JPH0341437B2 - - Google Patents
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- JPH0341437B2 JPH0341437B2 JP55088878A JP8887880A JPH0341437B2 JP H0341437 B2 JPH0341437 B2 JP H0341437B2 JP 55088878 A JP55088878 A JP 55088878A JP 8887880 A JP8887880 A JP 8887880A JP H0341437 B2 JPH0341437 B2 JP H0341437B2
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- JP
- Japan
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- single crystal
- silicon single
- silicon
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- grown
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- Expired - Lifetime
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- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8887880A JPS5717497A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Manufacture of silicon single crystal |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8887880A JPS5717497A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Manufacture of silicon single crystal |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5717497A JPS5717497A (en) | 1982-01-29 |
| JPH0341437B2 true JPH0341437B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1991-06-24 |
Family
ID=13955252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8887880A Granted JPS5717497A (en) | 1980-06-30 | 1980-06-30 | Manufacture of silicon single crystal |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5717497A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH033244A (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-09 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体シリコン基板の熱処理方法 |
| JP2785585B2 (ja) * | 1992-04-21 | 1998-08-13 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶の製造方法 |
| JP2742247B2 (ja) * | 1995-04-27 | 1998-04-22 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶基板の製造方法および品質管理方法 |
| WO1999057344A1 (fr) | 1998-05-01 | 1999-11-11 | Nippon Steel Corporation | Plaquette de semi-conducteur en silicium et son procede de fabrication |
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| DE10014650A1 (de) | 2000-03-24 | 2001-10-04 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Halbleiterscheibe aus Silicium und Verfahren zur Herstellung der Halbleiterscheibe |
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Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE788026A (fr) * | 1971-08-26 | 1973-02-26 | Siemens Ag | Procede et dispositif d'introduction dirigee de matieres de dopage dansdes cristaux semiconducteurs lors d'une fusion par zones sans creuset |
-
1980
- 1980-06-30 JP JP8887880A patent/JPS5717497A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5717497A (en) | 1982-01-29 |
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