JPH03345A - 振動を遮断するためのマウント機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、装置を外部振動から遮断するためのマウント
機構に関する。

従来技術 共通の問題は、建物振動によび音響ノイズ、例えば大き
な話し声、拍手および口笛を含む外部の振動源から装置
ビ遮断することである。例えば干渉計のような光学装置
でレエ、ノイズはオプチカルベンチによってインターセ
プトされて干渉計へ送られ、ここでノイズは走査ミラー
速度を変え、こうして情報の収集を妨害する。

普通振動アイソレータにはゴムマウントが便われるが、
常用のツムマウント機構は運動の自由２許し過ぎて振動
を減衰させ、かつ光学アラインメントラ維持することが
できない。ｔムアイソレータ、例えばアイル−タリング
Ｚ水平方向の圧縮状態で保持することは上記のような運
動の自由２減じる。しかしゴムは非圧縮性の流体のよう
に挙動し、したがってかかる圧縮下では肉厚になる。こ
のような肉厚化は多分に制御不可能であり％支持に必要
とされるいくつかのマウントで一様ではない高さ？もた
らし、したがって装置を傾けさせる。

もう１つの問題は、装置のための支持ベンチとキャリジ
の通常の製作誤差から生じるミスアラインメントである
。マウントピン用の通常のスロットは広い許容範囲内の
変動への適合ケ許すことができる。しかしスロット内へ
圧縮して押込まれた常用の円筒形のビムピンでさえも振
動運動には十分には抵抗しないであろう。

発明が解決しようとする問題点 本発明の課題は、装置を外部振動から遮断するだめの新
規マウント機構を提供すること、誤差によるミスアライ
ンメントに対して自動補償するようなマウント機構乞提
供するこさ、かつ遮断マウントの実質的な肉厚化なしに
圧縮状態のエラストマーの遮断マウント乞利用したマウ
ント機構馨提供することである。

問題点？解決するための手段 上記のおよびその他の課題は、外部振動から構成される
装置のキャリジ部材部分と、このキャリジ部材ビ、それ
により装置？支持するために配置された少なくとも１つ
の、有利には３つの支持アセンブリを有するベンチ部材
と乞備えたマウント機構によって達成される。各支持ア
センブリはベンチ部材に固定された上向きのピンと中央
孔でもってこのピンにプレス嵌めされる、エラストマー
の遮断リングとを備えている。

キャリジ部材は少なくとも１つのアノ−チャを有し、各
アパーチヤは対応する支持アセンブリにほぼ整列せしめ
られている。アパーチャはスロット部分およびリング係
合部分ン持っている。リング係合部分は外壁によって形
成され、外壁は遮断リングへプレス嵌めされるが、スロ
ット部分は遮断リングで占められない。こうして遮断リ
ングはピンと外壁との間で圧縮保持され、遮断リングの
はみ出したエラストマーはスロット部分内へ膨張するこ
とができ、そのために遮断リングの実質的な肉厚化なし
に支持部材とアパーチャとの間の誤差によるミスアライ
ンメントラ十分に補償する。

優れた構成ではアノミーチャは中央で円形のホール部分
と重なっていて直径方向で互いに反対方向へ延びた２つ
の脚部として形成されたスロット部分として構成され、
ホール部分は外壁によって形成されている。ホール部分
はスロット部分に対して横方向の直径寸法を有し、かつ
スロット部分なエホール寸法よりも小さな幅と、ホール
寸法よりも大きな長さとビ持つ。

もう１つの構成では３つの支持アセンブリがそれぞれ装
置重量のＴ”支持するように配置されている。装置が鉛
直軸線ケ規定する質量中心を持つ場合、支持アセンブリ
は対応するア／クーヤとともにこの鉛直軸線を中心にし
て等角度間隔で配置されている。各スロットは鉛直軸線
から延びた半径上に整列した長手方向軸線を持っていな
ければならない。

