合にのみ行う
ことが可能であり、このためには、各作業サイク
ル中におけるアライメントの前後に溶接工具を側
方に移動させることが必要である。
さらにまた作業サイクルには集積回路のための
供給作業が含まれており、従つて各集積回路毎に
作業サイクルは4秒必要であり、そのうちの1秒
はカメラの視野から又は同視野への溶接工具の移
動のために必要である。
供給作業が含まれており、従つて各集積回路毎に
作業サイクルは4秒必要であり、そのうちの1秒
はカメラの視野から又は同視野への溶接工具の移
動のために必要である。
発明の課題
ゆえに本発明の課題は、従来のものに比べてよ
り高い溶接精度とより短い作業サイクル時間でイ
ンナリードボンデイングによつて集積回路を回路
ユニツトに接続して組み立てる方法並びにこの方
法を実施する装置を提供することである。
り高い溶接精度とより短い作業サイクル時間でイ
ンナリードボンデイングによつて集積回路を回路
ユニツトに接続して組み立てる方法並びにこの方
法を実施する装置を提供することである。
課題を解決するための手段(方法)
この課題を解決するために本発明の方法では、
リボンに沿つて長手方向に1列に配置された回路
ユニツトと集積回路とを、リボンに配置された各
回路ユニツトの端子と集積回路の電極との熱圧溶
接又はろう接によつて組み立てる方法において、
リボンにおける回路ユニツトと各集積回路との正
確なアライメントの後で組立てを行う溶接位置を
通してリボンを間欠的に前進させ、溶接位置に回
転可能に取り付けられていて間欠的に角移動可能
な、集積回路を支持するターンテーブルを用い
て、別個の集積回路において少なくとも供給作業
とアライメント作業と溶接作業とを同時に行い、
ターンテーブルに載つている集積回路を、ターン
テーブルに関して形成された極座標系によつて規
定された正確な溶接位置に配置させ、この場合集
積回路が極座標系における位相角に相当するター
ンテーブルの各ステツプによつて。極座標系の極
軸における所定の半径の点に位置しており、位相
角の総数及び(又は)半径からわずかにずれた座
標をもつターンテーブル上の供給位置に、集積回
路を1つずつ置くことで集積回路の供給を行い、
位相角の総数によつて溶接位置に対してかつ半径
に相当する距離によつてターンテーブル中心に対
して正確にずらされたアライメント位置に、ター
ンテーブルに対して平行な平面において集積回路
を摺動させて集積回路のアライメントを行うよう
にした。
リボンに沿つて長手方向に1列に配置された回路
ユニツトと集積回路とを、リボンに配置された各
回路ユニツトの端子と集積回路の電極との熱圧溶
接又はろう接によつて組み立てる方法において、
リボンにおける回路ユニツトと各集積回路との正
確なアライメントの後で組立てを行う溶接位置を
通してリボンを間欠的に前進させ、溶接位置に回
転可能に取り付けられていて間欠的に角移動可能
な、集積回路を支持するターンテーブルを用い
て、別個の集積回路において少なくとも供給作業
とアライメント作業と溶接作業とを同時に行い、
ターンテーブルに載つている集積回路を、ターン
テーブルに関して形成された極座標系によつて規
定された正確な溶接位置に配置させ、この場合集
積回路が極座標系における位相角に相当するター
ンテーブルの各ステツプによつて。極座標系の極
軸における所定の半径の点に位置しており、位相
角の総数及び(又は)半径からわずかにずれた座
標をもつターンテーブル上の供給位置に、集積回
路を1つずつ置くことで集積回路の供給を行い、
位相角の総数によつて溶接位置に対してかつ半径
に相当する距離によつてターンテーブル中心に対
して正確にずらされたアライメント位置に、ター
ンテーブルに対して平行な平面において集積回路
を摺動させて集積回路のアライメントを行うよう
にした。
課題を解決するための手段(装置)
前記課題を解決するために本発明の構成では、
集積回路を回路ユニツトに接続して組み立てる装
置が、熱圧溶接又はろう接を行うための溶接位置
と、該溶接位置において回路ユニツトを支承する
リボンを間欠的に前進させる手段と、溶接位置に
おいて集積回路が1つずつ対応する各回路ユニツ
トに対して適正な位置を占めるように、該集積回
路の供給位置に導入する供給手段と、各溶接作業
に先行して集積回路の電極を回路ユニツトの接続
端子と整合させるアライメント機構と、溶接位置
におけるリボン平面に対して垂直に配置された軸
に回転可能に取り付けられたターンテーブルと、
該ターンテーブルをリボンの運動と同期させて間
欠的に駆動させる駆動手段とを有しており、ター
ンテーブルが、該ターンテーブルの運動中に溶接
工具に対して垂直に順次通過しかつ同一円周上に
角度間隔をおいて配置された同数の作業位置に対
応する少なくとも3つの位置を有しており、ター
ンテーブルの順次行われるステツプの間にこれら
の位置において供給手段、アライメント機構及び
溶接工具がそれぞれかつ同時に働き、供給手段
が、溶接工具の下において集積回路が占めるべき
位置に対してずれた角度及び半径方向距離を備え
たターンテーブルの相応な位置に各集積回路を供
給するのに適した供給アームを有しており、アラ
イメント機構が、供給時における集積回路の角度
及び半径方向におけるずれを正確な位置への集積
回路の摺動によつて修整しひいては集積回路を溶
接工具の下に正確に導くために、ターンテーブル
表面に対して平行な平面において移動可能なアラ
イメントアームを有している。
