JPS60166148U - オリエンテ−シヨン・フラツトアライナ - Google Patents

オリエンテ−シヨン・フラツトアライナ

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Publication number
JPS60166148U
JPS60166148U JP5382684U JP5382684U JPS60166148U JP S60166148 U JPS60166148 U JP S60166148U JP 5382684 U JP5382684 U JP 5382684U JP 5382684 U JP5382684 U JP 5382684U JP S60166148 U JPS60166148 U JP S60166148U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
orientation flat
wafer
stopper
roller
flat aligner
Prior art date
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Pending
Application number
JP5382684U
Other languages
English (en)
Inventor
山田　隆秀
寛 後藤
原　功三
林　光俊
成島　秀治
阿部　靖二
錦織　敦
Original Assignee
東京エレクトロン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東京エレクトロン株式会社 filed Critical 東京エレクトロン株式会社
Priority to JP5382684U priority Critical patent/JPS60166148U/ja
Publication of JPS60166148U publication Critical patent/JPS60166148U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案のオリエンテーションフラットアライ
ナの一実施例を示す斜視図、第２図から第６図までは装
置の動作を示すもので、第１図の要部の側部断面図であ
る。 １・・・ウェハ収納器、２・・・ウェハ、３・・・ロー
ラ、４・・・ベルト、５・・・保持台、６・・・ストッ
パ、７・・・キャリアライナ、訃・・駆動部、９・・・
取付台、１０・・・昇降装置、１１・・・ポールスクリ
ュ、１２・・・基台。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 （イ）取付台９に設置した、ウェハ奔回転させる２本の
    ローラ３と、該ローラβを回転する駆動部８と、ローラ
    ３によりウェハを浮かせる昇降装置１０とからなるウェ
    ハ回転装置と、 （ロ）ストッパ６およびストッパ昇降装置からなるスト
    ッパ装置と、 （ハ）ウェハ収納器１を上記取付台９上に搭載するキャ
    リアライナ７と、 を備え、前記２本のローラ３でウェハを回転させ、前記
    ストッパ６でオリエンテーション・フラット部を衝止し
    た後、再びローラ３でウェハを回転させて所定の位置に
    オリエンテーション・フラット部を設定するようにした
    ことを特　□徴とするオリエンテーション・フラットア
    ライナ。
JP5382684U 1984-04-11 1984-04-11 オリエンテ−シヨン・フラツトアライナ Pending JPS60166148U (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5382684U JPS60166148U (ja) 1984-04-11 1984-04-11 オリエンテ−シヨン・フラツトアライナ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5382684U JPS60166148U (ja) 1984-04-11 1984-04-11 オリエンテ−シヨン・フラツトアライナ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60166148U true JPS60166148U (ja) 1985-11-05

Family

ID=30575049

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5382684U Pending JPS60166148U (ja) 1984-04-11 1984-04-11 オリエンテ−シヨン・フラツトアライナ

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JP (1) JPS60166148U (ja)

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