クランプアセンブリは鉛直軸線近くに配置されており、
第１の中央孔と、キャリジ部材上の、各支持アセンブリ
の上方の位置に上方への突出部とを有するキャリジ部材
を備えている。ディスク部材が各突出部上に配置されて
いて、しかも第１の中央孔と整列せしめられた第２の中
央孔ヒ持っている。エラストマーの遮断・ξラドか第３
の中央孔２有し、かつこの第３の中央孔でもって第１と
第２の中央孔と整列してディスク部材上に保持されてい
る。締付けねじがディスク部材または、キャリジ部材と
接触せずに第１、第２、＠３の孔を貫通して延びていて
、しかも・ξラドとディスク部材とを圧縮して保持する
ようにベンチ部材と係合している。

実施例 第１図には本発明を組入れたマウント機構１０が全体的
に示されている。装置１２、例えば光学干渉計機構がベ
ンチ部材１４、例えばオゾチャルベンチ上に取付けられ
ており、ベンチはテーブル１８上に置くための支持部材
１６を備えていてよい。支持アセンブリ２０，２２（２
つ見える）乞備えたマウント機構は装置１２をベンチ１
４土で取付は支持する。装置の支持アセンブリへの結合
は装置の１部分、普通Ｑ工廠部部分によって行なわれ、
これは実施例ではキャリジ部材２６として構成されてい
る。

ｗＪ２図はベンチ部材１４と３つの支持アセンブ’Ｊ２
０，２２．２牛の平面図である。更に第３図には支持ア
センブリ２０の詳細が示されている。支持アセンブリを
エベンチ部材１４から上方へ突出したボス２８を備えて
いてよく、このボスの上面は水平表面３０ｙａ−有して
いる。メスの直径よりも小さな直径を持つ上向きのピン
３２が中央でボスに固定されており、ベンチに対してほ
ぼ垂直を成している。ピンは、図示されているようにベ
ンチ１４と同−片から製作してもよく、あるいはボスの
穴へねじ結合、他の方法で固定してもよい。

ウレタゴン、シリコン等から製作されたエラストマー遮
断リング３４は中央孔３６ビ有し、中央孔でもってピン
３２にプレス嵌めされているので、エラストマー遮断リ
ングはボス２８の上面３０に支持されている。有利には
円形の遮断リングは直径の約５　’＝　２の厚みを有し
、かつ中央孔はリングの厚みに匹敵する直径ン持つ。

しかしこれらの方法は本発明にとって厳密なものではな
（、遮断リングが本明細書で記述されるように機能する
ような寸法がより一般的で３）る。

第十図は支持アセンブリ２０，２２，２４Ｌ第２〜図）
ン受容する、これらとほぼ整列せしめられたアパーチャ
３７，３８．３９’ｌ’下から見た図である。第５図に
はキャリジ２６の下から見た部分図が示されており、内
部に遮断リング３４乞有するアパーチヤ３８が所定位置
のげン３２とともに示されている。アパーチャヲ持つ、
キャリジからの突出部４０は必要によりキャリジをベン
チ１４から引離して保持する。アパーチヤは２部分の外
壁４２によって形成され、外壁は遮断リング３４へプレ
ス嵌めされている。

キャリジ部材２６Ｆ’Ｊのアノミーチャ３８の底部の下
面の表面４４（第３図）は遮断リング３４のための別の
支持を行なう。ア・ぐ−チャ底部の凹部４６はピン３２
の端部に対する空間乞提供し、したがって支持は実際に
ピン３２ではなく、遮断リング３４によって行なわれる
。

第十図、第５図に示されているように、本発明によれば
アＪ−チャ３８はスロット部分４８として形成され、ス
ロット部分は中央でホール部分５０と重なっている。ホ
ール部分は遮断リング３４へプレス嵌めされるアパーチ
ヤの外壁４２によって形成されていて、アノミーチャの
リング係合部分を構成している。ホール部分５０はスロ
ット部分４８を横切る方向のホール寸法Ｄ１例えば図示
の円形リングの場合にはホール直径Ｚ持つ。スロット部
分はホール寸法りよりも小さな幅Ｗとホール寸法りより
も大きな長さＬＹ持つ。スロット部分は有利にはホール
部分から直径方向に互いに反対側へ延びた２つの脚部５
２．５４として構成されている。スロットは凹部４６（
第３図）ヲ与えるためにホール部分よりも若干法（ても
よい。本発明の特徴はスロット部分が遮断リング３４に
よって占められないことである。