集積回路を回路ユニツトに接続して組み立てる装
置が、熱圧溶接又はろう接を行うための溶接位置
と、該溶接位置において回路ユニツトを支承する
リボンを間欠的に前進させる手段と、溶接位置に
おいて集積回路が1つずつ対応する各回路ユニツ
トに対して適正な位置を占めるように、該集積回
路の供給位置に導入する供給手段と、各溶接作業
に先行して集積回路の電極を回路ユニツトの接続
端子と整合させるアライメント機構と、溶接位置
におけるリボン平面に対して垂直に配置された軸
に回転可能に取り付けられたターンテーブルと、
該ターンテーブルをリボンの運動と同期させて間
欠的に駆動させる駆動手段とを有しており、ター
ンテーブルが、該ターンテーブルの運動中に溶接
工具に対して垂直に順次通過しかつ同一円周上に
角度間隔をおいて配置された同数の作業位置に対
応する少なくとも3つの位置を有しており、ター
ンテーブルの順次行われるステツプの間にこれら
の位置において供給手段、アライメント機構及び
溶接工具がそれぞれかつ同時に働き、供給手段
が、溶接工具の下において集積回路が占めるべき
位置に対してずれた角度及び半径方向距離を備え
たターンテーブルの相応な位置に各集積回路を供
給するのに適した供給アームを有しており、アラ
イメント機構が、供給時における集積回路の角度
及び半径方向におけるずれを正確な位置への集積
回路の摺動によつて修整しひいては集積回路を溶
接工具の下に正確に導くために、ターンテーブル
表面に対して平行な平面において移動可能なアラ
イメントアームを有している。
発明の効果
本発明の方法並びに装置によればまず第1に作
業サイクルの時間がフアクタ2つ分だけ減じら
れ、つまりリボンの並進動作と集積回路の供給動
作に減じられる。この結果1作業サイクルにかか
る時間は例えば2秒になり、供給作業によつてこ
の時間が決定され、その他の作業も同様に短くな
る。
業サイクルの時間がフアクタ2つ分だけ減じら
れ、つまりリボンの並進動作と集積回路の供給動
作に減じられる。この結果1作業サイクルにかか
る時間は例えば2秒になり、供給作業によつてこ
の時間が決定され、その他の作業も同様に短くな
る。
次に、集積回路のアライメントが溶接位置にお
いて行われないという事実にもかかわらず、所望
のアライメント精度は、ターンテーブルにおける
正確な位置に集積回路が摺動させられることによ
つて容易に達成される。この場合さらにターンテ
ーブルがかなりの機械的な剛性度を有しているこ
とに基づいて、一度アライメント作業を施された
集積回路は、同集積回路が溶接位置にもたらされ
るまでその正確な位置を維持する。他方、集積回
路と回路ユニツトとの間のアライメント精度はリ
ボンの製作誤差に関連しており、もしこの製作誤
差がインナリードボンデイングを行うのに不都合
なほど大きい場合には、回路ユニツトの再アライ
メントを実施することができる光学系を付加的に
設けることも容易に可能である。
いて行われないという事実にもかかわらず、所望
のアライメント精度は、ターンテーブルにおける
正確な位置に集積回路が摺動させられることによ
つて容易に達成される。この場合さらにターンテ
ーブルがかなりの機械的な剛性度を有しているこ
とに基づいて、一度アライメント作業を施された
集積回路は、同集積回路が溶接位置にもたらされ
るまでその正確な位置を維持する。他方、集積回
路と回路ユニツトとの間のアライメント精度はリ
ボンの製作誤差に関連しており、もしこの製作誤
差がインナリードボンデイングを行うのに不都合
なほど大きい場合には、回路ユニツトの再アライ
メントを実施することができる光学系を付加的に
設けることも容易に可能である。
最後に、ターンテーブルの各ステツプにおいて
得られる同ターンテーブルの可変の位置は容易に
割り出すことができ、他方、周囲温度の変化は集
積回路に問題になるような影響を与えることはな
い。
得られる同ターンテーブルの可変の位置は容易に
割り出すことができ、他方、周囲温度の変化は集
積回路に問題になるような影響を与えることはな
い。
実施例
第1図の斜視図には集積回路を組み立てるため
の装置が示されており、この装置のフレーム1に
はその中央部に作業ユニツト2が設けられ、図面
で見て作業ユニツト2の左には供給ユニツト3が
かつ反対側つまり右側には受取りユニツト4が設
けられている。
の装置が示されており、この装置のフレーム1に
はその中央部に作業ユニツト2が設けられ、図面
で見て作業ユニツト2の左には供給ユニツト3が
かつ反対側つまり右側には受取りユニツト4が設
けられている。
周知のように本発明による装置においても規格
のパーフオレーシヨンを備えた例えば35mm映画フ
イルムの形のリボン5が使用される(第2図も参
照)。このフイルム状のリボン5は作業ユニツト
2をはさんで供給ユニツト3と受取りユニツト4
との間を循環し、作業ユニツト2においてリボン
5には集積回路が固定される。供給ユニツト3は
リボン貯え部を有する供給リール6と、リボン5
から保護バンド8を巻き上げるためのリール7
と、リボン5を案内しかつ緊張させる手段9とを
備えている。受取りユニツト4はできあがつたリ
ボンのための巻き上げリール10と、保護バンド
供給リール11とを有し、この供給リール11か
ら繰り出された保護バンド12は巻上げリール1
0におけるリボン5の回転中に送り込まれる。
のパーフオレーシヨンを備えた例えば35mm映画フ
イルムの形のリボン5が使用される(第2図も参
