JPH034034Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、オリフラ（オリエンテ−シヨンフラ
ツト）を合わせたウエハを連続的に次工程へ供給
できるようにしたウエハの供給装置に関する。

（従来の技術と問題点） 半導体製造工程において、カセツトに収納した
ウエハをある工程から他の工程へ供給しようとす
る場合、ウエハのオリフラが合つたいないとき
は、複数枚、積層状態で収容したウエハカセツト
よりウエハを１枚ずつ取り出し、オリフラを合せ
た後、供給するようにしなければならない。

そのような装置として従来より知られているも
のは、数個のウエハカセツトを積み重ねて収納し
たキヤリアボツクスの前面にオリフラ合せ装置を
配置し、押出部材で上記キヤリアボツクス内の最
下段のウエハカセツトからウエハを押し出し、対
向する上記オリフラ合せ装置の横向のウエハホル
ダ内に滑り込ませて供給するようになつている。
そして、ウエハを受取つたホルダを起立させ、ウ
エハを回転してオリフラを合せる。その後、該ウ
エハホルダはもとの横向位置に戻り、ウエハを次
工程へ送るよう解放する。上記キヤリアボツクス
は、ウエハが１枚取り出される毎に１枚分ずつ降
下して行く。このようにして上記キヤリアボツク
ス内のすべてのウエハカセツトのウエハが空にな
る位置まで降下すると作業は中断される。すなわ
ち上記オリフラ合せ装置のウエハホルダは一方向
のみからウエハを受取るようになつているので、
該ウエハカセツトにウエハを再充顛するためには
作業を中止してキヤリアボツクスより空になつた
ウエハカセツトを取り出し、再度ウエハを充顛し
たカセツトを収納し直さなければならないからで
ある。そのような事情のため、その段階で作業が
中断し、製造ラインの連続性が阻害される原因と
なつている。また、連続的に行うよう複数のオリ
フラ合せ装置等を並列して設けるようにすると、
装置全体が複雑であり、経済的にも得られない。
その上、オリフラを合せて次工程へ供給するウエ
ハの表面が汚染されると、次工程でウエハの表面
に接着剤等を塗布するときに問題を生じるような
こともある。

（考案の解決課題） 本考案の目的は、上記のような実情に鑑み、作
業を中断しなくても連続的にオリフラの合つたウ
エハを次工程へ供給することができるようにした
ウエハ供給装置を提供しようとすることである。

（課題解決の手段） 本考案によれば上記の目的は、キヤリアボツク
スを対向して設け、該キヤリアボツクス間にオリ
フラ合せ装置を配置し、該オリフラ合せ装置のウ
エハホルダを上記キヤリアボツクスのいずれかの
方向へも向くように180゜回転可能に設けると共
に、いずれの方向を向いてもウエハの中心位置が
変らないよう上記ウエハホルダを回転させる回転
体を、上記ウエハホルダに支持されたウエハの中
心部を通る軸を中心として回転可能に設けたこと
を特徴とするウエハ供給装置により達成される。

（作用） 上記ウエハホルダは180゜回転可能に設けてある
ので、先ず一方のキヤリアボツクスからウエハを
１枚ずつ取り出してオリフラ合せを行い、ウエハ
受取装置へ送り、該キヤリアボツクスが空になつ
たら他方のキヤリアボツクスに対向させて連続的
にオリフラ合せとウエハの供給を行い、その間に
上記空になつたキヤリアボツクスにウエハの充顛
したカセツトを収納する。このようにして作業を
中断せずにウエハの供給を続けることとができ
る。また、上記ウエハホルダは左横向でも左横向
でもウエハのセンタ−が同じであるため、ウエハ
受取装置はウエハホルダがいずれの方向を向いて
いても、同じ状態でウエハを受取ることができ
る。

（実施例） 本考案のウエハ供給装置はウエハ製造工程中の
種々の段階で使用することができるが、以下ウエ
ハを貼付板に接着する工程において本考案の供給
装置を適用した実施例につき説明する。