遮断リング３４をエピン３２とホール部分の外壁４２と
の間で圧縮保持され、この場合に遮断リングのエラスト
マーあふれ部分（すなわち膨張部分）は、第５図の符号
５６，５δで示されているようにスロット部分内へ膨張
することができる。したがって圧縮されたエラストマー
の膨張は遮断リングの実質的な鉛直方向の肉厚化なしに
行なわれる。一般にを工かかる肉厚化はリングの厚みの
１％よりも小さくなければならない。更に後述されるよ
うに支持アセンブリドアパーチャとの間の誤差によるミ
スアラインメントを十分に補償するためには膨張はスロ
ット部分の一方または他方の脚部内へより大きくなって
もよい。

遮断リングと対応するホール部分は有利に、かつ好都合
には円形である。ただし本発明内に８いてはリングおよ
びホールは方形または菱形等であってもい。いずれの場
合にも本明細書で定義されたようにホール寸法Ｇエスロ
ツ）ｉ分乞横切る方向のホールの最大寸法である。ホー
ル寸法は有利にをニスロフト幅よりも大ぎい。他の形状
も実際的であろ５；例えばアパーチャは単にスロットか
ら成っていてよく、この場合にを工遮断リングはスロッ
ト内へのプレス嵌め乞許すためには方形または長方形で
あってよい。しかし直線形の側面を持つ単なるスロット
に対しては丸いリングは完全には十分ではない、それと
いうのもあふれ部分のためのスロット脚部ｌ残して長方
形スロットへ丸いりング乞プレス嵌めしたとしてもスロ
ットの方向でも、これに対する横方向においても必ずし
も振動運動ン遮断しないかまたは位置を制限しない。本
発明の別の変更形の例とじてをニスロット中央に狭部が
あり、“Ｈ１字形のリングがスロット内へプレス嵌めさ
れている。′Ｈ″の中央にはピンのための孔が設けられ
ている。

しかし既述したように単なる丸いリングが有利である。

きわめて効果的な、マウント機構においてはホール部分
台工円形であり、かつ第５図に示されているように中心
軸線を中心にしてスロット部分の各側に約１２０°の角
度にわたって延びた外壁によって形成されている。

一般に装置の支持のためにシエ複数の支持アセンブリが
必要であり、対応する数のア・ぐ−チャが支持アセンブ
リの位置に対応して配置される。

第２図、第冬図に示されているようにかかる支持部材が
３個存在すると最適である。

各支持アセンブリが装置重量の丁馨支えるように配置さ
れると、すなわち均等化支持が最良の遮断に近づくこと
が測定された。はぼ水平のベンチ部材においてキャリジ
アセンブリ乞包含した装置の質量中心７含む鉛直軸線６
０乞中心にしてほぼ等角度間隔を置いて支持アセンブリ
および対応するアパーチヤが配置されると遮断Ｑニー層
改善される。これは第２図、第４図に３つのアセンブリ
および対応するアパーチャの１２０°間隔として示され
ている。また各スロットは第牛図に示されているよ５ｔ
ｌｃ鉛直軸線から延びた半径上に整列した長手方向軸線
６２を持っていなければならない。この整列はこの機構
の許容範囲内の寸法上の変動ビ補償する性能ン最適化す
る。

支持アセンブリがほぼ同一であること（工望ましいが、
精確な製作は非実用的である。上述のように圧縮された
エラストマーのはみ出し部分はスロット部分はスロット
部分内へ流動する。

いくつかの遮断リングの圧縮の相違は、この機構の製作
における通常の誤差内の寸法変動から予想スべきである
。したがってかかる変動？補償するためにエラストマー
がスロット部分の脚部へ不均一に流入することｔ許す、
本発明によるマウント機構の能力は容易に認められるで
あろう。