照)。このフイルム状のリボン5は作業ユニツト
2をはさんで供給ユニツト3と受取りユニツト4
との間を循環し、作業ユニツト2においてリボン
5には集積回路が固定される。供給ユニツト3は
リボン貯え部を有する供給リール6と、リボン5
から保護バンド8を巻き上げるためのリール7
と、リボン5を案内しかつ緊張させる手段9とを
備えている。受取りユニツト4はできあがつたリ
ボンのための巻き上げリール10と、保護バンド
供給リール11とを有し、この供給リール11か
ら繰り出された保護バンド12は巻上げリール1
0におけるリボン5の回転中に送り込まれる。
リボン5は案内14が後置された駆動手段13
によつて間欠的に駆動される。
によつて間欠的に駆動される。
作業ユニツト2には溶接工具15が、熱圧溶接
又はろう接作業を行うため鉛直運動だけでなく、
後方への引込み運動をも実施できるように取り付
けられている。装置を調整するためにのみ役立つ
後者の運動は、溶接工具の上に配置されたテレビ
カメラ16の視野を解放するのに役立ち、テレビ
カメラ16は装置の作業区域の映像を画面17に
送ることができる。この機構が例えば仕上がつた
作業の検査のために利用できることは明白であ
る。
又はろう接作業を行うため鉛直運動だけでなく、
後方への引込み運動をも実施できるように取り付
けられている。装置を調整するためにのみ役立つ
後者の運動は、溶接工具の上に配置されたテレビ
カメラ16の視野を解放するのに役立ち、テレビ
カメラ16は装置の作業区域の映像を画面17に
送ることができる。この機構が例えば仕上がつた
作業の検査のために利用できることは明白であ
る。
リボン5は集積回路のための支持装置20の両
側に配置された案内18,19に導かれて作業ユ
ニツト2を通過する。支持装置20において本発
明は具体化されている。
側に配置された案内18,19に導かれて作業ユ
ニツト2を通過する。支持装置20において本発
明は具体化されている。
この支持装置20について詳しく述べる前に集
積回路の供給方法について述べておく:集積回路
は粘着バンド22を用いた供給装置21を介して
作業ユニツト2に供給され、粘着バンド22には
前もつてチエツクされた集積回路が接着されてい
る。このような粘着バンド22は例えば米国特許
第3695414号明細書に開示されている。集積回路
は十分な運動テストの後でシリコンウエハ製のこ
の粘着バンド22に接着される。粘着バンド22
はリール23から繰り出されて個別化機構24を
通過し、この個別化機構24から集積回路は通路
25の貯えられる。この通路25は振動させられ
ていてもよく、同時に集積回路の緩衝貯え装置を
構成しており、この通路25から集積回路は支持
装置20に配置される。
積回路の供給方法について述べておく:集積回路
は粘着バンド22を用いた供給装置21を介して
作業ユニツト2に供給され、粘着バンド22には
前もつてチエツクされた集積回路が接着されてい
る。このような粘着バンド22は例えば米国特許
第3695414号明細書に開示されている。集積回路
は十分な運動テストの後でシリコンウエハ製のこ
の粘着バンド22に接着される。粘着バンド22
はリール23から繰り出されて個別化機構24を
通過し、この個別化機構24から集積回路は通路
25の貯えられる。この通路25は振動させられ
ていてもよく、同時に集積回路の緩衝貯え装置を
構成しており、この通路25から集積回路は支持
装置20に配置される。
次に本発明による装置において用いられるリボ
ン5(フイルム)の1例が略示されている第2図
について説明する。
ン5(フイルム)の1例が略示されている第2図
について説明する。
図面からわかるように回路ユニツトUCは、集
積回路CIを受容する各ユニツトが長手方向に整
列しているフイルム状のリボン5に形成されてい
る。集積回路CIを受容するために各回路ユニツ
トUCは所定数の端子Bを有し、これらの端子B
はそれぞれ周知の技術によつて集積回路の対応す
る電極(図示せず)に熱圧溶接又はろう接によつ
て接続される。もちろん本発明は特定の回路ユニ
ツトに限定されるものではなく、回路ユニツトは
単純な導線セツト並びに単数又は複数の電気又は
電子回路成分から成る極めて複雑な回路セツトを
も含む。例えば本発明が時計製造技術の分野にお
いて用いられる場合には、各回路ユニツトUCは、
クオーツ又はその他の関連部材が接続されている
導線を既に有していてもよい。なお付言すると第
2図には図面をわかりやすくするために2つの回
路ユニツトにしか導線が描かれていない。
積回路CIを受容する各ユニツトが長手方向に整
列しているフイルム状のリボン5に形成されてい
る。集積回路CIを受容するために各回路ユニツ
トUCは所定数の端子Bを有し、これらの端子B
はそれぞれ周知の技術によつて集積回路の対応す
る電極(図示せず)に熱圧溶接又はろう接によつ
て接続される。もちろん本発明は特定の回路ユニ
ツトに限定されるものではなく、回路ユニツトは
単純な導線セツト並びに単数又は複数の電気又は
電子回路成分から成る極めて複雑な回路セツトを
も含む。例えば本発明が時計製造技術の分野にお
いて用いられる場合には、各回路ユニツトUCは、
クオーツ又はその他の関連部材が接続されている
導線を既に有していてもよい。なお付言すると第
2図には図面をわかりやすくするために2つの回
路ユニツトにしか導線が描かれていない。
上において簡単に述べた操作はインナリードボ