第１図は、ウエハを貼付板に接着剤で接着する
ようにしたウエハ接着装置の全体の構成を示す説
明図で、貼付板のロ−ダ部１、洗浄部２、加熱部
３、プレス兼冷却部４、アンロ−ダ部５等を一連
に有し、上記加熱部３と冷却部４の間にウエハを
上記貼付板に接着する接着部６があり、該接着部
６の側方には、ウエハを供給する供給部７と該ウ
エハに接着剤を塗布する塗布部８等が設けられて
いる。

図において、上記貼付板は、所定範囲で往復動
するロボツト１〜ロボツト６により各工程に順次
送るようにしてあるが、タクトシステム等により
移送するようにしてもよい。

複数の貼付板は、１枚ずつプレ−トボツクス
（図示略）の棚状部に載置されている。そして、
該プレ−トボツクスを、ロ−ダ台車９からロ−ダ
エレベ−タ１０に移し、該ローダエレベ−タ１０
を順次降下させることにより、プレ−トボツクス
の最下部に存する貼付板を１枚ずつ搬送コンベア
１１で取出す。

該搬送コンベア１１に移された貼付板は、ロボ
ツト１により洗浄部２に送られる。該洗浄部は、
貼付板を前洗浄するもので、図においては、第一
洗浄１２で、有機溶剤、アルコ−ルスクラブ等を
行い、第二洗浄１３で純水スクラブやリンスを行
うようにしている。

洗浄部２を経た貼付板はロボツト２により加熱
部３へ送られる。該加熱部３は、貼付板を緩徐に
加熱するよう数段階に設けるとよく、図において
は、第一加熱１４で約60℃、第二加熱１５で約
100℃、第三加熱１６で約120℃に加熱している
が、貼付板や接着剤の種類等により加熱段階を増
減したり、温度を変化させる。

ロボツト３は、所定温度に加熱した貼付板を接
着部６に移送するが、上記第三加熱で上記貼付板
が所定温度よりも過熱されるおそれがあるとき
は、該貼付板をヒ−タ−（図示略）から離隔して
保持する。

後記するように数板のウエハを表面に接着した
貼付板は、ロボツト４によりプレス冷却部４に移
送される。該プレス冷却部４において、貼付板は
ウエハが該貼付板によく密着するようにプレスで
圧着され、同時に緩徐に水、空気等の冷却媒体に
より冷却される。図においては、第一冷却１７、
第二冷却１８、第三空冷１９を設けて適宜水冷、
空冷等により冷却するようにしている。

貼付板に接着したウエハの表面に余分な接着剤
が付着しているときは、ロボツト５により貼付板
を第三洗浄２０に移送し、有機溶剤スクラブ、ア
ルコ−ルリンス、N₂ガスブロ−等して後洗浄す
る。なお、表面が清浄なときは、第三洗浄を省略
することもできる。

その後、貼付板はロボツト６によりアンロ−ダ
搬送コンベア２１に移送され、該搬送コンベア２
１でアンロ−ダエレベ−タ２２に支持したプレ−
トボツクス（図示略）内に１枚ずつ収納され、所
定枚数収納後アンロ−ダ台車２３により運ばれ
る。

ウエハの供給部７は、第２図〜第７図に示すよ
に構成されている。第２図において、25枚のウエ
ハ２４を棚状部に載置したカセツト２５は、４段
重ねてキヤリアボツクス２６，２６内に収納され
る。該キヤリアボツクス２６，２６は、対向状態
に設けられており、該キヤリアボツクス間にオリ
フラ合せ装置２７が設けられている。該キヤリア
ボツクスは、エレベ−タ手段（図示略）により昇
降可能に支持されている。該エレベ−タ手段は、
キヤリアボツクス内の最下部に存するウエハが、
後記する押出装置で押し出されたとき、その上方
のウエハが上記オリフラ合せ装置２７のウエハホ
ルダに対向する位置に到来するよう上記キヤリア
ボツクスを順次降下させる。

