JPS60166148U - オリエンテ−シヨン・フラツトアライナ - Google Patents
オリエンテ−シヨン・フラツトアライナInfo
- Publication number
- JPS60166148U JPS60166148U JP5382684U JP5382684U JPS60166148U JP S60166148 U JPS60166148 U JP S60166148U JP 5382684 U JP5382684 U JP 5382684U JP 5382684 U JP5382684 U JP 5382684U JP S60166148 U JPS60166148 U JP S60166148U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- orientation flat
- wafer
- stopper
- roller
- flat aligner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はこの考案のオリエンテーションフラットアライ
ナの一実施例を示す斜視図、第2図から第6図までは装
置の動作を示すもので、第1図の要部の側部断面図であ
る。 1・・・ウェハ収納器、2・・・ウェハ、3・・・ロー
ラ、4・・・ベルト、5・・・保持台、6・・・ストッ
パ、7・・・キャリアライナ、訃・・駆動部、9・・・
取付台、10・・・昇降装置、11・・・ポールスクリ
ュ、12・・・基台。
ナの一実施例を示す斜視図、第2図から第6図までは装
置の動作を示すもので、第1図の要部の側部断面図であ
る。 1・・・ウェハ収納器、2・・・ウェハ、3・・・ロー
ラ、4・・・ベルト、5・・・保持台、6・・・ストッ
パ、7・・・キャリアライナ、訃・・駆動部、9・・・
取付台、10・・・昇降装置、11・・・ポールスクリ
ュ、12・・・基台。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (イ)取付台9に設置した、ウェハ奔回転させる2本の
ローラ3と、該ローラβを回転する駆動部8と、ローラ
3によりウェハを浮かせる昇降装置10とからなるウェ
ハ回転装置と、 (ロ)ストッパ6およびストッパ昇降装置からなるスト
ッパ装置と、 (ハ)ウェハ収納器1を上記取付台9上に搭載するキャ
リアライナ7と、 を備え、前記2本のローラ3でウェハを回転させ、前記
ストッパ6でオリエンテーション・フラット部を衝止し
た後、再びローラ3でウェハを回転させて所定の位置に
オリエンテーション・フラット部を設定するようにした
ことを特 □徴とするオリエンテーション・フラットア
ライナ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5382684U JPS60166148U (ja) | 1984-04-11 | 1984-04-11 | オリエンテ−シヨン・フラツトアライナ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5382684U JPS60166148U (ja) | 1984-04-11 | 1984-04-11 | オリエンテ−シヨン・フラツトアライナ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60166148U true JPS60166148U (ja) | 1985-11-05 |
Family
ID=30575049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5382684U Pending JPS60166148U (ja) | 1984-04-11 | 1984-04-11 | オリエンテ−シヨン・フラツトアライナ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60166148U (ja) |
-
1984
- 1984-04-11 JP JP5382684U patent/JPS60166148U/ja active Pending
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