ンデイング(Inner Lead Bonding)という名で
知られており、それ自体なんら独創的なものでは
ない。また同様に溶接工具15(第1図参照)は
周知の形で構成されていて、この溶接工具15は
組立て過程において端子と電極とのすべての重量
部において一定の圧力と一定の熱量とを同時に加
えるように構成されている。
ンデイング(Inner Lead Bonding)という名で
知られており、それ自体なんら独創的なものでは
ない。また同様に溶接工具15(第1図参照)は
周知の形で構成されていて、この溶接工具15は
組立て過程において端子と電極とのすべての重量
部において一定の圧力と一定の熱量とを同時に加
えるように構成されている。
さらに付言するとこの操作は従つて集積回路と
所属の回路ユニツトとの電気的な接続だけでな
く、集積回路及び回路ユニツトとフイルムである
リボン5との完全な一体化をも効果的に保証す
る。
所属の回路ユニツトとの電気的な接続だけでな
く、集積回路及び回路ユニツトとフイルムである
リボン5との完全な一体化をも効果的に保証す
る。
本発明によれば集積回路の支持装置20は円形
のターンテーブル26として構成されている(第
3図及び第4図参照)。このターンテーブル26
はターンテーブル表面27における中心点Oを通
る鉛直な軸線X−Xを中心にして回転可能に取り
付けられている。
のターンテーブル26として構成されている(第
3図及び第4図参照)。このターンテーブル26
はターンテーブル表面27における中心点Oを通
る鉛直な軸線X−Xを中心にして回転可能に取り
付けられている。
ターンテーブル表面27は平らで有利には超精
密に加工されている。
密に加工されている。
中心点Oを極軸OAの極座標系の極だと仮定す
ると。溶接工具によつて規定されかつ溶接時に各
集積回路CIがそれに対して中心位置決めされね
ばならない鉛直な参考軸線O′は、中心点Oから
半径方向に距離mをおいて位置することになる。
集積回路がこの軸線O′に正確に中心位置決めさ
れると、回路ユニツトUCの各端子Bは集積回路
の対応する電極に対して正確に整合するように位
置し、これによつて所望の精度で溶接を行うこと
ができる。なお整合誤差は20ミクロンよりも小さ
くなくてはならず、さもないと結合が不十分のも
のになつてしまう。このような整合精度を得るた
めに多くの場合、製作誤差を補償することができ
るフイルムアライメント系が設けられている。
ると。溶接工具によつて規定されかつ溶接時に各
集積回路CIがそれに対して中心位置決めされね
ばならない鉛直な参考軸線O′は、中心点Oから
半径方向に距離mをおいて位置することになる。
集積回路がこの軸線O′に正確に中心位置決めさ
れると、回路ユニツトUCの各端子Bは集積回路
の対応する電極に対して正確に整合するように位
置し、これによつて所望の精度で溶接を行うこと
ができる。なお整合誤差は20ミクロンよりも小さ
くなくてはならず、さもないと結合が不十分のも
のになつてしまう。このような整合精度を得るた
めに多くの場合、製作誤差を補償することができ
るフイルムアライメント系が設けられている。
図示の実施例からわかるようにターンテーブル
26は、互いに45°の角度間隔をおいてつまり上
に述べた座標系において互いに位相角aの角度間
隔をおいた8つのセクタから成つている。これら
の位置は、ターンテーブル表面27の中心点Oか
ら半径mに相当する距離をおいた所でターンテー
ブル26に穿孔された円形の孔28によつて具現
されている。
26は、互いに45°の角度間隔をおいてつまり上
に述べた座標系において互いに位相角aの角度間
隔をおいた8つのセクタから成つている。これら
の位置は、ターンテーブル表面27の中心点Oか
ら半径mに相当する距離をおいた所でターンテー
ブル26に穿孔された円形の孔28によつて具現
されている。
第4図に示されているようにターンテーブル2
6には中心ピン29が設けられており、この中心
ピン29はターンテーブルの下面から下方に向か
つて延びていて、アンダフレーム30に回転可能
に取り付けられている。このアンダフレーム30
自体は4つのコラム31に取り付けられている。
この場合アンダフレーム30とターンテーブル2
6とから成るユニツトは、溶接工具15からのタ
ーンテーブル表面27の距離を調節できるように
鉛直方向でシフト可能に構成されている。
6には中心ピン29が設けられており、この中心
ピン29はターンテーブルの下面から下方に向か
つて延びていて、アンダフレーム30に回転可能
に取り付けられている。このアンダフレーム30
自体は4つのコラム31に取り付けられている。
この場合アンダフレーム30とターンテーブル2
6とから成るユニツトは、溶接工具15からのタ
ーンテーブル表面27の距離を調節できるように
鉛直方向でシフト可能に構成されている。
アンダフレーム30の上面32にはテフロン製
のリング33が装着されており、このリング33
には、吸気導管として働く溝34が設けられてい
る。これらの溝34は一方では負圧源(図示せ
ず)とかつ他方では選択的に孔28と接続されて
いる。中心ピン29では周知のマルタクロス機構
36の従動車であるマルタクロス35に固定され
ており、このマルタクロス機構36はモータ36
aによつて駆動されて、ターンテーブル26の間
欠的な運動を保証する。図示の実施例ではターン
テーブル26は8つの異なつた位置を占め、その
運動はリボン5の間欠的な送りと同期的に行われ
