JPH03283179A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH03283179A
JPH03283179A JP2083758A JP8375890A JPH03283179A JP H03283179 A JPH03283179 A JP H03283179A JP 2083758 A JP2083758 A JP 2083758A JP 8375890 A JP8375890 A JP 8375890A JP H03283179 A JPH03283179 A JP H03283179A
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writing
sense amplifier
write
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JP2083758A
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Masao Taguchi
眞男 田口
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Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の概要〕 大容量の半導体記憶装置、特にDRAFIに適用して高
速かつ誤動作の可能性のない列選択回路方式に関し、 センスアンプの動作と同時に列選択線を駆動しても支障
がなく、また書込み時のデータバス残留電圧の影響をセ
ンスアンプが受けることがないようにすることを目的と
し、 センスアンプと列選択スイッチとメモリセルを有するブ
ロック単位で複数に分割されたメモリセルアレーの各ブ
ロックのビット線をデータバスへMOSトランジスタの
ゲートとソース・ドレインを介して接続し、各ブロック
の列選択スイッチを続出し用と書込み用で別にし、更に
、共通の列デコーダの出力によって駆動される列選択線
も、読出し用と書込み用で別にし、読出し時には読出し
用列選択線で続出し用列選択スイッチをオンにし、書込
み時には書込み用列選択線で書込み用列選択スイッチを
オンにするように構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、大容量の半導体記憶装置、特にDRAMに適
用して高速かつ誤動作の可能性のない列選択回路方式に
関する。
半導体記憶装置は大容量になると、ビット線(列)を分
割しその各々にセンスアンプを設けて分割セルアレー構
造をとるものがある。本発明はこのビット線、センスア
ンプ、およびデータバスの接続部に係るものである。
〔従来の技術〕
第7図に分割セルアレー形式のDRAM (ダイナミッ
クRAM)の−例t−示す。メモリセルアレーMCAは
本例ではMCA1〜4の4つに分割され、各群にセンス
アンプSA、データバスDB、D百(添字1,2.・・
・は相互を区別するもので、こ\では適宜省略する)、
データバスアンプDBA、書込みアンプWAなどが付属
する。各群のビット線BL、  ■は列選択スイッチQ
rより各々のデータバスDBへ接続する。各群の列選択
スイッチの開閉は、列選択線C3Lを通して与えられる
列デコーダCDの出力により行なわれる。
動作は周知の通りで、機運すれば、図示しないワード線
を選択すると、選択ワード線に属するメモリセルの記憶
データがビット線BL、 ■に現われ、センスアンプS
Aにより増幅され、列デコーダCDが列選択線C3L1
をHレベル(選択レベル)にすると、列選択スイッチQ
、−Q、がオンになり、ビット線BLI −B L 4
の出力がデータバスDB1〜BL4へ出て行く。これら
のデータバスの出力はアンプDBAで増幅され、そして
1ビツト出力型なら1組だけが選択されてそれが外部出
力になる。書込みの場合は書込みアンプWAが動作し、
この出力がデータバスDB、選択されてオンになった列
選択スイッチQ、当該ビット線BL■の経路で、選択ワ
ード線に属するメモリセルに入り、該セルに書込みを行
なう。
なお分割メモリセルアレーでは、各メモリセルアレーM
CAに列デコーダを置く方式もあるが、これはスペース
を要するので、第7図のように列デコーダは各MCAに
共通にし、各MCAを通って延びる列選択線で各MCA
の列選択をする方式が最近では主流になっている。
第7図のように、従来、DRAMの列選択手段は、列デ
コーダの出力をセルアレーの分割ブロックごとに置かれ
ている列選択スイッチQに接続するものであった。列選
択スイッチはデータバスDB。
DBとビット線BL、 ■もしくはセンスアンプSAを
列デコーダの駆動によって接続し、読出し動作時にはセ
ンスアンプSAによってデータバスにプリチャージされ
た電荷を引き抜き、データバスDB、D百の負荷素子に
対して適当な出力信号を発生させる。書込時にはデータ
バスDB、D百に与えた大振幅によってセンスアンプを
構成するフリップフロップ回路を駆動する。
たとえばメモリセルアレーMCA1のビット線BL1.