更に上述のようにエラストマーのあふれまたは流出はリ
ングの肉厚化馨もたらすことなしにスロット部分に沿っ
て起る。複数の支持χ用いた場合このことは重要である
、それというのも僅かに異なる圧縮下の数個のリングの
一様でＧ工ない肉厚化は、ミスアラインメントｓよびま
た一様ではない振動遮断ン伴なう装置の傾倒をもたらす
からである。この問題が本発明によって解決される。

１例としてアセンブリは直径０．４７６ｍ、長さ０．５
０（ＩＩＩのピン、直径１．３４６儂のボスを有してい
る。アパーチヤのホール直径は１，４２７儂であり、ス
ロット部分は全長１，７Ｑｍ、幅０．７（［％である。

アパーチャの深さは０．５２８偏である。遮断リングは
直径１．４２７０ｅｌ、厚さ０．４８８ｍであり、孔径
【工０．４７６ｍである。

遮断リングは固いウレタンゴムかも製作されているのが
望ましい。光学装置の重量が約２　Ｋ９の場合に３個の
アセンブリヲ工質量中心から水平方向に約４．５−離さ
れている。

マウント機構の向きは重要ではない。すなわちこの機構
は横向きまたはさかさまでも使用することができる。さ
かさまの場合では、キャリジは吊されるか（装置が重す
ぎない場合）、またはキャリジとベンチ部材とは役割を
交替することができる、すなわちピンはキャリジへ固定
してもよい。

第６図に示されたもう１つの実施例では、クランプアセ
ンブリ６４がキャリジ２６χベンチ部材１４上で積極的
に保持する作用７行ない、遮断リング３４に・工この作
用は課せられていない。支持アセンブリ２０′　　は上
記の例とほぼ同じであるが、ただしボス２８はボスの下
に凹所６６を形成するようにグイ加工で製作され、かつ
ピン３２Ｇエゼスを貫通した孔内ヘプレス嵌めされてい
る。上方への突出部６８が各支持アセンブリ上方のキャ
リジ部材２６上面に形成されていて、板金等から製作さ
れたクランプディスク７０に対する脚を提供する。

クランプアセンブリ６４は支持アセンブリ間にあって、
有利に（工装置の重力中心の近くに位置している。更に
アセンブリは遮断リングに似た形状と材料から成るエラ
ストマーの遮断・ξツド７２を備えている。遮断・ξラ
ドは有利にを工遮断リンク゛３４の寸法の約２倍の寸法
を有し、かつ下面にクランプディスク７０の中央孔７４
内へ挿入するための７ランジ７３を備えてＳつ、これに
より）ξラドをセンタリングする。ノミラド上にはワッ
シャ７６が設けられて２つ、締付けねじ７８＆エキヤリ
ジ内の寸法の大きな孔８２円ンルーズに貫通し、ベンチ
内のねじ山８４と係合している。締付けねじ７８Ｇエデ
イスクまたはキャリジと直接接触してはいけない。締付
けねじ７８はパッド７２とディスク７０？クランプアセ
ンブリにわたる軽い圧縮下に保持しており、クランプア
センブリの数を工上記のように３個が有利である。この
クランク構成は振動の吸収２妨げることなしに装置を保
持することが判明し・た。更にクランシアセンブリは装
置の傾倒を許す。

ここで述べた有利な構成を備えたマウント機構を組入れ
た光学的な干渉計装置での試験によれば光学アラインメ
ントｖ十分に維持しながら振動の少なくとも８０％の削
減が得られることが示された。

