JPH02106828U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02106828U JPH02106828U JP1469590U JP1469590U JPH02106828U JP H02106828 U JPH02106828 U JP H02106828U JP 1469590 U JP1469590 U JP 1469590U JP 1469590 U JP1469590 U JP 1469590U JP H02106828 U JPH02106828 U JP H02106828U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- rotating body
- wafer holder
- lateral position
- orientation flat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
Description
図面は本考案の実施例を示し、第１図はウエハ
接着装置に適用した場合の全体の構成を示す説明
図、第２図は一方の押出装置の図示を省いたウエ
ハ供給部の一部切欠側面図、第３図〜第７図はオ
リフラ合せ装置を示し、第３図は一部を断面して
示す側面図、第４図は平面図、第５図は第３図の
Ａ―Ａ線断面図、第６図は平面図、第７図は位置
決め用受孔部分の縦断面図、第８図、第９図は搬
送手段を示し、第８図は横断面図、第９図は縦断
面図である。 ７……ウエハ供給部、２５……カセツト、２７
……オリフラ合せ装置、３１……ウエハホルダ、
３４，３５……支持アーム、６９……回転ローラ
。
接着装置に適用した場合の全体の構成を示す説明
図、第２図は一方の押出装置の図示を省いたウエ
ハ供給部の一部切欠側面図、第３図〜第７図はオ
リフラ合せ装置を示し、第３図は一部を断面して
示す側面図、第４図は平面図、第５図は第３図の
Ａ―Ａ線断面図、第６図は平面図、第７図は位置
決め用受孔部分の縦断面図、第８図、第９図は搬
送手段を示し、第８図は横断面図、第９図は縦断
面図である。 ７……ウエハ供給部、２５……カセツト、２７
……オリフラ合せ装置、３１……ウエハホルダ、
３４，３５……支持アーム、６９……回転ローラ
。
Claims (1)
- ウエハカセツトを収納するキヤリアボツクスを
対向状態に設け、該キヤリアボツクス間にウエハ
のオリフラを合わせるオリフラ合せ装置を設ける
と共に該オリフラ合せ装置の下方にオリフラの合
つたウエハを受取るウエハ受取装置を位置させた
装置において、上記カセツトからウエハを受取る
ように上記オリフラ合せ装置にウエハホルダを設
け、該ウエハホルダを回転体に取付け、該回転体
を上記ウエハホルダが上記キヤリアボツクスの一
方に面する左横向位置と他方に面する右横向位置
の間で１８０°回転できるように、かつ該左横向
位置と右横向位置でウエハの中心が変らないよう
に上記ウエハホルダに支持されたウエハの中心部
を通る軸を中心として回転可能に上記回転体をフ
レームに取付けたことを特徴とするウエハ供給装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1469590U JPH034034Y2 (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1469590U JPH034034Y2 (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02106828U true JPH02106828U (ja) | 1990-08-24 |
| JPH034034Y2 JPH034034Y2 (ja) | 1991-02-01 |
Family
ID=31226127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1469590U Expired JPH034034Y2 (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH034034Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-02-19 JP JP1469590U patent/JPH034034Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH034034Y2 (ja) | 1991-02-01 |