JPH0344143B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 １ 産業上の利用分野 本発明は薄膜形成方法及びその装置に関するも
のである。

２ 従来技術 従来、多数の開口（特に、微細なメツシユ状開
口）を有する感光性スクリーンに静電荷像を形成
し、この静電荷像によりイオン流（例えば正イオ
ン粒子）の通過を制御して、帯電可能な層（例え
ば感光体ドラムの感光層）に所定の静電荷像を形
成する多色電子写真複写方式が知られている。

第１図には、例えば白地に黒色画像部と赤色画
像部とからなる２色原稿から画像を再現するため
の２色刷り用複写機が示されている。この装置本
体の上部には往復動する原稿台４１が設けられて
おり、この原稿台４１上に載置された原稿２５は
照明ランプ４２により照射される。４３，４４は
ミラー、４５は固定レンズ、４６は光路中に出入
れし得るように構成された可動の赤色フイルタ
ー、４７は赤色光を反射させ、赤色と補色関係に
あるシアン色は通過させる可動式のダイクロイツ
クフイルターであり、光路中に出入れし得るよう
に構成されている。第１図では赤色フイルター４
６は光路からはずれ、ダイクロイツクフイルター
４７は光路中に配置されている状態を示してい
る。ドラム状をなした感光体５３の表面に感光層
１８が設けられ、感光体５３が時計方向に回転す
ると感光層１８がコロナ帯電器５４によつて均一
に帯電される。感光層１８はセレンあるいは有機
半導体などにより作られる。

感光体５３の周辺には、感光層１８を均一に帯
電する帯電器５４と、正に帯電された黒色トナー
を有する黒色現像器４８と、正に帯電された赤色
トナーを有する赤色現像器４９と、感光層１８上
に残留するトナーおよび電荷を除去するクリーニ
ング装置３０とが配置されている。３１は感光体
５３と同径で、感光層１８と接触して従動するか
又は反時計方向に回転する転写ドラムである。６
３はコロナ放電器からなる転写電極、３２は複写
紙給紙皿、３３は複写紙給紙皿３２に収納された
複写紙５２を一枚ずつ給紙する給紙ローラ、３４
は複写紙を転写ドラム３１に搬送する第１搬送ロ
ーラ、３５は転写後に複写紙をドラム３１から分
離し易くするための除電を行なう静電分離器、３
６は複写紙をドラム３１から強制的に分離する分
離爪である。また、３７はヒーター内蔵の定着装
置である。但、実際には複写紙５２を案内するガ
イド板を設けるが、この図示は省略されている。

一方、感光層１８の外側には、光導電層が面す
るように円筒状をなした感光性スクリーンドラム
１７が配され、このドラム１７は原稿台４１およ
び感光層１８と同期して反時計方向に回転し得る
ように配置されている。また、このドラム１７の
外側周辺には、スクリーン帯電器２８と、感光ス
クリーンドラム１７上に残留する電荷を除去する
EL（エレクトロルミネセンス）板またはACコロ
ナ除電器などで作つたスクリーン除電器３９と、
感光性スクリーンドラム１７の内側で感光体５３
に対する位置に荷電粒子を投射する荷電粒子源
（コロナ放電器）１９とが設けられている。

この感光性スクリーン１７は、第２図に示す如
く、多数の微細開口１０を有しかつ一方の面が露
出したドラム状導電性スクリーン１１と、この導
電性スクリーンの少なくとも他方の面に設けられ
た（図示の例では開口１０内の壁面にも設けられ
ている）絶縁層１３と、この絶縁層上に設けられ
たバイアス用のAl等の導電膜１４と、光導電性
（感光）層１５と、電荷輸送層１６とによつて構
成されている。導電性スクリーン１１はステンレ
ス、Al等の金属メツシユで、絶縁層１３はポリ
エチレン等で、感光層１５及び電荷輸送層１６は
有機光半導体で夫々形成される。

この感光性スクリーン１７の製作に際し、特に
上記導電膜１４は第３図に示す如くAl蒸発源２
０の蒸着によつて形成される。ところがこの場
合、蒸発源２０からのAl蒸気２１のうち、スク
リーン基体１１に対し斜め方向に入射する部分２
１′は矢印で示すように開口１０を通して基体１
１の裏側へ廻り込み易いか、或いは基体１１の裏
面へ直接付着してしまう。この結果、第４図のよ
うに裏面に付着したAl部分によつて導電膜１４
と基体１１とが導通（短絡）してしまい、その作
用を発揮できなくなる。従つて従来は、電流を流
すことによつて、基体１１上のAl膜１４の比較
的薄い部分１４ａ（特に基体１１のエツジ部分１
１ａに薄く付着した部分）を焼切つて、基体１１
に対する短絡を防いでいる。しかしながら、その
ための作業工程が必要である上に、上記焼切によ
るダメージがAl膜１４に残り、その耐圧が低下
するという欠点がある。