る。
のリング33が装着されており、このリング33
には、吸気導管として働く溝34が設けられてい
る。これらの溝34は一方では負圧源(図示せ
ず)とかつ他方では選択的に孔28と接続されて
いる。中心ピン29では周知のマルタクロス機構
36の従動車であるマルタクロス35に固定され
ており、このマルタクロス機構36はモータ36
aによつて駆動されて、ターンテーブル26の間
欠的な運動を保証する。図示の実施例ではターン
テーブル26は8つの異なつた位置を占め、その
運動はリボン5の間欠的な送りと同期的に行われ
る。
またアンダフレーム30には割出しフインガ3
7が設けられており、この割出しフインガ37は
ターンテーブル26の8つの位置を固定するため
に、リング33及びターンテーブル26にそれぞ
れ穿孔された孔38a,38bに選択的に差し込
まれる。ちなみにこれらの孔38a,38bは第
2図には示されていない。
7が設けられており、この割出しフインガ37は
ターンテーブル26の8つの位置を固定するため
に、リング33及びターンテーブル26にそれぞ
れ穿孔された孔38a,38bに選択的に差し込
まれる。ちなみにこれらの孔38a,38bは第
2図には示されていない。
割出しフインガ37はターンテーブル26及び
リボン5の運動に同期してスラスト装置39によ
つて操作される。
リボン5の運動に同期してスラスト装置39によ
つて操作される。
供給装置25は吸引作用を行う供給アーム40
を有し、この供給アーム40は、水平面において
第2図の矢印F1の方向で可動のキヤリツジ41
に取り付けられている。供給アーム40は集積回
路CIを通路25の出口からターンテーブル26
の供給装置に向かつて1つずつ運ぶために働く。
この供給装置は第2図において符号P1で示され
ている。また供給アーム40には有利には、鉛直
軸線を中心にして回転可能に取り付けられかつ吸
引作業を行うヘツド40aが設けられている。こ
のようになつているとターンテーブル26への搬
送過程中に各集積回路CIはその中心点を中心に
して例えば90°、180°又は270°だけ選択的に回動さ
せられて配置され得る。
を有し、この供給アーム40は、水平面において
第2図の矢印F1の方向で可動のキヤリツジ41
に取り付けられている。供給アーム40は集積回
路CIを通路25の出口からターンテーブル26
の供給装置に向かつて1つずつ運ぶために働く。
この供給装置は第2図において符号P1で示され
ている。また供給アーム40には有利には、鉛直
軸線を中心にして回転可能に取り付けられかつ吸
引作業を行うヘツド40aが設けられている。こ
のようになつているとターンテーブル26への搬
送過程中に各集積回路CIはその中心点を中心に
して例えば90°、180°又は270°だけ選択的に回動さ
せられて配置され得る。
ターンテーブル26の運動方向(第2図の矢印
F2参照)で見て供給位置P1の後ろにはアライメ
ント機構42が設けられており、このアライメン
ト機構42にはキヤリツジ44に取り付けられた
アライメントアーム43を有し、キヤリツジ44
は互いに直角な2つの方向(矢印F3及びF4)に
可動である。アライメントアーム43の動きは、
光電検出器45と制御回路46とキヤリツジ44
に連結された駆動モータ(図示せず)とを有する
自動制御系によつて制御される。図面からわかる
ように供給位置P1とアライメント位置P2とは極
座標系の位相角aの値に相当する角度間隔をおい
て離れている。
F2参照)で見て供給位置P1の後ろにはアライメ
ント機構42が設けられており、このアライメン
ト機構42にはキヤリツジ44に取り付けられた
アライメントアーム43を有し、キヤリツジ44
は互いに直角な2つの方向(矢印F3及びF4)に
可動である。アライメントアーム43の動きは、
光電検出器45と制御回路46とキヤリツジ44
に連結された駆動モータ(図示せず)とを有する
自動制御系によつて制御される。図面からわかる
ように供給位置P1とアライメント位置P2とは極
座標系の位相角aの値に相当する角度間隔をおい
て離れている。
本発明によればターンテーブル26に供給され
た際における各集積回路CIの位置は、溶接位置
P3へのつまり溶接工具15の下への角移動後に
集積回路CIが占めるべき位置に正確に対応して
いない。換言すれば先に述べた座標系において供
給位置P1の半径は溶接位置P3の半径mとは異な
つており、また位相角は孔28の間の角度間隔に
よつて規定された位相角の総数に相当していな
い。つまり第2図からわかるように供給位置P1
は半径m+mxに相当しかつ位相角は3a+(a−
ax)に相当しており、この場合mx及びaxは極め
て小さくかつ個々の集積回路において変化するこ
とがある。
た際における各集積回路CIの位置は、溶接位置
P3へのつまり溶接工具15の下への角移動後に
集積回路CIが占めるべき位置に正確に対応して
いない。換言すれば先に述べた座標系において供
給位置P1の半径は溶接位置P3の半径mとは異な
つており、また位相角は孔28の間の角度間隔に
よつて規定された位相角の総数に相当していな
い。つまり第2図からわかるように供給位置P1
は半径m+mxに相当しかつ位相角は3a+(a−
ax)に相当しており、この場合mx及びaxは極め
て小さくかつ個々の集積回路において変化するこ
とがある。
このような状態において、アライメントアーム
43を用いてターンテーブル表面27上で集積回