BLIに接続されたメモリセルの記憶データを読出す場
合、列デコーダの駆動で列選択線C5Llが駆動され、
これによってQ8.Qzがオンになり、センスアンプS
AとデータバスDBI、  DBIが接続される。デー
タバスは予めVcc  Vth (Vccは電源電圧、
■いはMOSトランジスタのしきい値電圧でたとえばV
cc=5 V、  V14、= I V )程度の電圧
にセットされており、センスアンプSAは続出データの
“0”■”に応じて一方のデータバス電位を引下げる。
ここに現れる電圧振幅は0゜5V程度である。
一方、書込みのときは、データバスDB、DBに接続さ
れた書込アンプWAがデータバスに電源電圧いっばいの
大振幅を与えるので、選択(導通している)Q14Q、
を通じてセンスアンプSAは書込データに応じて反転す
る。選択メモリセルはセル内のトランスファゲート(M
OS)ランジス夕で、そのゲートはワード線)を通じて
、この電圧をセルのキャパシタに蓄える。
〔発明が解決しようとする課題〕
ここで、従来の方式においては、問題が下記の2つあっ
た。これらの問題は、実際にはタイミングをうまく調整
することで現れないのであるが、そのためには常にタイ
ミングマージンをとっておく必要があるため、メモリの
アクセスをある程度以上速くしようとすると、マージン
不足で限界が生じてしまう。
■センスアンプが動作し始めてからある程度時間(マー
ジン)が経ってからでないと、列選択線を駆動できない
。このマージンが不足するとセンスアンプは誤動作する
。この理由は、センスアンプが動作しはじめた初期は、
ビット線に生じているメモリセル出力(約200mV)
電圧があまり増幅されておらず、この状態で列選択スイ
ッチが導通してしまうと、データバスにある電圧がセン
スアンプに入り、センスアンプはその影響で動作が不安
定になってしまうためである。このため、センスアンプ
が動作してから15〜20nsあとに列選択スイッチを
駆動する。従来方式ではこのタイミングマージンが必要
である。
■書込みを行ったあとはデータバスに大振幅が残ってい
るので、これを完全にリセットしてからでないと読出し
時にセンスアンプは前の書込データの影響を受けて誤動
作する。
以上のことから、DRAMではセンスアンプ動作初期の
不安定な時期にデコーダを動作させることができず、ア
クセス高速化に限界があった。
本発明はこの点を改善し、センスアンプの動作と同時に
列選択線を駆動しても支障がなく、また書込み時のデー
タバス残留電圧の影響をセンスアンプが受けることがな
いようにすることを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
第1図に示すように本発明では、ビット線BL。
BLとデータバスDB、D百とを直接接続せず、トラン
ジスタQ r s + Q + aを介して接続する。
また列選択線は、読取り用CLRと書込み用CLWに分
け、書込ろ用列選択線CLWは、ビット線BL、 ■を
データバスDB、  計画へ直接接続するトランジスタ
Q目、Q Izをオン/オフし、読取り用列選択線CL
Rは、トランジスタQ + x + Q I<の有効/
無効を制御するトランジスタQ Is + Q l &
をオンオフする。
この図のSAP、SANはセンスアンプSAの高/低電
位側電源線、MCはメモリセルである。
Dいは入力(書込み)データ、I)outは出力(読出
し)データである。全図を通してそうであるが、同じ部
分には同じ符号が付しである。
読出し側の列選択スイッチになるトランジスタQ + 
b +  Q Iqは、第1図(a) テはトランジス
タQ+x。
Q + aのグランド側であるが、これは同図(ロ)に
示すようにデータバス側であってもよい。
〔作用〕
この構成では、ビット線とデータバスの間にトランジス
タQ +3+ Q Iaを介在させるので、データバス
にどんな電圧があってもビット線にはこの影響がない。
従ってセンスアンプSAの動作と同時に読取り用列選択
線CLRを駆動しても何ら支障はない。この構成ではビ
ット線の電圧つまりセンスアンプが増幅したデータがト
ランジスタQ13゜Q l 4のゲートに与えられるの
で、当該トランジスタによって更に増幅されたデータが
データバスDB。
計画に与えられるという効果もある。
