JPS63316452A - ウエハ供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、連続的にウェハのオリフラ（オリエンテーシ
ョンフラット）を合わせて供給することができるように
したウェハ供給装置に関する。

オリフラの合っていないウェハをウェハカセットに複数
枚、積層状態で収容し、該ウエノ・を１枚ずつ取り出し
てオリフラ合せをするとき、従来のオリフラ合せ装置は
、押出部材で上記ウェハカセットからウェハを押し出し
、該オリフラ合せ装置のウェハホルダに供給するように
なっているが、該ウェハホルダが一方向を向いたままな
ので、上記ウェハホルダ内のウェハが空になると、再充
填するため作業を中止しなければならないものがあった
。

本発明は上記のような欠点を除去し、その他の種々の特
徴を有するようにしたもので、ウェハを収納したウェハ
カセットを対向状態に複数設け、該ウェハカセット間に
オリフラ合せ装置のウェハホルダを形成し、該ウェハホ
ルダを一方のウェハカセットに向けた状態でウェハを受
取り、起立させてオリフラ合せを行い、その後該つェ八
ホルダを横向にして該ウェハな取り出し次工程へ搬出す
ると共ζユ新しいウェハな受収り、該ウェハカセット内
のウェハが空になったら、他方のウェハカセットに対向
するよう上記ウェハホルダを横転させ、上記と同様にオ
リフラ合せと搬出を行い、この間に上記ウェハカセット
に再充填し、連続的にオリフラの合ったウェハを供給す
ることができるよう：二した装置に係るものである。

本発明のウェハ供給装置はウェハ製造工程中の種々の段
階で使用することができるが、以下ウェハを貼付板に接
着する工程において本発明の供給装置を適用した実施例
につき説明する。

第７図は、ウェハを貼付板に接着剤で接着するようにし
たウェハ接着装置の全体の構成を示す説明図で、貼付板
のローダ部（１）、洗浄部（２）、加熱部（３）、プレ
ス兼冷却部（４）、アンローダ部（５）等を一連に有し
、上記加熱部（３）と冷却部（４）の間にウェハを上記
貼付板に接着する接着部（６）があり、該接着部（６）
の側方には、ウェハを供給する供給部（７）と該ウェハ
に接着剤を塗布する塗布部（８）等が設けられている。

図において、上記貼付板は、所定範囲で往復動するロボ
ット７〜ロボツト乙により各工程に順次送るようにしで
あるが、タクトシステム等により移送するようにしても
よい。

複数の貼付板は、７枚ずつプレートボックス（図示略）
の棚状部に載置されている。そして、該プレートボック
スを、ローダ台車（９）からローダエレベータＱＧに移
し、該ローダエレベータαＯを順次降下させることによ
り、プレートボックスの最下部に存する貼付板を７枚ず
つ搬送コンベアαＤで取出す。

該搬送コンベアａＤに移された貼付板は、ロボット／に
より洗浄部（２）に送られる。該洗浄部は、貼付板を前
洗浄するもので、図においては、第一洗浄０で、有機溶
剤、アルコールスクラブ等を行い、第二洗浄α３で純水
スクラブやリンスを行うようにしている。

洗浄部（２）を経た貼付板は、ロボット、２により加熱
部＋８）へ送られる。該加熱部（３）は、貼付板を緩徐
に加熱するよう数段階に設けるとよく、図においては、
第一加熱αφで約６θ℃、第二加熱αｅで約１００℃、
第三加熱ａＯで約７２θ℃：二加熱しているが、貼付板
や接着剤の種類等により加熱段階を増減したり、温度を
変化させる。

ロボット３は、所定温度に加熱した貼付板な接着部（６
）に移送するが、上記第三加熱で上記貼付板が所定温度
よりも過熱されるおそれがあるときは、該貼付板をヒー
ター（図示略）から離隔して保持する。

