JPH03283651A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH03283651A JPH03283651A JP8420890A JP8420890A JPH03283651A JP H03283651 A JPH03283651 A JP H03283651A JP 8420890 A JP8420890 A JP 8420890A JP 8420890 A JP8420890 A JP 8420890A JP H03283651 A JPH03283651 A JP H03283651A
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- Japan
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- diode
- capacitor
- ion implantation
- electrode
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- Pending
Links
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
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Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野)
本発明は半導体装置に関し、特に、MOS型半導体集積
回路装置におけるコンデンサの構造に関する。
回路装置におけるコンデンサの構造に関する。
(従来の技術)
従来のMOS型半導体集積回路装置におけるコンデンサ
の代表的な構造が第2図(a)に示される。本従来例は
、N型半導体基板1上に、第1の電極であるP−領域2
が形成され、薄い酸化膜4を介して第2の電極であるポ
リシリコン5が形成されている。また、第1の電極であ
るP−領域2はアルミ配線に接続されるため、良好なオ
ーミックコンタクトをとるためのP9領域6が例えば正
に帯電したボロイオンをイオン注入することにより形成
されている。P−領域2、薄い酸化WA4、ポリシリコ
ン5とでMOS構造のコンデンサが形成されており、ま
た、P−領域2とN型半導体基板1との接合面で寄生ダ
イオードD3.寄生コンデンサC3が形成されている。
の代表的な構造が第2図(a)に示される。本従来例は
、N型半導体基板1上に、第1の電極であるP−領域2
が形成され、薄い酸化膜4を介して第2の電極であるポ
リシリコン5が形成されている。また、第1の電極であ
るP−領域2はアルミ配線に接続されるため、良好なオ
ーミックコンタクトをとるためのP9領域6が例えば正
に帯電したボロイオンをイオン注入することにより形成
されている。P−領域2、薄い酸化WA4、ポリシリコ
ン5とでMOS構造のコンデンサが形成されており、ま
た、P−領域2とN型半導体基板1との接合面で寄生ダ
イオードD3.寄生コンデンサC3が形成されている。
本構造の等価回路図が第2図(b)に示される。
(発明が解決しようとするfi題)
P0@域6を形成するためのイオン注入時に、コンデン
サ7の両極を構成するポリシリコン5とP−領域2とは
P−領域2に蓄えられた正電荷は、順方向ダイオードD
3を通してN型半導体基板1に容易に流れる。これによ
り両極間に電位差が生じる。すなわち、イオン注入時に
おける等価回路は第2図(C)のようになるので、A−
8間の電位差はそのままコンデンサ7の両極間の電位差
となる。この場合、その電位差が薄い酸化膜4の絶縁耐
圧以上となると絶縁破壊が生じ、コンデンサとして機能
しなくなるという欠点がある。
サ7の両極を構成するポリシリコン5とP−領域2とは
P−領域2に蓄えられた正電荷は、順方向ダイオードD
3を通してN型半導体基板1に容易に流れる。これによ
り両極間に電位差が生じる。すなわち、イオン注入時に
おける等価回路は第2図(C)のようになるので、A−
8間の電位差はそのままコンデンサ7の両極間の電位差
となる。この場合、その電位差が薄い酸化膜4の絶縁耐
圧以上となると絶縁破壊が生じ、コンデンサとして機能
しなくなるという欠点がある。
(課題を解決するための手段)
本発明の半導体装置は、
N型半導体基板内にP型の不純物導入領域が形成され、
該P型領域に接してN型の不純物導入領域が形成され、
該N型の不純物導入領域上に絶縁膜が形成され、該絶縁
膜上に電極層が形成され、これにより、該電極層と前記
N型の不純物導入領域とを両極とするコンデンサが形成
されている。
該P型領域に接してN型の不純物導入領域が形成され、
該N型の不純物導入領域上に絶縁膜が形成され、該絶縁
膜上に電極層が形成され、これにより、該電極層と前記
N型の不純物導入領域とを両極とするコンデンサが形成
されている。
(作 用)
イオン注入時にコンデンサの画電極が帯電する正の電荷
に対し、逆方向のダイオードを介在させ、正電荷の移動
を阻止することにより、コンデンサの両電極間に電位差
か生じず、これにより絶縁破壊が防止される。
に対し、逆方向のダイオードを介在させ、正電荷の移動
を阻止することにより、コンデンサの両電極間に電位差
か生じず、これにより絶縁破壊が防止される。
(実施例)
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第1図(a)は本発明の半導体装置の一実施例の縦断面
図、第1図(b)は第1図(a)の等価回路図、第1図
(C)はイオン注入時における第1図(a)の等価回路
図である。
図、第1図(b)は第1図(a)の等価回路図、第1図
(C)はイオン注入時における第1図(a)の等価回路