３ 発明の目的 本発明の目的は、作業容易にして上記導電膜の
如き薄膜を精度良く形成し、特性良好な製品を作
成できる方法及びその装置を提供することにあ
る。

４ 発明の構成及びその作用効果 第一の発明は、薄膜構成物質の粒子を飛翔さ
せ、対向配置された基体上に堆積させるに際し、
前記基体を略円筒形に配置してその中心軸の周り
に回転させ、前記粒子を前記基体の外周面に対し
て実質的に垂直方向にのみ入射させることを特徴
とする薄膜形成方法に係る。ここで、「実質的に
垂直とは、基体に対し完全に垂直である場合の
他、既述した廻り込みが生じない範囲で幾分基体
に対し斜めになつている場合も意味する。

第二の発明は、上記第一の発明に係る方法を効
果的に実施する装置として、薄膜構成物質の粒子
を飛翔させ、対向配置された基体上に堆積させる
薄膜形成装置において、前記基体を略円筒形に構
成してその中心軸の周りに回転可能に配置し、薄
膜構成物質の粒子の飛翔源と前記基体との間の基
体近傍に単一のスリツトを有する遮蔽手段が配置
され、回転する前記基体に対して前記粒子の実質
的に垂直な流れのみが前記の単一のスリツトを通
して導かれ、前記基体の外周面上にその全周囲に
亘つて実質的に垂直方向で前記粒子を堆積させる
ように構成したことを特徴とする薄膜形成装置を
提供するものである。

本発明によれば、薄膜構成物質の粒子を基体に
対し実質的に垂直方向にのみ入射させるようにし
ているので、粒子が基体の表面上にて順次堆積
し、既述した如き廻り込みや裏面への直接付着を
阻止することができ、また、基体を略円筒形に配
置してその中心軸の周りに回転させることによ
り、形成される薄膜は均一なものになる。従つ
て、得られた薄膜は何らの後処理を加えることな
く、そのまま次の工程（例えば感光層の形成）に
供すことが可能である。

５ 実施例 以下、本発明を第５図〜第１２図に示す実施例
について詳細に説明する。

第５図には、既述した感光性スクリーンの導電
性スクリーン基体１１（実際にはこの表面又は外
面上に絶縁層１３が既に形成されている。）と、
Al蒸発源２０とを10^-4〜10^-5Torrの真空度に引
かれたベルジヤー（図示省略）内に配し、基体１
１上にAl蒸着膜（既述の１４）を形成する真空
蒸着方法又はその装置を示す。スクリーン基体１
１は、マンドレル２２の周りにセツトされ、共に
例えば15rpmの速度で回転し得るように配されて
いる。

ここで注目すべきことは、基体１１と蒸発源２
０との間の領域において、基体１１の近傍にスリ
ツト２３付きの遮蔽板２４を設けていることであ
る。そしてこの場合、第６図に明示する如く、蒸
発源２０からのAl蒸気は、一点鎖線２１′で示す
斜め方向の成分は遮蔽板２４によつて完全に遮蔽
され、基体１１に対してその垂直方向成分２１の
みがスリツト２３を通して導びかれ、絶縁層１３
上に順次堆積するように構成している。スリツト
２３を通過するAl蒸気２１の蒸発源からの角度
αは例えば0.5度に設定される。また実際には、
スリツト２３の幅を５mmとすれば、このスリツト
幅内には第６図に示すように基体１１のメツシユ
構成部分が多数個（例えば20個）分収まるように
構成される。

このように、スリツト２３付きの遮蔽板２４に
よつて、Al蒸気（又は分子）の垂直方向成分２
１のみを選択して基体１１上に導びいているか
ら、基体１１の表面又は外面上にのみAlが堆積
し、その裏面上へは廻り込み又は直接付着が全く
生じず、このために基体１１−Al膜間の導通が
生じることはない。