後記するように散板のウェハを表面に接着した貼付板は
、ロボッ）Ｋによりプレス冷却部（４）に移送される。

該プレス冷却部（４）において、貼付板はウェハが該貼
付板によく密着するようにプレスで圧着され、同時に緩
徐に水、空気等の冷却媒体により冷却される。図におい
ては、第一冷却αη、第二冷却ａ８、第三空冷α９を設
けて適宜水冷、空冷等：二より冷却するようにしている
。

貼付板に接着したウェハの表面に余分な接着剤が付着し
ているときは、ロボット！により貼付板を第三洗浄■に
移送し、有機溶剤スクラブ、アルコールリンス、Ｎ２ガ
スブロー等して後洗浄する。

なお、表面が清浄なときは、第三洗浄を省略することも
できる。

その後、貼付板はロボット乙によりアンローダ搬送コン
ベアなυに移送され、該搬送コンベアＱυでアンローダ
エレベータに）に支持したプレートボックス（図示略）
内に１枚ずつ収納され、所定枚数収納後アンローダ台車
（２）により運ばれる。

ウェハの供給部（７）は、第２図〜第７図に示すように
構成されている。第２図において、２５枚のウェハ（ハ
）を棚状部に載置したカセット（至）は、ダ段重ねてキ
ャリアボックス（ハ）、（ハ）内に収納される。

該°キャリアボックス（２）、（２）は、対向状態に設
けられており、該キャリアボックス間にオリフラ合せ装
置（財）が設けられている。該キャリアボックスは、エ
レベータ手段（図示略）により昇降可能に支持されてい
る。該エレベータ手段は、キャリアボックス内の最下部
に存するウェハが、後記する押出装置で押し出されたと
き、その上方のウェハが上記オリフラ合せ装置に）のウ
ニ八ホルダに対向する位置（二到来するよう上記キャリ
アボックスを順次降下させる。

上記キャリアボックス（２）、（ハ）の側方には押出装
置−を設けである。該押出装置は、水平方向に移動可能
に支持された押出根回を有し、該押出板翰の一端をチェ
ーン等の無端帯…に固着し、該無端帯をモーター、スプ
ロケット、プーリー等で駆動する。そして、適宜位置に
リミットスイッチ（図示略）を設け、上記無端帯（１）
の移動範囲を規制し、上記押出板に）が所定範囲で往復
動するようにしである。該押出ｌ７Ｆｉに）は、前進し
た際、その先端で上記カセット（ハ）からウェハ〇４を
オリフラ合せ装置（至）まで押し出し、その後、後退す
る。

第３図〜第２図には、オリフラ合せ装置（至）が示され
ている。該オリフラ合せ装置のウェハホルダ６１）は、
上記カセット（ハ）に対向し、押し出された上記ウェハ
（至）を受取るよう受溝（至）、（ト）を形成しだ略り
字形の支持アーム（至）、（至）を対向して有する。各
支持アーム（至）、（至）の基端は、それぞれ本体（７
）に摺動可能に嵌挿した摺動軸（至）、（至）及び■、
−に固定されている。該摺動軸（ロ）、（至）及び山、
（イ）は、それぞれ後端を連結板＠υ、（６）で連結さ
れている。上記本体（７）の内部には、内端な連通孔−
で連通したシリンダ孔■、に）を形成してあり、該シリ
ンダ孔■、−に嵌挿したピストンに）、（４７）のピス
トンロッド（至）、θ傍はそれぞれ本体（７）の前方及
び後方に延出している。前方のピストンロッド（財）は
上記支持アーム図の基端に固着され（第夕図）、後方の
ピストンロッド（至）は他方の支持アーム（至）を操作
する上記摺動軸−、■の後端に連結した上記連結板（６
）に固着されている（第６図）。そして、上記連通孔（
財）に開口する孔（至）から圧縮空気を導入すれば、上
記ピストン■、０のはそれぞれ外方（離れる方向）へ移
動し、図において上記支持アーム（ロ）は左行し、支持
アーム（至）は右行し、該支持アーム間の距離は広がり
、上記受溝（２）、（至）間に保持したウェハを離す。