【図面の簡単な説明】

第１図を工本発明ン組入れた機構の斜視図、第２図は第
１図の機構のベンチ部材部分の平面図、第３図は本発明
によるマウント機構の横断面図、第牛図は本発明による
アパーチャ馨備えたキャリジ部材Ｚ下から見た図、第５
図は第４図のアパーチャの詳細図、ＷＪ６図は本発明の
マウント機構のもう１つの実施例の横断面図である。 １０・・・マウント機構、１２・・・装置、１４・・・
ベンチ部材、１６・・・支持部材、１８・・・テーブル
、２０．２０’、２２，２４・・・支持アセンブリ、２
６・・・キャリジ部材、２８・・・ボス、３０・・・水
平表面、３２・・・ピン、３４・・・遮断リング、３６
，７牛・・・中央孔、３７，３８．３９・・・ア・ぞ−
チャ、４ｏ・・・突出部、４２・・・外壁、４４・・・
表面、４６・・・凹部、４８・・・スロット部分、５０
・・・ホール部分、５２．５４・・・脚部、６０・・・
鉛直軸線、６２・・・長手方向軸線、６４・・・クラン
シアセンブリ、６６・・・凹所、６８・・・突出部、７
０・・・フラングディスク、７２・・・遮断パッド、７
３・・・フランジ、８２・・・孔、７６・・・ワッシャ
、７８・・・締付けねじ、８０・・・ピン部分、８４・
・・ねじ山。 ＞５− ＦＩＧ、３ ＦＩＧ、５ 旦■Σ互 手 続 補 正 書 （方式） 事件の表示 平成　１　年　特許願　第　３３８８７３号発明の名称 振動を遮断するためのマウント機構 ３゜ 補正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　　ザ・ノーキン−エルマー・ゴー２レイジヨン４
゜

