JPH034101A - 半導体装置のリード曲がり検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の外部リードの曲がりを検査するた
めの装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、ＱＦＰ（口ｕａｄ　Ｆｌａｔ　Ｐａｃｋａｇｅ
）等の半導体装置では、パッケージ本体の四周囲から突
出された外部リードが正しく曲げ成形されているか否か
を検査することが行われる。このため、従来では、第３
図に示すように、半導体装置ｌのパッケージ２の周面に
突出形成された外部リード３の先端を受ける段部１２を
開口縁部に形成した方形容器状のセット治具１１を用意
し、この段部１２上に半導体装置ｌの外部リード３の先
端を載置させ、この状態で観察を行うことにより、外部
リード３の曲がりの検査を行っている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の半導体装置の外部リードの曲がり検査装
置は、セット治具１１の段部１２に外部リード３の先端
のみを載置″させる必要があるため、半導体装置ｌをセ
ット治具１１に載置させる際に、僅かの位置ずれが生じ
るだけで四周囲の外部り一ド３が正しく段部１２に載置
されなくなり、半導体装置ｌが傾いてセット治具１１の
中央の凹部に半導体装置が落下してしまうことがある。

また、半導体装置ｌをセット治具１１に載置する際には
、手で半導体装置ｌを把持して作業を行うため、把持す
る力によって外部リード３に曲げを生じてしまうことも
ある。このリード３の曲げは、検査後に半導体装置１を
セット治具１１がら取り上げる際にも生じ易い。

このため、従来における外部リードの曲げ検査に際して
は、半導体装１を慎重に取り扱うことが要求され、検査
が困難であるとともに、検査時間が長くかかるという問
題が生じている。

リードを曲げてしまうという問題がある。

本発明は上述した問題を解消し、検査を容易にかつ迅速
に行うことができるリード曲がり検査装置を提供するこ
とを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のリード曲がり検査装置は、検査される半導体装
置のリード先端を載置するための段部を有するセット治
具と、このセット治具の中央部において上下動され、前
記半導体装置のパッケージを支持する保持部とで構成し
ており、かつ保持部には前記リード先端を段部に対応位
置させるために前記パッケージを位置決めする突条を形
成している。

【作用〕

上述した構成では、保持部に支持させた半導体装置をセ
ット治具に対して上下移動させることで、半導体装置の
リード先端をセット治具の段部に載置させ、かつ取り外
すことができ、リード曲がり検査を容易に実行する。

〔実施例〕

次に、本発明を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の要部の断面図である。図に
おいて、ｌはリード曲がりが検査される半導体装置であ
り、ここでは方形のパッケージ２の周面に外部リード３
を突出形成したＱＦＰ形半導体装置で例示している。こ
の外部リード３は所定の形状に曲げ形成されている。ま
た、１１はセット治具であり、平面形状が略正方形をし
た容器状に形成し、その開口縁には前記半導体装置ｌの
外部リード２の先端を受ける段部１２を形成している。

そして、このセット治具１１の中央底部には穴１３をあ
け、この穴１３内に保持部１４を内挿している。

この保持部１４は、図外の駆動機構によってセット治具
１１の穴１３内において上下方向に移動させることがで
きる。また、この保持部１４の上面の周辺には突条１５
を形成しており、この突条１５で囲まれた領域内には半
導体装置ｌのパッケージ２をＩＩＩＮでき、かつ突条１
５によってその所定の位置に位置決めすることができる
。

この構成の曲がり検査装置によれば、第１図のように、
保持部１４を上動させた状態で、保持部１４の上面に半
導体装置ｌを載置する。このとき、突条１５によってパ
ッケージ２が案内されるため、半導体装Ｉｆｆは保持部
１４の所定位置に載置される。

しかる後、第２図に示すように、保持部１４を下動する
と、これに伴って半導体装置１も下動され、その途中で
セット治具１１の段部１２に外部リード３の先端が接触
し、かつこの段部１２に載置される。これにより、半導
体装置ｌは全ての外部リード３の先端が段部１２に載置
され、かつこの状態でセット治具１１に支持される状態
となる。

したがって、この状態でリード曲がりの検査を行うこと
ができる。

検査後は、保持部１４を上動することにより、第１図の
状態に復帰させ、セット治具１１から半導体装置ｌを取
り外すことができる。

このため、この検査装置では、半導体装置１を手で把持
して検査を行う必要がなく、しかも保持部Ｉ４における
位置決めにより外部リード３の先端を正確にセット治具
１１の段部１２に載置させることができる。したがって
、セット治具１１への半導体装置ｌの＠置を容易かつ正
確に行うことができ、検査を容易にしかも迅速に行うこ
とができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、保持部に支持させた半導
体装置をセット治具に対して上下移動させることで、半
導体装置のリード先端をセット治具の段部に載置させ、
かつ取り外すことができるので、リード曲がり検査を容
易にかつ迅速に実行することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部の断面図、第２図はそ
の作用を説明するための要部の断面図、第３図は従来の
リード曲がり検査装置の一部の断面図である。 １・・・半導体装置、２・・・パッケージ、３・・・外
部リード、ｌ・ｌ・・・セット治具、１２・・・段部、
１３・・・穴、１４・・・保持部、１５・・・突条。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．検査される半導体装置のリード先端を載置するため
   の段部を有するセット治具と、このセット治具の中央部
   において上下動され、前記半導体装置のパッケージを支
   持する保持部とで構成し、この保持部には前記リード先
   端を段部に対応位置させるために前記パッケージを位置
   決めする突条を形成したことを特徴とする半導体装置の
   リード曲がり検査装置。