上記シリンダ孔（ロ）、に）に開口する孔（５１）、（
５２）から圧縮空気を導入すれば、上記ピストンに）、
Ｇ４７）はそれぞれ内方（近づく方向）へ移動し、図に
おいて上記支持アーム（至）は右行し、支持アーム（至
）は左行し、該支持アーム間の距離は縮まり、図に示す
状態）二戻る。この状態でウェハを上記ウェハホルダの
受溝の開口端から押し込めば、該ウェハを受溝間で受支
することができる。

上記ウェハホルダは、横転及び起立できるように転回可
能に支持されている。図においては、上記本体（至）を
、フレーム（５３）に、軸受（５４）、（５４）で回転
自在に支持し、該本体の外周に取付けたプーリー（５５
）を、該フレーム（５３）に設けたモーター（５６）、
歯車（５７）、（５８）、プーリー（５９）、歯付ペル
）（６０）を介して回転し、上記本体を／♂θ度回転さ
せて上記ウェハホルダ６ｐの向きを変更するよう構成し
である。上記本体（至）の後方には、センサープレー）
　（６１）を形成してあり、該センサープレー）　（６
１）の位置を上記フレーム（５３）の所定位置に設けた
センサー（６２）・・・で検出することにより上記モー
ター（５６）を制御し、りＯ反回転して本体の移動を停
止するよう（ニしである（第６図）。なお、図において
上記センサーは、移動を停止すべき位置とその手前の位
置に設け、停止位置の手前でセンサープレートを検出し
本体の回転を減速し、その後停止位置で確実に停止する
ようにしである。

上記本体（至）の周囲には、位置決め゛用受孔（６３）
、（６４）、（６５）を９θ度間隔に設けてあり、フレ
ーム（５３）に取付けたシリンダ（６６）で係止ピン（
６７）を該受孔（６３）、（６４）、（６５）に対応し
た位置で進退させ、各位置で本体（至）を回転しないよ
うに保持する（第２図）。

上述のようにして本体（至）を９０度ずつ回転させるこ
と（二より、ウェハホルダ０ηは、その開口側か上縦向
に存する起立位置と、左横向に存する左横転位置と、右
横向に存する右横転位置の３つの位置をとることができ
る。

上記ウェハホルダは、ウエノ＼を回転可能に受支するよ
う溝付ローラ（６Ｂ）・・・を上記支持アーム（２）、
（至）の内面に有し、一方の支持アーム（至）の底部に
はウェハの円周部分に接して該ウエノ１を転勤回転する
よう回転ローラ（６９）を設けである。該回転ローラ（
６９）は該支持アーム（至）の基端に設けたモーター（
７０）、プーリー（７１）、（７２）、ベルト（７３）
により回転する。

上記オリフラ合せ装置−は上記のように構成され、左横
向若しくは右横向の横転位置にウエノ・ホルダｃ１１）
が位置している状態で、上記支持アーム間にウェハを上
記押出装置（ハ）で押し込む。その後上配本体（至）を
９０度回転してウェハホルダを、開口側か上縦向に存す
る位置になるよう起立させる。

そして、上記モーター（７０）を駆動して上記回転ロー
ラ（６９）を回転させると、該回転ローラ（６９）に周
縁が接触しているウェハ（ハ）は従動回転し、オリエン
テーションフラットが該回転ローラ（６９）に対向した
位置で止まる。そこで、上記本体（至）を上記と逆方向
に回転し、ウェハホルダの開口側が横向になった横転位
置で停止させる。このようにして、ウェハのオリエンテ
ーションフラットを合わせることができる。なお、上述
した実施例では、上記ウェハホルダは、オリフラ合せ後
、初めにウェハを受取った方向と同じ方向に横転するよ
うにしているが、ウェハを受取った方向と逆の方向に、
すなわち最初の位置から／♂θ度転回した位置に横転さ
せることもできる。