上記キヤリアボツクス２６，２６の側方には押出
装置２８を設けてある。該押出装置は、水平方向
に移動可能に支持された押出板２９を有し、該押
出板２９の一端をチエ−ン等の無端帯３０に固着
し、該無端帯をモ−タ−、スプロケツト、プ−リ
−等で駆動する。そして、適宜位置にリミツトス
イツチ（図示略）を設け、上記無端帯３０の移動
範囲を規制し、上記押出板２９が所定範囲で往復
動するようにしてある。該押出板２９は、前進し
た際、その先端で上記カセツト２５からウエハ２
４をオリフラ合せ装置２７まで押し出し、その
後、後退する。

第３図〜第７図には、オリフラ合せ装置２７が
示されている。該オリフラ合せ装置のウエハホル
ダ３１は上記カセツト２５に対向し、押し出され
た上記ウエハ２４を受取るよう受溝３２，３３を
形成した略Ｌ字形の支持ア−ム３４，３５を対向
して有する。各支持ア−ム３４，３５の基端は、
第３図に示すように、上方に立上つており、該立
上り部の側方にそれぞれ回転体３６に摺動可能に
嵌挿した摺動軸３７，３８及び３９，４０が固定
されている。該摺動軸３７，３８及び３９，４０
は、それぞれ後端を連結板４１，４２で連結され
ている。上記回転体３６の中央部には、内端を連
通孔４３で連通したシリンダ孔４４，４５を形成
してあり、該シリンダ孔４４，４５に嵌挿したピ
ストン４６，４７のピストンロツド４８，４９は
それぞれ回転体３６の前方及び後方に延出してい
る。前方のピストンロツド４８は上記支持ア−ム
３４の基端に固着され（第５図）、後方のピスト
ンロツド４９は他方の支持ア−ム３５を操作する
上記摺動軸３９，４０の後端に連結した上記連結
板４２に固着されている（第６図）。そして、上
記連通孔４３に開口する孔５０から圧縮空気を導
入すれば、上記ピストン４６，４７はそれぞれ外
方（離れる方向）へ移動し、図において上記支持
ア−ム３４は左行し、支持ア−ム３５は右行し、
該支持ア−ム間の距離は広がり、上記受溝３２，
３３間に保持したウエハを離す。上記シリンダ孔
４４，４５に間口する孔５１，５２から圧縮空気
を導入すれば、上記ピストン４６，４７はそれぞ
れ内方（近づく方向）へ移動し、図において上記
支持ア−ム３４は右行し、支持ア−ム３５は左行
し、該支持ア−ム間の距離は縮まり、図に示す状
態に戻る。この状態でウエハを上記ウエハホルダ
の受溝の開口端から押し込めば、該ウエハを受溝
間で受支することができる。

上記ウエハホルダは、横転及び起立できるよう
に180゜転回可能に支持されている。図において
は、上記回転体３６を、フレ−ム５３に軸受５
４，５４で回転自在に支持し、該回転体の外周に
取付けたプ−リ−５５を、該フレ−ム５３に設け
たモ−タ−５６、歯車５７，５８、プ−リ−５
９、歯付ベルト６０を介して回転し、上記回転体
を180度回転させて上記ウエハホルダ３１の向き
を変更するよう構成してある。上記回転体３６の
後方には、センサ−プレ−ト６１を形成してあ
り、該センサ−プレ−ト６１の位置を上記フレ−
ム５３の所定位置設けたセンサ−６２…で検出す
ることにより上記モ−タ−５６を制御し、90度回
転して回転体の移動を停止するようにしてある
（第６図）。なお、図において上記センサ−は、移
動を停止すべき位置とその手前の位置に設け、停
止位置の手前でセンサ−プレ−トを検出し回転体
の回転を減速し、その後停止位置で確実に停止す
るようにしてある。

