JPH03281141A

JPH03281141A - 脆性材料ローディング装置

Info

Publication number: JPH03281141A
Application number: JP2076873A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Ishimaru; 伊知郎石丸; Naoki Takahashi; 直紀高橋; Tadao Miyagawa; 宮川　忠雄
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1990-03-28
Filing date: 1990-03-28
Publication date: 1991-12-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は脆性材料をラップ定盤にローディングする際の
脆性材料の割れ、欠けを防止するためのローディング装
置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来脆性材料の割れ、欠けを防止する技術は、特開昭５
９−１７２４３８号公報のようにローディング後位置決
めする時の割れ、欠けを防止する方法、また、実開昭６
２−９５８４３号公報のようにウェハーのアンローダ装
置、また、特開昭６３−７４５９２号公報のように割れ
の探知方法などが知られている。

しかし、ローディングの際の割れ欠けを防止する例は見
られない。また、従来、ラップ定盤へのワークのローデ
ィングは手作業により行なわれていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のように手作業によりローディングを行なうと、特
に、脆性材料を扱う場合にはワークに割れ、欠けを生じ
ることがある。ローディング時にワークと設置面との接
触点において生じる応力におよぼす影響因子はローディ
ング速度、ワークと設置面との衝突角度、ワーク及び治
具の質量などが考えられる。速度、角度については、速
度を遅く、角度を小さくローディングさせることにより
衝突による応力を小さくすることは可能である。

また、質量も小さくすれば応力は小さくなる。しかし、
ワークの質量、及び、治具質量は他の性能的な要因から
小さくするのには限界がある。

本発明の目的は、ローディング時の設置面と脆性材料と
の衝突により生じる応力への治具、及び、ワークの質量
の影響を小さくすることにより、ローディング時の脆性
材料の割れ、欠けを防止することである。

〔課題を解決するための手段〕

脆性材料、あるいは、脆性材料を貼り付けた治具を下か
らハンドにより保持し、ハンドの脆性材料、あるいは、
脆性材料を貼り付けた治具が接触する部分にばねを設け
た。あるいは、治具のハンドに保持される部分に、ばね
を組み込んだ構造とした。

〔作用〕

脆性材料が設置されると治具はハンドから離れだし、ば
ねは追従してその離れた距離に応じて伸びる。ばねが追
従して脆性材料の質量、及び、治具質量をささえるため
、設置した瞬間に全質量が脆性材料にかかることを防止
できる。これにより、脆性材料と設置面との衝突により
生じる応力への治具質量の影響を小さくすることができ
る。

〔実施例〕

〈実施例１〉第１図に本発明の一実施例の斜視図を示す。第２図に第
１図のＡ部の拡大断面図を示す。また、第３図に第２図
の動作時の状態を示す。脆性材料１は治具２の下面に接
着剤で貼り付けられている。

治具２はハンド３に下から保持されている。ハンド３は
治具２の接する部分に、ばね５が組み込まれている。ハ
ンド３は駆動機構４により」二、下方向に移動する。こ
のような構成にしたことにより、次のようなことが可能
となった。治具２がハンド３に保持されている時はばね
５により治具質量を支えている。（第３図−（ａ））脆
性材料１が設置されると治具２はハンド３から離れだし
、ばね５は追従してその離れた距離に応じて伸びる。（
第３図−（ｂ））ばね５が伸びると治具２を支えてい３
・た保持力が小さくなり、ついには離れ、治具２はローデ
ィングされる。（第３図−（Ｃ））。

〈実施例２〉第４図に本発明の他の実施例の斜視図を示す。

また、第５図に第４図のＢ部拡大断面図を示す。

脆性材料１は治具２の下面に接着剤で貼り付られている
。治具２はハンド３に下から保持されている。治具２は
ハンド３と接する部分に、ばね５が組み込まれている。

ハンド３は駆動機構４により、上、下方向に移動する。

このような構成にしたことにより次のようなことが可能
となった。すなわち、治具２がハンド３に設定されてい
る時はばね５により治具質量を下から支えている。脆性
産科１が設置されると治具２はハンド３から離れだし、
ばね５は追従してその離れた距離に応じて伸びる。

ばね５が伸びると治具２を支えていた保持力が小さくな
り、ついには離れ、治具２はローディングされる。

〔発明の効果〕

本発明の請求項１．２のような構成とすればワ４・ −クと設置面との接触点における応力への質量の影響を
小さくし、脆性材料のローディング時における割れ、欠
けを防止することが可能となる。また、本発明の請求項
３のような構成にすることにより脆性材料のラップ定盤
への欠は無しローディングが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図は第１図のＡ部の拡大断面図、第３図は第２図の動作時の状態の説明図、第４図は本発
明の他の実施例の斜視図、第５図は第４図のＢ部拡大断
面図である。１：脆性材料、２：治具、３：ハンド、４：駆動機構、
５：ばね。

Claims

【特許請求の範囲】１、脆性材料、あるいは、前記脆性材料を取り付けた治
具を下から保持するハンド、及び、前記ハンドの治具、
あるいは、前記脆性材料が接触する部分にばねを設けた
ことを特徴とする脆性材料ローディング装置。２、脆性材料を取り付けた治具を下から保持するハンド
、及び、前記治具の前記ハンドとの接触する部分にばね
を取付けたことを特徴とするローディング装置。３、請求項１または２のローディング装置を用いたラッ
ピング装置。