上記オリフラ合せ装置勾の下方には、ウェハを該オリフ
ラ合せ装置から受取り、降下させるウェハ受取装置（７
４）がある（第２図）。該装置は、真空作用でウェハな
吸着する保持部（７５）と該保持部（７５）を昇降させ
るシリンダ（７６）を具備する。該保持部は吸着作用に
代えて、爪その他の適宜の手段を用いることもできる。

上記ウェハ受取装置の保持部が降下するとき、該保持部
からウェハを受取るよう搬送手段（７７）を設けである
。該搬送手段は、ウェハな上面に載置し次工程へ移送す
るよう往復動可能に設けられ、間隔をあけて対向するレ
ールを有する。搬送手段は種々に構成することができる
が、第♂図、第９図では、門形のフレーム（７８）の上
面にレール（７９）、（８０）を設け、該フレーム（７
８）の基部（８１）、（８２）を本体（８３）の下方に
くぐらせ、該基部を該本体（８３）に設けた案内杆（８
４）、（８５）に摺動可能に嵌着している。該本体（８
３）の下面にはシリンダ（８６）を設けてあり、該シリ
ンダのロッド（８７）を上記基部（８１）に固着しであ
る。上記本体（８３）の両端にはショックアブソーバ−
（８８）、（８９）を設けてあり、上記フレームの基部
（８１）、（８２）が当接する。

上記レール（７９）、（８０）の上面には、ウェハの外
径に応じた弧状の凹部（９０）、（９０）が形成され、
ウェハは該凹部に嵌った状態で載置される。

上記シリンダ（８６）を動作させると、上記レール（７
９）、（８０）は第♂図の実線で示す位置と鎖線で示す
位置の間で往復動し、鎖線の位置で受取ったウェハを実
線の位置へ搬出する。

本発明のウェハ供給装置は上記のように構成され、対向
して設けたウェハカセットの一方からウェハを受取り、
オリフラ合せ後搬出し、該カセットのウェハが空になっ
たら他方のウェハカセットからウェハを受取るようウェ
ハホルダを横転して上述と同様にオリフラ合せを行って
次工程へ搬出し、その間に空になったカセットをキャリ
アボックスから取り出し、ウェハが入った新しいカセッ
トと交換することができ、以下これを繰り返すことによ
り作業を中止することなくオリフラの合ったウェハを連
続的に供給することができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図はウェハ接着装置
に適用した場合の全体の構成を示す説明図、第２図は一
方の押出装置の図示を省いたウェハ供給部の一部切欠側
面図、第３図〜第７図はオリフラ合せ装置を示し、第３
図は一部を断面して示す側面図、第７図は平面図、第！
図は第３図のＡ−Ａ線断面図、第６図は平面図、第７図
は位置決め用受孔部分の縦断面図、第ざ図、第９図は搬
送手段を示し、第♂図は横断面図、第９図は縦断面図で
ある。 ７・・・ウェハ供給部、２５・・・カセット、２７・・
・オリフラ合せ装置、３１・・・ウェハホルダ、３４．
３５・・・支持アーム、６９・・・回転ローラ第８図 第９図 ８す　１１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハを収納したウェハカセットを対向状態に設け、該
   ウェハカセットに対向してウェハを受取り回転可能に支
   持するよう一対の支持アームを有するウェハホルダを設
   け、該ウェハホルダを横転、起立できるよう転回可能に
   支持し、横転状態で受取つたウェハを起立させて回転し
   オリエンテーションフラットに合致したとき該ウェハの
   回転を停止するよう上記支持アーム間に回転ローラを設
   け、オリフラ合せ後上記ウェハホルダを横転させてウェ
   ハを搬出するようにしたウェハ供給装置。