上記回転体３６の周囲には、位置決め用受孔６
３，６４，６５を90度間隔に設けてあり、フレ−
ム５３に取付けたシリンダ６６で係止ピン６７を
該受孔６３，６４，６５に対応した位置で進退さ
せ、各位置で回転体３６を回転しないように保持
する（第７図）。

上述のようにして回転体３６を90度ずつ回転さ
せることにより、ウエハホルダ３１は、その開口
側が上縦向に存する起立位置と、左横向に存する
左横転位置と、右横向に存する右横転位置の３つ
の位置をとることができる。この際、第３図に示
すように、回転体３６の回転軸は上記ウエハホル
ダに支持されたウエハの中心を通つているので、
左横右横いずれの向きでもウエハのセンタ−は変
らない。

上記ウエハホルダは、ウエハを回転可能に受支
するよう溝付ロ−ラ６８…を上記支持ア−ム３
４，３５の内面に有し、一方の支持ア−ム３４の
底部にはウエハの円周部分に接して該ウエハを転
動回転するよう回転ロ−ラ６９を設けてある。該
回転ロ−ラ６９は該支持ア−ム３４の基端に設け
たモ−タ−７０、プ−リ−７１，７２、ベルト７
３により回転する。

上記オリフラ合せ装置２７は上記のように構成
され、左横向若しくは右横向の横転位置にウエハ
ホルダ３１が位置している状態で、上記支持ア−
ム間にウエハを上記押出装置２８で押し込む。そ
の後上記回転体３６を90度回転してウエハホルダ
を、開口側が上縦向に存する位置になるよう起立
させる。そして、上記モ−タ−７０を駆動して上
記回転ロ−ラ６９を回転させると、該回転ロ−ラ
６９に周縁が接触しているウエハ２４は従動回転
し、オリエンテ−シヨンフラツトが該回転ロ−ラ
６９に対向した位置で止まる。そこで、上記回転
体３６を上記と逆方向に回転し、ウエハホルダの
開口側が横向になつた横転位置で停止させる。こ
のようにして、ウエハのオリエンテ−シヨンフラ
ツトを合わせることができる。なお、上述した実
施例では、上記ウエハホルダは、オリフラ合せ
後、初めにウエハを受取つた方向と同じ方向に横
転するようにしているが、ウエハ周縁の汚染を問
題にしないときにはウエハを受取つた方向と逆の
方向に、すなわち最初の位置から180度転回した
位置に横転させることもできる。いずれの位置で
もウエハのセンタ−は変らない。

上記オリフラ合せ装置２７のウエハのセンタ−
の下方には、該ウエハを該オリフラ合せ装置から
受取り、降下させるウエハ受取装置７４がある
（第２図）。該装置は、真空作用でウエハを吸着す
る保持部７５と該保持部７５を昇降させるシリン
ダ７６を具備する。該保持部は吸着作用に代え
て、爪その他の適宜の手段を用いぬこともでき
る。

上記ウエハ受取装置の保持部が降下するとき、
該保持部からウエハを受取るよう搬送手段７７を
設けてある。該搬送手段は、ウエハを上面に載置
し次工程へ移送するよう往復動可能に設けられ、
間隔をあけて対向するレ−ルを有する。搬送手段
は種々に構成することができるが、第８図、第９
図では、門形のフレ−ム７８の上面にレ−ル７
９，８０を設け、該フレ−ム７８の基部８１，８
２をフレ−ム本体８３の下方にくぐらせ、該基部
を該フレ−ム本体８３に設けた案内杆８４，８５
に摺動可能に嵌着している。該フレ−ム本体８３
の下面にはシリンダ８６を設けてあり、該シリン
ダのロツド８７を上記基部８１に固着してある。
上記フレ−ム本体８３の両端にはシヨツクアブソ
−バ−８８，８９を設けてあり、上記フレ−ムの
基部８１，８２が当接する。