路を摺動させるだけで供給後に集積回路の位置を
修正することができる。
43を用いてターンテーブル表面27上で集積回
路を摺動させるだけで供給後に集積回路の位置を
修正することができる。
このためにアライメントアーム43の端部には
L字形の切欠き47が設けられており、この切欠
き47の縁部は集積回路CIの隣接した2つの縁
部と接触するようになつている。正確なアライメ
ントを達成するためには、光電検出器45とこれ
に所属の調整系とを用いて実現される接続電極と
の光学的なアライメントを集積回路の側縁を利用
して行う場合には、集積回路の製造時に生じる可
能性のある不正確さを考慮する必要がある。なお
付言すると光電検出器45としてはスイス在の
Ciposa of Le Landeron社の製品で「ミニデモ」
102−0662型の名で知られている光電検出器が有
利である。調整系は、正確な溶接位置から得られ
た基準に関して各集積回路を適切な位置にもたら
すようになつている。図示の実施例ではこの位置
は半径mと3aに相当する位相角を有している。
従つてアライメントアーム43は集積回路の中心
がこれらの座標によつて規定された点に正確に合
致するように配置する。このようにして集積回路
CIはターンテーブル26の3ステツプ後にぴつ
たりと溶接工具15と整合させられる。
L字形の切欠き47が設けられており、この切欠
き47の縁部は集積回路CIの隣接した2つの縁
部と接触するようになつている。正確なアライメ
ントを達成するためには、光電検出器45とこれ
に所属の調整系とを用いて実現される接続電極と
の光学的なアライメントを集積回路の側縁を利用
して行う場合には、集積回路の製造時に生じる可
能性のある不正確さを考慮する必要がある。なお
付言すると光電検出器45としてはスイス在の
Ciposa of Le Landeron社の製品で「ミニデモ」
102−0662型の名で知られている光電検出器が有
利である。調整系は、正確な溶接位置から得られ
た基準に関して各集積回路を適切な位置にもたら
すようになつている。図示の実施例ではこの位置
は半径mと3aに相当する位相角を有している。
従つてアライメントアーム43は集積回路の中心
がこれらの座標によつて規定された点に正確に合
致するように配置する。このようにして集積回路
CIはターンテーブル26の3ステツプ後にぴつ
たりと溶接工具15と整合させられる。
上に述べた装置の作業サイクルは以下のように
行われる: 集積回路CIは、先に述べた座標をもつ供給位
置P1に順次に送られる。集積回路CIは吸引作用
によつてターンテーブル26に保持される。この
作業中に先に供給された集積回路CIは、光電検
出器45と制御回路46とキヤリツジ44の駆動
モータとを有する調整系及びアライメントアーム
43によつて所定位置にもたらされる。同時に、
既に溶接位置P3に搬送された集積回路CIは、ち
ようど溶接工具15の下に位置している回路ユニ
ツトUCと溶接される。
行われる: 集積回路CIは、先に述べた座標をもつ供給位
置P1に順次に送られる。集積回路CIは吸引作用
によつてターンテーブル26に保持される。この
作業中に先に供給された集積回路CIは、光電検
出器45と制御回路46とキヤリツジ44の駆動
モータとを有する調整系及びアライメントアーム
43によつて所定位置にもたらされる。同時に、
既に溶接位置P3に搬送された集積回路CIは、ち
ようど溶接工具15の下に位置している回路ユニ
ツトUCと溶接される。
この作業サイクルが終了するとリボン及びター
ンテーブル26は1ステツプ前進させられ、3つ
の異なつた作業がターンテーブル26上の3つの
集積回路において同時に繰り返される。以上述べ
たことからわかるように本発明による作業サイク
ルは、3つの作業が溶接位置において順次行われ
ねばならない従来の装置における作業サイクルに
比べて著しく短縮されている。
ンテーブル26は1ステツプ前進させられ、3つ
の異なつた作業がターンテーブル26上の3つの
集積回路において同時に繰り返される。以上述べ
たことからわかるように本発明による作業サイク
ルは、3つの作業が溶接位置において順次行われ
ねばならない従来の装置における作業サイクルに
比べて著しく短縮されている。
第1図は本発明による方法を実施する装置全体
を示す斜視図、第2図は本発明にとつて重要な装
置部分を示す平面図、第3図は第1図に示された
装置において用いられるターンテーブルとその駆
動機構とを示す平面図、第4図は第3図の−
線に沿つた拡大断面図である。 1……フレーム、2……作業ユニツト、3……
供給ユニツト、4……受取りユニツト、5……リ
ボン、6……供給リール、7……リール、8,1
2……保護バンド、9……手段、10……巻上げ
リール、11……保護バンド供給リール、13…
…駆動手段、14……案内、15……溶接工具、
16……テレビカメラ、17……画面、18,1
9……案内、20……支持装置、21……供給装
置、22……粘着バンド、23……リール、24
……個別化機構、25……通路、26……ターン
テーブル、27……ターンテーブル表面、28…
…孔、29……中心ピン、30……アンダフレー
ム、31……コラム、32……上面、33……リ
ング、34……溝、35……マルタクロス、36
……マルタクロス機構、36a……モータ、37
……割出しフインガ、38a,38b……孔、3
9……スラスト装置、40……供給アーム、40