列選択線CLRを駆動する(Hレベルにする)と、トラ
ンジスタQ Is r  Q + bがオンになり、ト
ランジスタQ +3+ Q Iaのソースが第1図(a
)では接地され、同図(b)ではトランジスタQ + 
31  Q ! 4のドレインがデータバスに接続され
て、共に有効になり、ビット線電位がデータバスに伝え
られる。列選択が駆動されない(Lレベルである)とト
ランジスタQ Is 、 Q 16はオフであり、上記
動作は行なわれない。
このようにトランジスタQ +3+ Q + 4の挿入
でデータバス側の電圧がビット線もしくはセンスアンプ
に影響を与えなくなるので、センスアンプがメモリセル
のデータ信号を増幅する初期の不安定な時期にでも列選
択を行うことができる。つまりセンスアンプが動作する
と同時にトランジスタQ IsQ、bを列選択線CLR
の駆動で導通させれば、データバスには直ちにセンスア
ンプの増幅信号が伝わる。つまり従来列選択のタイミン
グをセンスアンプ駆動タイミングに対してマージンが必
要だった分が不要となるので、アクセスが高速になる。
またトランジスタQ + s Q I 4のgm(伝達
コンダクタンス)をセンスアンプのトランジスタQ I
 7 Q Isのgmより大きくすると、センスアンプ
自体でデータバスを駆動していた従来の方式よりもデー
タバスの駆動が高速になり、これもアクセス高速化に寄
与する。
なおセンスアンプのトランジスタQ r ? Q 1 
Bのgmを大きくしすぎると、書込みが困難になってし
まう。つまりセンスアンプのフリップフロップが反転し
なくなってしまう。
ビット線とデータバスの間にトランジスタQ Ix +
Q r aを入れることでアクセス高速化のメリットが
あるが、逆にデータバスとビット線が直接はつながらな
いので書込みが出来ないという問題はある。
そこで本発明ではビット線とデータバスは書込み系では
トランジスタQ+++Q+□を介して直接接続するよう
にした。
書込み当っては、書込むべきセルの列アドレスの選択線
CLWを駆動して、トランジスタQ 目+QIzを導通
する。これによりデータバスとビット線、センスアンプ
が直結されるので、従来の方式と同等に書込みが可能に
なる。つまり本発明では列選択線を読出しと書込みで分
けることにより、書込み許容クロックWEとの論理をセ
ンスアンプ近くでとらなくても良くなる。
本発明では、列選択線を続出用と書込用で別にすること
で、メモリセルアレー中の読出し書込み回路(Q11〜
Q、6)の中に切替回路を入れる必要がなくなり、デー
タバスを読出し書込みで共用することが可能、かつセル
アレー内の付属回路のトランジスタ数が少くてすみアレ
ーが小型化する。
〔実施例〕
第2図は本発明の実施例である。いわゆるシェアドセン
スアンプ構成をとり、センスアンプSAと読出し書込み
回路(Q!、−Q14)を左右のセルアレーで共用し、
スイッチトランジスタQst〜Q4゜で切替えていずれ
か一方のセルアレーを選択して接続する。
ここでは読出し用列選択線CLRで同時に2つの列アド
レスBL1とBLl、BL!とBL2を選択している。
このため読出しのときは同時にトランジスタQ!、〜Q
!sがオンするので、もし右側アレーを選択するときは
ブロック選択線B2を高レベルにしてトランジスタQ3
7〜Q4゜をオンさせデータバスDB1〜西使ヘビット
線BLI 、  百ゴ、BL2. 可にの信号を読出す
。同時に2つの列アドレスが選ばれるのでデータバスも
2組設け、BLl、8L1の信号はDBI 、 百訂へ
、BL2.区々の信号はDB2 、画成へ出るようにす
る。セルアレー外でTyBlかDB2を選択し、BLl
かBL2の選択を行なう。本発明では列選択線は従来の
1本に対しCLW、CLRの2本必要になるが、第2図
のように2ブロック内時選択にして、この2ブロツクに
1ljlのCLW、CLRを設ければ列選択線数は従来
と変らなくなる。
第3図は、第2図に対応した各部のクロックタイミング
と内部波形である。RASクロック(図示せず)が活性
化されてメモリチップ内の回路が行アドレスを取込むと
、行アドレスに対応したセルアレーブロックが選択され
、そのブロックの選択ゲート(第2図のQst〜Q14
)がクロックB2で導通する。またそのブロック内のワ