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、装置を外部振動から遮断するためのマウント機構に
   おいて、 外部振動から遮断される装置のキヤリジ部材部分を備え
   られており、かつこのキヤリジ部材を、したがつて装置
   を支持するために配置された少なくとも１つの支持アセ
   ンブリを有するベンチ部材を備えており； 支持アセンブリがベンチ部材に対して垂直に固定された
   ピンと、中央孔でもつてこのピンにプレス嵌めされたエ
   ラストマーの遮断リングとを備えており； キヤリジ部材が支持アセンブリに対してほぼ整列せしめ
   られたアパーチャを持ち、このアパーチヤがスロット部
   分とリング係合部分とを有しており、リング係合部分が
   外壁により形成されており、外壁が遮断リングへプレス
   嵌めされていて、しかもスロット部分が遮断リングによ
   り占められていず； 遮断リングがピンと外壁との間で圧縮保持されており、
   この場合に遮断リングのはみ出たエラストマー部分がス
   ロット部分内へ膨張することができるので、遮断リング
   の実質的な肉厚化なしに支持部材とアパーチヤとの間の
   誤差によるミスアラインメントを十分に補償するように
   なつていることを特徴とする、振動を遮断するためのマ
   ウント機構。 ２、支持アセンブリが更にベンチ部材から突出したボス
   を備えており、ピンがボスに固定されており、遮断リン
   グがボスに支持されるようにボスがピンの直径よりも大
   きな直径を持つ、請求項１によるマウント機構。 ３、アパーチヤが中央においてホール部分へ重なつたス
   ロット部分として構成されており、ホール部分が外壁に
   よつて形成されていて、しかもスロット部分に対して横
   方向の最大ホール寸法を有しており、スロット部分がホ
   ール寸法よりも小さな幅およびホール寸法よりも大きな
   長さを有している、請求項１記載のマウント機構。 ４、ホール部分が、ホール直径がホール寸法である円形
   のホールの部分である、請求項３記載のマウント機構。 ５、ホール部分が中心軸線を有していて、しかも外壁が
   この中心軸線を中心にして約１２０゜の角度にわたつて
   スロット部分の各側に延びている、請求項４記載のマウ
   ント機構。６、スロット部分がリング係合部分から直径
   方向で互いに反対方向に延びた２つの脚部として構成さ
   れている、請求項１記載のマウント機構。 ７、複数の支持アセンブリが設けられており、かつ等し
   い数のアパーチヤが支持アセンブリの位置に対応した位
   置に設けられている、請求項１記載のマウント機構。 ８、支持アセンブリおよびアパーチヤの数がそれぞれ３
   である、請求項７記載のマウント機構。 ９、支持アセンブリが装置重量のそれぞれ１／３を支持
   するように配置されている、請求項８記載のマウント機
   構。 １０、ベンチ部材がほぼ水平状態にあるときに装置が鉛
   直軸線の位置を規定する質量中心を有し、かつスロット
   がそれぞれ中心軸線から延びた半径上に整列した長手方
   向軸線を持つ、請求項７記載のマウント機構。 １１、ベンチ部材がほぼ水平状態にあるときに装置が鉛
   直軸線の位置を規定する質量中心を有し、かつ支持アセ
   ンブリおよび対応するアパーチヤがこの鉛直中心を中心
   にして等角度間隔を置いて位置している、請求項７記載
   のマウント機構。 １２、更に支持アセンブリ間に配置されたクランプアセ
   ンブリを備えており、クランプアセンブリが、第１の中
   央孔と各支持アセンブリ上方位置のキヤリジ部材上に上
   方への突出部とを有するキヤリジ部材を備えており、各
   突出部とを有するキヤリジ部材を備えており、各突出部
   上に配置されていて、しかも、第１の中央孔と整列した
   第２の中央孔を有するディスク部材を備えており、第３
   の中央孔を有していて、しかもこの第３の孔が第１と第
   ２の孔と整列するようにディスク部材上に保持されたエ
   ラストマーの遮断パッドを備えており、かつディスク部
   材またはキヤリジ部材と接触せずに第１、第２、第３の
   孔を貫通して延びた締付けねじを備えており、締付けね
   じがパツドおよびディスク部材を圧縮保持するようにベ
   ンチ部材へ係合している、請求項７記載のマウント機構
   。 １３、ベンチ部材がほぼ水平の状態にあるときに装置が
   鉛直軸線の位置を規定する質量の中心を有しており、支
   持アセンブリおよび対応するアパーチャが鉛直軸線を中
   心にして等角度間隔を置いて位置し、かつクランプアセ
   ンブリが鉛直軸線近くに配置されている、請求項１２記
   載のマウント機構。 １４、装置を外部振動から遮断するためのマウント機構
   において、 外部振動から遮断される装置のキヤリジ部材部分えお備
   えており、かつそれぞれ装置重 量の１／３を支えるためにキヤリジ部材の下に配置され
   た３つの支持アセンブリを有するベンチ部材を備えてお
   り； 各支持アセンブリがベンチ部材から上方へ突出したボス
   と、このボスに中央で固定された上向きのピンと、中央
   孔でもつてこのピンへプレス嵌めされた円形のエラスト
   マーの遮断リングとを備えており、ボスがピンの直径よ
   りも大きな直径を持つているために遮断リングがボスに
   支持されており； キヤリジ部材が、それぞれ対応する支持アセンブリにほ
   ぼ整列せしめられた３つのアパーチヤを備えており、各
   アパーチャが外壁によつて形成された円形のホール部分
   に対して中央で重なつたスロット部分として構成されて
   おり、外壁が遮断リングへプレス嵌めされていて、しか
   もスロット部分が遮断リングによつて占められていず、
   ホール部分が更にスロット部分に対して横方向の直径寸
   法を有しており、スロット部分がホール部の直径よりも
   小さな幅とこの直径よりも大きな長さを有しているため
   にスロット部分が遮断リングによつて占められていず、
   ホール部分が更に中心軸線を持つており、外壁がこの中
   心軸線を中心にしてほぼ１２０゜の角度にわたつてスロ
   ット部分の各側に延びており； スロット部分がホール部分から直径方向で互いに反対の
   方向に延びた２つの脚部として形成されており； 装置が鉛直軸線の位置を規定する質量中心を有しており
   、支持アセンブリおよび対応するアパーチヤが鉛直軸線
   を中心にして等角度間隔を置いて位置しており、かつ各
   アパーチャのスロット部分が鉛直軸線から延びた半径上
   に整列した長手方向軸線を有しており； 遮断リングがピンと外壁との間に圧縮保持されており、
   この場合に遮断リングのはみ出たエラストマー部分がス
   ロット部分内へ膨張することができるので、遮断リング
   の実質的な肉厚化なしに支持部材とアパーチャとの間の
   誤差によるミスアラインメントに十分に補償するように
   なつていることを特徴とする、振動を遮断するためのマ
   ウント機構。