a……ヘツド、41……キヤリツジ、42……ア
ライメント機構、43……アライメントアーム、
44……キヤリツジ、45……光電検出器、46
……制御回路、47……切欠き、UC……回路ユ
ニツト、CI……集積回路、B……端子、O……
中心点、O′……軸線、P1……供給位置、P2……
アライメント位置、P3……溶接位置、a……位
相角、m……半径。
を示す斜視図、第2図は本発明にとつて重要な装
置部分を示す平面図、第3図は第1図に示された
装置において用いられるターンテーブルとその駆
動機構とを示す平面図、第4図は第3図の−
線に沿つた拡大断面図である。 1……フレーム、2……作業ユニツト、3……
供給ユニツト、4……受取りユニツト、5……リ
ボン、6……供給リール、7……リール、8,1
2……保護バンド、9……手段、10……巻上げ
リール、11……保護バンド供給リール、13…
…駆動手段、14……案内、15……溶接工具、
16……テレビカメラ、17……画面、18,1
9……案内、20……支持装置、21……供給装
置、22……粘着バンド、23……リール、24
……個別化機構、25……通路、26……ターン
テーブル、27……ターンテーブル表面、28…
…孔、29……中心ピン、30……アンダフレー
ム、31……コラム、32……上面、33……リ
ング、34……溝、35……マルタクロス、36
……マルタクロス機構、36a……モータ、37
……割出しフインガ、38a,38b……孔、3
9……スラスト装置、40……供給アーム、40
a……ヘツド、41……キヤリツジ、42……ア
ライメント機構、43……アライメントアーム、
44……キヤリツジ、45……光電検出器、46
……制御回路、47……切欠き、UC……回路ユ
ニツト、CI……集積回路、B……端子、O……
中心点、O′……軸線、P1……供給位置、P2……
アライメント位置、P3……溶接位置、a……位
相角、m……半径。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 リボン5に沿つて長手方向に1列に配置され
た回路ユニツトUCと集積回路CIとを、リボン5
に配置された各回路ユニツトUCの端子Bと集積
回路CIの電極との熱圧溶接又はろう接によつて
組み立てる方法であつて、 リボン5における回路ユニツトUCと各集積回
路CIとの正確なアライメントの後で組立てを行
う溶接位置P3を通してリボン5を間欠的に前進
させ、 溶接位置P3に回転可能に取り付けられていて、
間欠的に角移動可能な、集積回路CIを支持する
ターンテーブル26を用いて、別個の集積回路
CIにおいて少なくとも供給作業とアライメント
作業と溶接作業とを同時に行い、 ターンテーブル26に載つている集積回路CI
を、ターンテーブル26に関して形成された極座
標系によつて規定された正確な溶接位置P3に配
置させ、この場合集積回路CIが極座標系におけ
る位相角aに相当するターンテーブル26の各ス
テツプによつて、極座標系の極軸における所定の
半径mの点に位置しており、 位相角aの総数及び(又は)半径mからわずか
にずれた座標をもつターンテーブル26上の供給
位置P1に、集積回路CIを1つずつ置くことで集
積回路CIの供給を行い、 位相角aの総数によつて溶接位置P3に対して
かつ半径mに相当する距離によつてターンテーブ
ル中心に対して正確にずらされたアライメント位
置P2に、ターンテーブル26に対して平行な平
面において集積回路CIのアライメントを行うこ
とを特徴とする、集積回路を回路ユニツトに接続
して組立てる方法。 2 アライメント作業中に集積回路電極の1つ
を、正確なアライメント位置P2から求められた
基準によつて光学的に規定された位置にもたら
し、この場合集積回路CIを、前記基準に対する
半径及び位相角におけるアライメント誤差がなく
なるまで摺動させる、特許請求の範囲第1項記載
の方法。 3 溶接位置P3における溶接過程中に集積回路
CIが占めるべき位置に集積回路の位置を適合さ
せるために、供給作業中に各集積回路CIをその
大きな面及びターンテーブル表面27に対して平
行な平面において回転させる、特許請求の範囲第
1項記載の方法。 4 集積回路CIを回路ユニツトUCに接続して組
み立てる装置であつて、 熱圧溶接又はろう接を行うための溶接位置P3
と、該溶接位置において回路ユニツトUCを支承
するリボン5を間欠的に前進させる手段と、溶接
位置P3において集積回路CIが1つずつ対応する
各回路ユニツトUCに対して適正位置を占めるよ
うに、該集積回路を供給位置P1に導入する供給
手段と、各溶接作業に先行して集積回路CIの電
極を回路ユニツトUCの接続端子Bと整合させる
アライメント機構42と、溶接位置P3における
リボン平面に対して垂直に配置された軸に回転可
能に取り付けられたターンテーブル26と、該タ
ーンテーブルをリボン5の運動と同期させて間欠
的に駆動させる駆動手段とを有しており、 ターンテーブル26が、該ターンテーブルの運
転中に溶接工具に対して垂直に順次通過しかつ同
一円周上に角度間隔をおいて配置された同数の作
業位置に対応する少なくとも3つの位置を有して
おり、ターンテーブル26の順次行われるステツ
プの間にこれらの位置において供給手段、アライ
メント機構42及び溶接工具がそれぞれかつ同時
に働き、 供給手段が、溶接工具の下において集積回路
CIが占めるべき位置に対してずれた角度及び半
径方向距離を備えたターンテーブル26の相応な