図である。
本実施例は、N型半導体基板l上に逆導電型であるP−
領域2が形成され、P−領域2上に、第1の電極である
N型領域3が形成され、絶縁膜である薄い酸化PA4を
介して第2の電極であるポリシリコン5が形成されてい
る。ここで、第1の電極であるN領域3はアミル配線に
接続されるため、良好なオーミックコンタクトをとるた
めのN+領域6が例えば正に帯電したヒ素のイオン注入
により形成される。
領域2が形成され、P−領域2上に、第1の電極である
N型領域3が形成され、絶縁膜である薄い酸化PA4を
介して第2の電極であるポリシリコン5が形成されてい
る。ここで、第1の電極であるN領域3はアミル配線に
接続されるため、良好なオーミックコンタクトをとるた
めのN+領域6が例えば正に帯電したヒ素のイオン注入
により形成される。
本実施例の特徴点は、N領域3とP−領域2によってダ
イオードD1が形成されていることであり、このダイオ
ードDIの逆方向耐圧は非常に大きく、したがって等測
的に介在する抵抗R3の抵抗値は非常に大きくなり、電
気的にはオープンになっていると考えてさしつかえない
、したがつて、イオン注入時におけるコンデンサ7の両
端の電位差はほとんどOvであり、絶縁破壊は起こらな
い。
イオードD1が形成されていることであり、このダイオ
ードDIの逆方向耐圧は非常に大きく、したがって等測
的に介在する抵抗R3の抵抗値は非常に大きくなり、電
気的にはオープンになっていると考えてさしつかえない
、したがつて、イオン注入時におけるコンデンサ7の両
端の電位差はほとんどOvであり、絶縁破壊は起こらな
い。
以上説明したように本発明は、イオン注入時に帯電する
正電荷の移動を逆方向ダイオードにより阻止することに
より、コンデンサ両電極間に電位差が生じず、これによ
り絶縁破壊を防止できる効第1図(a)は本発明の半導
体装置の一実施例の縦断面図、第1図(b)は第1図(
a)の等価回路図、第1図(C)はイオン注入時におけ
る第1図(a)の等価回路図、第2図(a)は従来例の
縦断面図、第2図(b)は第2図(a)の等価回路図、
第2図(C)はイオン注入時における第2図(a)の等
価回路図である。
正電荷の移動を逆方向ダイオードにより阻止することに
より、コンデンサ両電極間に電位差が生じず、これによ
り絶縁破壊を防止できる効第1図(a)は本発明の半導
体装置の一実施例の縦断面図、第1図(b)は第1図(
a)の等価回路図、第1図(C)はイオン注入時におけ
る第1図(a)の等価回路図、第2図(a)は従来例の
縦断面図、第2図(b)は第2図(a)の等価回路図、
第2図(C)はイオン注入時における第2図(a)の等
価回路図である。
1−N型半導体基板、
2−P−領域、 3−N領域、4・・・薄い
酸化膜、 5・・・ポリシリコン、6・・・N
+領領域 7・・・コンデンサ、CI、C2
−・・コンデンサ。
酸化膜、 5・・・ポリシリコン、6・・・N
+領領域 7・・・コンデンサ、CI、C2
−・・コンデンサ。
R2・・・寄生抵抗、 R3・・・等価抵抗。
DI、D2・・・寄生ダイオード。
Claims (1)
- 1、N型半導体基板内にp型の不純物導入領域が形成さ
れ、該P型領域に接してN型の不純物導入領域が形成さ
れ、該N型の不純物導入領域上に絶縁膜が形成され、該
絶縁膜上に電極層が形成され、これにより、該電極層と
前記N型の不純物導入領域とを両極とするコンデンサが
形成されている半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8420890A JPH03283651A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8420890A JPH03283651A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03283651A true JPH03283651A (ja) | 1991-12-13 |
Family
ID=13824067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8420890A Pending JPH03283651A (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03283651A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5773872A (en) * | 1995-10-25 | 1998-06-30 | Nec Corporation | Semiconductor device having an integrated differential circuit with an improved common-mode rejection ratio (CMRR) |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP8420890A patent/JPH03283651A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5773872A (en) * | 1995-10-25 | 1998-06-30 | Nec Corporation | Semiconductor device having an integrated differential circuit with an improved common-mode rejection ratio (CMRR) |
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