ード線(図示せず)が駆動される(WLクロック)。そ
して内部タイマーの働きでセンスアンプ駆動が行われS
APは高レベルへ、SANは低レベルへ向う。
CASクロック(図示せず)に同期して列アドレスが選
択され、選択線CLRが駆動される。これと同時にセン
スアンプが増幅しているビット線上のセル出力はデータ
バスDB1. DBIに現れる。出力アンプDBAはこ
れを増幅してチップ外に出力DOυ丁として出す。
第4図は本発明の別の実施例である。第2図ではデータ
バスを書込み、読取りで共通の配線として来たが、第4
図では書込み用と読出し用では別の配線としている。こ
れは単にメモリチップ上のトランジスタ配置パターンの
都合上から来るもので、電気的には読出しと書込みは共
通に接続されている。この接続はグローバルデータバス
線GDB1.GDB1.GDB2.GDB2を介して行
われている。データバスDBI 、 DBI 、 DB
2・・・・・・は第1層目のメタル配線層(たとえばア
ルミ)で形成し、グローバルデータバス線C,DBは各
メモリセルアレーMCAブロックに共通にメモリセル上
を第2層目のメタル配線層(たとえばアルミ)で形成し
である。データバスIBI 、 DBI−・・・・・は
メモリICチップの短辺方向に配線しであるとするとグ
ローバルデータバスGDBI、GDBI・・・・・・は
これに直交して長辺方向に配線される。また列選択線C
LR,CLWもメモリセル上を第2層目のメタル配線層
で形成される。従ってCLR,CLW、GDBはそれぞ
れ平行の配線である。
本発明ではデータバスは読出しと書込みで共通にできる
が、第4図のように別でも良い。第5図もこの例を示す
が、これは第4図の一部分を置き換えたものを想定して
いる。読出しデータバスDBIR,DBIR・・・・・
・ハクローバルデータバスGDBに接続する前にプリア
ンプAI、A2が入っておりデータバス信号を増幅して
グローバルデータバスに与える。書込のときは強力なラ
イトアンプ(図示せず)でグローバルデータバスを駆動
するので、途中のアンプはなくて良い。ただこれも必要
によって続出用と類似の位置に入れることはできる。
第6図は更に別の応用例を示す。グローバルデータバス
GDBは各メモリセルMCAブロックを共通に接続する
ので、各データバスDBの合計の寄生容量がグローバル
データバスGDBに加算される。このためグローバルデ
ータバスの容量が大きくなって続出、書込が遅くなる原
因となる。そこで各データバスとグローバルデータバス
間にスイッチトランジスタ(いわゆるトランスファゲー
トあるいはアナログスイッチ回路)STを入れ、行アド
レスに対応させてアクセスすべきメモリセルアレーブロ
ックに対応したデータバスだけグローバルデータバスに
接続する。これをブロック選択信号BS、で制御してい
る。このスイッチが入った意思外は第4図の回路と同じ
実施例を与えている。もちろん第6図のブロック選択ス
イッチと第5図の続出用プリアンプを組合せることも可
能である。
ビット線とデータバスをトランジスタを介して接続する
ことは、スタティックRAMでは例があり、それを第8
図に示す。Q 13+  CL+aがこの接続を行なう
トランジスタである。このトランジスタQ I 31 
Q + 4の挿入で列選択とセンスアンプのアクティブ
化との間にタイミングをとる必要はなくなるが、データ
バスとビット線とが直接には接続しなくなるので、書込
みができない。このためデータバスを読取り用DBRと
書込み用DBWにし、ビット線BL、 ■と書込み用デ
ータバスDBWとの間に、列選択スイッチQ、い Ql
、および書込み用スイッチQII、QI!を直列にして
挿入している。しかしこのようにライトイネーブルWE
と列選択CDのアンド論理をとるようにすると、読出し
書込みゲート周囲のトランジスタ数が多くなって、メモ
リセルアレーの寸法が大きくなってしまう。また場合に
よっては、ビット線の狭いピッチの中にこれらのトラン
ジスタをレイアウトすることができないこともある。更
に、最も問題なのはWE線が駆動するトランジスタ(Q
14、Q14)はセルアレー全体では数が極めて多く、
たとえばコラム側のビット数が1024としてWE線は
2048個ものトランジスタをつなぐことになる。この