位置に各集積回路CIを供給するのに適した供給
アーム40を有しており、 アライメント機構42が、供給時における集積
回路CIの角度及び半径方向におけるずれを正確
な位置への集積回路CIの摺動によつて修整しひ
いては集積回路CIを溶接工具の下に正確に導く
ために、ターンテーブル表面27に対して平行な
平面において移動可能なアライメントアーム43
を有している ことを特徴とする、集積回路を回路ユニツトに接
続して組み立てる装置。 5 アライメントアーム43がその端部に、アラ
イメント過程中に集積回路CIの隣接した2つの
側縁に接触する縁部を備えたL字形の切欠き47
を有している、特許請求の範囲第4項記載の装
置。 6 アライメント機構42がアライメントアーム
43の位置を調整する調整系を有し、該調整系
が、集積回路CIの電極の位置を検出する光電検
出器45と、集積回路CIの正確な溶接位置に対
する集積回路電極の角度及び半径方向におけるず
れに基づいてアライメントアーム43の運動を制
御する制御回路46とを有している、特許請求の
範囲第4項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8416748A FR2572619B1 (fr) | 1984-10-30 | 1984-10-30 | Procede pour l'assemblage et la connexion de circuits integres a des unites de circuits et machine pour sa mise en oeuvre |
FR8416748 | 1984-10-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61108144A JPS61108144A (ja) | 1986-05-26 |
JPH0344413B2 true JPH0344413B2 (ja) | 1991-07-05 |
Family
ID=9309221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60241782A Granted JPS61108144A (ja) | 1984-10-30 | 1985-10-30 | 集積回路を回路ユニツトに接続して組み立てる方法並びにこの方法を実施する装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4672742A (ja) |
EP (1) | EP0180172B1 (ja) |
JP (1) | JPS61108144A (ja) |
DE (1) | DE3567141D1 (ja) |
FR (1) | FR2572619B1 (ja) |
HK (1) | HK131193A (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6444100A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-16 | Hitachi Ltd | Device for mounting electronic component |
DE3881185D1 (de) * | 1987-12-28 | 1993-06-24 | Fuji Seiki Machine Works | Verfahren und geraet zur beschichtung von elektrischen leitungen. |
JPH0642504B2 (ja) * | 1989-06-15 | 1994-06-01 | 東レエンジニアリング株式会社 | インナーリードボンダー |
JPH03129844A (ja) * | 1989-10-16 | 1991-06-03 | Shinkawa Ltd | インナーリードボンデイング装置 |
JP2740348B2 (ja) * | 1989-10-17 | 1998-04-15 | 三洋電機株式会社 | テープ送出装置のカバーテープ剥離装置 |
FR2671303B1 (fr) * | 1991-01-07 | 1993-03-26 | Ferco Int Usine Ferrures | Dispositif pour l'assemblage des pieces intervenant sur une tetiere correspondant a une cremone ou cremone-serrure pour ouvrant oscillo-battant. |
JPH04348540A (ja) * | 1991-05-27 | 1992-12-03 | Sony Corp | フリップチップボンダー |
EP0949662A3 (en) * | 1998-03-27 | 2001-08-01 | Supersensor (Proprietary) Limited | Die transfer method and system |
US6438818B1 (en) * | 2000-02-21 | 2002-08-27 | Larry J. Costa | Electrical terminal implementation device |
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