上記レ−ル７９，８０の上面には、ウエハの外
径に応じた弧状の凹部９０，９０が形成され、ウ
エハは該凹部に嵌つた状態で載置される。

上記シリンダ８６を動作させると、上記レ−ル
７９，８０は８図の実線で示す位置と鎖線で示す
位置の間で往復動し、鎖線の位置で受取つたウエ
ハを実線の位置へ搬出する。

（考案の効果） 本考案は以上のように構成され、ウエハカセツ
トを収納するキヤリアボツクスを対向状態に設
け、該キヤリアボツクス間にオリフラ合せ装置を
設け、該オリフラ合せ装置のウエハホルダを回転
体に取付け、該回転体を上記ウエハホルダが上記
キヤリアボツクスの一方に面する左横向位置と起
立位置と上記キヤリアボツクスの他方に面する右
横向位置の間で選択的に回転するようにしたの
で、例えば最初はウエハホルダを左横向位置と起
立位置の間で往復させて一方のキヤリアボツクス
内から１枚ずつウエハを受取り、オリフラを合せ
て次工程へ供給し、該キヤリアボツクス内のウエ
ハが空になつたら、上記ウエハホルダを180゜回転
して他方のキヤリアボツクスに対面させ、該位置
で右横向位置と起立位置の間で往復させ該キヤリ
アボツクスから受取つたウエハのオリフラを合せ
て次工程へ供給するようにでき、その間に上記空
になつた一方のキヤリアボツクスには新しいウエ
ハを補充しておくことができ、そのようにして作
業を中断することなく連続的にオリフラを合せた
ウエハを次工程に供給することがでできる。上記
ウエハをオリフラ合せ装置から受取る受取装置は
ウエハホルダがいずれの方向を向いていても、ウ
エハのセンタ−が一致しているので確実にウエハ
を受取ることができる。また、上記オリフラ合せ
に際し、ウエハカセツトから押し出されたウエハ
は、上記オリフラ合せ装置のウエハホルダの受溝
に差し込まれ、その状態で起立位置に移動され回
転されるが、該ウエハは受溝の壁面に接した裏面
だけが受溝に接した状態で起立位置に立上げられ
るので、ウエハの表面側は一切受溝の壁面に接触
せず、非接触の状態を保つことができる。したが
つて、次工程へ送られて表面に接着剤等を塗布す
るとき何ら支障を来すことがない。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図はウエハ
接着装置に適用した場合の全体の構成をす説明
図、第２図は一方の押出装置の図示を省いたウエ
ハ供給部の一部切欠側面図、第３図〜第７図はオ
リフラ合せ装置を示し、第３図は一部を断面して
示す側面図、第４図は平面図、第５図は第３図の
Ａ−Ａ線断面図、第６図は平面図、第７図は位置
決め用受孔部分の縦断面図、第８図、第９図は搬
送手段を示し、第８図は横断面図、第９図は縦断
面図である。 ７……ウエハ供給部、２５……カセツト、２７
……オリフラ合せ装置、３１……ウエハホルダ、
３４，３５……支持ア−ム、６９……回転ロ−
ラ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエハカセツトを収納するキヤリアボツクスを
   対向状態に設け、該キヤリアボツクス間にウエハ
   のオリフラを合わせるオリフラ合せ装置を設ける
   と共に該オリフラ合せ装置の下方にオリフラの合
   つたウエハを受取るウエハ受取装置を位置させた
   装置において、上記カセツトからウエハを受取る
   よう上記オリフラ合せ装置にウエハホルダを設
   け、該ウエハホルダを回転体に取付け、該回転体
   を上記ウエハホルダが上記キヤリアボツクスの一
   方に面する左横向位置と他方に面する右横向位置
   の間で180゜回転できるように、かつ該左横向位置
   と右横向位置でウエハの中心が変らないように上
   記ウエハホルダに支持されたウエハの中心部を通
   る軸を中心として回転可能に上記回転体をフレ−
   ムに取付けたことを特徴とするウエハ供給装置。