ためWE線の負荷容量が極めて大きく、高速で切り替え
動作ができない欠点をもつ。本発明では列選択線を読出
し用と書込み用に分けているので、このような問題はな
い。
また以上の説明では読出し動作を中心に説明したが、書
込みのときは読取り用列選択線CLROかわりに書込み
用列選択線CLWを立上げるだけの違い(もちろん書込
アンプを駆動することも必要であるが)である。これは
特に多くの説明はいらないであろう。
メモリのリード、ライトはリードのみ、ライトのみの他
にリード/ライトが連続するまたは重なることもある。
第9図(a)のリードモディファイライト、同図(b)
のリードホヮイルライトがそれである。リードモディフ
ァイライト・モードのときは読出しにつづいて同じアド
レスに別のデータを書込むので、CLRとCLWは第9
図(a)のように書込み命令が入ったらただちにCLW
に切り替える。
一方、リードホワイルライト・モードでは、読出しを行
ったセルに同一サイクル内で予め決まっていたデータを
書込むので、CLRとCLWをタイミング的に重複させ
る。時点t2〜t3がこの重複期間である。この場合は
CLRを立上げてアクセスすべきセルのデータをデータ
バスアンプDBAが増幅し、Doυ1出力アンプがチッ
プ外にデータ出力すると同時に、データバスアンプDB
Aにさえメモリセルデータが伝わればCLRは立上った
ままでも直ちにライトモードに切替え、ライトアンプW
Aの信号をデータバスに入れ、CLWを立上げてメモリ
セル内に入れることができる。つまり、CLRとCLW
がタイミング的に重複する期間があっても動作上支障は
ない。
〔発明の効果〕
以上説明した様に本発明によれば、読出動作時にビット
線とデータバスを直接接続せず、トランジスタを介する
ためのセンスアンプと列選択のタイミングマージンが不
要になる。この結果メモリのアクセスが高速になる。そ
の上続出用と書込用でメモリセルアレーに接続される列
選択ゲート回路が簡単になるのでメモリセルアレーブロ
ックを小型化できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理図、 第2図は本発明の実施例1を示す回路図、第3図は第2
図の動作を示す波形図、 第4図は本発明の実施例2を示す回路図、第5図は本発
明の一部変形例1を示す回路図、第6図は本発明の一部
変形例2を示す回路図、第7図は従来例1を示す回路図
、 第8図は従来例2を示す回路図、 第9図は列選択線駆動例の説明図である。 第1図でSAはセンスアンプ、Q II )  Q I
z +  Q Is +Q l 6は列選択スイッチ、
MCAはメモリセルアレー、CDは列テコーダ、CLW
/CLRは書込み用/続出し用列選択線、Q r 3.
 Q + aはMosトランジスタである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、センスアンプ(SA)と列選択スイッチとメモリセ
    ル(MC)を有するブロック単位で複数に分割されたメ
    モリセルアレー(MCA)の各ブロックのビット線(B
    L、■)をデータバス(DB、■)へMOSトランジス
    タ(Q_1_3、Q_1_4)のゲートとソース・ドレ
    インを介して接続し、各ブロックの列選択スイッチを読
    出し用(Q_1_5、Q_1_6)と書込み用(Q_1
    _1、Q_1_2)で別にし、更に、共通の列デコーダ
    (CD)の出力によって駆動される列選択線も、読出し
    用(CLR)と書込み用(CLW)で別にし、 読出し時には読出し用列選択線で読出し用列選択スイッ
    チをオンにし、書込み時には書込み用列選択線で書込み
    用列選択スイッチをオンにするようにしてなることを特
    徴とする半導体記憶装置。 2、少くとも、センスアンプと列選択スイッチとメモリ
    セルで構成されるブロック単位で複数に分割されたメモ
    リセルアレーの各ブロックの列選択スイッチを、共通の
    列デコーダ出力によって同時に駆動する列選択線が読出
    動作用と書込動作用で独立した別の配線であることを特
    徴とする半導体記憶装置。
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