ここで、Al蒸着膜１４が本発明の目的を達成
するように堆積されるためには、主としてD_SM
（遮蔽板２４と基体１１との距離）を考慮するの
が望ましい。第７図では他に、D_BS＝蒸発源２０
−遮蔽板２４間の距離、Ｗ＝スリツト２３の幅ｄ
＝スリツト２３両端からAl粒子が拡散する幅と
する。

上記D_SM（遮蔽板−基体間の距離）を選択する
ことによつて、拡散幅ｄを低めに抑え得ることを
確認している。即ち、第８図に示すように（但、
D_BS＝300mm、Ｗ＝５mm、R_Al＝1g／min）、D_SMを
40mm以下として基体と遮蔽板の距離を短かくする
と、付着拡散幅を25mm以下と小さくし、目的とす
るAl蒸着膜が得易くなる。

上述したマンドレル２２について、第９図を用
いてより詳細に説明する。

このマンドレル２２は、基体１１の内周に近接
して設けられているので、基体１１のメツシユを
通過したAl粒子はマンドレル２２で阻止され、
基体１１の他の内面への付着が効果的に防止され
る。この場合、マンドレル２２は実際には、追加
のスリーブ２５と接合、一体化され、このスリー
ブ２５上の両端に嵌め込まれたリング２６に対し
上述した基体１１が固定される。

第１０図は、他の蒸着装置を示すが、この場合
には、基体１１にバイアス電圧２７をかけ、蒸発
源２０からの粒子２１を電子銃２８からの電子に
よつて活性化若しくはイオン化することにより、
粒子２１の基体１１上への吸着効率を高めてい
る。

第１１図は、コイル電極２９に高周波３８を加
え、公知のRFイオンプレーテイングと同様の原
理で、Arガスを導入しながら蒸着を行なう例で
ある。

第１２図は、スパツタ法によりAl膜を形成す
る例を示し、Alターゲツト４０をArガスによる
プラズマでスパツタし、叩き出されたAl粒子又
はクラスターをスリツト２３を介して基体１１上
にほぼ垂直に入射させ、上述したAl導電膜１４
を形成する。

なお、本発明は、上述の感光性スクリーンに限
らず、他の薄膜、例えば垂直磁気記録層（例えば
Co−Cr膜）の形成にも適用可能であり、その用
途は広範である。また、上述の遮蔽板は複数板組
合せてよいし、スリツトに対し粒子流が収束する
ような電界又は磁界を作用させてもよい。また、
基体の断面形状は矩形等、他の形状であつてよ
い。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は従来例を示すものであつて、
第１図は２色刷り用電子写真複写機の概略断面
図、第２図は感光性スクリーンの一部拡大断面
図、第３図は蒸着時の断面図、第４図は蒸着後の
感光性スクリーンの断面図である。第５図〜第１
２図は本発明の実施例を示すものであつて、第５
図は蒸着時の断面図、第６図は第５図の要部拡大
図、第７図は各部の位置関係を説明するための第
６図と同様の図、第８図は遮蔽板と基体との距離
による粒子拡散幅を示すグラフ、第９図は基体保
持構造を示す断面図、第１０図、第１１図、第１
２図は他の製造装置の各概略図である。 なお、図面に示した符号において、１１……導
電性スクリーン基体、１３……絶縁層、１４……
（Al）導電膜、１５……感光層、１６……電荷輸
送層、１７……感光性スクリーン、２０……蒸発
源、２１……Al蒸気、２２……マンドレル、２
３……スリツト、２４……遮蔽板である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 薄膜形成物質の粒子を飛翔させ、対向配置さ
   れた基体上に堆積させるに際し、前記基体を略円
   筒形に配置してその中心軸の周りに回転させ、前
   記粒子を前記基体の外周面に対して実質的に垂直
   方向にのみに入射させることを特徴とする薄膜形
   成方法。 ２ 薄膜構成物質の粒子を飛翔させ、対向配置さ
   れた基体上に堆積させる薄膜形成装置において、
   前記基体を略円筒形に構成してその中心軸の周り
   に回転可能に配置し、薄膜構成物質の粒子の飛翔
   源と前記基体との間の基体近傍域に単一のスリツ
   トを有する遮蔽手段が配置され、回転する前記基
   体に対して前記粒子の実質的に垂直な流れのみが
   前記の単一のスリツトを通して導かれ、前記基体
   の外周面上にその全周囲に亘つて実質的に垂直方
   向で前記粒子を堆積させるように構成したことを
   特徴とする薄膜形成装置。